JPH04341341A - 固体と液体との化学反応時の脱気方法 - Google Patents
固体と液体との化学反応時の脱気方法Info
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- JPH04341341A JPH04341341A JP14398291A JP14398291A JPH04341341A JP H04341341 A JPH04341341 A JP H04341341A JP 14398291 A JP14398291 A JP 14398291A JP 14398291 A JP14398291 A JP 14398291A JP H04341341 A JPH04341341 A JP H04341341A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J16/00—Chemical processes in general for reacting liquids with non- particulate solids, e.g. sheet material; Apparatus specially adapted therefor
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体と液体との化学反
応時の脱気方法に係わり、更に詳しくは、固体と液体と
の化学反応時、例えば電気分解や金属メッキ、或いは金
属表面研摩や洗浄等する時に於て、固体が浸漬せしめら
れる液体中の気体を脱気する方法に関する。
応時の脱気方法に係わり、更に詳しくは、固体と液体と
の化学反応時、例えば電気分解や金属メッキ、或いは金
属表面研摩や洗浄等する時に於て、固体が浸漬せしめら
れる液体中の気体を脱気する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知の通り、固体と液体との間で、化学
反応を促進させる方法及び手段が多々用いられている。 例えば、電気分解、或いは金属表面のメッキ、或いは金
属表面の研摩、或いは洗浄等々多々ある。
反応を促進させる方法及び手段が多々用いられている。 例えば、電気分解、或いは金属表面のメッキ、或いは金
属表面の研摩、或いは洗浄等々多々ある。
【０００３】上述した如く、液体中に固体を浸漬させ、
各種の処理を行う場合、化学反応時に、反応によっては
固体表面に気泡が発生する事があり、上記気泡が、上記
電気分解や金属表面のメッキ、或いは金属表面の研摩や
洗浄等々の化学反応時の固体表面に付着していることか
ら、固体表面の化学反応処理にムラが出来ると共に、化
学反応の反応自体にもムラが出てしまう。
各種の処理を行う場合、化学反応時に、反応によっては
固体表面に気泡が発生する事があり、上記気泡が、上記
電気分解や金属表面のメッキ、或いは金属表面の研摩や
洗浄等々の化学反応時の固体表面に付着していることか
ら、固体表面の化学反応処理にムラが出来ると共に、化
学反応の反応自体にもムラが出てしまう。
【０００４】そこで、従来固体表面に付着している気泡
を除去する為に、上記固体が浸漬している液体中に超音
波を伝播させて固体表面にキャビテーションを起こさせ
、かく拌作用を与えて、固体表面の気泡を合泡させて離
脱せしめ、除去することが行われている。
を除去する為に、上記固体が浸漬している液体中に超音
波を伝播させて固体表面にキャビテーションを起こさせ
、かく拌作用を与えて、固体表面の気泡を合泡させて離
脱せしめ、除去することが行われている。
【０００５】こうして、固体表面に付着していた気泡が
除去されることにより、固体表面のムラがなくなり、固
体表面にムラがない状態で化学反応処理を施すことによ
り、固体の化学反応の処理ムラがなくなり、化学反応自
体が有効に行われるものである。
除去されることにより、固体表面のムラがなくなり、固
体表面にムラがない状態で化学反応処理を施すことによ
り、固体の化学反応の処理ムラがなくなり、化学反応自
体が有効に行われるものである。
【０００６】所が、従来は固体が浸漬せしめられる液体
に対しては、特別な処理は施されてはいなかった。
に対しては、特別な処理は施されてはいなかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術によると
