JPH04331918A - 活性マトリックス液晶表示装置 - Google Patents

活性マトリックス液晶表示装置

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JPH04331918A
JPH04331918A JP3288665A JP28866591A JPH04331918A JP H04331918 A JPH04331918 A JP H04331918A JP 3288665 A JP3288665 A JP 3288665A JP 28866591 A JP28866591 A JP 28866591A JP H04331918 A JPH04331918 A JP H04331918A
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liquid crystal
alignment
layer
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pixel
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JP3288665A
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Howard Sorkin
ハワード ソーキン
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Philips Gloeilampenfabrieken NV
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、マトリックス液晶表示
装置(matrix liquid crystal 
display −LCD−device)のうち、画
素電極のアレイ(array of pixel el
ectrodes) によって定義された表示セル(d
isplay cells) のアレイを有する装置に
関するものであり、更に特定して云えばこの種装置のう
ち暗い画素間領域(dark interpixel 
areas) を有するものに関連が深く、また、この
種の装置の製造方法にも関する。
【0002】現在テレビジョン用として開発の進んでい
る液晶装置というのは活性マトリックス(active
 matrix) 型のものであり、この型では、表示
セルのアレイは装置の1個の壁上に存在する画素電極の
アレイにより定義され、且つこれらの表示セルは、例え
ば薄膜トランジスタのようなスイッチを経由して画素電
極に接続された行(row) 電極と列(column
)電極とのマトリックスにより制御される。
【0003】
【従来の技術】このような活性マトリックス液晶表示装
置のうち好適な型の1つに、ねじれネマティック表示装
置(twisted nematic display
 device) と称するものがあり、この種の装置
では、装置の内壁に設けられた2つの配向層(alig
ning layers)の配向方向(alignme
nt directions)が互いに直交し、それに
より、隣接するネマティック液晶分子(molecul
es of a nematic liquid cr
ystal) を配向して、2つの壁の間で液晶に90
度のねじれ(twist) を与えている。
【0004】作動状態においては、変調すべき入射光は
偏光子(polarizer) を経由して装置に入る
が、この偏光子の偏光方向はこれに隣接する配向層で配
向される。こうして直線偏光した(linearly 
polarized)光は液晶を通過する間に90度回
転し、装置の出口で検光子(analyzer)を通る
が、この検光子の偏光方向は、上記配向層と対向する配
向層により配向される。液晶分子のねじれを戻す(un
twist) に足る電圧が加わると、光の回転が消滅
するため検光子で遮断され、「オン」なら暗いという条
件(a dark ”on” condition) 
が成立する。中間の電圧値なら中間の明るさすなわち「
灰色”grey”」に見える。
【0005】こうした装置の画面のコントラストは、画
素電極の間隙(以下これを「画素間領域 ”inter
pixel area”」と称する)を暗くすることに
より増大することが知られている。例えば特開昭第62
−91920号では、マトリックスを暗くするのにその
領域の液晶配向層を除去する方法が採られている。すな
わち、これに隣接する液晶分子は配向されず光は散乱す
るのである。
【0006】特開昭第62−144,133号では、ラ
ビングを施した(rubbed)配向層の画素間領域を
紫外光線で照射してこの層の配向能力を中和(neut
ralize)することにより、同様な効果を収めてい
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記2つの方法に共通
する1つの問題点は、光を遮断するのでなく散乱させて
いるため、幾分かの光が検光子を通過することである。 このため画素間領域を完全に暗くした場合ほど表示のコ
ントラストは増大しない。
