JP3016368B2 - 記録磁化状態測定装置 - Google Patents
記録磁化状態測定装置Info
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
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- G—PHYSICS
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- G01R33/1207—Testing individual magnetic storage devices, e.g. records carriers or digital storage elements
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/008—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic tapes, sheets, e.g. cards, or wires
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気テープや磁気
ディスク等の磁気記録媒体（以下、単に「媒体」とい
う。）の磁化状態の解析に用いられる記録磁化状態測定
装置に関するものである。
ディスク等の磁気記録媒体（以下、単に「媒体」とい
う。）の磁化状態の解析に用いられる記録磁化状態測定
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、記録ヘッドにより記録した媒体の
磁化状態の評価では、再生ヘッドによる再生信号を用い
ていた。近年の再生ヘッドは、従来の磁気誘導形ヘッド
から磁気抵抗ヘッドに変化したことにより、出力が向上
している。しかし、線記録密度が高い領域においては、
依然として出力の低下が大きく、記録磁化状態を正確に
把握することができない。さらに、再生ヘッドの特性の
影響を受けるため、媒体の磁化状態を正確に評価するこ
とは非常に困難である。
磁化状態の評価では、再生ヘッドによる再生信号を用い
ていた。近年の再生ヘッドは、従来の磁気誘導形ヘッド
から磁気抵抗ヘッドに変化したことにより、出力が向上
している。しかし、線記録密度が高い領域においては、
依然として出力の低下が大きく、記録磁化状態を正確に
把握することができない。さらに、再生ヘッドの特性の
影響を受けるため、媒体の磁化状態を正確に評価するこ
とは非常に困難である。
【０００３】また、磁気記録媒体においては、記録密度
が高くなると、記録ひずみが生じる。記録ひずみには、
非線形遷移シフト、パーシャルイレージャー及びトラン
ディションブロードニングがある。非線形遷移シフト
は、一般的に五次高調波法により測定されている（例え
ば、Ｙ．Ｔａｎｇ ａｎｄ Ｃ．Ｔｓａｎｇ，ＩＥＥＥ
Ｔｒａｎｓ．Ｍａｇｎ．，Ｖｏｌ．２７，Ｎｏ．６，ｐ
ｐ５３１６−５３１８，１９９１）。パーシャルイレー
ジャーについては、ある記録密度Ｄの三次高調波成分Ｖ
3 と記録密度３Ｄの基本波成分Ｖ1 とを測定し、パーシ
ャルイレージャーがなければＶ1 ／（３×Ｖ3 ）＝１と
なり、パーシャルイレージャーがあればＶ1 ／（３×Ｖ
3 ）＜１となることを用いて、定量的に測定できること
が、１９９６年のインターマグ国際会議（講演番号：Ｇ
Ｐ２９）において報告されている。
が高くなると、記録ひずみが生じる。記録ひずみには、
非線形遷移シフト、パーシャルイレージャー及びトラン
ディションブロードニングがある。非線形遷移シフト
は、一般的に五次高調波法により測定されている（例え
ば、Ｙ．Ｔａｎｇ ａｎｄ Ｃ．Ｔｓａｎｇ，ＩＥＥＥ
Ｔｒａｎｓ．Ｍａｇｎ．，Ｖｏｌ．２７，Ｎｏ．６，ｐ
ｐ５３１６−５３１８，１９９１）。パーシャルイレー
ジャーについては、ある記録密度Ｄの三次高調波成分Ｖ
3 と記録密度３Ｄの基本波成分Ｖ1 とを測定し、パーシ
ャルイレージャーがなければＶ1 ／（３×Ｖ3 ）＝１と
なり、パーシャルイレージャーがあればＶ1 ／（３×Ｖ
3 ）＜１となることを用いて、定量的に測定できること
が、１９９６年のインターマグ国際会議（講演番号：Ｇ
Ｐ２９）において報告されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術では以下のような問題点がある。
術では以下のような問題点がある。
【０００５】〔１〕．再生ヘッドによる測定方法
【０００６】第１の問題点は、記録密度の高い領域での
記録磁化状態を正確に評価できない点である。その第１
の理由は、再生ギャップ長と最短記録波長が同等レベル
になると、ギャップ損失のため出力が小さくなり、磁化
状態を正確に測定できないためである。また、現在の再
生ヘッドのギャップ長は０．１〜０．２μｍ程度であ
り、これ以上ギャップ長を小さくすることは現在のプロ
セス技術からすると非常に困難である。さらに、実在し
ない狭ギャップヘッドで再生した際の出力を予測するこ
とも非常に困難である。その第２の理由は、高密度領域
では、再生時のスペーシングの影響により出力信号が小
さくなるので、磁化状態の正確な把握ができないためで
ある。スペーシングの影響を除くことができれば、正確
な磁化状態を把握することができる。
記録磁化状態を正確に評価できない点である。その第１
の理由は、再生ギャップ長と最短記録波長が同等レベル
になると、ギャップ損失のため出力が小さくなり、磁化
状態を正確に測定できないためである。また、現在の再
生ヘッドのギャップ長は０．１〜０．２μｍ程度であ
り、これ以上ギャップ長を小さくすることは現在のプロ
セス技術からすると非常に困難である。さらに、実在し
ない狭ギャップヘッドで再生した際の出力を予測するこ
とも非常に困難である。その第２の理由は、高密度領域
では、再生時のスペーシングの影響により出力信号が小
さくなるので、磁化状態の正確な把握ができないためで
ある。スペーシングの影響を除くことができれば、正確
な磁化状態を把握することができる。
【０００７】第２の問題点は、媒体の局所的な磁化状態
を正確に評価することができない点である。その理由
は、再生トラック幅が狭すぎると再生出力が得られない
ため、再生ヘッド幅としては狭くても１〜２μｍ程度の
大きさが必要となることから、トラック内の局所的な状
況（例えば、トラック端部の状況）を正確に把握するこ
とができない。つまり、再生ヘッドよりも狭い領域を測
定することができない。
を正確に評価することができない点である。その理由
は、再生トラック幅が狭すぎると再生出力が得られない
ため、再生ヘッド幅としては狭くても１〜２μｍ程度の
大きさが必要となることから、トラック内の局所的な状
況（例えば、トラック端部の状況）を正確に把握するこ
とができない。つまり、再生ヘッドよりも狭い領域を測
定することができない。
【０００８】〔２〕．非線形遷移シフト量を五次高調波
法により測定する方法
法により測定する方法
【０００９】その問題点とは、非線形遷移シフトを単独
で測定できるものではないことである。その理由は、本
方法で測定されている非線形シフト量は、非線形遷移シ
フトとパーシャルイレージャーとが合わさったものであ
るからである。
で測定できるものではないことである。その理由は、本
方法で測定されている非線形シフト量は、非線形遷移シ
フトとパーシャルイレージャーとが合わさったものであ
るからである。
【００１０】〔３〕．パーシャルイレージャーの測定方
法
法
【００１１】第１の問題点は、この測定方法は再生波形
が上下対称であることを前提条件としている点である。
その理由は、再生ヘッドの大部分は上下非対称の波形で
