JPS62288585A - 磁気記録媒体の観察装置 - Google Patents
磁気記録媒体の観察装置Info
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- JPS62288585A JPS62288585A JP13185286A JP13185286A JPS62288585A JP S62288585 A JPS62288585 A JP S62288585A JP 13185286 A JP13185286 A JP 13185286A JP 13185286 A JP13185286 A JP 13185286A JP S62288585 A JPS62288585 A JP S62288585A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気信号の記録された磁気記録媒体において
、記録信号のトラック、記録ビット等の媒体の磁化状態
を観察する装置に関する。
、記録信号のトラック、記録ビット等の媒体の磁化状態
を観察する装置に関する。
現在、磁気ディスク装置、磁気テープ装置など磁気記録
用媒体に情報の記録再生を行う種々の装置が使用されて
いる。磁気信号の記録された媒体において、媒体のば化
状態を観略する方法としては、従来磁性微粉末コロイド
液を用いて現像し、光学的に観察する方法が一般的に行
われている。
用媒体に情報の記録再生を行う種々の装置が使用されて
いる。磁気信号の記録された媒体において、媒体のば化
状態を観略する方法としては、従来磁性微粉末コロイド
液を用いて現像し、光学的に観察する方法が一般的に行
われている。
この方法は有機浴媒（例えば炭化水素のフルオルクロル
置換体類）に磁性微粉末を分散させたコロイド溶液を使
用し、このコロイド溶液を媒体表面に塗布したり、また
媒体をこのコロイド溶液中に浸漬して、媒体の磁化され
た部分に磁性微粉末を付着させ、磁化状態を顕在化させ
るものである。。
置換体類）に磁性微粉末を分散させたコロイド溶液を使
用し、このコロイド溶液を媒体表面に塗布したり、また
媒体をこのコロイド溶液中に浸漬して、媒体の磁化され
た部分に磁性微粉末を付着させ、磁化状態を顕在化させ
るものである。。
この方法では、最小信号幅数μｍ程度まで媒体の磁化状
態を観察することが可能であるが、媒体に直接磁性粉を
付着させるため、媒体の再利用は不可能であり、破壊観
察になるという欠点がある。
態を観察することが可能であるが、媒体に直接磁性粉を
付着させるため、媒体の再利用は不可能であり、破壊観
察になるという欠点がある。
磁気記録媒体の非破壊の観測方法としては、媒体と秋田
性薄膜とを近接させ媒体の磁化状態を秋田性薄膜に転写
し、磁気光学効果を利用して観測する方法が知られてい
る。（昭和４３年電気４学会連合大会ｐ２２４５．［子
通信学会論文誌Ｃ；Ｖｏｌ ６２ 、 ＮＯ，１１、Ｐ
７４１〜Ｐ７４７ 、 ’ ７９）〔発明が解決しよう
とする問題点〕 上記従来技術において、軟出性薄膜としてコバルトやパ
ーマロイを用い縦カー効果もしくは横カー効果を利用し
て観察する場合、カー回転角が小さく十分な解像度が得
にくく、また入射光および出力光を被観察面に対して傾
斜させるため、高倍率の観察が困難という欠点を有して
いる。一方、垂直硼化を有する磁性ガーネット膜や希土
類−遷移金属非晶質薄膜を用いファラデー効果もしくは
極力−効果を利用して観察する場合、磁気記録媒体上に
漏洩する垂直磁界の小さい部分（記録トラック間の間隔
、記録ビット間の間隔など）では垂直硼化膜の迷路状磁
区（ｍａｚｅ ｄｏｍａｉｎ ）が観察されるため、垂
直磁化膜上に転写された記録信号のトラックおよびビッ
トのエツジ部分が不明確になるという問題を有している
。
性薄膜とを近接させ媒体の磁化状態を秋田性薄膜に転写
し、磁気光学効果を利用して観測する方法が知られてい
る。（昭和４３年電気４学会連合大会ｐ２２４５．［子
通信学会論文誌Ｃ；Ｖｏｌ ６２ 、 ＮＯ，１１、Ｐ
７４１〜Ｐ７４７ 、 ’ ７９）〔発明が解決しよう
とする問題点〕 上記従来技術において、軟出性薄膜としてコバルトやパ
ーマロイを用い縦カー効果もしくは横カー効果を利用し
て観察する場合、カー回転角が小さく十分な解像度が得
にくく、また入射光および出力光を被観察面に対して傾
斜させるため、高倍率の観察が困難という欠点を有して
いる。一方、垂直硼化を有する磁性ガーネット膜や希土
類−遷移金属非晶質薄膜を用いファラデー効果もしくは
極力−効果を利用して観察する場合、磁気記録媒体上に
漏洩する垂直磁界の小さい部分（記録トラック間の間隔
、記録ビット間の間隔など）では垂直硼化膜の迷路状磁