、次の点に於て不具合を有する。即ち、上記固体が浸漬
せしめられる液体中には、元来空気等の気体が含まれて
おり、この空気を含んだ液体中に超音波を照射し、固体
表面にキャビテーションを起こさせようとした時、超音
波は固体表面に届くまでの間に超音波は液体中の気体に
よって減衰され、伝播を著しく阻害されてしまう。
、次の点に於て不具合を有する。即ち、上記固体が浸漬
せしめられる液体中には、元来空気等の気体が含まれて
おり、この空気を含んだ液体中に超音波を照射し、固体
表面にキャビテーションを起こさせようとした時、超音
波は固体表面に届くまでの間に超音波は液体中の気体に
よって減衰され、伝播を著しく阻害されてしまう。
【０００８】これにより、液体中に浸漬している固体に
於て、液体中に超音波を伝播させて固体表面にキャビテ
ーションを起こさせ、かく拌作用を与えて固体表面の気
泡を除去するという初期の目的が達成されにくくなると
いう問題があった。
於て、液体中に超音波を伝播させて固体表面にキャビテ
ーションを起こさせ、かく拌作用を与えて固体表面の気
泡を除去するという初期の目的が達成されにくくなると
いう問題があった。
【０００９】従って、本発明の目的とする所は、固体と
液体との化学反応時、例えば電気分解、或いは金属表面
のメッキや金属表面の研摩、或いは洗浄等々時に於て、
固体表面に付着した気泡を除去する為に、上記固体が浸
漬している液体中に超音波を伝播させて固体表面にキャ
ビテーションを起こさせ、かく拌作用を与えて、固体表
面の気泡を合泡させて離脱せしめる場合、上記液体中で
の超音波を減衰させることなく伝播させ、より有効に固
体表面にキャビテーションを起こさせて、かく拌作用を
与えることによって、固体表面からの気泡の除去を効果
的に向上せしめ、以って固体表面のムラをなくすことに
よって、固体の化学反応の処理ムラをなくし、化学反応
自体が有効に行われるようにする技術を提供するにある
。
液体との化学反応時、例えば電気分解、或いは金属表面
のメッキや金属表面の研摩、或いは洗浄等々時に於て、
固体表面に付着した気泡を除去する為に、上記固体が浸
漬している液体中に超音波を伝播させて固体表面にキャ
ビテーションを起こさせ、かく拌作用を与えて、固体表
面の気泡を合泡させて離脱せしめる場合、上記液体中で
の超音波を減衰させることなく伝播させ、より有効に固
体表面にキャビテーションを起こさせて、かく拌作用を
与えることによって、固体表面からの気泡の除去を効果
的に向上せしめ、以って固体表面のムラをなくすことに
よって、固体の化学反応の処理ムラをなくし、化学反応
自体が有効に行われるようにする技術を提供するにある
。
【００１０】
【課題を解決する為の手段】上記目的を解決する為に、
本発明は次の技術的手段を有する。即ち、実施例に対応
する添付図面中の符号を用いて説明すると、本発明は液
体１中に固体２を浸漬させ、固体２と液体１との間で化
学反応せしめる方法に於て、上記固体２を浸漬させる槽
中の液体１を、槽の一方から他方へ循環させて、その間
に液体１中に含まれる気体１４を脱気し、当該脱気した
液体１中に固体２を浸漬させて化学反応を行うことを特
徴とする固体と液体との化学反応時の脱気方法である。
本発明は次の技術的手段を有する。即ち、実施例に対応
する添付図面中の符号を用いて説明すると、本発明は液
体１中に固体２を浸漬させ、固体２と液体１との間で化
学反応せしめる方法に於て、上記固体２を浸漬させる槽
中の液体１を、槽の一方から他方へ循環させて、その間
に液体１中に含まれる気体１４を脱気し、当該脱気した
液体１中に固体２を浸漬させて化学反応を行うことを特
徴とする固体と液体との化学反応時の脱気方法である。
【００１１】又、液体１が収容され、且つ液体１中に固
体２が浸漬される槽３を有し、上記槽３の一方３ａから
他方３ｂへ液体１を循環させる循環系統を有し、上記循
環系統には、循環ポンプ７と脱気手段９が配されている
ことを特徴とする固体と液体との化学反応時の脱気手段
である。
体２が浸漬される槽３を有し、上記槽３の一方３ａから
他方３ｂへ液体１を循環させる循環系統を有し、上記循
環系統には、循環ポンプ７と脱気手段９が配されている
ことを特徴とする固体と液体との化学反応時の脱気手段
