JPH07102318B2 - 超音波処理方法 - Google Patents

超音波処理方法

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JPH07102318B2
JPH07102318B2 JP32593490A JP32593490A JPH07102318B2 JP H07102318 B2 JPH07102318 B2 JP H07102318B2 JP 32593490 A JP32593490 A JP 32593490A JP 32593490 A JP32593490 A JP 32593490A JP H07102318 B2 JPH07102318 B2 JP H07102318B2
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water
ultrasonic
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cavitation
treatment
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徹 臼井
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ソニツク・フエロー株式会社
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【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 開示技術は洗浄,乳化,反応等の処理を行う超音波処理
の技術分野に属する。
<要旨の概要> 而して、この発明は上記の洗浄や、凝集、反応、分解等
の処理方法に関する発明であり、特に、処理液に対し脱
酸素水を間に介在させて超音波を照射するようにした超
音波処理方法に係る発明である。
<従来の技術> 周知の如く、産業が隆盛になると、例えば、工業製品,
産業品を問わず、各種のデバイスが精密になり、特に、
近時電子装置や光学製品が各分野に於いて広く用いられ
るようになると、その性能や機能を設計通りに発揮する
ために、各部品の精密さばかりで無く、最終製品の精密
さや清浄さが求められ、したがって、製品製造工程にお
いて、精密洗浄を超えて超精密洗浄が求められるように
なり、又、化学工業、食品工業等においても、反応、凝
集沈澱、分解、分散等が高精度に求められるようにな
り、これに対処する超音波のキャビテーション作用を有
効に利用した超音波洗浄や処理液中でのエッチング、バ
リ取り、反応、分解、分散、凝集沈澱等の処理が行われ
るようになってきている。
<発明が解決しようとする課題> 而して、洗浄液等の処理液に対して超音波照射によるキ
ャビテーションにより気泡の負圧膨脹と次の圧縮の衝撃
による処理機能を発揮させているが、洗浄液等の処理液
には通常の水同様に不可避的に溶存酸素であり、キャビ
テーションによる発生気泡が負圧膨脹の際に周囲の水中
から溶存酸素を引き出すことにより次の圧縮工程でのイ
ンパクトが弱まり、したがって、キャビテーション強度
が弱まり、付与した超音波による投入エネルギーに対し
処理エネルギーが充分に得られず、処理効率が悪いと言
う欠点があった。
これに対処するに、処理液中の溶存酸素を除去した脱酸
素水に対し超音波を照射すればキャビテーションの強度
が飛躍的に向上し、超音波処理効果が増大する。
しかしながら、該種脱酸素水に対する直接的な超音波照
射は脱酸素水をオーバーフロー式に用いる等すると脱酸
素水を放流することから高価な脱酸素水を大量に要し、
設備的にも稼動上もコスト高になる不利点があった。
又、処理液の種類によっては脱酸素が困難なこともあっ
た。
<発明の目的> この発明の目的は上述従来技術に基づく洗浄等の処理工
程での超音波処理におけるキャビテーションの処理効率
低下の問題点を解決すべき技術的課題とし、キャビテー
ションの処理機能をより強化し、超音波を均一に伝播さ
せ、精密部品製造産業、薬品産業、食品産業、化成産業
等における処理技術利用分野に益する優れた超音波処理
方法を提供せんとするものである。
<課題を解決するための手段・作用> 上述目的に沿い先述特許請求の範囲を要旨とするこの発
明の構成は前述課題を解決するために、洗浄や、反応、
分解、分散、乳化、凝集沈澱、エッチング、バリ取り等
の各種処理工程において超音波処理を行うに際し、被処
理液を収納した処理液槽を透過率の良好な仕切り壁を介
して脱酸素水中に浸漬するようにし、該脱酸素水に対し
超音波を照射させ、該超音波は脱酸素水中に於いてキャ
ビテーションによる発生気泡の負圧膨脹時に酸素が引き
出されず、これにより次の圧縮工程でのインパクトが強
まり、したがって、キャビテーションの強度が増大し、
又、全体に亘って均一一定にされる。
この強化されたキャビテーション力は透過率の良好な仕
切壁を介して処理液に伝達されるので処理液中には強
力、且つ、均一なキャビテーションが発生することにな
り従来の直接照射方式に比し、より処理効果を向上出
来、更には、処理時間も短縮出来ることになるようにし
た技術的手段を講じたものである。
<実施例> 次に、この発明の実施例を超音波処理について超音波洗
浄の態様で図面を参照して説明すれば以下の通りであ
る。
第1図に示す実施例において、1は超音波洗浄装置であ
り、その処理槽としての洗浄槽2には市水3が充分な量
供給されてオーバーフロー槽4にオーバーフローさせて
常に所定量の洗浄水が保持されているようにされ、前工
程から被処理物の被洗浄物5が篭6により搬入されて所
定に超音波洗浄されるようにされている。