区（ｍａｚｅ ｄｏｍａｉｎ ）が観察されるため、垂
直磁化膜上に転写された記録信号のトラックおよびビッ
トのエツジ部分が不明確になるという問題を有している
。
更に本方式では、軟磁性膜と磁気記録媒体との密着を常
に一定とすることが困難であり、また磁化パターンのエ
ツジの位置を正確に検出することが困難であり、缶化パ
ターンの位置、形状の計測には適さないという問題を有
している。
に一定とすることが困難であり、また磁化パターンのエ
ツジの位置を正確に検出することが困難であり、缶化パ
ターンの位置、形状の計測には適さないという問題を有
している。
本発明は、上述のような従来技術が有する問題を解決し
、情報の記録された磁気記録媒体の磁化状態を非破壊か
つ高精度に計測する磁気記録媒体の観察装置を 提供す
ることを目的とする。
、情報の記録された磁気記録媒体の磁化状態を非破壊か
つ高精度に計測する磁気記録媒体の観察装置を 提供す
ることを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は磁気記録媒体と、
該磁気記録媒体と接触し該磁気記録媒体に記録された磁
化状態が転写される磁気転写板と光ビームを出射する光
源と、該光源から出射した光ビームを該磁気転写板に照
射する光学系と、該磁気転写板に照射した元ビームを検
知して磁気光学効果を利用して該磁気記録媒体の磁化状
態を観察する手段と、該磁気転写板に外部磁界を印加す
る手段とを有することを特徴とする。更に、上記目的を
達成する別の構成として、磁気記録媒体と該磁気記録媒
体と接触し、該磁気記録媒体に記録された磁化状態が転
写されろ磁気転写板と、光ビームを出射する光源と、該
光源から出射した光ビームを該磁気転写板に照射する光
学系と、該磁気転写板に照射した光ビームを検知して＄
気光学効果を利用して該磁気記録媒体の磁化状態を観察
する手段と、該磁気記録媒体を移動させる手段と、該磁
気記録媒体と該磁気転写板とを密着接着させる手段とを
有することを特徴とする磁気記録媒体の観察装置がある
。
該磁気記録媒体と接触し該磁気記録媒体に記録された磁
化状態が転写される磁気転写板と光ビームを出射する光
源と、該光源から出射した光ビームを該磁気転写板に照
射する光学系と、該磁気転写板に照射した元ビームを検
知して磁気光学効果を利用して該磁気記録媒体の磁化状
態を観察する手段と、該磁気転写板に外部磁界を印加す
る手段とを有することを特徴とする。更に、上記目的を
達成する別の構成として、磁気記録媒体と該磁気記録媒
体と接触し、該磁気記録媒体に記録された磁化状態が転
写されろ磁気転写板と、光ビームを出射する光源と、該
光源から出射した光ビームを該磁気転写板に照射する光
学系と、該磁気転写板に照射した光ビームを検知して＄
気光学効果を利用して該磁気記録媒体の磁化状態を観察
する手段と、該磁気記録媒体を移動させる手段と、該磁
気記録媒体と該磁気転写板とを密着接着させる手段とを
有することを特徴とする磁気記録媒体の観察装置がある
。
本発明の第一の構成によれば、外部磁界を印加する手段
を有しているため、磁気記録媒体の磁気記録信号の磁気
転写板への転写性を改善することができ、また磁気記録
媒体からの漏洩磁界の影響を受けない部分に観察される
迷路状磁区を交流磁界により消失できるため、磁気記録
媒体の記録信号の状態を明確に観察することができる。
を有しているため、磁気記録媒体の磁気記録信号の磁気
転写板への転写性を改善することができ、また磁気記録
媒体からの漏洩磁界の影響を受けない部分に観察される
迷路状磁区を交流磁界により消失できるため、磁気記録
媒体の記録信号の状態を明確に観察することができる。
次に、本発明の第二の構成に よれば、従来の如く単に
磁気記録媒体に磁気転写板を搭載した場合に比べて、よ
り均一に磁気記録媒体と磁気転写板とを密着させること
ができるため、磁気記録媒体の磁化状態をより正確に観
察することができる。
磁気記録媒体に磁気転写板を搭載した場合に比べて、よ
り均一に磁気記録媒体と磁気転写板とを密着させること
ができるため、磁気記録媒体の磁化状態をより正確に観
察することができる。
更に、移動手段により、磁気記録媒体表面の所定位置に
光ビームを絞り込むことができるため、磁気記録媒体表
面の所定位置の磁化状態を正確に観察することができる
。
光ビームを絞り込むことができるため、磁気記録媒体表
面の所定位置の磁化状態を正確に観察することができる
。
以下、本発明の実施例を図面により説明する。
第１図は本発明に係る磁気記録媒体の観察装置の第一実
施例を示す図である。１は被観察体である磁気記録媒体
である。磁気記録媒体１の磁気記録方式としては垂直記
録のみならず面内記録であっても良く、これは垂直磁化
