JPH04326247A

JPH04326247A - 画像形成装置

Info

Publication number: JPH04326247A
Application number: JP3095346A
Authority: JP
Inventors: Naohito Nakamura; 尚人中村; Ichiro Nomura; 一郎野村; Tetsuya Kaneko; 哲也金子; Shinya Mishina; 伸也三品; Hidetoshi Suzuki; 英俊鱸
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1991-04-25
Filing date: 1991-04-25
Publication date: 1992-11-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子放出素子を用いた画
像形成装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、面状に展開した複数の電子放
出素子と、この電子放出素子から放出された電子ビーム
の照射により画像を形成する画像形成部材（例えば蛍光
体、レジスト材等、電子が衝突することで発光、変色、
帯電、変質等する部材）とを各々相対向させた薄形の画
像形成装置がある。

【０００３】この様な画像形成装置の例として、図２６
に、従来の電子線ディスプレイ装置の概略構成図を示す
。

【０００４】まず、図２６は相対向させた電子放出素子
と画像形成部材との間に変調電極を配置した構成を有す
る電子線ディスプレイ装置であって、詳述する９１はリ
アプレート、９２は支持体、９３は配線電極、９４は電
子放出部、９５は電子通過孔、９６は変調電極、９７は
ガラス板、９８は透明電極、９９は蛍光体（画像形成部
材）、１００はフェースプレイト、１０１は蛍光体の輝
点である。電子放出素子（９２、９３、９４で構成）の
電子放出部９４は薄膜技術により形成され、リアプレー
ト９１とは接触することがない中空構造を成すものであ
る。又、変調電極９６は、電子放出部９４の上方（電子
放出方向）空間内に配置されており、その為、放出され
た電子ビームの通過孔９５を有している。

【０００５】この電子線ディスプレイ装置は、配線電極
９３に電圧を印加し中空構造をなす電子放出部９４を加
熱せしめることにより熱電子を放出させ、これら電子流
を情報信号に応じて変調する変調電極９６に電圧を印加
することにより通過孔９５より電子を取り出し、取り出
した電子を加速させ、蛍光体９９に衝突させるものであ
る。また、配線電極９３と変調電極９６でＸＹマトリッ
クスを形成せしめ、画像形成部材たる蛍光体９９上に画
像表示を行うものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の画像形成装置においては、画像形成部材（蛍光体）
が、電子放出素子の上方（電子放出方向）空間内に、該
電子放出素子と相対向して配置されている為に、以下の
様な問題点を有していた。

【０００７】■画像形成部材、さらには装置内のガス（
残留ガス）に電子ビームが照射されるとイオン（正イオ
ン）が発生するが、このイオンは、電子を加速するため
の高電圧により電子の加速方向とは逆方向に加速される
。結果として、該正イオンは電子放出素子に衝突し、電
子放出素子にダメージを与えてしまう。かかるダメージ
は特に装置内の真空度を１０−５ｔｏｒｒ以下の条件で
、装置を駆動した場合に顕著となるが、仮に装置内を高
真空度に保ったとしても装置の長時間に及ぶ連続駆動は
、やはり上記同様のダメージをもたらす。以上の様な電
子放出素子のダメージは結局、電子放出量（電子放出効
率）の低減、最悪の場合には素子破壊をまねき、画像形
成装置にあっては、画像形成部材に形成される画像のコ
ントラストの低下（蛍光画像の輝度ムラ、輝度ゆらぎ）
をまねいてしまう。

【０００８】■画像形成部材（蛍光体）と電子放出素子
の電子放出部との水平方向での厳密な位置合せが難しく
、わずかの位置ずれが形成画像に著しいコントラストの
低下（蛍光画像の輝度ムラ、輝度ゆらぎ）をまねく。

【０００９】■電子放出素子の電子放出部と画像形成部
材（蛍光体）との間の距離を一定に保つことが難しく、
結果として該距離の変動（衝撃、駆動時の熱歪等による
変動）が意図せぬ形成画像のコントラスト低下（蛍光画
像の輝度ムラ、輝度ゆらぎ）をまねく。

【００１０】■とりわけ、上記問題点■、■にあっては
、Ｒ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）の多色
蛍光体を配置した画像形成部材を有する画像形成装置に
おいて、色ムラの生じる原因となり、情報信号に応じた
色再現性の低下をまねく。

【００１１】そこで本発明は上記問題点に鑑みなされた
発明であって、その目的は高コントラストで鮮明な画像
が得られ、且つ長寿命の画像形成装置を提供することに
ある。

【００１２】更に、本発明の目的は、フルカラー画像を
形成する画像形成装置において、色調ムラが少なく色再
現性に優れた画像形成装置を提供することにある。

【００１３】更に、本発明の目的は、画像形成部材と電
子放出素子の電子放出部との厳密な位置合せの必要がな
く作製上、容易な画像形成装置を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的は、以下の本発
明により達成される。即ち、本発明は、電子放出素子と
、該電子放出素子から放出される電子線の照射により画
像形成する画像形成部材とを有する画像形成装置におい
て、該電子放出素子と該画像形成部材とが、基体面に並
設されており、且つ該基体上の電位を規定する為の電位
規定手段を有することを特徴とする画像形成装置である
。

【００１５】更に本発明は、上記画像形成装置において
、該画像形成部材が、電子線の照射により発光する発光
体であって、さらに該発光体からの光の照射により画像
記録される被記録体を有する画像形成装置、或いは、該
画像形成部材が電子線の照射により発光する発光体であ
って、さらに該発光体からの光の照射により画像記録さ
れる被記録体の支持手段を有する画像形成装置である。

【００１６】以下、本発明の画像形成装置について説明
する。本発明の画像形成装置の主たる特徴は、電子放出
素子と画像形成部材とが基体面に並設されており、さら
に該基体上の電位を規定する為の電位規定手段を有する
点にある。さらに詳述するならば、図１に示される様に
電子放出素子と画像形成部材とが基体の同一面に並べて
配置されており、さらに該基体面に対向して電位規定手
段が配置されているのである。図１において、１は基体
（リアプレート）、２は電子放出素子、３は画像形成部
材、４はフェースプレート、５は支持枠、６は電位規定
手段を示す。