あるからである。
が上下対称であることを前提条件としている点である。
その理由は、再生ヘッドの大部分は上下非対称の波形で
あるからである。
【００１２】第２の問題点は、本測定方法ではパーシャ
ルイレージャーの詳細がわからないことである。その理
由は、次のとおりである。再生ヘッドにより再生された
信号によってパーシャルイレージャーを測定するため、
再生ヘッドのトラック幅全体の平均的な現象が測定され
る。再生トラック幅が狭すぎると再生出力が得られない
ため、狭くても１〜２μｍ程度の大きさが必要となるこ
とから、トラック内の局所的な状況（例えば、トラック
端部の状況）を正確に把握することができない。つま
り、再生ヘッドよりも狭い領域を測定することができな
い。
ルイレージャーの詳細がわからないことである。その理
由は、次のとおりである。再生ヘッドにより再生された
信号によってパーシャルイレージャーを測定するため、
再生ヘッドのトラック幅全体の平均的な現象が測定され
る。再生トラック幅が狭すぎると再生出力が得られない
ため、狭くても１〜２μｍ程度の大きさが必要となるこ
とから、トラック内の局所的な状況（例えば、トラック
端部の状況）を正確に把握することができない。つま
り、再生ヘッドよりも狭い領域を測定することができな
い。
【００１３】
【発明の目的】そこで、本発明の目的は、再生ヘッドの
影響を受けることなく、局所的な磁化状態を、高い記録
密度においても観察できる記録磁化状態測定装置を提供
することにある。
影響を受けることなく、局所的な磁化状態を、高い記録
密度においても観察できる記録磁化状態測定装置を提供
することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】図１は、本発明に係る記
録磁化状態測定装置の基本的構成を示す機能ブロック図
である。図２は、図１の記録磁化状態測定装置において
磁気力顕微鏡により検出された記録磁化パターンを示す
平面図である。図３は、図１の記録磁化状態測定装置に
おいてＭＦＭ出力信号抽出手段によって抽出されたＭＦ
Ｍ出力信号を示す波形図である。以下、これらの図面に
基づき説明する。
録磁化状態測定装置の基本的構成を示す機能ブロック図
である。図２は、図１の記録磁化状態測定装置において
磁気力顕微鏡により検出された記録磁化パターンを示す
平面図である。図３は、図１の記録磁化状態測定装置に
おいてＭＦＭ出力信号抽出手段によって抽出されたＭＦ
Ｍ出力信号を示す波形図である。以下、これらの図面に
基づき説明する。
【００１５】本発明に係る記録磁化状態測定装置１０
は、媒体Ｄ上に形成された記録磁化パターンａを検出す
る磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）１２と、磁気力顕微鏡１２で
検出された記録磁化パターンａから、所定の再生ＭＦＭ
幅で記録方向に沿った一次元のＭＦＭ出力信号ｂを抽出
するＭＦＭ出力信号抽出手段１４と、ＭＦＭ出力信号抽
出手段１４によって抽出されたＭＦＭ出力信号ｂの振幅
の平均値及び標準偏差をそれぞれ再生出力ｃ及び媒体ノ
イズｄとして算出する波形数値解析手段１６とを備えた
ものである。例えば、磁気力顕微鏡１２は、磁気力顕微
鏡１２の検出用チップ（図示せず）と媒体Ｄとの距離ご
とに記録磁化パターンａを検出し、ＭＦＭ出力信号抽出
手段１４は、当該距離ごとにＭＦＭ出力信号ｂを抽出
し、波形数値解析手段１６は、当該距離ごとに再生出力
ｃ又は媒体ノイズｄを算出する。ＭＦＭ出力信号抽出手
段１４及び波形数値解析手段１６は、例えば、マイクロ
コンピュータやＤＳＰによって実現することができる。
は、媒体Ｄ上に形成された記録磁化パターンａを検出す
る磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）１２と、磁気力顕微鏡１２で
検出された記録磁化パターンａから、所定の再生ＭＦＭ
幅で記録方向に沿った一次元のＭＦＭ出力信号ｂを抽出
するＭＦＭ出力信号抽出手段１４と、ＭＦＭ出力信号抽
出手段１４によって抽出されたＭＦＭ出力信号ｂの振幅
の平均値及び標準偏差をそれぞれ再生出力ｃ及び媒体ノ
イズｄとして算出する波形数値解析手段１６とを備えた
ものである。例えば、磁気力顕微鏡１２は、磁気力顕微
鏡１２の検出用チップ（図示せず）と媒体Ｄとの距離ご
とに記録磁化パターンａを検出し、ＭＦＭ出力信号抽出
手段１４は、当該距離ごとにＭＦＭ出力信号ｂを抽出
し、波形数値解析手段１６は、当該距離ごとに再生出力
ｃ又は媒体ノイズｄを算出する。ＭＦＭ出力信号抽出手
段１４及び波形数値解析手段１６は、例えば、マイクロ
コンピュータやＤＳＰによって実現することができる。
【００１６】まず、図示しない記録ヘッドによって媒体
Ｄに記録された磁化状態を、磁気力顕微鏡１２を用いて
観察する。ＭＦＭ出力信号抽出手段１４は、磁気力顕微
鏡１２によって得られた記録磁化パターンａのＭＦＭ像
（図２）からＭＦＭ信号を取り出しトラック幅方向に平
均してＭＦＭ出力信号ｂを得る（図３）。ＭＦＭ出力信
号ｂは再生ヘッドの影響を受けていないので、ＭＦＭ出
力信号ｂを用いて局所的な記録磁化状態を測定すること
ができる。
Ｄに記録された磁化状態を、磁気力顕微鏡１２を用いて
観察する。ＭＦＭ出力信号抽出手段１４は、磁気力顕微
鏡１２によって得られた記録磁化パターンａのＭＦＭ像
（図２）からＭＦＭ信号を取り出しトラック幅方向に平
均してＭＦＭ出力信号ｂを得る（図３）。ＭＦＭ出力信
号ｂは再生ヘッドの影響を受けていないので、ＭＦＭ出
力信号ｂを用いて局所的な記録磁化状態を測定すること
ができる。
【００１７】また、磁気力顕微鏡１２は、検出用チップ
（図示せず）を磁気センサーとする狭トラックかつ狭ギ
ャップの磁気ヘッドと見なすことができ、検出用チップ
と媒体Ｄとの間隔も任意に制御することができる。
（図示せず）を磁気センサーとする狭トラックかつ狭ギ
ャップの磁気ヘッドと見なすことができ、検出用チップ
と媒体Ｄとの間隔も任意に制御することができる。
【００１８】図４は、本発明に係る記録磁化状態測定装
置の動作を示すフローチャートである。以下、この図面
に基づき説明する。
置の動作を示すフローチャートである。以下、この図面
に基づき説明する。
【００１９】まず、記録ヘッドにより媒体上に形成され
た記録磁化パターンの磁気力顕微鏡により観察し、得ら
れたＭＦＭ像を定量的に平均化処理を行い、ＭＦＭ波形
信号（ＭＦＭ出力信号）を得る。次に、ＭＦＭ出力信号
の波形数値解析を行うことにより、振幅の平均値と標準
偏差を求め、前者を再生出力、後者を媒体ノイズと定義
することより、媒体Ｓ／Ｎを測定することができる。本
発明の記録磁化状態測定装置を用いれば、再生ヘッドの
特性に影響を受けずに、高精度で高分解能の記録磁化状
態の測定が可能となる。例えば、トラック内の局所的な
信号やノイズの評価、並びに記録再生特性に及ぼす記録
ヘッドの形状や記録ギャップ長の影響についても測定す
ることができる。特に、本発明の記録磁化状態測定装置
は、狭トラック、高線密度においてその効力を発揮す
る。なお、参考までに、従来技術の動作を示すフローチ
ャートを図５に示す。
た記録磁化パターンの磁気力顕微鏡により観察し、得ら
れたＭＦＭ像を定量的に平均化処理を行い、ＭＦＭ波形
信号（ＭＦＭ出力信号）を得る。次に、ＭＦＭ出力信号
の波形数値解析を行うことにより、振幅の平均値と標準
偏差を求め、前者を再生出力、後者を媒体ノイズと定義
することより、媒体Ｓ／Ｎを測定することができる。本
発明の記録磁化状態測定装置を用いれば、再生ヘッドの
特性に影響を受けずに、高精度で高分解能の記録磁化状
態の測定が可能となる。例えば、トラック内の局所的な
