JPH04331927A - 偏向ビーム発生装置 - Google Patents
偏向ビーム発生装置Info
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- JPH04331927A JPH04331927A JP13027691A JP13027691A JPH04331927A JP H04331927 A JPH04331927 A JP H04331927A JP 13027691 A JP13027691 A JP 13027691A JP 13027691 A JP13027691 A JP 13027691A JP H04331927 A JPH04331927 A JP H04331927A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、音響光学素子を用いた
偏向ビーム発生装置、特に光源から放射された光ビーム
の利用効率を一層向上させた偏向ビーム発生装置に関す
るものである。
偏向ビーム発生装置、特に光源から放射された光ビーム
の利用効率を一層向上させた偏向ビーム発生装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ顕微鏡、レーザプリンタ、ファク
シミリ、スキャナグラフのような画像形成装置において
は、音響光学素子を有する偏向ビーム発生装置が広く用
いられている。この偏向ビーム発生では、偏向信号を発
生させる駆動回路を音響光学素子に接続し、音響光学素
子に周波数が周期的に変化する超音波を供給している。 そして、音響光学素子に周期的に変化する回折格子を形
成し、形成された回折格子によって入射ビームを周期的
に偏向させている。この音響光学素子を用いる偏向ビー
ム発生装置は機械的駆動機構が不要であり、しかも高速
走査が可能になる大きな利点を有している。
シミリ、スキャナグラフのような画像形成装置において
は、音響光学素子を有する偏向ビーム発生装置が広く用
いられている。この偏向ビーム発生では、偏向信号を発
生させる駆動回路を音響光学素子に接続し、音響光学素
子に周波数が周期的に変化する超音波を供給している。 そして、音響光学素子に周期的に変化する回折格子を形
成し、形成された回折格子によって入射ビームを周期的
に偏向させている。この音響光学素子を用いる偏向ビー
ム発生装置は機械的駆動機構が不要であり、しかも高速
走査が可能になる大きな利点を有している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】偏向ビーム発生装置に
用いられる音響光学素子は、広い偏向角に亘って高い回
折効率を達成できることが必要である。このため、従来
の偏向ビーム発生装置では、所定の偏向方向に直線偏向
した光を放射する光源が用いられ、この偏向方向の光に
対して高い回折効率を有する音響光学素子が用いられて
いる。
用いられる音響光学素子は、広い偏向角に亘って高い回
折効率を達成できることが必要である。このため、従来
の偏向ビーム発生装置では、所定の偏向方向に直線偏向
した光を放射する光源が用いられ、この偏向方向の光に
対して高い回折効率を有する音響光学素子が用いられて
いる。
【０００４】しかしながら、現在実用化されている音響
光学素子の回折効率は高々７０％程度であり、残りの３
０％の非回折光（零次回折光）は偏向されず、ビーム走
査に用いられてはいないのが実情である。このため、高
い出力の光源を用いなければならず、製造コスト等にお
いて種々の難点があった。
光学素子の回折効率は高々７０％程度であり、残りの３
０％の非回折光（零次回折光）は偏向されず、ビーム走
査に用いられてはいないのが実情である。このため、高
い出力の光源を用いなければならず、製造コスト等にお
いて種々の難点があった。
【０００５】従って、本発明の目的は上述した欠点を除
去し、光源から放射された光ビームの利用効率が一層向
上した偏向ビーム発生装置を提供することにある。
去し、光源から放射された光ビームの利用効率が一層向