を有する軟磁性膜に磁気記録媒体１０磁化状態を転写せ
しめる場合、磁化の垂直成分によって軟磁性膜を磁化す
ることになるが、面内記録方式の場合でも缶化の垂直成
分が存在するからである。
施例を示す図である。１は被観察体である磁気記録媒体
である。磁気記録媒体１の磁気記録方式としては垂直記
録のみならず面内記録であっても良く、これは垂直磁化
を有する軟磁性膜に磁気記録媒体１０磁化状態を転写せ
しめる場合、磁化の垂直成分によって軟磁性膜を磁化す
ることになるが、面内記録方式の場合でも缶化の垂直成
分が存在するからである。
２は磁気光学効果を有する磁気転写板である。
磁気転写板２は磁気記録媒体１の表面に接触するように
設けられ、磁気転写板２の磁気記録媒体と対向する面に
は垂直磁化を有する軟磁性膜が被着されている。軟磁性
膜としてはＧｄＦｅ 、ＧｄＣｏ 、ＴｂＦ１４の希土
類−遷移金属非晶質薄膜、（ＹＳｍ）ｓ （ＦｅＧａ）
ｓＯ１□等の磁性ガーネット膜が適している。第２図は
希土類−遷移金属非晶質薄膜を被着した磁気転写板２の
構造例を示したものであり、０．２〜１ｍ厚のガラス基
板２ａ上に軟磁性膜２ｂとして、例えばα１〜α３μｍ
厚の＜；ａＣＯをスパッタリングにより形成し、さらに
保護膜２Ｃとして例えば１〜１０μｍ。
設けられ、磁気転写板２の磁気記録媒体と対向する面に
は垂直磁化を有する軟磁性膜が被着されている。軟磁性
膜としてはＧｄＦｅ 、ＧｄＣｏ 、ＴｂＦ１４の希土
類−遷移金属非晶質薄膜、（ＹＳｍ）ｓ （ＦｅＧａ）
ｓＯ１□等の磁性ガーネット膜が適している。第２図は
希土類−遷移金属非晶質薄膜を被着した磁気転写板２の
構造例を示したものであり、０．２〜１ｍ厚のガラス基
板２ａ上に軟磁性膜２ｂとして、例えばα１〜α３μｍ
厚の＜；ａＣＯをスパッタリングにより形成し、さらに
保護膜２Ｃとして例えば１〜１０μｍ。
のＳ二０２膜を被着しである。第３図は母性ガーネット
膜を被着した磁気転写板２の構造例を示したものであり
、０．２〜０．５−厚のＧｄＧａガーネット基板２ａ’
上に軟磁性膜２ｂ’として１例えば約５μｍ厚の（ＹＳ
ｍ） ｓ（ＦｅＧａ）ｉｏｔａを被着し、さらに反射膜
２ｄ’および保護膜２ｃ’を被着させた構造となってい
る。
膜を被着した磁気転写板２の構造例を示したものであり
、０．２〜０．５−厚のＧｄＧａガーネット基板２ａ’
上に軟磁性膜２ｂ’として１例えば約５μｍ厚の（ＹＳ
ｍ） ｓ（ＦｅＧａ）ｉｏｔａを被着し、さらに反射膜
２ｄ’および保護膜２ｃ’を被着させた構造となってい
る。
前記磁気転写板２を磁気記録媒体１に接触させると、磁
気記録媒体１の磁気記録信号から生じる漏洩占界の垂直
成分によって、垂直磁化を有する軟磁性膜２ ｂ 、
２ｂ’の迷路状磁区（ｍａｚｅ ｄｏｒｎａｉｎ）の磁
壁が移動し、磁気記録媒体１の磁気記録信号を転写する
ことになる。
気記録媒体１の磁気記録信号から生じる漏洩占界の垂直
成分によって、垂直磁化を有する軟磁性膜２ ｂ 、
２ｂ’の迷路状磁区（ｍａｚｅ ｄｏｒｎａｉｎ）の磁
壁が移動し、磁気記録媒体１の磁気記録信号を転写する
ことになる。
３は磁気記録媒体１の磁気記録信号を転写した軟磁性膜
２ ｂ 、 ２ｂ’の磁化状態を磁気光学効果によって
観察するための光学系であり、光源３ａ（例えば水銀ラ
ンプ）、偏光子３ｂ、ビームスプリッタ３ｃ、対物レン
ズ３ｄ、検光子３ｅ、接眼レンズ３ｆから構成される。
２ ｂ 、 ２ｂ’の磁化状態を磁気光学効果によって
観察するための光学系であり、光源３ａ（例えば水銀ラ
ンプ）、偏光子３ｂ、ビームスプリッタ３ｃ、対物レン
ズ３ｄ、検光子３ｅ、接眼レンズ３ｆから構成される。
光源６ａから発生した元を偏光子３ｂにより直線偏光に
して、ビームスプリッタ３ｃ、対物レンズ３ｄを介して
磁気転写板２に集光され、磁気転写板２に被着せしめた
垂直磁化を有する軟磁性膜２ ｂ 、 ２ ｂ’の磁化
方向によって入射光の偏光面が右または左に回転し、検
光子３ｅを介することにより、接眼レンズ５ｆで軟磁性
膜２ ｂ 、 ２ ｂ’の８化状態が観察される。
して、ビームスプリッタ３ｃ、対物レンズ３ｄを介して
磁気転写板２に集光され、磁気転写板２に被着せしめた
垂直磁化を有する軟磁性膜２ ｂ 、 ２ ｂ’の磁化
方向によって入射光の偏光面が右または左に回転し、検
光子３ｅを介することにより、接眼レンズ５ｆで軟磁性
膜２ ｂ 、 ２ ｂ’の８化状態が観察される。
４は、軟磁性膜２ ｂ 、 ２ ｂ’に８界を供給する
ための励磁コイルである。この励磁コイル４に交流電流
を印加し、軟磁性膜２ ｂ 、 ２ ｂ’に振幅１０〜
１０００ｅの交流磁界を供給することにより、軟磁性膜
２ ｂ 、 ２ ｂ’の迷路状磁区が揺動され、磁気記
