JPH04340733A - プローブ・カード - Google Patents
プローブ・カードInfo
- Publication number
- JPH04340733A JPH04340733A JP11204091A JP11204091A JPH04340733A JP H04340733 A JPH04340733 A JP H04340733A JP 11204091 A JP11204091 A JP 11204091A JP 11204091 A JP11204091 A JP 11204091A JP H04340733 A JPH04340733 A JP H04340733A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- probe
- pins
- measured
- semiconductor wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 9
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- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 2
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000011111 cardboard Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- RVZRBWKZFJCCIB-UHFFFAOYSA-N perfluorotributylamine Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)N(C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F RVZRBWKZFJCCIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプローブ・カードに関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウェーハ状態での半導体チップの
電気試験は、プローバのチャック上にウェーハを真空吸
着させ、上からプローブ・カードの探針を押しつけるこ
とで行なわれている。
電気試験は、プローバのチャック上にウェーハを真空吸
着させ、上からプローブ・カードの探針を押しつけるこ
とで行なわれている。
【０００３】また、高速のバイポーラ品のように、消費
電力が数１０Ｗと特に大きいチップを測定するには、パ
ワーオンでチップの温度が上ってチップのジャンクショ
ンを破壊することを防止するため、例えば循環するフロ
リナート液によりチャック自体を冷却してチップの温度
上昇を抑える方法がとられている。
電力が数１０Ｗと特に大きいチップを測定するには、パ
ワーオンでチップの温度が上ってチップのジャンクショ
ンを破壊することを防止するため、例えば循環するフロ
リナート液によりチャック自体を冷却してチップの温度
上昇を抑える方法がとられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のプローブ・
カードはウェーハのチップ測定時に真空吸着でウェーハ
を固定しているので、ウェーハにそりがあるとウェーハ
を完全にチャック上に平坦に載置できず、被測定チップ
の一部が浮いた状態で測定が行なわれることがあり、バ
ンプの有るチップや消費電力の大きいチップの場合に下
記の２つの問題を発生することがあった。
カードはウェーハのチップ測定時に真空吸着でウェーハ
を固定しているので、ウェーハにそりがあるとウェーハ
を完全にチャック上に平坦に載置できず、被測定チップ
の一部が浮いた状態で測定が行なわれることがあり、バ
ンプの有るチップや消費電力の大きいチップの場合に下
記の２つの問題を発生することがあった。
【０００５】（１）例えば、図３に示したように下に凸
状のウェーハでは、チャック５上でウェーハ中央部３ｃ
のみが吸着され、ウェーハ周辺部３ｒは浮いた状態にな
る。ここで探針１の針圧調整を周辺部３ｒで行なうと、
中央部３ｃは針圧不測となる。特にバンプの有るチップ
では、バンプキズが発生しやすく針圧を低目にセットす
るので、そりが大きいと針圧の面内バラツキが大きくな
り被測定チップ３をチャック５に十分に押しつけられな
いので測定が不安定になる。
状のウェーハでは、チャック５上でウェーハ中央部３ｃ
のみが吸着され、ウェーハ周辺部３ｒは浮いた状態にな
る。ここで探針１の針圧調整を周辺部３ｒで行なうと、
中央部３ｃは針圧不測となる。特にバンプの有るチップ
では、バンプキズが発生しやすく針圧を低目にセットす
るので、そりが大きいと針圧の面内バラツキが大きくな
り被測定チップ３をチャック５に十分に押しつけられな
いので測定が不安定になる。
【０００６】（２）消費電力大のチップの場合、ウェー
ハ上の被測定チップ１が浮いているとクールチャックを
使っても十分チップを冷却できず、チップ温度が上昇し
てしまい測定が不正確となる。
ハ上の被測定チップ１が浮いているとクールチャックを
使っても十分チップを冷却できず、チップ温度が上昇し
てしまい測定が不正確となる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のプローブ・カー
ドは、半導体ウェーハに形成された被測定チップ上の測
定パッドに立てる探針と、該探針よりも上下方向の長さ
が深くて前記測定パッド以外の前記半導体ウェーハに接
触し、かつ探針より高い剛性の材質からなる複数の押え
ピンとを備えて構成されている。
ドは、半導体ウェーハに形成された被測定チップ上の測
定パッドに立てる探針と、該探針よりも上下方向の長さ
が深くて前記測定パッド以外の前記半導体ウェーハに接
触し、かつ探針より高い剛性の材質からなる複数の押え
ピンとを備えて構成されている。
【０００８】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１（ａ），（ｂ）は本発明の第１の実施例を使用し
た被測定チップ測定を説明するためのそれぞれ上面図お
よび部分拡大断面図である。本実施例では探針１の四隅
に先端径が約１００μの剛性の高い金属の押えピン２を
被測定チップ３のスクライブ線４の交差部上に配置して
ある。
。図１（ａ），（ｂ）は本発明の第１の実施例を使用し
た被測定チップ測定を説明するためのそれぞれ上面図お
よび部分拡大断面図である。本実施例では探針１の四隅
に先端径が約１００μの剛性の高い金属の押えピン２を
被測定チップ３のスクライブ線４の交差部上に配置して
ある。
【０００９】このピン２は探針１よりも太く、先にウェ
ーハに接触する様に少し長くしてあるので、チャック５
が上昇するとまずピン２がチップ３をチャック５に押し
つけ、それから探針１がチップ３のパッドに接触する。 これによりウェーハにそりがあっても浮いた被測定チッ
プ３をチャック５に押しつせて測定するので、ウェーハ
面内の探針１の針圧バラツキを少なくでき、チャック５