上した偏向ビーム発生装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明による偏向ビーム
発生装置は、一方向に直線偏光した光を放射する光源と
、偏向信号を発生する駆動回路と、この駆動回路によっ
て駆動され、前記光源からの光の一部を、前記偏向信号
に応じた方向に偏向され偏光面が９０°回転した回折光
として出射させ、残りの光が光源からの光と同一の偏光
状態の非回折光としてする音響光源素子と、この音響光
学素子からの回折光及び非回折光を、音響光学素子から
の各出射光路に沿って反対向きにそれぞれ伝播させて前
記音響光学素子に再入射させる光学系とを具えることを
特徴とするものである。
発生装置は、一方向に直線偏光した光を放射する光源と
、偏向信号を発生する駆動回路と、この駆動回路によっ
て駆動され、前記光源からの光の一部を、前記偏向信号
に応じた方向に偏向され偏光面が９０°回転した回折光
として出射させ、残りの光が光源からの光と同一の偏光
状態の非回折光としてする音響光源素子と、この音響光
学素子からの回折光及び非回折光を、音響光学素子から
の各出射光路に沿って反対向きにそれぞれ伝播させて前
記音響光学素子に再入射させる光学系とを具えることを
特徴とするものである。
【０００７】
【作用】音響光学素子は所定の偏光方向に偏光した光に
対して高い回折効率を有し、これと直交する偏光方向の
光に対してはほとんど回折作用を有していない。そして
、音響光学素子に直線偏光した光を入射させると、約７
０％程度の光は回折され、偏光面が９０°回転した回折
光として偏向信号に応じた方向に出射する。残りの光は
回折作用を受けず入射光と同一の偏光状態の光として出
射する。本発明では、再入射光学系を用いて、これら回
折光及び非回折光を、音響光学素子からの出射光路に沿
って反対向きにそれぞれ伝播させて音響光学素子に再入
射させる。従って、回折光および非回折光は、音響光学
素子の光源からの光が入射する位置とほぼ同一の位置に
再入射する。この際、回折光は偏光面が９０°回転して
いるから回折作用を受けずそのまま出射し、一方非回折
光は偏光面が変化していないから再び回折作用を受け、
光源からの光と同一の回折作用を受けて出射する。この
結果、出射後において音響光学素子に最初に入射した際
に回折作用を受けて再入射した光ビームと再入射した際
に回折された光ビームとが同一の光路に沿って伝播する
ことになる。この結果、零次回折光と１次回折光とを合
成することができ、従来の偏向ビーム発生装置に比べて
一層光量増加された偏向ビームを発生させることができ
る。また、光量が増加した偏向ビームが発生するため、
音響光学素子によるシェージング作用が圧縮された偏向
ビームを発生させることができる。
対して高い回折効率を有し、これと直交する偏光方向の
光に対してはほとんど回折作用を有していない。そして
、音響光学素子に直線偏光した光を入射させると、約７
０％程度の光は回折され、偏光面が９０°回転した回折
光として偏向信号に応じた方向に出射する。残りの光は
回折作用を受けず入射光と同一の偏光状態の光として出
射する。本発明では、再入射光学系を用いて、これら回
折光及び非回折光を、音響光学素子からの出射光路に沿
って反対向きにそれぞれ伝播させて音響光学素子に再入
射させる。従って、回折光および非回折光は、音響光学
素子の光源からの光が入射する位置とほぼ同一の位置に
再入射する。この際、回折光は偏光面が９０°回転して
いるから回折作用を受けずそのまま出射し、一方非回折
光は偏光面が変化していないから再び回折作用を受け、
光源からの光と同一の回折作用を受けて出射する。この
結果、出射後において音響光学素子に最初に入射した際
に回折作用を受けて再入射した光ビームと再入射した際
に回折された光ビームとが同一の光路に沿って伝播する
ことになる。この結果、零次回折光と１次回折光とを合
成することができ、従来の偏向ビーム発生装置に比べて
一層光量増加された偏向ビームを発生させることができ
る。また、光量が増加した偏向ビームが発生するため、
音響光学素子によるシェージング作用が圧縮された偏向
ビームを発生させることができる。