信号やノイズの評価、並びに記録再生特性に及ぼす記録
ヘッドの形状や記録ギャップ長の影響についても測定す
ることができる。特に、本発明の記録磁化状態測定装置
は、狭トラック、高線密度においてその効力を発揮す
る。なお、参考までに、従来技術の動作を示すフローチ
ャートを図５に示す。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、実施例１〜１３を用いて具体的に説明する。
て、実施例１〜１３を用いて具体的に説明する。
【００２１】
【実施例１】媒体には、保磁力２２００Ｏｅ一定で、Ｂ
ｒδ（Ｂｒ：残留磁束密度、δ：磁性膜厚）が８０，１
００，１２５Ｇμｍの３種類を用いた。記録には、トラ
ック幅４μｍ、ギャップ長０．５μｍの記録ヘッドを用
いた。記録密度５〜４００ｋＦＲＰＩの記録磁化パター
ンを記録した後、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）観察を行っ
た。次に、測定したＭＦＭ像を再生幅３μｍの幅で定量
的に平均化処理を行った。続いて、得られたＭＦＭ出力
信号の波形数値解析を行ない、ＭＦＭ出力信号の振幅の
平均値及び標準偏差を求め、前者を再生出力（Ｓ）、後
者を媒体ノイズ（Ｎ）として、媒体Ｓ／Ｎを測定した。
ｒδ（Ｂｒ：残留磁束密度、δ：磁性膜厚）が８０，１
００，１２５Ｇμｍの３種類を用いた。記録には、トラ
ック幅４μｍ、ギャップ長０．５μｍの記録ヘッドを用
いた。記録密度５〜４００ｋＦＲＰＩの記録磁化パター
ンを記録した後、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）観察を行っ
た。次に、測定したＭＦＭ像を再生幅３μｍの幅で定量
的に平均化処理を行った。続いて、得られたＭＦＭ出力
信号の波形数値解析を行ない、ＭＦＭ出力信号の振幅の
平均値及び標準偏差を求め、前者を再生出力（Ｓ）、後
者を媒体ノイズ（Ｎ）として、媒体Ｓ／Ｎを測定した。
【００２２】結果を図６に示す。本発明の記録磁化状態
測定装置を用いることにより、再生ヘッドの影響を受け
ない磁化状態を測定することができる。さらに、再生ヘ
ッドでは再生信号を検出できない記録密度においても
（つまり、再生ヘッドでは測定することができない記録
磁化状態においても）、正確な磁化状態を測定すること
ができる。
測定装置を用いることにより、再生ヘッドの影響を受け
ない磁化状態を測定することができる。さらに、再生ヘ
ッドでは再生信号を検出できない記録密度においても
（つまり、再生ヘッドでは測定することができない記録
磁化状態においても）、正確な磁化状態を測定すること
ができる。
【００２３】
【実施例２】保磁力２５００Ｏｅ、Ｂｒδ６０Ｇμｍの
特性の媒体上に、記録トラック幅１μｍ、ギャップ長
０．４μｍの記録ヘッドで磁化パターンを形成した。こ
こで形成した記録磁化パターンの記録密度は、１０〜４
５０ｋＦＲＰＩである。これらの記録磁化パターンを実
施例１と同様にして媒体Ｓ／Ｎを測定した。
特性の媒体上に、記録トラック幅１μｍ、ギャップ長
０．４μｍの記録ヘッドで磁化パターンを形成した。こ
こで形成した記録磁化パターンの記録密度は、１０〜４
５０ｋＦＲＰＩである。これらの記録磁化パターンを実
施例１と同様にして媒体Ｓ／Ｎを測定した。
【００２４】結果を図７に示す。４５０ｋＦＲＰＩとい
う高い記録密度においても、媒体Ｓ／Ｎが測定できてい
ることがわかる。再生ヘッドを用いた従来の記録再生評
価においては、記録ヘッド幅が１μｍでは再生信号が小
さすぎて磁化状態を評価することができない。しかしな
がら、本発明の記録磁化状態測定装置を用いることによ
り、再生ヘッドでは信号を検出できない狭いトラック幅
及び高い記録密度においても、正確な磁化状態を測定す
ることができる。つまり、本発明の記録磁化測定装置は
狭トラック、高密度において特に効果が大きい。
う高い記録密度においても、媒体Ｓ／Ｎが測定できてい
ることがわかる。再生ヘッドを用いた従来の記録再生評
価においては、記録ヘッド幅が１μｍでは再生信号が小
さすぎて磁化状態を評価することができない。しかしな
がら、本発明の記録磁化状態測定装置を用いることによ
り、再生ヘッドでは信号を検出できない狭いトラック幅
及び高い記録密度においても、正確な磁化状態を測定す
ることができる。つまり、本発明の記録磁化測定装置は
狭トラック、高密度において特に効果が大きい。
【００２５】
【実施例３】保磁力２２００Ｏｅ一定で、Ｂｒδが８
０，１００，１２５Ｇμｍの３種類の媒体上に、記録密
度１０ｋＦＲＰＩ、８０ｋＦＲＰＩの記録磁化パターン
を記録し、これらのＭＦＭ観察を行った。次に、得られ
たＭＦＭ像を再生幅０．１μｍの幅で定量的に平均化処
理を行った。続いて、得られたＭＦＭ出力信号の波形数
値解析を行い、ＭＦＭ出力信号の振幅の平均値及び標準
偏差を求め、前者を再生出力（Ｓ）、後者を媒体ノイズ
（Ｎ）として、媒体Ｓ／Ｎを測定した。さらに、０．１
μｍずつオフトラックさせながら、同様の測定を行い、
媒体Ｓ／Ｎのオフトラック特性を測定した。
０，１００，１２５Ｇμｍの３種類の媒体上に、記録密
度１０ｋＦＲＰＩ、８０ｋＦＲＰＩの記録磁化パターン
を記録し、これらのＭＦＭ観察を行った。次に、得られ
たＭＦＭ像を再生幅０．１μｍの幅で定量的に平均化処
理を行った。続いて、得られたＭＦＭ出力信号の波形数
値解析を行い、ＭＦＭ出力信号の振幅の平均値及び標準
偏差を求め、前者を再生出力（Ｓ）、後者を媒体ノイズ
（Ｎ）として、媒体Ｓ／Ｎを測定した。さらに、０．１
μｍずつオフトラックさせながら、同様の測定を行い、
媒体Ｓ／Ｎのオフトラック特性を測定した。
【００２６】結果を図８及び図９に示す。本発明の記録
磁化状態測定装置を用いることにより、再生ヘッドの影
響を受けない磁化状態を測定することができる。再生ヘ
ッドでは、トラック幅全体の平均的な現象が測定される
ため、トラック内の局所的な状況を正確に測定すること
ができない。しかし、本発明の記録磁化状態測定装置を
用いると、再生ヘッドでは測定することができない再生
ヘッドよりも狭い領域（ここでは０．１μｍ単位）の磁
化状態を正確に測定することができる。本発明はトラッ
ク端部の状況を測定するのに特に有効である。
磁化状態測定装置を用いることにより、再生ヘッドの影
響を受けない磁化状態を測定することができる。再生ヘ
ッドでは、トラック幅全体の平均的な現象が測定される
ため、トラック内の局所的な状況を正確に測定すること
ができない。しかし、本発明の記録磁化状態測定装置を
用いると、再生ヘッドでは測定することができない再生
ヘッドよりも狭い領域（ここでは０．１μｍ単位）の磁
化状態を正確に測定することができる。本発明はトラッ
ク端部の状況を測定するのに特に有効である。
【００２７】
【実施例４】保磁力２４００Ｏｅ一定で、Ｂｒδが８
０，１００，１２５Ｇμｍの３種類の媒体上に、記録密
度１０ｋＦＲＰＩの記録磁化パターンを記録した。これ
らのパターンのＭＦＭ観察を行い、得られたＭＦＭ像を
再生幅２０ｎｍの幅で、定量的に平均化処理を行い、得
られたＭＦＭ出力信号の波形数値解析を行ない、ＭＦＭ
出力信号の振幅の平均値及び標準偏差を求め、標準偏差
を媒体ノイズ（Ｎ）として測定した。さらに、０．１μ
ｍずつオフトラックさせながら、同様の測定を行い、媒
体ノイズのオフトラック特性を測定した。
０，１００，１２５Ｇμｍの３種類の媒体上に、記録密
度１０ｋＦＲＰＩの記録磁化パターンを記録した。これ
らのパターンのＭＦＭ観察を行い、得られたＭＦＭ像を
再生幅２０ｎｍの幅で、定量的に平均化処理を行い、得
られたＭＦＭ出力信号の波形数値解析を行ない、ＭＦＭ