【0008】その他画素間領域を暗くするための既知の
方法には、光吸収物質又は光反射物質の層を、アレイ又
は対立電極(counter−electrode) 
の何れかの上に蒸着すなわちスパッタリングする方法が
ある。アレイ上にこうした層を形成すると、電気的に短
絡を起こして光吸収による装置の加熱を招く可能性があ
る。また対立電極上にこうした層を形成するには、この
層と画素電極アレイとの間の精密位置合わせ技術(pr
ecision alignment techniq
ues)が必要となる。
【0009】従って本発明の1つの目的は、マトリック
ス液晶表示装置のコントラストを増大するため、画素間
領域の光を遮断することである。
【0010】本発明のもう1つの目的は、画素間領域の
光を遮断する手段を含んだマトリックス液晶表示装置の
実現であり、しかもその手段は、電気的短絡や光吸収に
よる発熱の危険を増大したり画素電極と対向電極との精
密位置合わせを要するものであってはならない。
【0011】本発明のもう1つの目的は、そのような装
置を製造する方法の実現である。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、入射光
を変調するためのマトリックス液晶表示装置は、対向す
る壁(opposing walls)を含み、それら
の壁の少なくとも一方は光学的に透明であり、それらの
壁の間には液晶物質(a liquid crysta
l material) がサンドウィッチ状に挟まれ
、片方の壁の内側の面には画素電極のアレイ(an a
rray of pixelelectrodes)が
存在し、これと対向する壁の内側の面には少なくとも1
個の対向電極(counter−electrode)
 があり、画素電極により液晶物質中の離散的な表示セ
ル(discrete display cells)
のアレイが定義され、更にこれらの電極を蔽う配向層が
液晶物質に接触し、その各層はこれと隣接する液晶分子
を配向する(align)ための単一の配向方向を有し
、これら配向層はそれぞれ配向方向が互いに相違するよ
うに配向処理(orient)され、これにより層間の
液晶分子にねじれ(twist) を与えるように仕組
まれた液晶表示装置において、一方の壁上にある画素電
極の周囲の画素間領域(interpixel are
a) の少なくとも一部分は、その配向方向が対向する
壁上の配向層の配向方向とほぼ同一な配向層を持ち、こ
れにより画素間領域内では対向する層間の液晶分子には
互いに平行した配向を生じさせることを特徴とする。か
ような装置では、これを偏光子と検光子との間での動作
させるにあたり、変調すべき入射光の通路に置いた偏光
子の偏光方向を1つの配向層の配向方向と一致させ、液
晶物質を透過した光の通路に置いた検光子の偏光方向を
他の配向層の配向方向と一致させると、画素間領域では
光が遮断される。
【0013】本発明の好適な実施例の1つによれば、液
晶物質はネマティック液晶物質であり、異なる配向方向
の間の角度が90度をなすようにして、表示領域におけ
る層間の液晶物質に90度のねじれを生じさせている。
【0014】交差偏光子(crossed polar
izers)を有するねじれネマティック・セルを動作
させるにあたり、画素電極上の配向方向を画素間領域お
よび対立電極上の配向方向と直交させると、入射光は先
ず偏光子により直線偏光(linearly pola
rized)し、次いでこの光のうち表示セルを通過す
る部分は、90度のねじれを受けた後で検光子を通過す
る。画素間領域では液晶分子は平行に配向(paral
lel alignment)しているので、この領域
を通過する光はねじれを起こさず、従って検光子により
遮断される。 表示セルにおいてねじれを減少する電圧を加えても、画
素間領域における液晶分子の平行配向には影響が及ばず
、この領域の光は依然検光子により遮断を継続する。 このように画素間領域では光が遮断され散乱しないので
高いコントラストが得られるのである。
【0015】本発明の今一つの態様では、マトリックス
液晶表示装置の1番目の製造方法として、次の諸段階す
なわち: a.基板上に画素電極のアレイを形成する段階、b.こ
の画素アレイ上に第1の配向方向を有する第1の液晶配
向層を形成する段階、 c.画素電極の上を蔽う第1配向層上に1個のパターン
を有するマスクを光リトグラフ技術で(photoli
thographically) 形成する段階、 d.このマスクおよび第1層の露出部分の上に第2の配
向方向を有する第2の配向層を形成する段階、及びe.
このマスクを除去し画素領域の周りの画素間領域に第2
の層を残す段階、の諸段階を含むものが実現できる。
【0016】マトリックス液晶表示装置の2番目の製造
方法には、次の諸段階すなわち: a.基板上に画素電極のアレイを形成する段階、b.こ
の画素アレイ上に第1の配向方向を有する第1の液晶配
向層を形成する段階、 c.画素電極の周りの画素間領域を蔽う第1の配向層上
に1個のパターンを有するマスクを光リトグラフ技術で
形成する段階、 d.このマスクおよび第1層の露出部分の上に第2の配
向方向を有する第2の配向層を形成する段階、及びe.