【０００８】
【実施例】図１は本発明による偏向ビーム発生装置の一
例の構成を示す線図である。例えば半導体レーザのよう
な直線偏光した光を放射する光源１から光ビームを投射
し、この光ビームをエキスパンダ２により拡大平行光束
とする。この光ビームを音響光学素子３に入射させる。 音響光学素子３はトランスジューサ３ａを有し、このト
ランスジューサに偏向信号を発生させる可変周波数発振
回路（図示せず）を接続して音響光学素子３に周波数が
周期的に変化する超音波を投射する。音響光学素子には
屈折率の周期的変化が生じて回折格子が形成され、形成
された回折格子により入射ビームを所定の偏向角に亘っ
て周期的に偏向させる。すなわち、音響光学素子３には
可変周波数発振回路からトランスジューサ３ａを介して
周波数が時間的に連続して変化する超音波が供給される
ので、入射ビームは偏向角が時間的に連続して変化する
ように偏向される。本発明では、音響光学素子として特
定の偏波面の光に対しては高い回折効率を有し、これと
直交する偏波面の光に対してはほとんど回折作用を有し
ない特性の素子を用いる。このため、本例ではＳ偏光に
対しては高い回折効率を有し、偏光面がこれと直交する
Ｐ偏光に対しては回折作用をほとんど有しない音響光学
素子を用いる。この関係において、本例では光源１とし
てＳ偏光の光を放射する光源を用いる。音響光学素子３
に入射したＳ偏光した光ビームの一部は偏向信号に応じ
た偏向方向に回折され、偏光面が９０°回転したＰ偏光
として出射し、集束性レンズ４に入射する。残りの回折
されなかった光（零次光）は音響光学素子３をそのまま
透過し、同一の偏光状態の光（Ｓ偏光）として出射し同
様に集束性レンズ４に入射する。集束性レンズ４の後側
焦点面又はその近傍に全反射ミラー５を配置する。集束
性レンズ４に入射する偏向ビーム（回折光）及び非偏向
ビーム（非回折光）は平行光束として入射するから、こ
れらの光ビームは全反射ミラー５上に結像する。図面上
、非偏向ビームを実線で示し、偏向ビームを破線（偏向
中心位置）、一点鎖線（一方の偏向限界位置）及び二点
鎖線（他方の偏向限界位置）で示す。偏向ビーム及び非
偏向ビームは全反射ミラー５で反射し、入射ビームと同
一の光路に沿って反対向きに伝播し、再び集束性レンズ
４に入射し平行光束に変換され、音響光学素子３の光源
１側から入射したビームの入射位置とほぼ同一の位置に
入射する。ここで、非偏向ビームはＳ偏向であるから、
音響光学素子３により回折されＰ偏光となって出射する
。一方、偏向ビームはＰ偏光であるから音響光学素子３
による回折作用を受けずそのまま透過する。この場合、
入射する非偏向ビームは、光源１からの光ビームが受け
る回折作用と同一の回折作用を受けて偏向されるため、
出射後偏向ビームと同一の光路に沿って伝播する。この
結果音響光学素子に再入射した際、音響光学素子３によ
って回折された光と最初に入射したときに回折された光
が合成されて一層大きな光強度の偏向ビームとなって出
射する。尚、全反射ミラー５からの非偏向ビームのうち
音響光学素子３によって回折されなかった光は、音響光
学素子３をそのまま通過して光源側に伝播するが、その
光量は極めて少ないため無視することができる。音響光
学素子３を出射した偏向ビームはリレーレンズ６を経て
後段に配置した光学系に入射し、被走査面上で走査ビー
ムとして使用されることになる。
例の構成を示す線図である。例えば半導体レーザのよう
な直線偏光した光を放射する光源１から光ビームを投射
し、この光ビームをエキスパンダ２により拡大平行光束
とする。この光ビームを音響光学素子３に入射させる。 音響光学素子３はトランスジューサ３ａを有し、このト
ランスジューサに偏向信号を発生させる可変周波数発振
回路（図示せず）を接続して音響光学素子３に周波数が
周期的に変化する超音波を投射する。音響光学素子には
屈折率の周期的変化が生じて回折格子が形成され、形成
された回折格子により入射ビームを所定の偏向角に亘っ
て周期的に偏向させる。すなわち、音響光学素子３には
可変周波数発振回路からトランスジューサ３ａを介して
周波数が時間的に連続して変化する超音波が供給される