録媒体１の磁気記録信号の軟磁性膜２ ｂ 、 ２ ｂ
’への転写性を向上せしめることができる。第４図は磁
気記録媒体１としてフロッピディスク、磁気転写板２と
して０．４■厚のＧｄＧａガーネット基板上に４．６μ
ｍ厚の（ＹＳｍ） ｓ （ＦｅＧａ） １１０１！の硼
性ガーネｙ ） （保母カニ Ｑ、５０ｅ 、 ＨＥ区
＠ ： ４．８μｍ ）および３Ａｍ厚のＭ膜、・３μ
ｍ厚のＳｉｇｈ膜を被着せしめたものを用い、磁性ガー
ネットの磁化状態の観察例を示したものである。第４図
（ａ）は、磁気記録媒体１に磁気転写板２を接触させた
直後の観察例、第４図（ｂ）は、実効値８００ｅの交流
磁界（５０Ｈ２）を印加した時の観察例、第４図（ｃ）
は交流磁界を解除した後の観察例を示したものである。
ための励磁コイルである。この励磁コイル４に交流電流
を印加し、軟磁性膜２ ｂ 、 ２ ｂ’に振幅１０〜
１０００ｅの交流磁界を供給することにより、軟磁性膜
２ ｂ 、 ２ ｂ’の迷路状磁区が揺動され、磁気記
録媒体１の磁気記録信号の軟磁性膜２ ｂ 、 ２ ｂ
’への転写性を向上せしめることができる。第４図は磁
気記録媒体１としてフロッピディスク、磁気転写板２と
して０．４■厚のＧｄＧａガーネット基板上に４．６μ
ｍ厚の（ＹＳｍ） ｓ （ＦｅＧａ） １１０１！の硼
性ガーネｙ ） （保母カニ Ｑ、５０ｅ 、 ＨＥ区
＠ ： ４．８μｍ ）および３Ａｍ厚のＭ膜、・３μ
ｍ厚のＳｉｇｈ膜を被着せしめたものを用い、磁性ガー
ネットの磁化状態の観察例を示したものである。第４図
（ａ）は、磁気記録媒体１に磁気転写板２を接触させた
直後の観察例、第４図（ｂ）は、実効値８００ｅの交流
磁界（５０Ｈ２）を印加した時の観察例、第４図（ｃ）
は交流磁界を解除した後の観察例を示したものである。
本発明の第１の構成の特徴は、磁気転写板２！こ変動す
る外部磁界を印加せしめ、磁気転写板２の転写性を向上
せしめるものであり、例えば第５図〜第１２図に示す。
る外部磁界を印加せしめ、磁気転写板２の転写性を向上
せしめるものであり、例えば第５図〜第１２図に示す。
種々の励磁方法によっても同様の効果が得られる。第５
図は本発明の第２の実施例であり、２つの励磁コイル４
＆ ｒ ４ ａ’を磁気転写板２の上下に対向させて
ヘルムホルツ型に配置したものである。第６図は本発明
の第３の実施例であり、励磁コイル４ｂを磁気転写板２
の上部に配置したものである。第７図は本発明の第４の
実施例であり、励磁コイル４ｃを磁気転写板２の下部に
配置したものである。第８図は本発明の第５の実施例で
あり、永久磁石５ａを用いた場合の実施例を示したもの
である。この場合永久磁石５ａを上下に移動させること
により磁気転写板２に変動研界を印加することができる
。第９図は本発明の第６の実施例であり２つのドーナツ
型永久磁石５ ｂ 、 ５ ｂ’を用いた場合である。
図は本発明の第２の実施例であり、２つの励磁コイル４
＆ ｒ ４ ａ’を磁気転写板２の上下に対向させて
ヘルムホルツ型に配置したものである。第６図は本発明
の第３の実施例であり、励磁コイル４ｂを磁気転写板２
の上部に配置したものである。第７図は本発明の第４の
実施例であり、励磁コイル４ｃを磁気転写板２の下部に
配置したものである。第８図は本発明の第５の実施例で
あり、永久磁石５ａを用いた場合の実施例を示したもの
である。この場合永久磁石５ａを上下に移動させること
により磁気転写板２に変動研界を印加することができる
。第９図は本発明の第６の実施例であり２つのドーナツ
型永久磁石５ ｂ 、 ５ ｂ’を用いた場合である。
磁気転写板２の上下に対向する永久磁石５ ｂ 、 ５
ｂ’は連動して上下方向に移動させる機構を有してい
る。
ｂ’は連動して上下方向に移動させる機構を有してい
る。
上記の実施例に訃いては、７ｉ［Ｌ転写板２に転写され
た硼化パターンを光学系３により観察する場合、光学系
３の視野内においては主として垂直磁界（磁気転写板２
０面に垂直な磁界）が発生するが磁界の方向は特に垂直
磁界に限定されるものではない。
た硼化パターンを光学系３により観察する場合、光学系
３の視野内においては主として垂直磁界（磁気転写板２
０面に垂直な磁界）が発生するが磁界の方向は特に垂直
磁界に限定されるものではない。
第１０図は、磁気転写板２に任意の磁界を発生させるた
めの本発明の第７の実施例であり、３組の対向する励磁
コイルから々す、それぞれ磁気転写板２の上下に配置さ
れた励磁コイル４ ｄ ｔ ４ ｄ’、左右に配置され
た励磁コイル４ ｅ ｅ ’ ｅ′、前後に配置された
励磁コイル４ｆ（前側の励磁コイルは省略しである）は
ヘルムホルツコイルの位置に配置されている。
めの本発明の第７の実施例であり、３組の対向する励磁