出力信号の振幅の平均値及び標準偏差を求め、標準偏差
を媒体ノイズ（Ｎ）として測定した。さらに、０．１μ
ｍずつオフトラックさせながら、同様の測定を行い、媒
体ノイズのオフトラック特性を測定した。
【００２８】結果を図１０に示す。Ｂｒδが高くなるに
つれて、トラック端部でのノイズが増加していることが
わかる。通常の再生ヘッドを用いた従来の記録再生評価
においては、このような狭トラックでは再生信号が小さ
すぎて、正確な情報が得られない。しかし、本発明の記
録磁化状態測定装置を用いると、再生幅を任意に選択す
ることができ、かつ十分大きな再生信号が得られるた
め、トラック端部の状況を正確に把握することができ
る。つまり、本発明はトラック端部の状況を測定するの
に特に有効である。
つれて、トラック端部でのノイズが増加していることが
わかる。通常の再生ヘッドを用いた従来の記録再生評価
においては、このような狭トラックでは再生信号が小さ
すぎて、正確な情報が得られない。しかし、本発明の記
録磁化状態測定装置を用いると、再生幅を任意に選択す
ることができ、かつ十分大きな再生信号が得られるた
め、トラック端部の状況を正確に把握することができ
る。つまり、本発明はトラック端部の状況を測定するの
に特に有効である。
【００２９】
【実施例５】保磁力２２００Ｏｅ、Ｂｒδ１２５Ｇμｍ
の磁気特性を持つ媒体上に、記録トラック幅４μｍ、ギ
ャップ長０．５μｍの記録ヘッドを用いて記録密度１
０、２０、４０、８０、１２０、１６０ｋＦＲＰＩの記
録磁化パターンを記録した。これらの磁化パターンにつ
いて、ディスクとＭＦＭチップの間隔を１０〜６００ｎ
ｍの範囲で変化させながら、ＭＦＭ観察を行った。次
に、得られたＭＦＭ像を定量的に平均化処理を行い、Ｍ
ＦＭ波形信号を得た。
の磁気特性を持つ媒体上に、記録トラック幅４μｍ、ギ
ャップ長０．５μｍの記録ヘッドを用いて記録密度１
０、２０、４０、８０、１２０、１６０ｋＦＲＰＩの記
録磁化パターンを記録した。これらの磁化パターンにつ
いて、ディスクとＭＦＭチップの間隔を１０〜６００ｎ
ｍの範囲で変化させながら、ＭＦＭ観察を行った。次
に、得られたＭＦＭ像を定量的に平均化処理を行い、Ｍ
ＦＭ波形信号を得た。
【００３０】記録密度１０ｋＦＲＰＩの磁化パターン
で、ディスクとＭＦＭチップ間隔１０ｎｍにおけるＭＦ
Ｍ出力を基準にした場合の、出力の浮上量依存性を図１
１に示す。これにより、再生ヘッドで再生した際の出力
の浮上量依存性を測定することができる。ここで、ＭＦ
Ｍはチップを磁気センサーとする狭ギャップの磁気ヘッ
ドと見なすことができるため、チップとディスクの間隔
も任意に制御することができる。さらに、実施例１と同
様にして、媒体Ｓ／Ｎを求めることにより、媒体Ｓ／Ｎ
の浮上量依存性を測定することができる。
で、ディスクとＭＦＭチップ間隔１０ｎｍにおけるＭＦ
Ｍ出力を基準にした場合の、出力の浮上量依存性を図１
１に示す。これにより、再生ヘッドで再生した際の出力
の浮上量依存性を測定することができる。ここで、ＭＦ
Ｍはチップを磁気センサーとする狭ギャップの磁気ヘッ
ドと見なすことができるため、チップとディスクの間隔
も任意に制御することができる。さらに、実施例１と同
様にして、媒体Ｓ／Ｎを求めることにより、媒体Ｓ／Ｎ
の浮上量依存性を測定することができる。
【００３１】
【実施例６】実施例１と同様にして、保磁力２２００Ｏ
ｅ、Ｂｒδ８０Ｇμｍの磁気特性を持つ媒体上に、記録
トラック４μｍ、１μｍ及び０．５μｍの記録ヘッドで
記録パターンを形成した。１μｍ、０．５μｍのように
トラック幅が狭いと、再生ヘッドを用いて磁気情報を得
ることができない。これに対して、本発明の記録磁化状
態測定装置では、次のように実測することができる。
ｅ、Ｂｒδ８０Ｇμｍの磁気特性を持つ媒体上に、記録
トラック４μｍ、１μｍ及び０．５μｍの記録ヘッドで
記録パターンを形成した。１μｍ、０．５μｍのように
トラック幅が狭いと、再生ヘッドを用いて磁気情報を得
ることができない。これに対して、本発明の記録磁化状
態測定装置では、次のように実測することができる。
【００３２】記録トラック４μｍ、１μｍ、０．５μｍ
のヘッドの各ＭＦＭ平均出力が４．２５、３．５、２．
０（相対値）であり、記録トラック４μｍの磁化パター
ンを４μｍ幅の再生ヘッドで再生した出力が６００μＶ
ｐｐであったことを利用すると、記録トラック幅１μｍ
のヘッドで記録したパターンの再生ヘッドでの出力Ｓ
（Ｔ１）は、Ｓ（Ｔ１）＝６００×３．５×１／（４．
２５×４）＝１２３．５μＶｐｐ、記録トラック幅０．
５μｍのヘッドで記録したパターンの再生ヘッドでの出
力Ｓ（Ｔ０５）は、Ｓ（Ｔ０５）＝６００×２．０×
０．５／（４．２５×４）＝３５．３μＶｐｐとなる。
のヘッドの各ＭＦＭ平均出力が４．２５、３．５、２．
０（相対値）であり、記録トラック４μｍの磁化パター
ンを４μｍ幅の再生ヘッドで再生した出力が６００μＶ
ｐｐであったことを利用すると、記録トラック幅１μｍ
のヘッドで記録したパターンの再生ヘッドでの出力Ｓ
（Ｔ１）は、Ｓ（Ｔ１）＝６００×３．５×１／（４．
２５×４）＝１２３．５μＶｐｐ、記録トラック幅０．
５μｍのヘッドで記録したパターンの再生ヘッドでの出
力Ｓ（Ｔ０５）は、Ｓ（Ｔ０５）＝６００×２．０×
０．５／（４．２５×４）＝３５．３μＶｐｐとなる。
【００３３】つまり、記録再生ができるだけのトラック
幅をもつヘッドと、狭トラックヘッドを同時に用いて記
録を行い、それらのＭＦＭ出力信号と幅広のトラックヘ
ッドで再生した結果を利用すれば、狭トラックヘツドで
の再生信号の大きさを正確に測定することができる。さ
らに、実施例１と同様にして狭トラックヘッドでの媒体
Ｓ／Ｎを測定することができる。
幅をもつヘッドと、狭トラックヘッドを同時に用いて記
録を行い、それらのＭＦＭ出力信号と幅広のトラックヘ
ッドで再生した結果を利用すれば、狭トラックヘツドで
の再生信号の大きさを正確に測定することができる。さ
らに、実施例１と同様にして狭トラックヘッドでの媒体
Ｓ／Ｎを測定することができる。
【００３４】
【実施例７】保磁力２２００Ｏｅ、Ｂｒδ８０〜１２５
Ｇμｍの磁気特性を持つ媒体上に、記録トラック幅４μ
ｍ、ギャップ長０．５μｍの記録ヘッドを用いて記録密
度１０ｋＦＲＰＩで記録した。実施例１と同様にして得
られるＭＦＭ信号と、再生ヘッド（再生ギャップ長０．
３μｍ）で再生した出力信号との関係を、図１２に示
す。
Ｇμｍの磁気特性を持つ媒体上に、記録トラック幅４μ
ｍ、ギャップ長０．５μｍの記録ヘッドを用いて記録密
度１０ｋＦＲＰＩで記録した。実施例１と同様にして得
られるＭＦＭ信号と、再生ヘッド（再生ギャップ長０．
３μｍ）で再生した出力信号との関係を、図１２に示
す。
【００３５】ＭＦＭから得られた信号と再生ヘッドから
得られた信号は比例関係にあることがわかる。そこで、
Ｂｒδが未知で、再生ヘッドでの記録再生評価をしてい
ない媒体Ｄについても、同様のパターンを記録したとき
のＭＦＭ出力が８（相対値）であったことから、この媒
体の再生ヘッドにより得られる出力の大きさは１１００
μＶｐｐであることがわかる。つまり、本発明の記録磁
化状態測定装置を用いることにより、再生ヘッドによる
評価を実際にしなくても再生ヘッドにより得られる出力
の大きさを測定することができる。
得られた信号は比例関係にあることがわかる。そこで、
Ｂｒδが未知で、再生ヘッドでの記録再生評価をしてい
ない媒体Ｄについても、同様のパターンを記録したとき
のＭＦＭ出力が８（相対値）であったことから、この媒
体の再生ヘッドにより得られる出力の大きさは１１００
μＶｐｐであることがわかる。つまり、本発明の記録磁
化状態測定装置を用いることにより、再生ヘッドによる