ので、入射ビームは偏向角が時間的に連続して変化する
ように偏向される。本発明では、音響光学素子として特
定の偏波面の光に対しては高い回折効率を有し、これと
直交する偏波面の光に対してはほとんど回折作用を有し
ない特性の素子を用いる。このため、本例ではＳ偏光に
対しては高い回折効率を有し、偏光面がこれと直交する
Ｐ偏光に対しては回折作用をほとんど有しない音響光学
素子を用いる。この関係において、本例では光源１とし
てＳ偏光の光を放射する光源を用いる。音響光学素子３
に入射したＳ偏光した光ビームの一部は偏向信号に応じ
た偏向方向に回折され、偏光面が９０°回転したＰ偏光
として出射し、集束性レンズ４に入射する。残りの回折
されなかった光（零次光）は音響光学素子３をそのまま
透過し、同一の偏光状態の光（Ｓ偏光）として出射し同
様に集束性レンズ４に入射する。集束性レンズ４の後側
焦点面又はその近傍に全反射ミラー５を配置する。集束
性レンズ４に入射する偏向ビーム（回折光）及び非偏向
ビーム（非回折光）は平行光束として入射するから、こ
れらの光ビームは全反射ミラー５上に結像する。図面上
、非偏向ビームを実線で示し、偏向ビームを破線（偏向
中心位置）、一点鎖線（一方の偏向限界位置）及び二点
鎖線（他方の偏向限界位置）で示す。偏向ビーム及び非
偏向ビームは全反射ミラー５で反射し、入射ビームと同
一の光路に沿って反対向きに伝播し、再び集束性レンズ
４に入射し平行光束に変換され、音響光学素子３の光源
１側から入射したビームの入射位置とほぼ同一の位置に
入射する。ここで、非偏向ビームはＳ偏向であるから、
音響光学素子３により回折されＰ偏光となって出射する
。一方、偏向ビームはＰ偏光であるから音響光学素子３
による回折作用を受けずそのまま透過する。この場合、
入射する非偏向ビームは、光源１からの光ビームが受け
る回折作用と同一の回折作用を受けて偏向されるため、
出射後偏向ビームと同一の光路に沿って伝播する。この
結果音響光学素子に再入射した際、音響光学素子３によ
って回折された光と最初に入射したときに回折された光
が合成されて一層大きな光強度の偏向ビームとなって出
射する。尚、全反射ミラー５からの非偏向ビームのうち
音響光学素子３によって回折されなかった光は、音響光
学素子３をそのまま通過して光源側に伝播するが、その
光量は極めて少ないため無視することができる。音響光
学素子３を出射した偏向ビームはリレーレンズ６を経て
後段に配置した光学系に入射し、被走査面上で走査ビー
ムとして使用されることになる。
【０００９】次に、音響光学素子から偏向ビームとして
出射する光の強度Ｉと、光源から出射される光の強度Ｉ
０との関係について説明する。音響光学素子の回折効率
をαとすると、光源から放射され音響光学素子によって
１回偏向された光の強度Ｉ１は次式で与えられる。 Ｉ１ ＝αＩ０ 次に、音響光学素子に再入射しさらに回折作用を受けて
偏向ビームとして出射する光の強度Ｉは次式で与えられ
る。 Ｉ＝Ｉ１ ＋α（１−α）Ｉ０ ＝（２α−α２ ）Ｉ０ 従って、音響光学素子を１回だけ通過させる従来の偏向
ビーム発生装置に比べて（α−α２ ）Ｉ０ だけ光量
を増加させることができる。一例として、音響光学素子
の回折効率αを７０％とすると、本発明の偏向ビーム発
生装置では９１％の光を偏向ビームとして出射させるこ
とができ、従来の装置に比べて２１％も光量増加を達成
することができる。
出射する光の強度Ｉと、光源から出射される光の強度Ｉ
０との関係について説明する。音響光学素子の回折効率
をαとすると、光源から放射され音響光学素子によって
１回偏向された光の強度Ｉ１は次式で与えられる。 Ｉ１ ＝αＩ０ 次に、音響光学素子に再入射しさらに回折作用を受けて
偏向ビームとして出射する光の強度Ｉは次式で与えられ
る。 Ｉ＝Ｉ１ ＋α（１−α）Ｉ０ ＝（２α−α２ ）Ｉ０ 従って、音響光学素子を１回だけ通過させる従来の偏向
ビーム発生装置に比べて（α−α２ ）Ｉ０ だけ光量
を増加させることができる。一例として、音響光学素子
の回折効率αを７０％とすると、本発明の偏向ビーム発