である。
【００１２】又、上記脱気手段９は、液体１が流入する
一方のヘッダー１０と液体１が流出する他方のヘッダー
１１とを有し、上記一方のヘッダー１０と他方のヘッダ
ー１１間に気液分離膜より成るチューブ１２がモジュー
ル状に連結され、上記気液分離膜より成るチューブ１２
群の外側に真空ポンプ１３が連結され、一方のヘッダー
１０から流入した液体１が気液分離膜より成るチューブ
１２内を通過する過程で、気液分離膜より成るチューブ
１２の外側から真空ポンプ１３で真空引きすることによ
り、液体１中の気体１４を脱気することが考慮される。
一方のヘッダー１０と液体１が流出する他方のヘッダー
１１とを有し、上記一方のヘッダー１０と他方のヘッダ
ー１１間に気液分離膜より成るチューブ１２がモジュー
ル状に連結され、上記気液分離膜より成るチューブ１２
群の外側に真空ポンプ１３が連結され、一方のヘッダー
１０から流入した液体１が気液分離膜より成るチューブ
１２内を通過する過程で、気液分離膜より成るチューブ
１２の外側から真空ポンプ１３で真空引きすることによ
り、液体１中の気体１４を脱気することが考慮される。
【００１３】
【作用】上記構成によると、固体２が浸漬する液体１を
循環させ、液体１中に含まれる気体１４を脱気し、この
脱気した液体１中に固体２を浸漬させて化学反応を行う
ことにより、上記固体２が浸漬している液体１中に超音
波を伝播させて固体表面２ａにキャビテーションを起こ
させ、かく拌作用を与えて、固体表面２ａの化学反応時
に付着した気泡５を除去する場合に、上記液体１中での
超音波が、液体１中の気体１４が脱気されていることに
よって、減衰されることなく伝播し、以って有効に固体
表面２ａにキャビテーションを起こさせて、かく拌作用
を与え、固体表面２ａからの気泡５の除去を効果的に向
上せしめることを可能とし易い。
循環させ、液体１中に含まれる気体１４を脱気し、この
脱気した液体１中に固体２を浸漬させて化学反応を行う
ことにより、上記固体２が浸漬している液体１中に超音
波を伝播させて固体表面２ａにキャビテーションを起こ
させ、かく拌作用を与えて、固体表面２ａの化学反応時
に付着した気泡５を除去する場合に、上記液体１中での
超音波が、液体１中の気体１４が脱気されていることに
よって、減衰されることなく伝播し、以って有効に固体
表面２ａにキャビテーションを起こさせて、かく拌作用
を与え、固体表面２ａからの気泡５の除去を効果的に向
上せしめることを可能とし易い。
【００１４】
【実施例】次に、添付図面に従い本発明の実施例を詳述
する。即ち、液体１中に固体２を浸漬させ、固体２と液
体１との間で化学反応せしめる場合、例えば電気分解、
或いは金属表面のメッキや研摩、或いは洗浄等々の場合
に於て、上記固体２と液体１との間の化学反応をより効
果的に行う方法及びその手段である。
する。即ち、液体１中に固体２を浸漬させ、固体２と液
体１との間で化学反応せしめる場合、例えば電気分解、
或いは金属表面のメッキや研摩、或いは洗浄等々の場合
に於て、上記固体２と液体１との間の化学反応をより効
果的に行う方法及びその手段である。
【００１５】先ず、液体１が収容され、且つこの液体１
中に固体２が浸漬される槽３が用意されると共に、上記
槽３には、槽３の一方３ａから他方３ｂへ液体１を循環
させる循環系統が連結されている。
中に固体２が浸漬される槽３が用意されると共に、上記
槽３には、槽３の一方３ａから他方３ｂへ液体１を循環
させる循環系統が連結されている。
【００１６】上記槽３に着目すると、上記循環系統を循
環してきた液体１が槽３の一方３ａから槽３内へ流入し
、そして、槽３内の液体１は槽３の他方３ｂから循環系
統へ流出してゆくことで、槽３内の液体１は循環するも
のである。
環してきた液体１が槽３の一方３ａから槽３内へ流入し
、そして、槽３内の液体１は槽３の他方３ｂから循環系
統へ流出してゆくことで、槽３内の液体１は循環するも
のである。
【００１７】そして、上記槽３内の液体１中には固体２
が浸漬されていると共に、槽３内の底面には超音波を放
射する超音波振動子４が配されている。即ち、上記液体
１中に固体２を浸漬させ、化学反応を行う場合、化学反
応時に気泡５が生じ固体表面２ａに付着する。この固体
表面２ａに気泡５が付着した状態で化学反応を促進させ