【００１７】本発明の画像形成装置の上記構成において
、まず、電子放出素子は、従来より画像形成装置の電子
源として用いられているものであれば、熱陰極、冷陰極
のいずれであっても良いが、熱陰極の場合は、基体への
熱拡散により電子放出効率及び応答速度が低下する。また、熱による画像形成部材の変質が考えられるため熱
陰極と画像形成部材を高密度に配置できない。以上の点
から、本発明においては、電子放出素子として好ましく
は、半導体電子放出素子、後述する表面伝導形放出素子
等の冷陰極である方が望ましい。特に、冷陰極中でも表
面伝導形放出素子と呼ばれる電子放出素子を用いた方が
、本発明の画像形成装置において

【００１８】１）高い電子放出効率が得られる。２）素子構造が簡単であるため、本発明の装置構成が、
極めて容易且つ再現性良く作製できる。３）同一基板上に多数の素子を配列形成できる。４）応答速度が速い。５）輝度コントラストが一層優れている。というの利点
を有するので特に好ましい。

【００１９】ここで表面伝導形放出素子とは、例えば、
エム・アイ・エリンソン（Ｍ．Ｉ．Ｅ１ｉｎｓｏｎ）等
によって発表された冷陰極素子［ラジオ・エンジニアリ
ング・エレクトロン・フィジィッス（Ｒａｄｉｏ　　Ｅ
ｎｇ　　Ｅｌｅｃｔｏｒｏｎ．Ｐｈｙｓ．）第１０巻、
１２９０〜１２９６頁，１９６５年］であり、これは基
体面上に設けられた電極（素子電極）間に形成された小
面積の薄膜（電子放出部）に、該電極（素子電極）間に
電圧を印加して、該膜面に平行に電流を流すことによっ
て電子放出が生じる素子であり、前記エリンソン等によ
り開発されたＳｎＯ２（Ｓｂ）薄膜を用いたものの他、
Ａｕ薄膜によるもの［ジー・ディトマー：“スイン・ソ
リッド・フィルムス”（Ｇ．Ｄｉｔｔｍｅｒ：“Ｔｈｉ
ｎ　　Ｓｏｌｉｄ　　Ｆｉｌｍｓ”），９巻，３１７頁
，（１９７２年）］、ＩＴＯ薄膜によるもの［エム・ハ
ートウェル・アンド・シー・ジー・フォンスタッド・“
アイ・イー・イー・イー・トランス・イー・ディー・コ
ンフ”（Ｍ．Ｈａｒｔｗｅｌｌ　　ａｎｄ　　Ｃ．Ｇ．
Ｆｏｎｓｔａｄ：“ＩＥＥＥ　　Ｔｒａｎｓ．ＥＤＣｏ
ｎｆ．”）５１９頁，（１９７５年）］カーボン薄膜に
よるもの［荒木久他：“真空”，第２６巻，第１号，２
２頁，（１９８３年）］等が報告されている。本発明で
使用される表面伝導形放出素子は、上記以外にも後述す
る様に、その電子放出部が金属微粒子の分散によって形
成されているものであっても良い。好ましい表面伝導形
放出素子の形態としては、上記薄膜（電子放出部）のシ
ート抵抗が１０３Ω／□〜１０９Ω／□であり、又、上
記電極間隔は、０．０１μｍ〜１００μｍである。

【００２０】また、本発明にかかる電子放出素子として
は該表面伝導形放出素子を用いることのもう一つの利点
は、表面伝導形放出素子においては、該電極間に形成さ
れた該電子放出部から放出される電子が該電子印加時の
正極側に速度成分を得て飛翔してくる為、電子線の軌道
は鉛直方向に対して、該正極側に大きく偏向される点で
ある。即ち、図２から明らかな様に、上記電子線軌道の
水平方向への偏向の度合が大きな電子放出素子を用いる
ことは、電子放出素子と画像形成部材とを基体面に並設
したことを主たる特徴とする本発明においては、特に好
ましい態様となる。ここで、図２において１は絶縁性基
体、７は正極側素子電極、８は負極側素子電極、９は電
子放出部（尚、本発明でいう電子放出素子は、同図にお
いては７、８、９で構成されている）、矢印は電子線軌
道を表わす。

【００２１】次に本発明の上記構成において、画像形成
部材は、電子放出素子から放出された電子線の照射によ
って発光、変色、帯電、変質、或いは変形等を起こす材
料より形成されたものであればいかなるものであっても
良いが、例えば、蛍光体、レジスト材料等が挙げられる
。とりわけ、画像形成部材として蛍光体が用いられる場
合には、形成される画像は発光（蛍光）画像であるが、
フルカラーの発光画像形成にあたっては、該画像形成部
材はＲ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）の三
原色発光体により形成される。

【００２２】本発明の画像形成装置において、上記電子
放出素子及び上記画像形成部材が配置される基体に関し
ては電子放出素子及び画像形成部材を支持し得るもので
あればその形状・構成材料等、特に限定されるものでは
ないが、好ましくは均一な厚さを有し、平坦な基体であ
ることが望ましく、又、特に後述する如く、該電子放出
素子及び画像形成部材が有する配線電極が基体面に直接
積層される場合には、該配線電極間の電気的絶縁状態を
保持する為に、絶縁性材料にて形成される。