生装置では９１％の光を偏向ビームとして出射させるこ
とができ、従来の装置に比べて２１％も光量増加を達成
することができる。
【００１０】次に、音響光学素子のシェージングを圧縮
させる作用について説明する。図２は偏向角と回折効率
との関係を示すグラフである。尚、横軸は超音波の周波
数で表示されているが、偏向角に相当する量すなわち被
走査面上での光ビームの位置を示し、例えば７５ＭＨＺ
を中心にして５０ＭＨｚ から１００ＭＨｚの範囲で
使用するものとする。図２において、実線は従来のビー
ム偏向装置の特性を示し、破線は同一音響光学素子を用
いた本発明による光ビーム偏向装置の特性を示す。音響
光学素子を用いたビーム偏向装置では、被走査面上にお
いて走査中心位置が最も光量が低下し、周辺に向くに従
って光量が増加する特性がある。このため、画像の中心
部が暗くなり、周辺部が明るくなる特性のシェージング
が生じてしまう。 従来の偏向ビーム発生装置では、光ビームが音響光学素
子を１回だけ通過するため、シェージングの影響が直接
的に発生してしまう。これに対して、本発明では光ビー
ムが音響光学素子を２回通過するので全体としての光量
が増加し、全体的に見た場合シェージングの作用が圧縮
された形態で現れる。すなわち、回折効率の低い部位（
７５ＭＨｚ の中央部） では、最初の回折による回折
光の光量は低いが、２回目の回折光の光量が大きいため
、合成されて音響光学素子から出射する回折光の光量は
増加する。一方、回折効率の高い部位では、最初の回折
による回折光の光量は大きいか、２回目の回折による回
折光の光量は小さい。この結果、シェージングの影響を
緩和できることになる。
させる作用について説明する。図２は偏向角と回折効率
との関係を示すグラフである。尚、横軸は超音波の周波
数で表示されているが、偏向角に相当する量すなわち被
走査面上での光ビームの位置を示し、例えば７５ＭＨＺ
を中心にして５０ＭＨｚ から１００ＭＨｚの範囲で
使用するものとする。図２において、実線は従来のビー
ム偏向装置の特性を示し、破線は同一音響光学素子を用
いた本発明による光ビーム偏向装置の特性を示す。音響
光学素子を用いたビーム偏向装置では、被走査面上にお
いて走査中心位置が最も光量が低下し、周辺に向くに従
って光量が増加する特性がある。このため、画像の中心
部が暗くなり、周辺部が明るくなる特性のシェージング
が生じてしまう。 従来の偏向ビーム発生装置では、光ビームが音響光学素
子を１回だけ通過するため、シェージングの影響が直接
的に発生してしまう。これに対して、本発明では光ビー
ムが音響光学素子を２回通過するので全体としての光量
が増加し、全体的に見た場合シェージングの作用が圧縮
された形態で現れる。すなわち、回折効率の低い部位（
７５ＭＨｚ の中央部） では、最初の回折による回折
光の光量は低いが、２回目の回折光の光量が大きいため
、合成されて音響光学素子から出射する回折光の光量は
増加する。一方、回折効率の高い部位では、最初の回折
による回折光の光量は大きいか、２回目の回折による回
折光の光量は小さい。この結果、シェージングの影響を
緩和できることになる。
【００１１】図３は本発明による偏向ビーム発生装置の
変形例の構成を示す線図である。本例では、再入射光学
系として２個の平面鏡を用い、偏向ビームの出射光路側
に平面鏡１０を配置し、非偏向ビームの出射光路側に平
面鏡１１を配置する。偏向ビームは平面鏡１０によって
反射され音響光学素子３に入射し回折作用を受けずに出
射する。また、非偏向ビームは平面鏡１１で反射し、再
び音響光学素子３に入射し、回折作用を受け偏向ビーム
として出射する。このように構成すれば、簡単な光学系
により音響光学素子の回折効率を増大させることができ
る。 尚、本例の場合、ビーム間に若干のずれが生ずるがずれ
量は微小であり、しかも後段の光学系により圧縮される
ため大きな不都合が生じない。このビーム間のずれが問
題となるような装置においては、音響光学素子３と全反
射ミラー１０との間に集束性レンズを配置することによ
りビーム間のずれを容易に除去することができる。
変形例の構成を示す線図である。本例では、再入射光学