ると、固体表面に化学反応の処理ムラが生じてしまう為
に、上記固体表面２ａに付着した気泡５を除去する必要
がある。
が浸漬されていると共に、槽３内の底面には超音波を放
射する超音波振動子４が配されている。即ち、上記液体
１中に固体２を浸漬させ、化学反応を行う場合、化学反
応時に気泡５が生じ固体表面２ａに付着する。この固体
表面２ａに気泡５が付着した状態で化学反応を促進させ
ると、固体表面に化学反応の処理ムラが生じてしまう為
に、上記固体表面２ａに付着した気泡５を除去する必要
がある。
【００１８】この固体表面２ａに付着した気泡５を除述
する手段が、上記超音波振動子４であり、超音波振動子
４から超音波を放射することによって、液体１中を伝播
した超音波は、固体表面２ａに達し、固体表面２ａはキ
ャビテーションを起こす。同時に、上記キャビテーショ
ンによる固体表面２ａ近くのかく拌作用によって、固体
表面２ａの付着している気泡５は合泡して、固体表面２
ａから離脱し、固体表面２ａに付着した気泡５は除去さ
れるものである。
する手段が、上記超音波振動子４であり、超音波振動子
４から超音波を放射することによって、液体１中を伝播
した超音波は、固体表面２ａに達し、固体表面２ａはキ
ャビテーションを起こす。同時に、上記キャビテーショ
ンによる固体表面２ａ近くのかく拌作用によって、固体
表面２ａの付着している気泡５は合泡して、固体表面２
ａから離脱し、固体表面２ａに付着した気泡５は除去さ
れるものである。
【００１９】次に、上記槽３に連結された循環系統につ
いて着目すると、上記槽３の液体１が、槽１の他方３ｂ
から流出し、槽１の一方３ａから槽３内へ流入する間の
流路となる液体流路管６を有しており、上記液体流路管
６の途中に、循環ポンプ７及びフィルター８及び脱気手
段９がそれぞれ配されている。
いて着目すると、上記槽３の液体１が、槽１の他方３ｂ
から流出し、槽１の一方３ａから槽３内へ流入する間の
流路となる液体流路管６を有しており、上記液体流路管
６の途中に、循環ポンプ７及びフィルター８及び脱気手
段９がそれぞれ配されている。
【００２０】上記循環ポンプ７は、液体１を循環せしめ
る為のものであり、即ち、液体１は、槽３内を一方３ａ
から他方３ｂへ循環すると共に、槽３の他方３ｂから循
環系統に流出した液体１は、循環系統内を循環し、槽３
の一方３ａから槽３内へ流入するものである。
る為のものであり、即ち、液体１は、槽３内を一方３ａ
から他方３ｂへ循環すると共に、槽３の他方３ｂから循
環系統に流出した液体１は、循環系統内を循環し、槽３
の一方３ａから槽３内へ流入するものである。
【００２１】又、上記フィルター８は、循環する液体１
中に混入している不純物を取り除く為のものである。
中に混入している不純物を取り除く為のものである。
【００２２】次に、上記脱気手段９について着目すると
、液体１が流入する一方のヘッダー１０と液体１が流出
する他方のヘッダー１１とを有し、上記一方のヘッダー
１０と他方のヘッダー１１間に、気液分離膜より成るチ
ューブ１２がモジュール状に連結されている。そして、
上記気液分離膜より成るチューブ１２群の外側には、真
空ポンプ１３が連結されている。
、液体１が流入する一方のヘッダー１０と液体１が流出
する他方のヘッダー１１とを有し、上記一方のヘッダー
１０と他方のヘッダー１１間に、気液分離膜より成るチ
ューブ１２がモジュール状に連結されている。そして、
上記気液分離膜より成るチューブ１２群の外側には、真
空ポンプ１３が連結されている。
【００２３】そして、上記一方のヘッダー１０から流入
した液体１が気液分離膜より成るチューブ１２内を通過
する過程で、気液分離膜より成るチューブ１２の外側に
連結した真空ポンプ１３を駆動し、真空引きすることに
より、液体１中の気体１４を気液分離膜より成るチュー
ブ１２を通して取り出し、脱気せしめるものである。
した液体１が気液分離膜より成るチューブ１２内を通過
する過程で、気液分離膜より成るチューブ１２の外側に
連結した真空ポンプ１３を駆動し、真空引きすることに
より、液体１中の気体１４を気液分離膜より成るチュー
ブ１２を通して取り出し、脱気せしめるものである。
【００２４】即ち、上記固体２が浸漬された液体１を循
環せしめ、上記液体１の循環過程で液体１中に含まれる
気体１４を脱気し、この脱気した液体１を槽３内へ送り