【００２３】次に本発明の画像形成装置において、上記
基体上の電位を規定する為の電位規定手段とは、該基体
上方（電子放出方向）空間内の電位を所定の電位に設定
する為の手段であって、具体的には、電子放出素子及び
画像形成部材が並設された基体面に対向して配置された
導電性を有する部材（導電部材）である（図１の６）。又、図１に示される様に本発明の画像形成装置が、基体
１、フェースプレート４及び支持枠５より成るパネル容
器を構成する場合には、かかる導電部材６が、フェース
プレート４の容器内面に積層或いは塗布された形態のも
のであっても良い。該導電部材は金属板であっても良く
、又、金属以外でも絶縁性材料と導電性材料の混合物で
あっても良い。又、フェースプレート内面に蒸着技術に
て作製するのが容易で好ましいため、材料としては、蒸
着可能な導電性材料が好適で、通常Ａｌ、Ｃｕ、Ｎｉ等
が考えられる。特に、該導電部材により光が遮られるこ
とが好ましくない場合、ＩＴＯ等の透明な導電性材料が
用いられる。又、後述する如く、該電位規定手段はフェ
ースプレートの内面、全面に配置されていても、或いは
部分的に配置されていてもいずれでも良い。

【００２４】更に、本発明にかかる前記電位規定手段は
、好ましくは図３及び図４に示す様に、該導電部材６が
接地（１０）されている（図３）が、或いは、その部材
６へ所定の電圧を印加する為の電圧印加手段１１と接続
されている（図４）ことが、本発明の効果を一層、向上
せしめる上で望ましい。

【００２５】本発明の画像形成装置における必須の構成
部材は以上述べた電子放出素子、画像形成部材、基体及
び電位規定手段であるが、図１に示される様に、フェー
スプレート４、支持枠５、等が適宜設けられる。又、図
１に示される様に、基体（リアプレート）１、フェース
プレート４及び支持枠５で構成されるパネル容器内は電
子放出素子の電子放出特性の点から１０−５〜１０−７
ｔｏｒｒの真空度とされるのが好ましい。

【００２６】次に以下で本発明の画像形成装置の好まし
い実施態様について詳述する。本発明の画像形成装置は
、電子線の該画像形成部材への照射を補足するための補
助手段を有していることが好ましい。該補助手段とは電
子放出素子から放出された電子線の軌道を、該画像形成
部材方向へ偏向し、該画像形成部材へ効率的に電子線を
到達させる為の手段である。

【００２７】本発明における該補助手段の一具体例を挙
げるならば、該画像形成部材への電圧印加手段がある。かかる電圧印加手段は図５に示される如く、例えば画像
形成部材３の下部に配置された補助電極１２と該電極１
２に接続された補助電源１３から成るものであって、要
するに画像形成部材の電位を規定する為の手段である。該電圧印加手段により画像形成部材へ印加される電圧は
一定電圧であり、画像形成部材をアース電位（Ｏｖ）以
上、即ち正電位に規定する。

【００２８】又、先述した表面伝導形放出素子を、本発
明にかかる電子放出素子として用いた場合には、該表面
伝導形放出素子は画像形成部材に向けて電子が飛翔して
くる素子であるから、上記の如き補助手段にあっては、
画像形成部材に印加する電圧が小さくても充分に放出電
子を補足できる。また、かかる印加電圧が小さくできる
ので、電子放出素子と画像形成部材との配置間隔（距離
）も小さくてすみ後述する如く、複数の電子放出素子と
複数の画像形成部材とを行列配置する場合、一層高密度
に配置できる。

【００２９】又、電子放出素子を用いた画像形成装置に
おいて、該電子放出素子から放出される電子線を情報信
号に応じて変調（放出電子のＯＮ／ＯＦＦ）を行う場合
、電子放出素子及び画像形成部材といった構成要素に加
え、変調手段が別途設けられる。本発明の画像形成装置
において、かかる変調手段は、次の様に設けられる。即ち、１）画像形成部材が該変調手段を有している（図
６）。或は２）電子放出素子が該変調手段を有している
（図７）。或は３）電位規定手段が該変調手段を有して
いる（図８）。

【００３０】上記１）に関して、該変調手段は情報信号
に応じた電圧を画像形成部材に印加するための電圧印加
手段を有するものである。該電圧印加手段の一具体例を
挙げるならば、図６に示される如く、該電圧印加手段は
画像形成部材３の下部に配置された電極（変調電極）１
４と該電極１４に印加される電圧を情報信号に応じて変
化させる変調回路１５から成る。該変調手段を用いての
電子線の情報信号に応じた変調は、例えば、該画像形成
部材への電子線の照射を、該変調電極にアース電位（Ｏ
ｖ）以上、即ち正電位を印加することにより行い、該画
像形成部材への電子線照射の遮断を、該変調電極に負電
位を印加することにより行うものである。

【００３１】又、上記２）に関して、該変調手段は情報
信号に応じた電圧を電子放出素子に印加するための電圧
印加手段を有するものである。該電圧印加手段の一具体
例を挙げるならば、図７に示される如く、該電圧印加手
段は電子放出素子２に印加される電圧を情報信号に応じ
て変化される変調回路１５を有するものである。該変調
手段を用いての電子線の情報信号に応じた変調は、例え
ば、該電子放出素子２に電圧を印加する為の電源のＯＮ
／ＯＦＦ動作でよい。

【００３２】上記３）に関して、該変調手段は情報信号
に応じた電圧を電位規定手段に印加するための電圧印加
手段を有するものである。該電圧印加手段の一具体例を
挙げるならば、図８に示される如く、該電圧印加手段は
先述した電位規定手段（導電部材）６に印加される電圧
を情報信号に応じて変化させる変調回路１５を有するも
のである。

【００３３】該変調手段を用いての電子線の情報信号に
応じた変調は、例えば、該導電部材（変調電極）６に印
加する電圧により電子放出部近傍の電界を制御すること
により行われる。具体的にはＯＦＦ状態を実現するため
には導電部材（変調電極）６に負の電圧を印加し放出部
近傍をその電界で囲い込むことにより放出された電子が
打ち破れない電界のバリアを電子放出部近傍に形成する
。またＯＮ状態を実現するためには導電部材（変調電極
）６に正の電圧を印加し放出された電子が画像形成部材
により形成される加速場へ到達することを促進する。勿論この時導電部材（変調電極）６に印加される電圧は
正負のみならずＯ〔Ｖ〕をも含めて状況に応じて適宜選
択すればよい。