コイルから々す、それぞれ磁気転写板２の上下に配置さ
れた励磁コイル４ ｄ ｔ ４ ｄ’、左右に配置され
た励磁コイル４ ｅ ｅ ’ ｅ′、前後に配置された
励磁コイル４ｆ（前側の励磁コイルは省略しである）は
ヘルムホルツコイルの位置に配置されている。
第１１図は、同じ大きさの３組の励磁コイル４ｇ。
４ ｇ’ ｒ ４ ｈ ＋ ４ ｈ’ ＋ ４１ （前
側の励磁コイルは省略）で構成した本発明の第８の実施
例を示したものである。また第１２図は本発明の第９の
実施例を示したものであり、同じ大きさの２組の励磁コ
イル４ｊ、４ｊ’、４に、４に’と試料６を相対的に回
転させることにより、任意の８界を凪気転写板２に発生
させることができる。
側の励磁コイルは省略）で構成した本発明の第８の実施
例を示したものである。また第１２図は本発明の第９の
実施例を示したものであり、同じ大きさの２組の励磁コ
イル４ｊ、４ｊ’、４に、４に’と試料６を相対的に回
転させることにより、任意の８界を凪気転写板２に発生
させることができる。
次に本発明の第１０の実施例を第１３図に基づ騒て説明
する。１は被計測体の一例である磁気記録媒体であり、
２は磁気光学効果を有する磁気転写板である。磁気転写
板２は磁気記録媒体１と対向する面に軟磁性膜が被着さ
れており、この軟磁性膜としては磁気光学効果の大きい
点から垂直磁化を有するものが好適であり、例えばＧｄ
Ｆｅ 、ＧｄＣｏ 、ＴｂＦｅ等の希土類−遷移金属非
晶質膜、（ＹＳｍ） ＠ （ＦｅＧａ ） ｇ Ｏｈ＊
等の鏝性ガーネット膜が例示される。
する。１は被計測体の一例である磁気記録媒体であり、
２は磁気光学効果を有する磁気転写板である。磁気転写
板２は磁気記録媒体１と対向する面に軟磁性膜が被着さ
れており、この軟磁性膜としては磁気光学効果の大きい
点から垂直磁化を有するものが好適であり、例えばＧｄ
Ｆｅ 、ＧｄＣｏ 、ＴｂＦｅ等の希土類−遷移金属非
晶質膜、（ＹＳｍ） ＠ （ＦｅＧａ ） ｇ Ｏｈ＊
等の鏝性ガーネット膜が例示される。
ここで磁気転写板の構造は第２図又は第３図に示したも
のがある。
のがある。
前記磁気記録媒体１と磁気転写板２は真空吸着装置３０
に装着される。磁気転写板２と真空吸着装置３０とはパ
ツキン３０ｂを介して装着され、真空ポンプ等により真
空吸着装置３０の内部を減圧することにより磁気転写板
２と磁気記録媒体１は真空吸着装置３０の平滑面３０ａ
に押し付けられる。このことによって磁気記録媒体１の
全面にわたって磁気転写板２と密着接触させ、磁気記録
媒体１の磁気記録信号から生じる漏洩磁界の垂直成分に
よって、垂直磁化を有する軟磁性膜２ ｂ 、 ２ ｂ
’が礎化し、磁気記録媒体１の磁気記録信号を転写する
ことになる。
に装着される。磁気転写板２と真空吸着装置３０とはパ
ツキン３０ｂを介して装着され、真空ポンプ等により真
空吸着装置３０の内部を減圧することにより磁気転写板
２と磁気記録媒体１は真空吸着装置３０の平滑面３０ａ
に押し付けられる。このことによって磁気記録媒体１の
全面にわたって磁気転写板２と密着接触させ、磁気記録
媒体１の磁気記録信号から生じる漏洩磁界の垂直成分に
よって、垂直磁化を有する軟磁性膜２ ｂ 、 ２ ｂ
’が礎化し、磁気記録媒体１の磁気記録信号を転写する
ことになる。
３は磁気記録媒体１の磁気記録信号を転写した軟磁性膜
２ ｂ 、 ２ ｂ’の磁化状態を磁気光学効果ζごよ
って検出するための光学系であり、光源３ａ（例えば水
銀ランプ）、偏光子３ｂ、ビームスフリツタ３ｃ、対物
レンズ５ｄ、検光子３ｅ、撮像装置７０から構成される
。光源３８力）ら発生した光を偏光子３ｂにより直線偏
光にして、ビームスプリッタ５ｃ、対物レンズ５ｄを介
して磁気転写板２に集光され、磁気転写板２に被着せし
めた垂直磁化を有する軟磁性膜２ ｂ 、 ２ ｂ’の
缶化方向によって入射光の偏光面が右または左に回転し
、検光子６ｅを介することにより、撮像装置７ｏに軟磁
性膜２ ｂ 、 ２ ｂ’の磁化パターンが検出される
。
２ ｂ 、 ２ ｂ’の磁化状態を磁気光学効果ζごよ
って検出するための光学系であり、光源３ａ（例えば水
銀ランプ）、偏光子３ｂ、ビームスフリツタ３ｃ、対物
レンズ５ｄ、検光子３ｅ、撮像装置７０から構成される
。光源３８力）ら発生した光を偏光子３ｂにより直線偏
光にして、ビームスプリッタ５ｃ、対物レンズ５ｄを介
して磁気転写板２に集光され、磁気転写板２に被着せし
めた垂直磁化を有する軟磁性膜２ ｂ 、 ２ ｂ’の
缶化方向によって入射光の偏光面が右または左に回転し
、検光子６ｅを介することにより、撮像装置７ｏに軟磁
性膜２ ｂ 、 ２ ｂ’の磁化パターンが検出される
。
前記した真空吸着装置３ｏは、例えばＸＹステージ等の