込むものである。
環せしめ、上記液体１の循環過程で液体１中に含まれる
気体１４を脱気し、この脱気した液体１を槽３内へ送り
込むものである。
【００２５】以上の構成により、その使い方を説明する
。即ち、固体２と液体１との間で化学反応を生じさせる
場合に、上記循環ポンプ７を駆動して槽３内の液体１を
槽３内及び循環系統内で循環せしめると共に、上記脱気
手段９の真空ポンプ１３を駆動して真空引きを行う。こ
の時、上記脱気手段９を通過する液体１は、液体１内に
含まれる気体１４が脱気された状態で槽３内へ送り込ま
れる。
。即ち、固体２と液体１との間で化学反応を生じさせる
場合に、上記循環ポンプ７を駆動して槽３内の液体１を
槽３内及び循環系統内で循環せしめると共に、上記脱気
手段９の真空ポンプ１３を駆動して真空引きを行う。こ
の時、上記脱気手段９を通過する液体１は、液体１内に
含まれる気体１４が脱気された状態で槽３内へ送り込ま
れる。
【００２６】他方、上記槽３内に於ては、液体１中に固
体２を浸漬せしめ、化学反応を生じさせようとした時、
化学反応によって固体表面２ａに気泡５が生じる。そこ
で、上記固体表面２ａに付着した気泡５を除去する為に
、上記槽３内に配した超音波振動子４から超音波を固体
表面２ａに向けて放射する。
体２を浸漬せしめ、化学反応を生じさせようとした時、
化学反応によって固体表面２ａに気泡５が生じる。そこ
で、上記固体表面２ａに付着した気泡５を除去する為に
、上記槽３内に配した超音波振動子４から超音波を固体
表面２ａに向けて放射する。
【００２７】そして、上記超音波振動子４から照射され
た超音波は、液体１中を伝播し固体表面２ａに達し、固
体表面２ａにキャビテーションを起こさせて、かく拌作
用を与え、固体表面２ａの気泡５を合泡させて離脱せし
める。
た超音波は、液体１中を伝播し固体表面２ａに達し、固
体表面２ａにキャビテーションを起こさせて、かく拌作
用を与え、固体表面２ａの気泡５を合泡させて離脱せし
める。
【００２８】ここで、上記超音波振動子４から放射され
、液体１中を伝播する超音波に着目してみると、上記超
音波は、従来の如く、気体１４を多く含んだ液体１中を
伝播することなく、上記脱気手段によって気体１４が脱
気された状態の液体１中を伝播するものである。
、液体１中を伝播する超音波に着目してみると、上記超
音波は、従来の如く、気体１４を多く含んだ液体１中を
伝播することなく、上記脱気手段によって気体１４が脱
気された状態の液体１中を伝播するものである。
【００２９】そして、上記液体１中に浸漬された固体２
は、液体１と固体２との所定の化学反応、例えば電気分
解、或いは金属表面のメッキや研摩、或いは洗浄等々に
よって処理されることになる。
は、液体１と固体２との所定の化学反応、例えば電気分
解、或いは金属表面のメッキや研摩、或いは洗浄等々に
よって処理されることになる。
【００３０】以上の様に、液体１中に固体２を浸漬させ
、固体２と液体１との間で化学反応せしめる場合に、化
学反応によって固体表面２ａに気泡４が付着した時、上
記気泡４を除去する為に、固体表面２ａに向けて超音波
振動子４から超音波を放射することによって、超音波は
液体１中を伝播し、固体表面２ａにキャビテーションを
起こさせて、かく拌作用を与え、固体表面２ａに付着し
た気泡５を合泡させて離脱せしめるものであるが、この
時、上記固体１を浸漬させた液体１を循環させ、循環の
過程に於て脱気手段９によって液体１中に含まれる気体
１４を脱気せしめ、この脱気せしめた液体１を、固体２
を浸漬させる液体１とすることにより、上記超音波を照
射した時に、超音波は液体１中で、気体２による減衰を
受けることなく伝播し、以って有効に固体表面にキャビ
テーションを起こさせて、かく拌作用を与え、固体表面
２ａからの気泡の除去を効果的に向上せしめるものであ
る。
、固体２と液体１との間で化学反応せしめる場合に、化
学反応によって固体表面２ａに気泡４が付着した時、上
記気泡４を除去する為に、固体表面２ａに向けて超音波
振動子４から超音波を放射することによって、超音波は
液体１中を伝播し、固体表面２ａにキャビテーションを
起こさせて、かく拌作用を与え、固体表面２ａに付着し
た気泡５を合泡させて離脱せしめるものであるが、この
時、上記固体１を浸漬させた液体１を循環させ、循環の