評価を実際にしなくても再生ヘッドにより得られる出力
の大きさを測定することができる。
【００３６】
【実施例８】トラック幅５μｍの記録ヘッドを用いて、
保磁力２４００Ｏｅ、Ｂｒδ１００Ｇμｍの磁気特性を
もつ媒体上に記録パターンを記録し、ＭＦＭを用いて記
録磁化状態を観察した。図１３及び図１４に示すよう
に、記録密度１５０ｋＦＲＰＩに相当する２ビットパタ
ーンを記録し、トラック幅方向にＭＦＭ出力を平均化し
た。ここで、記録する際には記録補償をかけて正確な記
録密度を記録した。
保磁力２４００Ｏｅ、Ｂｒδ１００Ｇμｍの磁気特性を
もつ媒体上に記録パターンを記録し、ＭＦＭを用いて記
録磁化状態を観察した。図１３及び図１４に示すよう
に、記録密度１５０ｋＦＲＰＩに相当する２ビットパタ
ーンを記録し、トラック幅方向にＭＦＭ出力を平均化し
た。ここで、記録する際には記録補償をかけて正確な記
録密度を記録した。
【００３７】これより２ビットパターンのピーク間隔を
測定すると１５０ｎｍであった。この記録密度では、本
来ビット長は１６９ｎｍであるから、本来のビット長よ
りも１９ｎｍビット長が短くなっている。これは非線形
遷移シフトによるものであり、本発明により非線形遷移
シフト量が１９ｎｍ、１１％であることが測定できる。
測定すると１５０ｎｍであった。この記録密度では、本
来ビット長は１６９ｎｍであるから、本来のビット長よ
りも１９ｎｍビット長が短くなっている。これは非線形
遷移シフトによるものであり、本発明により非線形遷移
シフト量が１９ｎｍ、１１％であることが測定できる。
【００３８】図１５に非線形シフト量の記録密度依存性
を示す。ここでは記録ヘッド４種類（ヘッドＡ，ヘッド
Ｂ，ヘッドＣ，ヘッドＤ）について非線形遷移シフト量
を測定した結果を合わせて示す。なお、縦軸は各記録密
度のビット長に対する非線形遷移シフト量の割合であ
る。本発明により非線形遷移シフト量を測定できる。
を示す。ここでは記録ヘッド４種類（ヘッドＡ，ヘッド
Ｂ，ヘッドＣ，ヘッドＤ）について非線形遷移シフト量
を測定した結果を合わせて示す。なお、縦軸は各記録密
度のビット長に対する非線形遷移シフト量の割合であ
る。本発明により非線形遷移シフト量を測定できる。
【００３９】
【実施例９】図１３及び図１４に示すように、記録密度
１５０ｋＦＲＰＩに相当する２ビットパターンを記録
し、記録されている領域のうち、良好に記録されている
部分（ＭＦＭ出力の最大値又は最も多い出力値）を基準
出力Ｍ１とする。次に、再生ＭＦＭ幅を記録トラック幅
にとり、そのＭＦＭ平均出力をＭ２とする。ＰＥ１＝
（Ｍ１一Ｍ２）／Ｍ１×１００により定義する。このよ
うに定義することにより、記録トラック全体としてのパ
ーシャルイレージャーの割合を算出することができる。
１５０ｋＦＲＰＩに相当する２ビットパターンを記録
し、記録されている領域のうち、良好に記録されている
部分（ＭＦＭ出力の最大値又は最も多い出力値）を基準
出力Ｍ１とする。次に、再生ＭＦＭ幅を記録トラック幅
にとり、そのＭＦＭ平均出力をＭ２とする。ＰＥ１＝
（Ｍ１一Ｍ２）／Ｍ１×１００により定義する。このよ
うに定義することにより、記録トラック全体としてのパ
ーシャルイレージャーの割合を算出することができる。
【００４０】図１６に、記録トラック幅全体に占めるパ
ーシャルイレージャーの発生割合の記録密度依存性を示
す。これにより、再生ヘッドの影響を受けない記録磁化
状態を正確に測定することができる。本発明の記録磁化
状態測定装置において、記録保証により非線形遷移シフ
トを除いて、磁化パターンを直接観察することが可能と
なり、パーシャルイレージャーの分離が可能となる。
ーシャルイレージャーの発生割合の記録密度依存性を示
す。これにより、再生ヘッドの影響を受けない記録磁化
状態を正確に測定することができる。本発明の記録磁化
状態測定装置において、記録保証により非線形遷移シフ
トを除いて、磁化パターンを直接観察することが可能と
なり、パーシャルイレージャーの分離が可能となる。
【００４１】
【実施例１０】実施例９と同様にして、記録密度１５０
ｋＦＲＰＩに相当する２ビットパターンを記録し、再生
ＭＦＭ幅を再生ヘッドのトラック幅にとり、ＭＦＭ平均
出力をＭ３とする。ＰＥ２＝（Ｍ１−Ｍ３）／Ｍ１×１
００により定義する。このように定義することにより、
再生トラック全体としてのパーシャルイレージャーの割
合を算出することができる。
ｋＦＲＰＩに相当する２ビットパターンを記録し、再生
ＭＦＭ幅を再生ヘッドのトラック幅にとり、ＭＦＭ平均
出力をＭ３とする。ＰＥ２＝（Ｍ１−Ｍ３）／Ｍ１×１
００により定義する。このように定義することにより、
再生トラック全体としてのパーシャルイレージャーの割
合を算出することができる。
【００４２】図１７に、再生トラック幅に占めるパーシ
ャルイレージャーの発生割合の記録密度依存性を示す。
これにより、再生ヘッドの影響を受けない記録磁化状態
を正確に測定することができ、再生ヘッドを用いて得ら
れた情報との比較をすることができる。
ャルイレージャーの発生割合の記録密度依存性を示す。
これにより、再生ヘッドの影響を受けない記録磁化状態
を正確に測定することができ、再生ヘッドを用いて得ら
れた情報との比較をすることができる。
【００４３】
【実施例１１】実施例９と同様にして基準出力Ｍ１とす
る。次に、再生ＭＦＭ幅を０．０２９μｍにとり、その
ＭＦＭ平均出力をＭ４とする。ＰＥ＝（Ｍ１−Ｍ４）／
Ｍ１×１００により定義する。再生ＭＦＭ幅をトラック
幅方向にずらしながら順次ＭＦＭ平均出力を測定した。
この測定方法により、トラックの局所的なパーシャルイ
レージャーの様子を定量化することができる。
る。次に、再生ＭＦＭ幅を０．０２９μｍにとり、その
ＭＦＭ平均出力をＭ４とする。ＰＥ＝（Ｍ１−Ｍ４）／
Ｍ１×１００により定義する。再生ＭＦＭ幅をトラック
幅方向にずらしながら順次ＭＦＭ平均出力を測定した。
この測定方法により、トラックの局所的なパーシャルイ
レージャーの様子を定量化することができる。
【００４４】図１８に、２種類の媒体について記録密度
１３０ｋＦＲＰＩでのパーシャルイレージャーの発生分
布を示す。横軸はオントラック位置からのオフトラック
量を、縦軸はパーシャルイレージャーの大きさを示す。
また、媒体Ａは保磁力２２００Ｏｅ、Ｂｒδ１５０Ｇμ
ｍ（Ｂｒ：残留磁束密度、δ：磁性膜厚）、保磁力配向
比（円周方向の保磁力／半径方向の保磁力）１．０の特
性を持ち、媒体Ｂは保磁力２２００Ｏｅ、Ｂｒδ１５０
Ｇμｍ、保磁力配向比１．４の特性を持つ。これよりト
ラック端部でのパーシャルイレージャー量が大きいこと
がわかる。したがって、本発明の記録磁化状態測定装置
を用いれば、再生ヘッドの幅よりも狭い局所的な情報を
正確に測定することができる。
１３０ｋＦＲＰＩでのパーシャルイレージャーの発生分
布を示す。横軸はオントラック位置からのオフトラック
量を、縦軸はパーシャルイレージャーの大きさを示す。
また、媒体Ａは保磁力２２００Ｏｅ、Ｂｒδ１５０Ｇμ
ｍ（Ｂｒ：残留磁束密度、δ：磁性膜厚）、保磁力配向
比（円周方向の保磁力／半径方向の保磁力）１．０の特
性を持ち、媒体Ｂは保磁力２２００Ｏｅ、Ｂｒδ１５０
Ｇμｍ、保磁力配向比１．４の特性を持つ。これよりト
ラック端部でのパーシャルイレージャー量が大きいこと
がわかる。したがって、本発明の記録磁化状態測定装置
を用いれば、再生ヘッドの幅よりも狭い局所的な情報を
正確に測定することができる。
【００４５】
【実施例１２】実施例１０と同様にして記録ヘッドの違
いによるパーシャルイレージャーの違いを調べた。トラ
ック幅４μｍの記録ヘッド３種類（ヘッドＡ，ヘッド