移動装置４０に搭載されており、測長器５ｏにより移動
装置４０の移動量が計測される。測長器靭の出力信号な
らびに例えばＣＣＤ撮像素子からなる撮像装置７０から
の出力信号はデータ処理装置６゜に入力され、撮像装置
７０の視野内における磁化パターンの位置、形状の計測
データと測長器５ｏからの移動量データから乎ス記録媒
体１の任意の位置における磁化パターンの位置および形
状が計測される。
移動装置４０に搭載されており、測長器５ｏにより移動
装置４０の移動量が計測される。測長器靭の出力信号な
らびに例えばＣＣＤ撮像素子からなる撮像装置７０から
の出力信号はデータ処理装置６゜に入力され、撮像装置
７０の視野内における磁化パターンの位置、形状の計測
データと測長器５ｏからの移動量データから乎ス記録媒
体１の任意の位置における磁化パターンの位置および形
状が計測される。
なお、本実施例では真空吸着装置ｓｏを移動装置４０に
搭載した構成を例示したが、光学系３を移動装置４０に
搭載しても同様の効果を得るのは言うまでもない。
搭載した構成を例示したが、光学系３を移動装置４０に
搭載しても同様の効果を得るのは言うまでもない。
以上述べたように、本発明によれば情報の記録された磁
気記録媒体の８化状態を非破壊かつ高精度に計測する磁
気記録媒体の観察装置を提供できるという効果がある。
気記録媒体の８化状態を非破壊かつ高精度に計測する磁
気記録媒体の観察装置を提供できるという効果がある。
第１図は本発明に係る磁気記録媒体の観察装置の第一の
実施例を示す図、第 ２図及び第５図は本発明に係る磁
気転写板の構成図、第４図は本発明に係る観察装置によ
る磁気記録媒体の観察例を示したものである。第５図か
ら第１３図はそれぞれ本発明に係る磁気記録媒体の観察
装置の実施例を示す図。 １・・・磁気記録媒体、 ２・・・磁気転写板、２
ａ、２ａ′・・・基板、 ２ｂ、２ｂ’・・・軟磁
性膜、２ ｃ ＋ ２ ｃ’・・・保護膜、 ２ ｄ
’・・・反射膜、３・・・光学系、 ３ａ
・・・光源。 ３ｂ・・・偏光子ｓ ５ｃ・・・ビームスプ
リッタ、３ｄ・・・対物レンズ、 ３ｅ・・・検光
子、３ｆ・・・接眼レンズ、 ４・・・励磁コイル
、５・・・永久８石、 ３ａ・・・真空吸着装置
、４０・・・移動装置、 ５ｏ・・・測長器、６
０・・・データ処理装置、 ７ｏ・・・撮像装置。 ｔｆ：’：ｌ、”：’：：＼
実施例を示す図、第 ２図及び第５図は本発明に係る磁
気転写板の構成図、第４図は本発明に係る観察装置によ
る磁気記録媒体の観察例を示したものである。第５図か
ら第１３図はそれぞれ本発明に係る磁気記録媒体の観察
装置の実施例を示す図。 １・・・磁気記録媒体、 ２・・・磁気転写板、２
ａ、２ａ′・・・基板、 ２ｂ、２ｂ’・・・軟磁
性膜、２ ｃ ＋ ２ ｃ’・・・保護膜、 ２ ｄ
’・・・反射膜、３・・・光学系、 ３ａ
・・・光源。 ３ｂ・・・偏光子ｓ ５ｃ・・・ビームスプ
リッタ、３ｄ・・・対物レンズ、 ３ｅ・・・検光
子、３ｆ・・・接眼レンズ、 ４・・・励磁コイル
、５・・・永久８石、 ３ａ・・・真空吸着装置
、４０・・・移動装置、 ５ｏ・・・測長器、６
０・・・データ処理装置、 ７ｏ・・・撮像装置。 ｔｆ：’：ｌ、”：’：：＼
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、磁気記録媒体と、該磁気記録媒体と接触し、該磁気
記録媒体に記録された磁化状態が転写される磁気転写板
と、光ビームを出射する光源と、該光源から出射した光
ビームを該磁気転写板に照射する光学系と、該磁気転写
板に照射した光ビームを検知して磁気光学効果を利用し
て該磁気記録媒体の磁化状態を観察する手段と、該磁気
転写板に外部磁界を印加する手段とを有することを特徴
とする磁気記録媒体の観察装置。 ２、該磁気転写板が基板と軟磁性膜と保護膜とからなる
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気記録
媒体の観察装置。 ３、該磁気転写板が、基板と軟磁性膜と反射膜と保護膜
とからなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の磁気記録媒体の観察装置。 ４、該軟磁性膜が、希土類−遷移金属非晶質膜であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第２項若しくは第３項記
載の磁気記録媒体の観察装置。 ５、該光学系が、偏光子とビームスプリッタと対物レン
ズとからなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の磁気記録媒体の観察装置。 ６、該外部磁界を印加する手段が、ヘルムホルツコイル