このマスクを除去し画素領域に第2の層を残す段階、 の諸段階が含まれる。
【0017】両製造方法ともに画素電極と同一基板上に
光吸収層が作られるので、この層が存在しても両基板の
相対位置関係が問題となることはない。
【0018】これらの製造方法の代替案の1つとして、
第2の配向層を形成するに先立ち、第1配向層の露出部
分を除去する方法もある。
【0019】またこれらの製造方法によれば、対向電極
と第3の配向方向を有する第3の配向層とを別の基板上
に形成し、液晶物質をこれら基板の間にサンドウィッチ
状に挾んで、第2の配向方向と第3の配向方向がほぼ同
一になるようにすることもできる。
【0020】これらの製造方法に関する好適な実施例の
1つでは、液晶物質はネマティック(nematic)
 であり、第1の配向方向と第2の配向方向の差は90
度である。
【0021】
【実施例】透過モード(transmissive m
ode) で動作する、従来の技術によるねじれネマテ
ィックLCD(液晶表示)の断面を図1に示した。2つ
のガラス支持板1および2のうち、支持板1の内面上に
は、行(row) 電極と列(column)電極のパ
ターン及び画素電極とこれに伴う薄膜トランジスタ(T
FT) のアレイを設け、層3として図式的に表示され
ている。支持板2には透明な対立電極(counter
electrode)4が設けられている。層3と対立
電極4の内面上にはそれぞれ配向層(orientin
g layer) 5と6とが存在して、これらの配向
層は、例えば一酸化珪素(SiO) を面の法線に対し
斜めの角度で蒸着(vapor deposition
)することにより形成される。ネマティック(nema
tic) 液晶物質7が前記支持板の間に存在しており
、該ネマティック液晶物質7としては、ドイツ国 Da
rmstadtに所在する E.Merck社製の Z
LI 84−460 と称する専売組成を有する材料に
対し、キラル添加物(chiral addition
) として例えば「n−シアノ−4’− (2−メチル
)−イソブチール−ビフェニール」(英国 Poole
に所在する BHD Chemicals社から CB
15 として入手可能)を含有させたもの、などがある
。支持板の間隔は通常 6−8 ミクロンで、この間隔
を維持するためにビーズ型間隔子(spacer be
ads,図示せず)が支持板の表面上に規則的に分散配
置してある。 両支持板は封入ガスケット8でつないでいる。
【0022】2つの一酸化珪素の層はそれぞれ1つの配
向方向(direction of orientat
ion)を示し、これに沿って隣接の液晶分子が自ら整
列(align) しようとする。これらの分子にはま
た、互いに整列しようとする傾向もあるので、これら2
つの一酸化珪素層の配向方向を互いに直交させることに
より、結果として液晶分子はセルの厚み方向に約90度
の回転を受ける。キラル添加物は液晶分子のねじれ方向
を決定するものであり、上記 CB15 によれば反時
計方向のねじれが生じる。
【0023】支持板1及び2の外側の面には、それぞれ
直線偏光子(linear polarizer)が更
に装着される。偏光子(polarizer) 9は図
の矢印で示すような入射光を受けとめ(interce
pt) 、検光子(analyzer)10は装置を透
過した光を受けとめる。
【0024】偏光子と検光子の偏光方向(orient
ation) が互いに直交しているので、直線偏光し
た入射光は液晶セルにより90度回転し検光子を通過す
る。電圧をかけると、液晶分子のねじれが戻り光は遮断
されるが、遮光の量はねじれの度合い、従って加えた電
圧の大きさに左右される。
【0025】図2に示したのは、透過モードで動作する
活性マトリックス薄膜トランジスタ切り替え型(TFT
−switched)液晶表示装置に関する、1個の画
素とその周辺領域を含む従来技術による配置の一部分で
あり、茲ではインジウム錫酸化物(ITO) を成分と
する薄い透明な画素電極11のアレイが、ガラス基板(
図示せず)上で行電極12と列電極14のマトリックス
内に配置され、またこれらの両電極は、茲では化学的に
蒸着した(CVD) 酸化物の交差誘電体(cross
−over dielectric)16 により互い
に分離している。各画素電極11への接続は、TFT 
のような薄膜スイッチ18(図2には1個のみ図示)を
経由して行なわれる。このスイッチにはポリシリコン層
20、1個またはそれ以上のゲート電極22及び24を
含み、これらゲート電極は層20のチャネル領域(図示