とのチップ３と熱伝導性も向上できる。
ーハに接触する様に少し長くしてあるので、チャック５
が上昇するとまずピン２がチップ３をチャック５に押し
つけ、それから探針１がチップ３のパッドに接触する。 これによりウェーハにそりがあっても浮いた被測定チッ
プ３をチャック５に押しつせて測定するので、ウェーハ
面内の探針１の針圧バラツキを少なくでき、チャック５
とのチップ３と熱伝導性も向上できる。
【００１０】図２（ａ），（ｂ）は本発明の第２の実施
例として保護ピン２ａをウェーハの押えに使用した例で
ある。この方式では押えピンが場所をとらないため、多
くの部分でウェーハを押えつけることができる。
例として保護ピン２ａをウェーハの押えに使用した例で
ある。この方式では押えピンが場所をとらないため、多
くの部分でウェーハを押えつけることができる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明はウェーハ
上のチップの測定時に被測定チップをチャックに十分に
圧着できるためウェーハ面内での針圧が一定となり、さ
らにチャックとチップの熱伝導性も向上するので、チッ
プの正確な測定が可能となる。
上のチップの測定時に被測定チップをチャックに十分に
圧着できるためウェーハ面内での針圧が一定となり、さ
らにチャックとチップの熱伝導性も向上するので、チッ
プの正確な測定が可能となる。
【図１】（ａ），（ｂ）は本発明の第１の実施例を使用
したＩＣチップ測定を説明するためのそれぞれ上面図お
よび部分拡大断面図である。
したＩＣチップ測定を説明するためのそれぞれ上面図お
よび部分拡大断面図である。
【図２】（ａ），（ｂ）は本発明の第２の実施例を使用
したＩＣチップ測定を説明するためのそれぞれ上面図お
よび部分拡大断面図である。
したＩＣチップ測定を説明するためのそれぞれ上面図お
よび部分拡大断面図である。
【図３】従来のプローブ・カードの一例を使用したＩＣ
チップ測定を説明するための部分拡大断面図である。
チップ測定を説明するための部分拡大断面図である。
１ 探針
２ 押えピン
２ａ 保護ピン
３ 被測定チップ
４ スクライブ線
５ チャック
６ プローブ・カード基板
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体ウェーハに形成された被測定チ
ップ上の測定パッドに立てる探針と、該探針よりも上下
方向の長さが深くて前記測定パッド以外の前記半導体ウ
ェーハに接触し、かつ前記探針より高い剛性の材質から
なる複数の押えピンとを備えることを特徴とするプロー
ブ・カード。 - 【請求項２】 前記複数の押えピンが、下方向に凸に
形成されかつ前記半導体ウェーハ上のスクライブ線の交
差点に圧接することを特徴とする請求項１記載のプロー
ブ・カード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11204091A JPH04340733A (ja) | 1991-05-17 | 1991-05-17 | プローブ・カード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11204091A JPH04340733A (ja) | 1991-05-17 | 1991-05-17 | プローブ・カード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04340733A true JPH04340733A (ja) | 1992-11-27 |
Family
ID=14576513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11204091A Pending JPH04340733A (ja) | 1991-05-17 | 1991-05-17 | プローブ・カード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04340733A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6134428A (en) * | 1995-11-06 | 2000-10-17 | Seiko Epson Corporation | Wrist mounted communicator |
| WO2003062836A1 (fr) * | 2002-01-22 | 2003-07-31 | Tokyo Electron Limited | Sonde avec contacteur trapezoidal, dispositif utilisant cette sonde et procede de fabrication de cette sonde et de ce dispositif |
| JP2010243177A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Advanced Systems Japan Inc | フローティングプローブヘッド構造のプローブカード |
-
1991
- 1991-05-17 JP JP11204091A patent/JPH04340733A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6134428A (en) * | 1995-11-06 | 2000-10-17 | Seiko Epson Corporation | Wrist mounted communicator |
| WO2003062836A1 (fr) * | 2002-01-22 | 2003-07-31 | Tokyo Electron Limited | Sonde avec contacteur trapezoidal, dispositif utilisant cette sonde et procede de fabrication de cette sonde et de ce dispositif |
| US7256592B2 (en) | 2002-01-22 | 2007-08-14 | Tokyo Electron Limited | Probe with trapezoidal contractor and device based on application thereof, and method of producing them |
| US7621045B2 (en) | 2002-01-22 | 2009-11-24 | Tokyo Electron Limited | Method of producing a probe with a trapezoidal contactor |
| JP2010243177A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Advanced Systems Japan Inc | フローティングプローブヘッド構造のプローブカード |
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