過程に於て脱気手段９によって液体１中に含まれる気体
１４を脱気せしめ、この脱気せしめた液体１を、固体２
を浸漬させる液体１とすることにより、上記超音波を照
射した時に、超音波は液体１中で、気体２による減衰を
受けることなく伝播し、以って有効に固体表面にキャビ
テーションを起こさせて、かく拌作用を与え、固体表面
２ａからの気泡の除去を効果的に向上せしめるものであ
る。
【００３１】
【効果】以上詳述した如く、本発明は固体を浸漬させる
液体を循環させて、液体中に含まれる気体を脱気し、上
記脱気した液体中に固体を浸漬させて化学反応を行うこ
とにより、上記化学反応により固体表面に付着した気泡
を除去する為に、固体表面に向けて超音波を照射し、超
音波が液体中を伝播する時、上記液体中に含まれる気体
は脱気されていることによって、超音波は液体中を減衰
されることなく伝播して固体表面に達し、有効に固体表
面にキャビテーションを起こして、かく拌作用を与え、
固体表面からの気泡の除去を効果的に向上せしめること
を可能とし易く、以って上記固体表面に付着した気泡を
除去して固体表面のムラをなくすことによって、固体の
化学反応の処理ムラをなくし、化学反応自体が有効に行
われることを実現し易い。
液体を循環させて、液体中に含まれる気体を脱気し、上
記脱気した液体中に固体を浸漬させて化学反応を行うこ
とにより、上記化学反応により固体表面に付着した気泡
を除去する為に、固体表面に向けて超音波を照射し、超
音波が液体中を伝播する時、上記液体中に含まれる気体
は脱気されていることによって、超音波は液体中を減衰
されることなく伝播して固体表面に達し、有効に固体表
面にキャビテーションを起こして、かく拌作用を与え、
固体表面からの気泡の除去を効果的に向上せしめること
を可能とし易く、以って上記固体表面に付着した気泡を
除去して固体表面のムラをなくすことによって、固体の
化学反応の処理ムラをなくし、化学反応自体が有効に行
われることを実現し易い。
【図１】固体と液体との化学反応時の脱気手段における
全体構成を簡略的に示した図である。
全体構成を簡略的に示した図である。
【図２】固体と液体との化学反応時、液体中に浸漬した
固体の表面に気泡が生じている状態を模式的に示した図
である。
固体の表面に気泡が生じている状態を模式的に示した図
である。
【図３】脱気手段の一例を示した図である。
１ 液体
２ 固体
２ａ 固体表面
３ 槽
３ａ 槽の一方
３ｂ 槽の他方
４ 超音波振動子
５ 気泡
６ 液体流路管
７ 循環ポンプ
８ フィルター
９ 脱気手段
１０ 一方のヘッダー
１１ 他方のヘッダー
１２ 気液分離膜より成るチューブ１３ 真空
ポンプ １４ 気体
ポンプ １４ 気体
Claims (3)
- 【請求項１】 液体１中に固体２を浸漬させ、固体２
と液体１との間で化学反応せしめる方法に於て；上記固
体２を浸漬させる槽中の液体１を、槽の一方から他方へ
循環させて、その間に液体１中に含まれる気体１４を脱
気し、当該脱気した液体１中に固体２を浸漬させて化学
反応を行うことを特徴とする固体と液体との化学反応時
の脱気方法。 - 【請求項２】 液体１が収容され、且つ液体１中に固
体２が浸漬される槽３を有し、上記槽３の一方３ａから
他方３ｂへ液体１を循環させる循環系統を有し、上記循
環系統には、循環ポンプ７と脱気手段９が配されている
ことを特徴とする固体と液体との化学反応時の脱気手段
。 - 【請求項３】 上記脱気手段９は、液体１が流入する
一方のヘッダー１０と液体１が流出する他方のヘッダー
１１とを有し、上記一方のヘッダー１０と他方のヘッダ
ー１１間に気液分離膜より成るチューブ１２がモジュー
ル状に連結され、上記気液分離膜より成るチューブ１２
群の外側に真空ポンプ１３が連結され、一方のヘッダー
１０から流入した液体１が気液分離膜より成るチューブ
１２内を通過する過程で、気液分離膜より成るチューブ
１２の外側から真空ポンプ１３で真空引きすることによ
り、液体１中の気体１４を脱気することを特徴とする請