Ｂ，ヘッドＣ）を用いて、記録密度８０〜３５０ｋＦＲ
ＰＩの範囲でパーシャルイレージャーを測定した。
いによるパーシャルイレージャーの違いを調べた。トラ
ック幅４μｍの記録ヘッド３種類（ヘッドＡ，ヘッド
Ｂ，ヘッドＣ）を用いて、記録密度８０〜３５０ｋＦＲ
ＰＩの範囲でパーシャルイレージャーを測定した。
【００４６】ＭＦＭ再生幅を３μｍとした場合の結果を
図１９に示す。ここで、ヘッドＡ，ヘッドＢ，ヘッドＣ
はライトギャップ長が異なる。これより、再生ヘッドの
影響を受けない、記録ヘッドの記録能力を測定すること
ができる。
図１９に示す。ここで、ヘッドＡ，ヘッドＢ，ヘッドＣ
はライトギャップ長が異なる。これより、再生ヘッドの
影響を受けない、記録ヘッドの記録能力を測定すること
ができる。
【００４７】
【実施例１３】実施例１１と同様にして記録ヘッドの違
いによるパーシャルイレージャーの違いを調べた。記録
密度２００ｋＦＲＰＩにおいて再生ＭＦＭ幅（０．１２
μｍ）をトラック幅方向にずらしながら順次ＭＦＭ平均
出力を測定し、トラックの局所的なパーシャルイレージ
ャーの様子を定量化した。
いによるパーシャルイレージャーの違いを調べた。記録
密度２００ｋＦＲＰＩにおいて再生ＭＦＭ幅（０．１２
μｍ）をトラック幅方向にずらしながら順次ＭＦＭ平均
出力を測定し、トラックの局所的なパーシャルイレージ
ャーの様子を定量化した。
【００４８】図２０に２種類のヘッドについて記録密度
２００ｋＦＲＰＩでのパーシャルイレージャーの発生分
布を示す。横軸はオントラック位置からオフトラックし
た長さを、縦軸はパーシャルイレージャーの大きさを示
す。ここで、ヘッドＡはコア材料がＮｉＦｅであり、ヘ
ッドＢはコア材料がＦｅＴａＮである。これよりＦｅＴ
ａＮヘッドで記録した場合すべてのトラック内でパーシ
ャルイレージャーが少ないことがわかる。したがって、
本発明の記録磁化状態測定装置を用いれば、再生ヘッド
の幅よりも狭い局所的な情報を正確に測定することがで
きる。
２００ｋＦＲＰＩでのパーシャルイレージャーの発生分
布を示す。横軸はオントラック位置からオフトラックし
た長さを、縦軸はパーシャルイレージャーの大きさを示
す。ここで、ヘッドＡはコア材料がＮｉＦｅであり、ヘ
ッドＢはコア材料がＦｅＴａＮである。これよりＦｅＴ
ａＮヘッドで記録した場合すべてのトラック内でパーシ
ャルイレージャーが少ないことがわかる。したがって、
本発明の記録磁化状態測定装置を用いれば、再生ヘッド
の幅よりも狭い局所的な情報を正確に測定することがで
きる。
【００４９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の記録磁化
状態観察装置によれば、超高密度の記録磁化状態を正確
に把握することができ、超高密度記録用のヘッド、媒
体、Ｒ／Ｗ条件の先行評価を容易に、かつ正確に実施す
ることが可能となる。これに加え、本発明の記録磁化状
態観察装置によれば、各請求項ごとに次のような効果を
奏する。
状態観察装置によれば、超高密度の記録磁化状態を正確
に把握することができ、超高密度記録用のヘッド、媒
体、Ｒ／Ｗ条件の先行評価を容易に、かつ正確に実施す
ることが可能となる。これに加え、本発明の記録磁化状
態観察装置によれば、各請求項ごとに次のような効果を
奏する。
【００５０】請求項１又は２の記録磁化状態観察装置に
よれば、記録ヘッドにより媒体上に形成された記録磁化
パターンの磁気力顕微鏡観察を行い、測定したＭＦＭ像
を定量的に平均化処理を行い、得られたＭＦＭ出力信号
の波形数値解析を行うことにより、ＭＦＭ出力信号の振
幅の平均値と標準偏差を求め、前者を再生出力、後者を
媒体ノイズとして、媒体Ｓ／Ｎを測定することができ
る。しかも、請求項１の記録磁化状態観察装置によれ
ば、ＭＦＭ測定の浮上量依存性から再生ヘッドで再生し
た際の出力の浮上量依存性を測定できる。請求項２の記
録磁化状態観察装置によれば、ＭＦＭ測定の浮上量依存
性から再生ヘッドで再生した際の媒体ノイズの浮上量依
存性を測定できる。
よれば、記録ヘッドにより媒体上に形成された記録磁化
パターンの磁気力顕微鏡観察を行い、測定したＭＦＭ像
を定量的に平均化処理を行い、得られたＭＦＭ出力信号
の波形数値解析を行うことにより、ＭＦＭ出力信号の振
幅の平均値と標準偏差を求め、前者を再生出力、後者を
媒体ノイズとして、媒体Ｓ／Ｎを測定することができ
る。しかも、請求項１の記録磁化状態観察装置によれ
ば、ＭＦＭ測定の浮上量依存性から再生ヘッドで再生し
た際の出力の浮上量依存性を測定できる。請求項２の記
録磁化状態観察装置によれば、ＭＦＭ測定の浮上量依存
性から再生ヘッドで再生した際の媒体ノイズの浮上量依
存性を測定できる。
【００５１】請求項３の記録磁化状態観察装置によれ
ば、トラック幅が２μｍ以下の記録ヘッドで記録を行っ
た際に、再生ヘッドで直接再生できない場合でも出力の
大きさを測定できる。
ば、トラック幅が２μｍ以下の記録ヘッドで記録を行っ
た際に、再生ヘッドで直接再生できない場合でも出力の
大きさを測定できる。
【００５２】請求項４の記録磁化状態観察装置によれ
ば、記録された２ビットパターンに対し、非線形遷移シ
フト量を定量的に測定することができる。
ば、記録された２ビットパターンに対し、非線形遷移シ
フト量を定量的に測定することができる。
【００５３】請求項５又は７の記録磁化状態観察装置に
よれば、磁気力顕微鏡を用いてパーシャルイレージャー
を定量的に測定することができる。
よれば、磁気力顕微鏡を用いてパーシャルイレージャー
を定量的に測定することができる。
【００５４】請求項６又は８の記録磁化状態観察装置に
よれば、磁気力顕微鏡を用いて非線形遷移シフト量とパ
ーシャルイレージャーとを分離できる。
よれば、磁気力顕微鏡を用いて非線形遷移シフト量とパ
ーシャルイレージャーとを分離できる。
【００５５】請求項９又は１０の記録磁化状態観察装置
によれば、記録トラックの内部及び端部などの局所的な
パーシャルイレージャーを測定することができる。
によれば、記録トラックの内部及び端部などの局所的な
パーシャルイレージャーを測定することができる。
【００５６】請求項１１の記録磁化状態観察装置によれ
ば、記録ヘッドの記録能力を測定することができる。
ば、記録ヘッドの記録能力を測定することができる。
【図１】本発明に係る記録磁化状態測定装置の基本的構
成を示す機能ブロック図である。
成を示す機能ブロック図である。
【図２】図１の記録磁化状態測定装置において磁気力顕
微鏡により検出された記録磁化パターンを示す平面図で
ある。
微鏡により検出された記録磁化パターンを示す平面図で
ある。
【図３】図１の記録磁化状態測定装置においてＭＦＭ出
力信号抽出手段によって抽出されたＭＦＭ出力信号を示
す波形図である。
力信号抽出手段によって抽出されたＭＦＭ出力信号を示
す波形図である。
【図４】本発明に係る記録磁化状態測定装置の動作を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図５】従来技術の動作を示すフローチャートである。
【図６】本発明の記録磁化状態測定装置において、Ｂｒ
δの異なる３種類の媒体について、ＭＦＭにより測定し
た媒体Ｓ／Ｎの記録密度依存性を示すグラフである。
δの異なる３種類の媒体について、ＭＦＭにより測定し
た媒体Ｓ／Ｎの記録密度依存性を示すグラフである。
【図７】本発明の記録磁化状態測定装置において、狭ト
ラックヘッド（トラック幅１μｍ）で記録した場合のＭ
ＦＭにより測定した媒体Ｓ／Ｎの記録密度依存性を示す
グラフである。
ラックヘッド（トラック幅１μｍ）で記録した場合のＭ
ＦＭにより測定した媒体Ｓ／Ｎの記録密度依存性を示す
グラフである。