せず)上に位置してポリシリコンの行電極12(ゲート
線とも称される)、ゲート電極の下にあるゲート誘電体
(図示せず)、およびソース領域26とドレイン領域2
8とに接続し、これらの領域はそれぞれアルミニウムの
列電極14(ソース線とも称される)および画素電極1
1に接続している。
【0026】次に、図3は図2の III−III 線
に沿った断面であり、画素11および列電極14が透明
な基板1に支持されているが、この基板は例えば石英ま
たはシリカ系ガラスなどである。
【0027】本発明における第1の製造方法によれば、
配向層(orienting layer) 30は、
例えば一酸化珪素の斜方蒸着(oblique vap
or deposition)により生成されるのであ
るが、図3に示すように、図の平面に垂直な配向方向が
得られるような方法でアレイ上に蒸着する。次に、図4
に示すように、フォトレジスト層40を、画素電極11
は蔽うが画素間領域Aは露出したまま、というパターン
で配向層30の上に蒸着する。次に、第2の配向層50
を上記フォトレジスト層40の上に形成するが、その配
向方向は、図5の矢印で示すように、配向層30とは互
いに直交するようにする。次いでフォトレジスト層40
を除去するが、これは通常の方法すなわち、この面を「
現像液 ”developer”」と称する選択溶剤で
処理して除去し、画素間領域Aには図6に示すようなパ
ターンの配向層50が生成されるようにする。
【0028】本発明のこの第1の製造方法の1つの代替
実施例では、図5に示したような配向層50を生成する
に先立ち、図7に示すように、画素間領域Aから配向層
30の露出部分を除去する。酸化珪素の場合、溶剤とし
ては弗酸緩衝液(buffered HF) が適当で
あろう。次いで配向層80を図8に示すように形成し、
フォトレジストのパターンを除去することにより図9に
示すような構造を生成する。
【0029】図10は組み上がった液晶表示セルを示し
、この中では、液晶物質7が透明な基板1及び2の間に
サンドウィッチ状に挟まれている。基板1は図9に示し
た構造を搭載し、基板2は対立電極4と配向層6を搭載
し、これらは、層6が画素間領域A内の層80と同一配
向方向を有するように組み立てられている。表示セルを
横切り対向壁に向って領域Aを投影すると、図10の破
線で示すように体積Vが形成される。画素間領域におい
ては、層6の配向方向と層80の配向方向が同一なので
、体積Vの内部では液晶物質のねじれは起こらない。従
って、光が偏光子と検光子の間を横切る場合、偏光子に
より直線偏光した光は、体積V通過中回転を起こさず検
光子により遮断される。
【0030】本発明による第2の製造法においては、図
11に矢印で示すような配向方向を有する配向層110
 をアレイ上に形成する。次いで画素間領域を蔽うよう
なパターンによりフォトレジスト層112 を蒸着する
。これに次いで図12に示すように第2の配向層120
 を形成し、その配向方向を画面に垂直で層110 の
それと直交するようにする。これに次いで、図13に示
すように、残った配向層120 が画素領域を蔽うよう
なパターンを用いて、フォトレジスト層112 を除去
する。
【0031】本発明の第2の製造法を代替する1実施例
においては、配向層110 の形成およびフォトレジス
ト層112 のパターン除去の後、画素電極を蔽う配向
層110 の露出部分を除去し図14に示すような構造
を生成する。これに次いで、配向層150 を図15に
示すように蒸着し、その配向方向は図15に示すように
層110 とは直交方向とし、フォトレジスト層112
 を除去して図9に示したような構造を残し、層110
 は層80に、また層150 は図9の層30に一致さ
せるようにする。結果として得られた構造を、図10に
示した方法で液晶表示セルに組み立てることにより、こ
こでも再び画素間領域における層の配向方向と対立電極
4の配向層6の配向方向とを一致させることができる。
【0032】これまで本発明の記述は限られた数の実施
例について行なってきた。本発明の範囲内で、その他の
実施例および付随的な諸請求項の出現することは当然予
想できる。例えば、アレイの画素は薄膜トランジスタの
ような3端子素子でなく2端子素子、例えばダイオード
やMIM というような非線形スイッチによる切り替え
が可能である。このほか電気光学媒体は90度ねじれネ
マティック液晶である必要はなく、超ねじれ液晶(su
pertwist liquid crystal) 
というような他の型の液晶も利用できよう。更に表示装
置は透過モードで動作する光管(light valv