而して、該洗浄槽2の下側には超音波の透過率の良好
な、例えば、所定薄さのステンレス製、又は、ガラス製
の仕切り板7が設けられて、該仕切り板7を介し脱酸素
水槽8が付設されて所定量の脱酸素水9が密閉式に封入
されており、その底部には在来態様同様の超音波振動子
10が添設されている。
而して、該脱酸素水槽8内に密閉される脱酸素水9は、
例えば、ボイラーや配管等の活性防止を図るべく送給水
から酸素を除去するために開発実用化されている装置、
例えば、パイプ状の薄膜を通して水を供給し酸素だけを
負圧吸引させるように開発実用化されている周公知の技
術により脱酸素された水を密封することにより脱酸素水
を循環式に供給することもなく、又、脱酸素装置を付帯
的に設置することもなく、イニシャルコストは勿論のこ
と、ランニングコストも安くすることが出来る。
上述装置において、洗浄槽2に市水3を供給し、オーバ
ーフロー槽4にオーバーフローさせるようにし、前工程
からの被洗浄物5を篭6により搬入浸漬し、一方、脱酸
素水槽8に対しては予め脱酸素水9を密封状態に充満さ
せて超音波振動子10から所定周波数の超音波を照射す
る。
而して、脱酸素水槽8内に照射された超音波は脱酸素水
槽8に密封されている水は脱酸素水であることから、気
泡の負圧膨脹に際し、溶存酸素が引き出されず、したが
って、圧縮工程に於けるインパクトは弱まらず、キャビ
テーションは強力にされ、又、全体に亘ってキャビテー
ション強度が高まり、且つ、全体に亘って均一一定にな
り、この強力な超音波のエネルギーは透過率の良い仕切
り板7を介して充分に伝播され、したがって、篭6に収
納されている被洗浄物5は充分な超音波洗浄作用を受け
る。
次に、第2図に示す実施例は脱酸素水9を所定量充満さ
せた脱酸素水槽8′内に、例えば、ガラス製等の洗浄槽
2′を浸漬させ、該洗浄槽2′内に市水等の洗浄水3を
入れて篭6′により被洗浄物5′を浸漬させ、更に、脱
酸素水槽8′の水面から空気中の酸素が溶け込まないよ
うに、例えば、合成樹脂製の板を空気遮断層11として膜
状に浮設し、脱酸素水9の脱酸素率の低下を防止しなが
ら、該脱酸素水槽8′底部の超音波振動子10を稼動させ
て所定高周波の超音波を照射することにより脱酸素水槽
8′内の脱酸素水9は上述実施例同様に強力なキャビテ
ーションを均一に生じ、洗浄槽2′の洗浄水3に伝播さ
せ、被洗浄物5に対する超音波洗浄を充分に行うことが
出来、この際、脱酸素水9は所定量最少に充填するだけ
でこの水面の空気遮断層11により空気中の酸素の溶け込
みは防がれ、強力なキャビテーション維持と均一安定状
態を維持することが出来る。
次に、第3図に示す実施例は市水の洗浄水3を充填した
オーバーフロー槽4を有する洗浄槽2の下側にガラスや
ステンレス等の所定薄さの超音波の透過率の良好な仕切
り板7′を介し脱酸素水9を所定量密封したホーンタイ
プの脱酸素水槽12を付設させてその下側に超音波振動子
10を設けた態様であり、超音波の洗浄水3中への均一な
伝播を行え、上述同様強力で均一なキャビテーションを
付与させることが出来るものである。
尚、この発明の実施態様は各実施例に限るものではない
ことは勿論であり、例えば、洗浄水槽と脱酸素水槽との
間の仕切り壁はコーンタイプや膨出タイプ等様々なもの
が設計可能であり、又、洗浄液は市水のみならず、他の
洗浄液や界面活性剤含有の洗浄液にする等種々の態様が
採用可能である。
そして、超音波処理は上述超音波洗浄に限らず、エッチ
ング、バリ取り、更には反応、分解、凝集沈澱、乳化、
分散等各種の化学、化成工業へ適用可能であり、又、超
音波の周波数には限定されないものである。
<発明の効果> 以上、この発明によれば、超音波洗浄やエッチング、バ
リ取り、反応、分解、乳化、凝集沈澱等の超音波処理に
おいて、超音波を伝播してキャビテーション作用を生ぜ
しめる処理液槽に脱酸素水を介して超音波を作用させる
ことにより処理液中でのキャビテーションの強力化、均
一化が図れ、超音波処理が充分に行えるという優れた効
果が奏される。
又、脱酸素水槽に脱酸素水を封入することにより脱酸素
装置を付属設備として付設せずに済み、したがって、処
理装置の構造が簡単となり、初期製造、組み付けが容易
で、イニシャルコストを大きくせず、又、操作制御管理
もし易く、保守点検整備も不要になり、ランニングコス
トを低下し、結果的に製品コストの上昇を抑えることが
出来るという効果もある。
そして、この発明はいかなる処理液に対しても適用出来
る効果がある。
更に、従来の方式は超音波を処理液に直接照射するの
で、溶存酸素によりキャビテーションが弱いが、この発
明では上述の理由により処理液に強力な超音波のキャビ
テーションを発生させることが出来る効果がある。
【図面の簡単な説明】
図面はこの発明の実施例の模式説明図であり、第1図は
1実施例の概略断面図、第2,3図は実使用応用例の実施
例の模式断面図である。 5,5′,5″……被処理物、3……処理液、 9……脱酸素水、2……処理槽、 10……超音波振動子 1,1′,1″……超音波処理装置、 8,8′,12……脱酸素水槽、 11……空気層

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被処理物に対して超音波を照射伝播させて
    所定の処理をする方法において、処理液に脱酸素水を介
    して超音波を照射することを特徴とする超音波処理方
    法。
JP32593490A 1990-11-29 1990-11-29 超音波処理方法 Expired - Lifetime JPH07102318B2 (ja)

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