【図８】本発明の記録磁化状態測定装置において、Ｂｒ
δの異なる３種類の媒体について、ＭＦＭにより測定し
た記録密度１０ｋＦＲＰＩにおける媒体Ｓ／Ｎのオフト
ラック特性を示すグラフである。
δの異なる３種類の媒体について、ＭＦＭにより測定し
た記録密度１０ｋＦＲＰＩにおける媒体Ｓ／Ｎのオフト
ラック特性を示すグラフである。
【図９】本発明の記録磁化状態測定装置において、Ｂｒ
δの異なる３種類の媒体について、ＭＦＭにより測定し
た記録密度８０ｋＦＲＰＩにおける媒体Ｓ／Ｎのオフト
ラック特性を示すグラフである。
δの異なる３種類の媒体について、ＭＦＭにより測定し
た記録密度８０ｋＦＲＰＩにおける媒体Ｓ／Ｎのオフト
ラック特性を示すグラフである。
【図１０】本発明の記録磁化状態測定装置において、Ｂ
ｒδの異なる３種類の媒体について、ＭＦＭにより測定
した記録密度１０ｋＦＲＰＩにおける媒体ノイズのオフ
トラック特性を示すグラフである。
ｒδの異なる３種類の媒体について、ＭＦＭにより測定
した記録密度１０ｋＦＲＰＩにおける媒体ノイズのオフ
トラック特性を示すグラフである。
【図１１】本発明の記録磁化状態測定装置において、記
録密度１０ｋＦＲＰＩの磁化パターンで、ディスクとＭ
ＦＭチップ間隔１０ｎｍにおけるＭＦＭ出力を基準にし
た場合のＭＦＭ出力の浮上量依存性を示すグラフであ
る。
録密度１０ｋＦＲＰＩの磁化パターンで、ディスクとＭ
ＦＭチップ間隔１０ｎｍにおけるＭＦＭ出力を基準にし
た場合のＭＦＭ出力の浮上量依存性を示すグラフであ
る。
【図１２】本発明の記録磁化状態測定装置において、再
生ヘッドによって得られた出力信号とＭＦＭによるＭＦ
Ｍ出力信号の関係を示すグラフである。
生ヘッドによって得られた出力信号とＭＦＭによるＭＦ
Ｍ出力信号の関係を示すグラフである。
【図１３】本発明の記録磁化状態測定装置において、磁
気力顕微鏡により検出された記録磁化パターン（記録密
度１５０ｋＦＲＰＩに相当する２ビットパターン）を示
す平面図である。
気力顕微鏡により検出された記録磁化パターン（記録密
度１５０ｋＦＲＰＩに相当する２ビットパターン）を示
す平面図である。
【図１４】本発明の記録磁化状態測定装置において、図
１３の記録磁化パターンから抽出されたＭＦＭ出力信号
を示す波形図である。
１３の記録磁化パターンから抽出されたＭＦＭ出力信号
を示す波形図である。
【図１５】本発明の記録磁化状態測定装置において、４
種類のヘッドについて、ＭＦＭ信号より求めた非線形遷
移シフト量の記録密度依存性を示すグラフである。
種類のヘッドについて、ＭＦＭ信号より求めた非線形遷
移シフト量の記録密度依存性を示すグラフである。
【図１６】本発明の記録磁化状態測定装置において、記
録トラック幅全体に占めるパーシャルイレージャーの発
生割合の記録密度依存性を示すグラフである。
録トラック幅全体に占めるパーシャルイレージャーの発
生割合の記録密度依存性を示すグラフである。
【図１７】本発明の記録磁化状態測定装置において、記
録トラック幅全体に占めるパーシャルイレージャーの発
生割合の記録密度依存性を示すグラフである。
録トラック幅全体に占めるパーシャルイレージャーの発
生割合の記録密度依存性を示すグラフである。
【図１８】本発明の記録磁化状態測定装置において、２
種類の媒体について記録密度１３０ｋＦＲＰＩでのパー
シャルイレージャーのオフトラック方向での発生分布を
示すグラフである。
種類の媒体について記録密度１３０ｋＦＲＰＩでのパー
シャルイレージャーのオフトラック方向での発生分布を
示すグラフである。
【図１９】本発明の記録磁化状態測定装置において、３
種類の記録ヘッドについて、パーシャルイレージャー
（記録能力）の記録密度依存性を示すグラフである。
種類の記録ヘッドについて、パーシャルイレージャー
（記録能力）の記録密度依存性を示すグラフである。
【図２０】本発明の記録磁化状態測定装置において、２
種類のヘッドについて、記録密度２００ｋＦＲＰＩでの
パーシャルイレージャーのオフトラック方向での発生分
布を示すグラフである。
種類のヘッドについて、記録密度２００ｋＦＲＰＩでの
パーシャルイレージャーのオフトラック方向での発生分
布を示すグラフである。
１０ 記録磁化状態測定装置 １２ 磁気力顕微鏡（ＭＦＭ） １４ ＭＦＭ出力信号抽出手段 １６ 波形数値解析手段 Ｄ 媒体 ａ 記録磁化パターン ｂ ＭＦＭ出力信号 ｃ 再生出力 ｄ 媒体ノイズ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−87701（ＪＰ，Ａ) Ｍ．Ａｌｅｘ ａｎｄ Ｊ．Ｓｃｏｔ ｔ，”Ｑｕａｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ ａｎｄ Ｓｐａｔｉａｌ Ｄｉｓｔｒｉ ｂｕｔｉｏｎ ｏｆ Ｎｏｉｓｅ ｉｎ Ｗｒｉｔｔｅｎ Ｔｒａｎｓｉｔｉｏ ｎｓ Ｍｅａｓｕｒｅｄ Ｗｉｔｈ Ｍ ａｇｎｅｔｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒ ｏｓｃｏｐｙ，”ＩＥＥＥ Ｔｒａｎ ｓ．Ｍａｇｎ．，ｖｏｌ33，ｐｐ．2956 −2958，1997 田口ら，”ＭＦＭによる磁化転移性ノ イズおよびパーシャルイレージャーの定 量評価，”信学技報 ＭＲ98−12，1998 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/00,5/84 G01N 37/00 G01R 33/12,33/10
Claims (11)
- 【請求項１】 磁気記録媒体上に形成された記録磁化パ
ターンを検出する磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）と、 この磁気力顕微鏡で検出された記録磁化パターンから、
所定の再生ＭＦＭ幅で記録方向に沿った一次元のＭＦＭ
出力信号を抽出するＭＦＭ出力信号抽出手段と、 このＭＦＭ出力信号抽出手段によって抽出されたＭＦＭ
出力信号の振幅の平均値及び標準偏差をそれぞれ再生出
力及び媒体ノイズとして算出する波形数値解析手段と、 を備えた記録磁化状態測定装置であって、 前記磁気力顕微鏡は、当該磁気力顕微鏡の検出用チップ
と前記磁気記録媒体との距離ごとに前記記録磁化パター
ンを検出し、 前記ＭＦＭ出力信号抽出手段は、当該距離ごとに前記Ｍ
ＦＭ出力信号を抽出し、 前記波形数値解析手段は、当該距離ごとに前記再生出力
を算出する、ことを特徴とする 記録磁化状態測定装置。 - 【請求項２】 磁気記録媒体上に形成された記録磁化パ
ターンを検出する磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）と、 この磁気力顕微鏡で検出された記録磁化パターンから、
所定の再生ＭＦＭ幅で記録方向に沿った一次元のＭＦＭ
出力信号を抽出するＭＦＭ出力信号抽出手段と、 このＭＦＭ出力信号抽出手段によって抽出されたＭＦＭ
出力信号の振幅の平均値及び標準偏差をそれぞれ再生出
力及び媒体ノイズとして算出する波形数値解析手段と、 を備えた記録磁化状態測定装置であって、 前記磁気力顕微鏡は、当該磁気力顕微鏡の検出用チップ
と前記磁気記録媒体との距離ごとに前記記録磁化パター
ンを検出し、 前記ＭＦＭ出力信号抽出手段は、当該距離ごとに前記Ｍ
ＦＭ出力信号を抽出し、 前記波形数値解析手段は、当該距離ごとに前記媒体ノイ
ズを算出する、ことを特徴とする 記録磁化状態測定装置。 - 【請求項３】 磁気記録媒体上に形成された記録磁化パ
ターンを検出する磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）と、 この磁気力顕微鏡で検出された記録磁化パターンから、