【００３４】又、本発明の変調手段を有する画像形成装
置のうち上記２）及び上記３）において、図７及び図８
に示された１２及び１３は、先述した補助手段であり、
かかる補助手段を有する方が本態様においては変調効率
の点で一層好ましい。

【００３５】又、本発明の画像形成装置が以上述べた変
調手段を有する場合には、特に上記３）の態様では前記
変調手段が電子放出部近傍に存在するために変調効率が
一層向上する。変調効率の一層の向上の結果アノード電
圧の上昇が可能となる。よって画像形成部材に形成され
る画像のコントラスト（画像形成部材が蛍光体等の発光
部材から形成される際にはその輝度）の一層の向上が図
れ、従って上記３）は特に好ましい態様である。

【００３６】以上述べた本発明の画像形成装置はとりわ
け電子放出素子と画像形成部材とが基体の同一面に並べ
て配置された構成を有するもので、先述した従来技術に
おける■乃至■全ての問題点を解決し得たのである。こ
こで本発明の画像形成装置が、先述した従来技術の問題
点の中で、とりわけ■の問題点（電子放出素子ダメージ
の問題点）を解決し得る理由については、今だ明確では
ないが、かかる理由について以下の様に考えられる。

【００３７】図９は従来の画像形成装置（電子線ディス
プレイ）の概略の構成を示す断面図であり、図１０は本
発明の画像形成装置の構成の概略を示す断面図である。

【００３８】従来の画像形成装置（図９）では、電子放
出素子２から放出された電子１７は、透明電極１６に印
加された加速電圧Ｖａにより加速され、ほぼ鉛直上方の
画像形成部材（蛍光体）３に衝突し、蛍光体３を励起、
発光させ画像を形成する。この時、電子放出素子２と蛍
光体３との間に残留するガスや蛍光体３に電子線が衝突
した際に発生する正イオン１８は、加速電圧Ｖａにより
電子１７と正反対方向に加速され電子放出素子２に衝突
する。特に、残留ガスのイオン化は、装置の真空度が１
０−５ｔｏｒｒ以下と悪かったり、装置を長時間使用し
た場合など、残留ガスが増えた状態では顕著となってく
る。それらイオンは上記のように電子放出素子２に衝突
し、損傷を与え、電子放出量（電子放出効率）の著しい
減少を引き起こし、寿命低化の原因となる。

【００３９】これに対して、本発明においては図１０に
示すように、電子放出素子２と加速電圧Ｖａが印加され
る画像形成部材３とが基体面上に並べて配置されており
、電子放出素子２から放出された電子１７は加速電圧Ｖ
ａにより飛翔方向を偏向されつつ加速され画像形成部材
３に衝突する。上記の電子の飛翔過程において、電子ビ
ームはやはり残留ガスや画像形成部材からイオン（正イ
オン）１８を発生させる。しかし、イオンは電子に比べ
て質量が非常に大きいため、電子と同じ電界の力を受け
ても、ほとんど軌道を曲げられないことがないため、同
一平面の横方向にある電子放出素子への衝突がなく、ほ
とんど電子放出素子に損傷を及ぼすことがない。

【００４０】更に本発明の画像形成装置においては、先
述した如く基体上の電位を規定する為の電位規定手段を
設けているので、前記正イオンによる電子放出素子のダ
メージを一層低減できる上に、電子線の変調効率及び画
像形成部材への照射効率を一層向上せしめることができ
る。

【００４１】即ち、図１０に示された発生イオン（正イ
オン）は、本発明においては該電位規定手段によって捕
捉されるので、電子放出素子ダメージの一層の低減が可
能である。又同一基体面に電子放出素子と画像形成部材
とが並設された構成を有する場合には、たとえ電子線の
画像形成部材への照射時であっても放出電子の一部はパ
ネル容器内面、特にフェースプレート内面に衝突し、フ
ェースプレート内面のチャージアップを生じてしまう。又、電子線の変調手段として先述した１）による手段を
用いた場合、画像形成部材への電子線遮断時にあっては
電子線はフェースプレート内面に照射されてしまい、や
はりフェースプレート内面のチャージアップを生じてし
まう。かかるフェースプレート内面のチャージアップは
結果として該基体上方（電子放出方向）空間内に不測の
負電位面を形成してしまい、かかる不測の電位面は画像
形成部材への電子線の照射効率や変調効率を低下されて
しまう原因と成る。本発明においては該電位規定手段に
より、かかる不測の電位面形成を防止することができる
ので電子線の照射効率及び変調効率の一層の向上を図る
ことができる。又、上記チャージアップを防止すること
ができることは、基体とフェースプレートとの離隔距離
を小さくすることが可能となり、一層薄形パネルの画像
形成装置とすることができる他、画像形成部材と電子放
出素子との配置間隔も小さくすることが可能となる。

【００４２】又、本発明において、その用途にもよるが
、好ましい態様は電子放出素子の複数の電子放出部と画
像形成部材の複数とが行列配置されたものである。

【００４３】上記行列配置を構成する本発明の画像形成
装置好ましい態様は、例えば、図１１に示す様にライン
状に複数の電子放出部を有する電子放出素子列（Ｄ１、
…、ＤＬ−１、ＤＬ）（線電子放出素子）と、複数の画
像形成部材（蛍光体）３が配列され、前記変調手段をも
有した画像形成部材列Ｎ個（Ｄ１、…、ＧＮ−１、ＧＮ
）により、ＸＹマトリックスが構成されている。上記電
子放出素子列を一列づつ、駆動回路２０により順次駆動
（走査）するのと同期して画像形成部材列の変調手段（
変調回路１５）に情報信号に応じて画像１ライン分の変
調信号を同時に印加することにより、各電子線の画像形
成部材（蛍光体）３への照射を制御し、画像を１ライン
づつ表示しているものである。