e) である必要はなく、反射モードで動作してもよい
【0033】また、本発明のこれまでの説明では、画素
領域と画素間領域とに別々の配向層を形成するとしてき
たが、単一の配向層を利用して、そのままの状態で各領
域ごとに異なる配向方向を持たせるよう配向処理する方
法も想定できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、従来の技術によるマトリックス液晶表
示(matrix LCD)の断面の概略図である。
【図2】図2は、従来の技術による活性マトリックス薄
膜トランジスタ切り替え式液晶表示構造(active
 matrix TFT−Switched LCD)
の一部分の概略斜視図である。
【図3】図3は、図2の III−III 線に沿った
断面概略図であって、本発明の製造方法に基づく本発明
のLCD の製造の諸段階のうちの1つをを図示してい
る。
【図4】図4は、図2の III−III 線に沿った
断面概略図であって、本発明の製造方法に基づく本発明
のLCD の製造の諸段階のうちの1つをを図示してい
る。
【図5】図5は、図2の III−III 線に沿った
断面概略図であって、本発明の製造方法に基づく本発明
のLCD の製造の諸段階のうちの1つをを図示してい
る。
【図6】図6は、図2の III−III 線に沿った
断面概略図であって、本発明の製造方法に基づく本発明
のLCD の製造の諸段階のうちの1つをを図示してい
る。
【図7】図7は、図2の III−III 線に沿った
断面概略図であって、本発明の製造方法に基づく本発明
のLCD の製造の諸段階のうちの1つをを図示してい
る。
【図8】図8は、図2の III−III 線に沿った
断面概略図であって、本発明の製造方法に基づく本発明
のLCD の製造の諸段階のうちの1つをを図示してい
る。
【図9】図9は、図2の III−III 線に沿った
断面概略図であって、本発明の製造方法に基づく本発明
のLCD の製造の諸段階のうちの1つをを図示してい
る。
【図10】図10は、図2の III−III 線に沿
った断面概略図であって、本発明の製造方法に基づく本
発明のLCD の製造の諸段階のうちの1つをを図示し
ている。
【図11】図11は、図2の III−III 線に沿
った断面概略図であって、本発明の製造方法に基づく本
発明のLCD の製造の諸段階のうちの1つをを図示し
ている。
【図12】図12は、図2の III−III 線に沿
った断面概略図であって、本発明の製造方法に基づく本
発明のLCD の製造の諸段階のうちの1つをを図示し
ている。
【図13】図13は、図2の III−III 線に沿
った断面概略図であって、本発明の製造方法に基づく本
発明のLCD の製造の諸段階のうちの1つをを図示し
ている。
【図14】図14は、図2の III−III 線に沿
った断面概略図であって、本発明の製造方法に基づく本
発明のLCD の製造の諸段階のうちの1つをを図示し
ている。
【図15】図15は、図2の III−III 線に沿
った断面概略図であって、本発明の製造方法に基づく本
発明のLCD の製造の諸段階のうちの1つをを図示し
ている。
【符号の説明】
1,2  ガラス支持板 3  行電極と列電極のパターン及び画素電極とこれに
伴う薄膜トランジスタのアレイが設けられた層4  対
立電極 5,6,30, 50, 80, 110, 120,
 150   配向層7  ネマティック液晶物質 8  封入ガスケット 9  偏光子 10  検光子 11  画素電極 12  行電極 14  列電極 16  交差誘電体 18  薄膜スイッチ 20  ポリシリコン層 22, 24  ゲート電極 26  ソース領域 28  ドレイン領域 40, 112   フォトレジスト層A  画素間領

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  電気的に装置の透過度を変化させるこ
    とにより入射光を変調するマトリックス液晶表示装置で
    あって、その装置は、少なくともそのうちの一方が光学
    的に透明な対向する壁と、それらの壁の間にサンドウィ
    ッチ状に挟まれた液晶物質と、片方の壁の内面上の画素
    電極アレイと、これと対向する壁の内面上の少なくとも
    1個の対立電極と、液晶物質内で離散的な表示セルのア
    レイを定義する画素電極と、これらの電極を蔽い且つ液
    晶物質に接触する第1の配向層及び第2の配向層とを含
    んで成り、さらに、各配向層はそれに隣接する液晶分子