求項２記載の固体と液体との化学反応時の脱気手段。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14398291A JPH0785775B2 (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | 固体と液体との化学反応時の脱気方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14398291A JPH0785775B2 (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | 固体と液体との化学反応時の脱気方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04341341A true JPH04341341A (ja) | 1992-11-27 |
| JPH0785775B2 JPH0785775B2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=15351566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14398291A Expired - Lifetime JPH0785775B2 (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | 固体と液体との化学反応時の脱気方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785775B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5810037A (en) * | 1994-07-22 | 1998-09-22 | Daido Metal Company Ltd. | Ultrasonic treatment apparatus |
| WO2000028115A1 (fr) * | 1998-11-09 | 2000-05-18 | Ebara Corporation | Procede de metallisation et dispositif |
| JP2007262583A (ja) * | 1998-11-09 | 2007-10-11 | Ebara Corp | めっき方法及び装置 |
| JP2010185117A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Ebara Corp | めっき装置及びめっき方法 |
-
1991
- 1991-05-20 JP JP14398291A patent/JPH0785775B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5810037A (en) * | 1994-07-22 | 1998-09-22 | Daido Metal Company Ltd. | Ultrasonic treatment apparatus |
| WO2000028115A1 (fr) * | 1998-11-09 | 2000-05-18 | Ebara Corporation | Procede de metallisation et dispositif |
| US6716332B1 (en) * | 1998-11-09 | 2004-04-06 | Ebara Corporation | Plating method and apparatus |
| US7118664B2 (en) | 1998-11-09 | 2006-10-10 | Ebara Corporation | Plating method and apparatus |
| JP2007262583A (ja) * | 1998-11-09 | 2007-10-11 | Ebara Corp | めっき方法及び装置 |
| JP2010185117A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Ebara Corp | めっき装置及びめっき方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0785775B2 (ja) | 1995-09-20 |
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