【００４４】或は、図１２に示す様に複数の電子放出部
２と、前記補助手段を有した複数の画像形成部材（蛍光
体）３とが行列配置され、更にＬ個の電子放出素子列（
Ｄ１、…、ＤＬ−１、ＤＬ）（線電子放出素子）と、該
電子放出素子列の電子放出部２上方（電子放出方向）空
間に配置された電位規定手段Ｎ個（Ｇ１、…、ＧＮ−１
、ＧＮ）によりＸＹマトリックスが構成されている。上
記補助手段に定電圧１３を印加し、上記電子放出素子列
を一列づつ、駆動回路２０により順次駆動（走査）する
のと同期して電位規定手段の変調手段（変調回路１５）
に情報信号に応じて画像１ライン分の変調信号を同時に
印加することにより、各電子線の画像形成部材（蛍光体
）３への照射を制御し、画像１ラインづつ表示していく
ものである。

【００４５】又、本発明の画像形成装置は、以下に述べ
る光プリンターをも含む。

【００４６】図１３及び図１４は光プリンターの概略構
成図である。まず該光プリンターの発光源に関して説明
する。該発光源の外囲器はその内部を真空に維持した容
器であり、絶縁性基体２４、支持枠２１、フェースプレ
ート２７より構成されている。絶縁性基体２４は前述の
如く、電子放出素子２２と画像形成部材２３が並設され
た基体である。また、支持枠２１は前記絶縁性基体２４
とフェースプレート２７を所望の間隔をもたせ支持する
ための枠である。又、フェースプレート２７の内面には
電位規定手段２９が設けてある。

【００４７】フェースプレート２７に関して説明するな
らばフェースプレート２７は以下の２点を満足するもの
であればよい。（１）真空容器の真空を維持する。（２）真空容器内で発生した光信号を真空容器外へ照射
することを妨げない。

【００４８】以上２点から鑑みて一般的には可視光透過
性ガラスが好適とされ用いられている。

【００４９】更に該発光源の外囲器内部に関して説明す
る。まず図１３において容器内の絶縁性基体２４上には
電子放出素子２２の複数が配列形成された電子放出素子
列が配置されている。該電子放出素子２２は勿論電子放
出素子配線端子２６（Ｄｐ、Ｄｍ）によって真空容器外
と電気的に接続されている。また画像形成部材２３は前
記電子放出素子２２と独立した配線を有して設けられて
おり、前記電子放出素子同様画像形成部材配線端子２５
（Ｇ１、Ｇ２、…、ＧＮ）によって真空容器外と電気的
に接続されている。又、フェースプレート２７内面の全
面にはＩＴＯを材料とする透明な電位規定手段２９が設
けられている。

【００５０】上記電子放出素子列を駆動するのと同期し
て画像形成部材に情報信号に応じて画像１ライン分の変
調信号を同時に印加することにより、各電子ビームの画
像形成部材（発光体）への照射を制御し、画像１ライン
分の発光パターンを形成する。該発光パターンに従い発
光体から放出された光線は被記録体２８に照射され、該
被記録体２８が感光材である場合には感光パターンが形
成され、又、該被記録体２８が感熱材である場合には感
熱パターンが、被記録体２８表面に形成される。以上の
動作を図１５、図１６に示す如く被記録体３４或は上述
した発光源３１を１ライン毎に走査しながら、全画像ラ
インに対して順次繰返すことにより、被記録体３４表面
に画像記録を行う。

【００５１】次に図１４において、容器内の絶縁性基体
２４上には電子放出素子２２の複数の配列形成された電
子放出素子列が配置されている。該電子放出素子２２は
勿論電子放出素子配線端子２６（Ｄｐ、Ｄｍ）によって
真空容器外と電気的に接続されている。また画像形成部
材２３は前記電子放出素子２２と独立した配線を有し設
けられており、前記電子放出素子同様画像形成部材配線
端子２５によって真空容器外と電気的に接続されている
。又、フェースプレート２７の内面にはＩＴＯを材料と
する複数の電位規定手段２９が該電子放出素子列と直交
して設けられ、配線端子３０（Ｇ１、Ｇ２、…、ＧＮ）
によって真空容器外と電気的に接続されている。

【００５２】まず、上記配線端子２５を通じて該画像形
成部材に定電圧を印加する。次に上記電子放出素子列を
駆動するのと同期して電位規定手段に情報信号に応じて
画像１ライン分の変調信号を同時に印加することにより
、各電子ビームの画像形成部材（発光体）への照射を制
御し、画像１ライン分の発光パターンを形成する。該発
光パターンに従い発光体から放出された光線は被記録体
２８に照射され、該被記録体２８が感光材である場合に
は感光パターンが形成され、又、該被記録体２８が感熱
材である場合には感熱パターンが、被記録体２８表面に
形成される。以上の動作を図１５、図１６に示す如く被
記録体３４或は上述した発光源３１を１ライン毎に走査
しながら、全画像ラインに対して順次繰返すことにより
、被記録体３４表面に画像記録を行う。

【００５３】ここで、該被記録体は図１５、図１６に示
す様に感光（感熱）シート３４であって良く、この場合
、記録装置は該シートを支持する為の支持体（例えばド
ラム３２、搬送ローラ３３）を有している。又、該被記
録体は図１７に示す様に感光ドラム４４であっても良い
。

【００５４】図１７の装置を説明すると、ドラム状の被
記録体４４の周囲には、上記発光源４１の他に、回転方
向に沿って順に現像機４５、除電器４６、クリーナー４
７及び帯電器４８が設けられている。