    を配向するための配向方向を有し、また、これらの配向
    層はそれぞれの配向方向が互いに相違するように配向処
    理され、それによって配向層間の液晶物質にねじれを発
    生させているマトリックス液晶表示装置において、片方
    の壁上の画素電極の周りの画素間領域の少なくとも一部
    に、画素電極に対する配向方向とは異なり且つ対向壁に
    対する配向方向とはほぼ同一の配向方向を有する配向層
    が設けられ、このことにより画素間領域では対向する層
    間の液晶の分子の配向方向が互いに平行な配向になるよ
    うにしてあることを特徴とするマトリックス液晶表示装
    置。
  2. 【請求項2】  請求項1に記載の装置において、互い
    に異なる2種類の配向層が、画素電極を支持する壁上に
    設けられていることを特徴とするマトリックス液晶表示
    装置。
  3. 【請求項3】  請求項2に記載の装置において、液晶
    物質がネマティック液晶物質であり、2つの配向方向が
    90度の角度を形成し、画素領域における対向層間の液
    晶分子に90度のねじれを生じていることを特徴とする
    マトリックス液晶表示装置。
  4. 【請求項4】  請求項3に記載の装置において、偏光
    子と検光子が設けられ、偏光子は変調すべき入射光の通
    路に置かれ、その偏光方向は1つの配向方向のそれと一
    致し、検光子は液晶物質を透過した光の通路に置かれ、
    その偏光方向は他の1つの配向方向のそれと一致するこ
    とを特徴とする装置。
  5. 【請求項5】  マトリックス液晶表示装置の製造方法
    であって、該方法は a.基板上に画素電極のアレイを形成する段階、b.こ
    の画素アレイを蔽う形で、第1の配向方向を有する第1
    の液晶配向層を形成する段階、 c.画素電極を蔽うこの第1の配向層の上に1個のパタ
    ーンを有するマスクを光リトグラフ技術により形成する
    段階、 d.このマスクおよび第1の層の露出部分の上に第2の
    配向方向を有する第2の配向層を形成する段階、及びe
    .マスクを除去して画素領域の周りの画素間領域に第2
    の層が残るようにする段階、という各段階を含むことを
    特徴とする製造方法。
  6. 【請求項6】  請求項5に記載の製造方法において、
    第2の配向層の形成に先立ち、第1の配向層の露出部分
    を除去することを特徴とする製造方法。
  7. 【請求項7】  請求項5に記載の製造方法において、
    対向電極、及び第3の配向方向を有する第3の配向層を
    別の基板上に形成し、液晶物質をこれら基板の間にサン
    ドウィッチ状に挾み、この結果、第2の配向方向と第3
    の配向方向がほぼ同一になるようにすることを特徴とす
    る製造方法。
  8. 【請求項8】  マトリックス液晶表示装置の製造方法
    であって、該方法は a.基板上に画素電極のアレイを形成する段階、b.第
    1の配向方向を有する第1の液晶配向層をこの画素アレ
    イ上に形成する段階、 c.画素電極の周りの画素間領域の上に1個のパターン
    を有するマスクを光リトグラフ技術により形成する段階
    、 d.このマスクおよび第1の層の露出部分の上に、第2
    の配向方向を有する第2の配向層を形成する段階、及び
    e.このマスクを除去して画素領域には第2の層が残る
    ようにする段階、という各段階を含むことを特徴とする
    製造方法。
  9. 【請求項9】  請求項8に記載の製造方法において、
    第2の配向層の形成に先立ち第1の配向層の露出部分を
    除去することを特徴とする製造方法。
  10. 【請求項10】  請求項8に記載の製造方法において
    、対向電極、及び第3の配向方向を有する第3の配向層
    を別の基板上に形成し、液晶物質をこれら基板の間にサ
    ンドウィッチ状に挾んで、第2の配向方向と第3の配向
    方向がほぼ同一になるようにすることを特徴とする製造
    方法。
JP3288665A 1990-11-07 1991-11-05 活性マトリックス液晶表示装置 Pending JPH04331918A (ja)

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EP0485017A2 (en) 1992-05-13

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