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁
気記録媒体の観察装置。 ７、該外部磁界を印加する手段が、該磁気転写板の上部
に設けた励磁コイルであることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の磁気記録媒体の観察装置。 ８、該外部磁界を印加する手段が、該磁気転写板の下部
に設けた励磁コイルであることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の磁気記録媒体の観察装置。 ９、該外部磁界を印加する手段が、上下方向へ移動する
永久磁石であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の磁気記録媒体の観察装置。 １０、該外部磁界を印加する手段が、互いに連動して上
下方向に移動する２個のドーナツ型永久磁石であること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体
の観察装置。 １１、該外部磁界を印加する手段が、３組のヘルムホル
ツコイルからなることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の磁気記録媒体の観察装置。 １２、該外部磁界を印加する手段が、２組のヘルムホル
ツコイルからなっており、該磁気転写板を回転させるこ
とにより該磁気転写板に磁界を印加することを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体の観察装置
。 １３、磁気記録媒体と、該磁気記録媒体と接触し該磁気
記録媒体に記録された磁化状態が転写される磁気転写板
と、光ビームを出射する光源と、該光源から出射した光
ビームを該磁気転写板に照射する光学系と、該磁気転写
板に照射した光ビームを検知して磁気光学効果を利用し
て該磁気記録媒体の磁化状態を観察する手段と、該磁気
記録媒体を移動させる手段と、該磁気記録媒体と該磁気
転写板とを密着させる手段とを有することを特徴とする
磁気記録媒体の観察装置。 １４、該磁気転写板が、基板と軟磁性膜と保護膜とから
なることを特徴とする特許請求の範囲第１３項記載の磁
気記録媒体の観察装置。 １５、該磁気転写板が、基板と軟磁性膜と反射膜と保護
膜とからなることを特徴とする特許請求の範囲第１３項
記載の磁気記録媒体の観察装置。 １６、該軟磁性膜が、希土類−遷移金属非晶質膜である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１４項若しくは第１
５項記載の磁気記録媒体の観察装置。 １７、該光学系が、偏光子とビームスプリッタと対物レ
ンズとからなることを特徴とする特許請求の範囲第１３
項記載の磁気記録媒体の観察装置。 １８、該磁気記録媒体を移動させる手段が、測長器から
の移動量データに基づいて移動するＸＹステージである
ことを特徴とする特許請求の範囲第１３項記載の磁気記
録媒体の観察装置。 １９、該磁気記録媒体と該磁気転写板とを密着接着させ
る手段が、磁気転写板とパッキンを介して装着した真空
又は減圧吸着装置であることを特徴とする特許請求の範
囲第１３項記載の磁気記録媒体の観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13185286A JPS62288585A (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 | 磁気記録媒体の観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13185286A JPS62288585A (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 | 磁気記録媒体の観察装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62288585A true JPS62288585A (ja) | 1987-12-15 |
Family
ID=15067624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13185286A Pending JPS62288585A (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 | 磁気記録媒体の観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62288585A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0434677U (ja) * | 1990-07-16 | 1992-03-23 | ||