【００５５】まず、発光源４１によって画像が表わされ
、この画像の光が被記録体４４に照射されて被記録体４
４を感光させる。被記録体４４の感光部分は除電し、非
露光部が現像機４５から供給されるトナーを吸着する。上記トナーを吸着した部分は被記録体４４の回転と共に
移動し、除電器４６によって帯電が解除されると、吸着
されていたトナーが落下する。この時、被記録体４４と
除電器４６の間には、画像を形成すべき紙４９に位置し
ており、トナーはこの紙４９上に落下される。トナーを
受止めた紙４９は、定着装置（図示されていない）へと
移動し、ここでトナーが紙４９上に定着され、紙４９上
に発光源４１で表された画像が再現記録される。

【００５６】一方、ドラム状の被記録体４４は更に回転
してクリーナー４７へと移動し、ここで残留するトナー
が払い落とされ、更に帯電器４８によって帯電状態を形
成するものである。

【００５７】

【実施例】

（実施例１）図１８に本発明の画像形成装置の第一の実
施例を示す。６１は絶縁性基体６４、６５は素子配線電
極、６７は素子電極、６９は電子放出部、６６は画像形
成部材、７１は支持枠、７０はフェースプレート、７２
は電位規定手段である。尚、本実施例において画像形成
部材は蛍光体から成る。図１９は電子放出素子近傍の拡
大斜視図、図２０は図１９中のＡ−Ａ’断面図である。それぞれにおいて６２は補助電極（以下画像形成部材配
線電極という）、６３は絶縁層である。

【００５８】ここで本実施例の画像形成装置の製造方法
を説明する。

【００５９】（１）まず絶縁性基体６１を十分洗浄し、
通常良く用いられる蒸着技術とホトリソグラフィー技術
により素子電極６７と画像形成部材配線電極６２をＮｉ
を主成分とする材料で作製した。かかる画像形成部材配
線電極６２は、電気抵抗が十分低くなるように作製しさ
えすればどのような材料でもかまわない。

【００６０】（２）次に蒸着技術によりＳｉＯ２で絶縁
層６３を形成した。その厚さは本実施例態様では３μｍ
とした。絶縁層６３の材料としては、ＳｉＯ２、ガラス
、その他のセラミックス材料が好適である。

【００６１】（３）次に蒸着技術とエッチング技術によ
り素子配線電極６５、６４をＮｉを主成分とする材料で
作製した。素子電極６７は、素子配線電極６４及び６５
と接続され、素子電極６７が相対向する電子放出部６９
を形成する。その電極ギャップ（Ｇ）は０．１μｍ〜１
０μｍが好適で本実施例は２μｍに形成した。電子放出
部６９に対応する長さ（１）を３００μｍに形成した。素子電極６７の幅（Ｗ１）は狭い方が望ましいが実際に
は１μｍ〜１００μｍが好適で、さらには１μｍ〜１０
０μｍが最適である。また、電子放出部６９は画像形成
部材配線電極６２の間の中心近傍に作製する。素子配線
電極６４、６５のピッチは２ｍｍ、電子放出部６９のピ
ッチは２ｍｍに形成した。

【００６２】（４）次に、ガスデポジション法を用いて
相対向する電極間に超微粒子膜を設けることにより電子
放出部６９を形成した。超微粒子の材質はＰｄを用いた
が、その他の材料としてＡｇ、Ａｕ等の金属材料やＳｎ
Ｏ２、Ｉｍ２Ｏ３の酸化物材料が好適であるがこれに限
定されるものはない。本実施例ではＰｄ粒子の直径を約
１００Åに設定したが、これに限定されるものではない
。またガスデポジション法以外にも、例えば有機金属を分
散塗布し、その後熱処理することにより電極間に超微粒
子膜を形成しても所望の特性が得られる。

【００６３】（５）最後に印刷法により、蛍光体から成
る画像形成部材６６をほぼ１０μｍの厚さで作製した。他にも、スラリー法、沈殿方により蛍光体から成る画像
形成部材６６を形成しても良い。

【００６４】（６）フェースプレート７０としてガラス
板を用い、かかるガラス板の片面全体にＩＴＯを厚さ１
０００Åで蒸着し、透明な電位規定手段７２を形成した
。

【００６５】（７）以上説明したプロセスで形成された
画像形成装置の絶縁性基体６１とフェースプレート７０
との間の厚さ５ｍｍの支持枠７１を置き、フェースプレ
ート７０と支持枠７１及び絶縁性基体６１と支持枠７１
との間にフリットガラスを塗布し、４３０℃で１０分間
以上で焼成することで接着した。

【００６６】（８）以上の様にして完成したガラス容器
内の雰囲気を真空ポンプにて排気し、十分な真空度に達
した後、素子配線電極６４、６５に電圧を印加し電子放
出部６９の超微粒子膜に通電する。徐々に電圧を上昇さ
せ該超微粒子膜に不可逆的変形を生じせしめる。（以下
、フォーミング処理と呼ぶ）最後にガラス容器の封止を
行った。本画像形成装置に置いて、一層安定な動作を得
るために十分な真空度は１０−６ｔｏｒｒ〜１０−７ｔ
ｏｒｒであった。又、電位規定手段７２は接地させた。

【００６７】次に本実施例の駆動方法を説明する。図１
８乃至図２０において、一対の素子配線電極６４と６５
に１４Ｖの電圧パルスを印加し、線状に並べた複数の電
子放出素子から電子を放出させる。放出された電子は、
情報信号に対応して素子電極正極側の画像形成部材群に
負（０Ｖ以下）或いは正（１０Ｖ〜１０００Ｖ）の電圧
を印加することにより電子線の画像形成部材へのＯＮ／
ＯＦＦを制御する。本実施例においてはＯＮ時には１０
０Ｖ、ＯＦＦ時には−３０Ｖがそれぞれ画像形成部材に
印加された。放出された電子は加速し画像形成部材に衝
突する。画像形成部材は情報信号に応じて一ラインの表
示を行う。

【００６８】次にこの隣の素子配線電極６４と６５に１
４Ｖの電圧パルスを印加し上述した一ラインの表示を行
う。これを順次行うことにより一画面の画像を形成した
。つまり、素子配線電極群を走査電極として、走査電極
と画像形成部材でＸＹマトリックスを形成し画像を表示
した。