系として２個の平面鏡を用い、偏向ビームの出射光路側
に平面鏡１０を配置し、非偏向ビームの出射光路側に平
面鏡１１を配置する。偏向ビームは平面鏡１０によって
反射され音響光学素子３に入射し回折作用を受けずに出
射する。また、非偏向ビームは平面鏡１１で反射し、再
び音響光学素子３に入射し、回折作用を受け偏向ビーム
として出射する。このように構成すれば、簡単な光学系
により音響光学素子の回折効率を増大させることができ
る。 尚、本例の場合、ビーム間に若干のずれが生ずるがずれ
量は微小であり、しかも後段の光学系により圧縮される
ため大きな不都合が生じない。このビーム間のずれが問
題となるような装置においては、音響光学素子３と全反
射ミラー１０との間に集束性レンズを配置することによ
りビーム間のずれを容易に除去することができる。
【００１２】図４は本発明による偏向ビーム発生装置の
別の変形例の構成を示す線図である。光源２０からＳ偏
向の光を放射し、エキスパンダ２１をより拡大平行光束
とする。この光ビームを全反射ミラー２２により光路を
ほぼ９０°曲げ、偏向ビームスプリッタ２３に入射させ
る。この偏光ビームスプリッタは、その偏光面２３ａ
によりＳ偏光した光はそのまま透過させＰ偏光した光は
反射する。全反射ミラー２２からの光ビームは、ビーム
スプリッタ２３を透過し、音響光学素子２４に入射する
。そして、この音響光学素子により、回折光と非回折光
とに分離され、これらのビームは凸レンズ２５を経て凸
レンズの後側焦点面に配置した全反射ミラー２６に入射
する。全反射ミラーで反射した回折光及び非回折光は再
び凸レンズ２６を経て音響光学素子２４に入射し、この
音響光学素子の回折作用により合成されてから偏光ビー
ムスプリッタ２３に入射する。合成された光ビームはＰ
偏光に変換されているから、偏光面２３ａ で反射しリ
レーレンズ２４に入射する。このように構成すれば、音
響光学素子への入射ビームと走査ビームとして出射する
光ビームとの光路を９０°曲げることができ、光学系の
設計の自由度が向上する。
別の変形例の構成を示す線図である。光源２０からＳ偏
向の光を放射し、エキスパンダ２１をより拡大平行光束
とする。この光ビームを全反射ミラー２２により光路を
ほぼ９０°曲げ、偏向ビームスプリッタ２３に入射させ
る。この偏光ビームスプリッタは、その偏光面２３ａ
によりＳ偏光した光はそのまま透過させＰ偏光した光は
反射する。全反射ミラー２２からの光ビームは、ビーム
スプリッタ２３を透過し、音響光学素子２４に入射する
。そして、この音響光学素子により、回折光と非回折光
とに分離され、これらのビームは凸レンズ２５を経て凸
レンズの後側焦点面に配置した全反射ミラー２６に入射
する。全反射ミラーで反射した回折光及び非回折光は再
び凸レンズ２６を経て音響光学素子２４に入射し、この
音響光学素子の回折作用により合成されてから偏光ビー
ムスプリッタ２３に入射する。合成された光ビームはＰ
偏光に変換されているから、偏光面２３ａ で反射しリ
レーレンズ２４に入射する。このように構成すれば、音
響光学素子への入射ビームと走査ビームとして出射する
光ビームとの光路を９０°曲げることができ、光学系の
設計の自由度が向上する。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、光
源からの光ビームを音響光学素子に入射させると共に、
出射した回折光及び非回折光を音響光学素子の光源から
の光が入射した位置に再入射させる構成としているから
、光源から放射した光を一層効率よく利用することがで
きる。また、光ビームが音響光学素子を２回通過させて
いるので、偏光ビームの光量が全体的に増加し、この結
果シェージング作用を相対的に圧縮させることができる
。
源からの光ビームを音響光学素子に入射させると共に、
出射した回折光及び非回折光を音響光学素子の光源から
の光が入射した位置に再入射させる構成としているから
、光源から放射した光を一層効率よく利用することがで
きる。また、光ビームが音響光学素子を２回通過させて
いるので、偏光ビームの光量が全体的に増加し、この結