| EP0724162A3 (en) * | 1994-11-30 | 1998-01-28 | Eastman Kodak Company | High sensitivity magnetic viewer |
| US6081394A (en) * | 1997-01-16 | 2000-06-27 | Nec Corporation | Recorded magnetization state measuring method and device |
| JP2014070975A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Jfe Steel Corp | 磁区不連続部検出装置および磁区不連続部検出方法 |
| JP2016161350A (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-05 | Fdk株式会社 | 磁気検出装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51131670A (en) * | 1975-05-12 | 1976-11-16 | Ricoh Elemex Corp | Method to measure magnetism of the magnetic body |
| JPS5350777A (en) * | 1976-10-19 | 1978-05-09 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd | Magnetic field distribution measuring device |
| JPS56124064A (en) * | 1980-03-05 | 1981-09-29 | Ricoh Co Ltd | Floating magnetic field measurement |
| JPS5724032A (en) * | 1980-07-21 | 1982-02-08 | Toshiba Corp | Magnetic transfer recording system |
| JPS57120233A (en) * | 1981-01-19 | 1982-07-27 | Toshiba Corp | Magnetic transfer recording system |
| JPS6163929A (ja) * | 1984-09-04 | 1986-04-02 | Tokyo Jiki Insatsu Kk | 転写方法及び装置 |
-
1986
- 1986-06-09 JP JP13185286A patent/JPS62288585A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51131670A (en) * | 1975-05-12 | 1976-11-16 | Ricoh Elemex Corp | Method to measure magnetism of the magnetic body |
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| JPS57120233A (en) * | 1981-01-19 | 1982-07-27 | Toshiba Corp | Magnetic transfer recording system |
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| US6081394A (en) * | 1997-01-16 | 2000-06-27 | Nec Corporation | Recorded magnetization state measuring method and device |
| JP2014070975A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Jfe Steel Corp | 磁区不連続部検出装置および磁区不連続部検出方法 |
| JP2016161350A (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-05 | Fdk株式会社 | 磁気検出装置 |
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