【００６９】本実施例の表面伝導形電子放出素子は、１
００ピコ秒以下の電圧パルスに応答して駆動できるので
、１画面を３０分の１秒で画像を表示する１万本以上の
走査線数が形成可能であった。

【００７０】以上説明した様に、本実施例の画像形成装
置は画像形成部材に電圧を印加することによって電子線
を画像形成部材に一層効率良く集束させることができ、
しかも電子放出素子がイオン衝突により破壊されること
がなく、長寿命で輝度ムラのない極めて均一な画像表示
可能な装置が得られた。さらに、長時間の連続駆動に伴
い、輝度の低下も生じなかった。

【００７１】また、電子放出素子と画像形成部材のアラ
イメントが容易で、かつ、薄膜製造技術で作製している
為、大画面で高精細なディスプレイを安価に得ることが
できた。さらに、電子放出部６９と画像形成部材６６の
間隔を極めて精度良く作製することができた。

【００７２】又、素子電極を画像形成部材と共に印刷法
で形成すれば更にアライメントが容易である他、表面伝
導電子放出素子においては、数ボルトの初速度を持った
電子が真空中に放出されるが、このような素子の変調に
対して本発明は極めて有効であった。

【００７３】（実施例２）実施例１の画像形成装置にお
いて、支持枠７１の厚さを３ｍｍとした以外は同様の画
像形成装置を作製した。又、該装置の駆動方法において
、電子線の画像形成部材への照射時（ＯＮ時）、電位規
定手段７２に−１０Ｖの電圧を印加した以外は実施例１
と同様の方法で駆動を行った。

【００７４】本実施例の画像形成装置においてもまた実
施例１と同様の効果が得られた。即ち、本発明の画像形
成装置はかなりのパネルの薄形化もまた可能であること
が立証された。

【００７５】（実施例３）図２１及び図２２に本発明の
第２の実施例を示す。図２１は本実施例の電子放出素子
近傍の拡大斜視図、図２２は図２１中のＡ−Ａ’断面図
である。装置全体の構成は図１８と同様であるから省略
した。

【００７６】本実施例の作成プロセスは実施例１とほぼ
同様だが、本実施例においては絶縁性基体８１の洗浄後
、蒸着技術及びホトリソグラフィー技術及びエッチング
技術により、素子電極８７と素子配線電極８４、８５を
Ｎｉ材料にて３０００Åの厚さに一度に作製した。

【００７７】次に電子放出素子の配列と直交して、スト
ライプ状にＳｉＯ２３μｍから成る絶縁層８３を蒸着し
、その上にＮｉ材料の蒸着にて補助電極（以下画像形成
部材配線電極という）８２を作製した。Ｎｉの厚さは１
μｍとした。

【００７８】さらに、その上に蛍光体を１０μｍ程度の
厚さに塗布し、ストライプ状の画像形成部材８６を形成
した。微粒子の分散プロセス及び駆動方法は実施例１と
同様である。

【００７９】本実施例では、実施例１と同様な効果が得
られる他、蛍光体から成る画像形成部材８６が、一電子
放出素子毎にパターニングされたものではなく、ストラ
イプ状であることと、素子電極８７と素子配線電極８４
、８５を一括して蒸着するため作製プロセスの簡略化に
利点がある。

【００８０】また、蛍光体から成る画像形成部材８６が
ストライプ状で面積が大きいため、実施例１の装置より
も一層、高輝度の画像が形成された。

【００８１】（実施例４）電位規定手段７２を図２３に
示す様にストライプ状に設けたこと以外、実施例１と同
様の画像形成装置を特製した。該電位規定手段７２はフ
ェースプレート７０の内面にＩＴＯを材料とし、厚さ３
０００Å、幅５００μｍ、ピッチ２ｍｍにて蒸着形成し
たもので、電子放出部６９の鉛直上方に位置する様に設
けた。

【００８２】本実施例の装置の駆動は次の様に行った。まず画像形成部材６６の電圧を０．８ＫＶ〜１．５ＫＶ
に設定する。図２３及び図１９、２０において、一対の
素子配線電極６４と６５に１４Ｖの電圧パルスを印加し
、線状に並べた複数の電子放出素子から電子を放出させ
る。放出された電子は、情報信号に対応して電位規定手
段７２に電圧を印加することにより電子線の画像形成部
材へのＯＮ／ＯＦＦを制御する。本実施例においては、
ＯＮ時には１０Ｖ、ＯＦＦ時には−５０〜−１５０Ｖが
それぞれ電位規定手段に印加された。電子は、加速し画
像形成部材に衝突する。画像形成部材は情報信号に応じ
て一ラインの表示を行う。次にこの隣の素子配線電極６
４、６５に１４Ｖの電圧パルスを印加し上述した一ライ
ンの表示を行う。これを順次行うことにより一画面の画
像を形成した。つまり、素子配線電極群を走査電極とし
て、走査電極と電位規定手段でＸＹマトリックスを形成
し画像を表示した。本実施例に置いても実施例１と同様
の効果が得られた。

【００８３】（実施例５）本実施例においては、電位規
定手段７２の幅を１ｍｍとし、実施例４の場合の２倍と
した以外は、実施例４と同様の画像形成装置を作製した
。実施例４と同様の方法で駆動を行ったところ実施例４
と同様の効果が得られた。しかも、本実施例においては
特に電位規定手段の幅が広いため、電位規定手段と画像
形成部材に印加される電界との間に形成される等電位面
の分布がさらに一様となり、画像形成部材面での輝度の
一様性が更に向上した。

【００８４】また、本実施例では、電位規定手段のビー
ムのＯＮ／ＯＦＦを制御するという機能を達成するため
に、電位規定手段と電子放出中心の精度の高い位置合わ
せをすることなく十分な効果があった。

【００８５】（実施例６）図２４に本発明の別の実施例
を示す。本実施例においても電子放出素子２及びその配
線電極の作製法及びフェースプレート内面に設けられた
電位規定手段は実施例１と同様なので省略する。