果シェージング作用を相対的に圧縮させることができる
。
【図１】図１は本発明による光ビーム偏向装置の一例の
構成を示す線図である。
構成を示す線図である。
【図２】図２は偏向角と回折効率との関係を示すグラフ
である。
である。
【図３】図３は本発明による光ビーム偏向装置の変形例
を示す線図である。
を示す線図である。
【図４】図４は本発明による光ビーム偏向装置の別の変
形例を示す線である。
形例を示す線である。
１ 光源
２ エキスパンダ
３ 音響光学素子
４ 集束性レンズ
５ 全反射ミラー
６ リレーレンズ
Claims (2)
- 【請求項１】 一方向に直線偏光した光を放射する光
源と、偏向信号を発生する駆動回路と、この駆動回路に
よって駆動され、前記光源からの光の一部を、前記偏向
信号に応じた方向に偏光され偏向面が９０°回転した回
折光として出射させると共に、残りの光が光源からの光
と同一の偏光状態の非回折光として出射する音響光源素
子と、この音響光学素子からの回折光及び非回折光を、
音響光学素子からの各出射光路に沿って反対向きにそれ
ぞれ伝播させて前記音響光学素子に再入射させる光学系
とを具えることを特徴とする偏向ビーム発生装置。 - 【請求項２】 前記再入射光学系が、集束性レンズと
、この集束性レンズの後側焦点面又はその近傍に配置し
た平面鏡とを有することを特徴とする請求項１に記載の
偏向ビーム発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3130276A JP2992121B2 (ja) | 1991-05-07 | 1991-05-07 | 偏向ビーム発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3130276A JP2992121B2 (ja) | 1991-05-07 | 1991-05-07 | 偏向ビーム発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04331927A true JPH04331927A (ja) | 1992-11-19 |
| JP2992121B2 JP2992121B2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=15030436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3130276A Expired - Fee Related JP2992121B2 (ja) | 1991-05-07 | 1991-05-07 | 偏向ビーム発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2992121B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016516219A (ja) * | 2013-03-22 | 2016-06-02 | フォンダツィオーネ・イスティトゥート・イタリアーノ・ディ・テクノロジャＦｏｎｄａｚｉｏｎｅ Ｉｓｔｉｔｕｔｏ Ｉｔａｌｉａｎｏ Ｄｉ Ｔｅｃｎｏｌｏｇｉａ | ランダムアクセス誘導放出抑制（ｓｔｅｄ）顕微鏡 |
-
1991
- 1991-05-07 JP JP3130276A patent/JP2992121B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016516219A (ja) * | 2013-03-22 | 2016-06-02 | フォンダツィオーネ・イスティトゥート・イタリアーノ・ディ・テクノロジャＦｏｎｄａｚｉｏｎｅ Ｉｓｔｉｔｕｔｏ Ｉｔａｌｉａｎｏ Ｄｉ Ｔｅｃｎｏｌｏｇｉａ | ランダムアクセス誘導放出抑制（ｓｔｅｄ）顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2992121B2 (ja) | 1999-12-20 |
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