所定の再生ＭＦＭ幅で記録方向に沿った一次元のＭＦＭ
出力信号を抽出するＭＦＭ出力信号抽出手段と、 このＭＦＭ出力信号抽出手段によって抽出されたＭＦＭ
出力信号の振幅の平均値を算出する波形数値解析手段と
を備え、 異なる記録トラック幅Ｗｗ１，Ｗｗ２について、前記平
均値をそれぞれＭｆ１，Ｍｆ２、再生ヘッドによる再生
出力をそれぞれＯｒ１，Ｏｒ２とし、 再生出力Ｏｒ１が既知で、再生出力Ｏｒ２が未知である
とき、 前記波形数値解析手段は、次式 Ｏｒ２＝Ｏｒ１×Ｍｆ２×Ｗｗ２／（Ｍｆ１×Ｗｗ１） により再生出力Ｏｒ２を算出する、 記録磁化状態測定装置。 - 【請求項４】 前記記録磁化パターンが２ビットパター
ンである、請求項３記載の記録磁化状態測定装置。 - 【請求項５】 磁気記録媒体上に形成された記録磁化パ
ターンを検出する磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）と、 この磁気力顕微鏡で検出された記録磁化パターンから、
所定の再生ＭＦＭ幅で記録方向に沿った一次元のＭＦＭ
出力信号を抽出するＭＦＭ出力信号抽出手段と、 このＭＦＭ出力信号抽出手段によって抽出されたＭＦＭ
出力信号の振幅の平均値を算出する波形数値解析手段と
を備え、 前記記録磁化パターンのうち良好に記録されている部分
の前記平均値をＭ１、前記再生ＭＦＭ幅を記録トラック
幅に一致させたときの前記平均値をＭ２、パーシャルイ
レージャーの割合をＰＥ１〔％〕としたとき、 前記波形数値解析手段は、次式 ＰＥ１＝（Ｍ１一Ｍ２）／Ｍ１×１００ により記録トラック全体としてのパーシャルイレージャ
ーの割合を算出する、記録磁化状態測定装置。 - 【請求項６】 前記記録磁化パターンが２ビットパター
ンである、請求項５記載の記録磁化状態測定装置。 - 【請求項７】 磁気記録媒体上に形成された記録磁化パ
ターンを検出する磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）と、 この磁気力顕微鏡で検出された記録磁化パターンから、
所定の再生ＭＦＭ幅で記録方向に沿った一次元のＭＦＭ
出力信号を抽出するＭＦＭ出力信号抽出手段と、 このＭＦＭ出力信号抽出手段によって抽出されたＭＦＭ
出力信号の振幅の平均値を算出する波形数値解析手段と
を備え、 前記記録磁化パターンのうち良好に記録されている部分
の前記平均値をＭ１、前記再生ＭＦＭ幅を再生ヘッドの
トラック幅に一致させたときの前記平均値をＭ３、パー
シャルイレージャーの割合をＰＥ２〔％〕としたとき、 前記波形数値解析手段は、次式 ＰＥ２＝（Ｍ１一Ｍ３）／Ｍ１×１００ により再生トラック全体としてのパーシャルイレージャ
ーの割合を算出する、記録磁化状態測定装置。 - 【請求項８】 前記記録磁化パターンが２ビットパター
ンである、請求項７記載の記録磁化状態測定装置。 - 【請求項９】 磁気記録媒体上に形成された記録磁化パ
ターンを検出する磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）と、 この磁気力顕微鏡で検出された記録磁化パターンから、
所定の再生ＭＦＭ幅で記録方向に沿った一次元のＭＦＭ
出力信号を抽出するＭＦＭ出力信号抽出手段と、 このＭＦＭ出力信号抽出手段によって抽出されたＭＦＭ
出力信号の振幅の平均値を算出する波形数値解析手段と
を備え、 前記記録磁化パターンのうち良好に記録されている部分
の前記ＭＦＭ出力信号の前記平均値をＭ１、前記再生Ｍ
ＦＭ幅を１ｎｍ〜５００ｎｍのいずれかにしたときの前
記ＭＦＭ出力信号の前記平均値をＭ４、パーシャルイレ
ージャーの割合をＰＥ３〔％〕としたとき、 前記波形数値解析手段は、次式 ＰＥ３＝（Ｍ１一Ｍ４）／Ｍ１×１００ によりパーシャルイレージャーの割合を算出する、 記録磁化状態測定装置。 - 【請求項１０】 前記記録磁化パターンが２ビットパタ
ーンである、請求項９記載の記録磁化状態測定装置。 - 【請求項１１】 前記記録磁化パターンは、異なる種類
の記録ヘッドによって形成されたものであり、 前記ＭＦＭ出力信号抽出手段は、当該記録ヘッドの種類
ごとに前記ＭＦＭ出力信号を抽出し、 前記波形数値解析手段は、当該記録ヘッドの種類ごとに
前記再生出力を算出する、 請求項５、６、７、８、９又は１０記載の記録磁化状態
測定装置。
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|---|---|---|---|
| JP9005357A JP3016368B2 (ja) | 1997-01-16 | 1997-01-16 | 記録磁化状態測定装置 |
| US09/004,023 US6081394A (en) | 1997-01-16 | 1998-01-07 | Recorded magnetization state measuring method and device |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP9005357A JP3016368B2 (ja) | 1997-01-16 | 1997-01-16 | 記録磁化状態測定装置 |
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|---|---|
| JPH10198902A JPH10198902A (ja) | 1998-07-31 |
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|---|---|---|---|
| JP9005357A Expired - Fee Related JP3016368B2 (ja) | 1997-01-16 | 1997-01-16 | 記録磁化状態測定装置 |
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-
1997
- 1997-01-16 JP JP9005357A patent/JP3016368B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-01-07 US US09/004,023 patent/US6081394A/en not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (2)
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|---|
| Ｍ．Ａｌｅｘ ａｎｄ Ｊ．Ｓｃｏｔｔ，"Ｑｕａｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ ａｎｄ Ｓｐａｔｉａｌ Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ ｏｆ Ｎｏｉｓｅ ｉｎ Ｗｒｉｔｔｅｎ Ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎｓ Ｍｅａｓｕｒｅｄ Ｗｉｔｈ Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ，"ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ．Ｍａｇｎ．，ｖｏｌ３３，ｐｐ．２９５６−２９５８，１９９７ |
| 田口ら，"ＭＦＭによる磁化転移性ノイズおよびパーシャルイレージャーの定量評価，"信学技報 ＭＲ９８−１２，１９９８ |
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