【００８６】本実施例においては、画像形成部材３をＲ
（Ｒｅｄ）、Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）、Ｂ（Ｂｌｕｅ）の３色
蛍光体を順次くり返し配列形成することにより、フルカ
ラー表示を可能としたものである。各色蛍光体はほぼ１
０μｍの厚さで印刷法にて形成した。各色水平方向ピッ
チ（図中ＰＨ）は２３０μｍ、垂直方向ピッチ（ＰＶ）
は７２０μｍとし、各蛍光体の大きさは各色共１５０μ
ｍ×４５０μｍ（Ｈ×Ｖ）とした。フルカラー表示を行
う場合、ＣＲＴ等で周知の如くＲ、Ｇ、Ｂ３色１組（１
トリオ）で１画素を形成することになるため、画素ピッ
チとしては６９０μｍ×７２０μｍ（Ｈ×Ｖ）とした。

【００８７】次に本実施例の駆動法を簡単に説明する。一対の電子放出素子配線１０２、１０３に１４Ｖの電圧
パルスを印加し、線状に並べた複数の電子放出素子２か
ら電子を放出させ、放出された電子を画像形成部材３に
印加する電圧によりＯＮ／ＯＦＦ制御されることは実施
例１と同様だが、この際、画素はＲ、Ｇ、Ｂ１トリオに
て形成されるので、電子線をＯＮ／ＯＦＦ制御する信号
（変調信号）はＲ、Ｇ、Ｂ成分に分離され独立してＲ、
Ｇ、Ｂ各色蛍光体３に印加されなければならない。従っ
て各色蛍光体の配線は図１８に示すようにそれぞれ独立
とした。

【００８８】つまり、電子素子配線群（１０２、１０３
）を走査電極として、走査電極と画像形成部材でＸＹマ
トリックスを形成したのは実施例１と同様だが、１画素
が３つの蛍光体より成っている。

【００８９】本実施例の構成により、電子放出素子と画
像形成部材が空間を有して対向配置されている従来の画
像形成装置に比べ、位置ずれにより、ある電子放出素子
から出た電子が、所定の蛍光体全面に当たらず、発光面
積が減少することにより生ずる輝度の低下のない、画像
形成装置が得られた。また、電子放出素子と画像形成部
材が著しく位置ずれした時に、従来の装置で生じていた
他、色打ち（Ｒｅｄに当たるべき電子ビーム画Ｇｒｅｅ
ｎに当たってしまう等）による色純度の低下については
本実施例は大きな改善が見られた。

【００９０】以上の様に、本実施例の構成により、フル
カラー化した際のコントラストが高く、輝度ムラ、輝度
ゆらぎがなく、色再現性の高い安定した画像が得られた
。

【００９１】（実施例７）実施例１で作製した画像形成
装置において、電子放出素子列を図１３に示す様に１列
とした以外は、実施例１と同様の画像形成装置を作製し
た。

【００９２】上記画像形成装置を発光源として用い、図
１５に示される様な光プリンターを作製した。図中３１
は発光源、３４は被記録体、３２は被記録体３４の支持
体であり、３３は被記録体３４の搬送ローラーである。ここで発光源３１は被記録体３４に相対向して１ｍｍ以
下の位置に配置されている。

【００９３】又、被記録体３４は、以下の組成よりなる
感光性組成物をポリエチレンテレフタレート膜上に２μ
ｍ厚さに均一塗布することにより作製した。感光性組成
物はａ、バンダー：ポリエチレンメタクリレート（商品
名ダイヤナールＢＲ、三菱レーヨン）１０重量部、ｂ、
モノマー：トリメチロールプロパントリアクリレート（
商品名ＴＭＰＴＡ、新中村化学）１０重量部、ｃ、重合
開始剤：２−メチル−２−モルホリ）（４−チオメチル
フェニル）プロパン−１−キシ（商品名イルガキュア９
０７、チバガイギー）２．２重量部の混合組成物で溶媒
としてメチルチルケトン７０重量部で作製した。蛍光体
はけい酸塩蛍光体（Ｂａ、Ｍｇ、Ｚｎ）３Ｓｉ２Ｏ７：
Ｐｂ２＋。

【００９４】本実施例では、電子放出素子列を駆動する
のと同期して蛍光体に情報信号に応じて画像１ライン分
の変調信号を同時に印加することにより、各電子ビーム
の蛍光体への照射を制御し、画像１ライン分の発光パタ
ーンを形成する。該発光パターンに従い蛍光灯から放出
された光線は被記録体に照射され、光の照射された被記
録体は光重合し硬化する。次に搬送ローラ５３を動かし
て同様な駆動を行う。このような駆動を行うことにより
、情報信号に応じた光重合パターンが被記録体上に光重
合パターンとして形成される。この光重合パターンをメ
チルエチルケトンで現像することにより光記録パターン
をポリエチレンテレフタレート上に形成した。

【００９５】本実施例の光パターンは、均一、高速スピ
ード、高コントラストで鮮明な光記録パターンが得られ
た。

【００９６】（実施例８）図２５は本発明の実施例であ
る光プリンターの概略的構成図である。全体の構成は実
施例７とほぼ同様であるから省略するが、本実施例にお
いては、画像１ライン分の変調信号が電子放出素子２２
に印加される。そのため、電子放出素子２２に電圧を印
加するための電極２６（Ｄ１〜ＤＮ）はそれぞれ独立と
なっており、各電極に情報信号に応じた変調電圧が印加
される。画像形成部材２３には電極２５（Ｇ）を通じ、
一定の電圧が印加されており、Ｄ１〜ＤＮの電極の中で
ＯＮ信号が印加された電子放出素子から放出された電子
線の照射を受ける。光プリンター装置全体の構成、駆動
法は実施例７と同様である。

【００９７】本実施例の構成にても、実施例７と同等の
性能の光記録パターンが得られた。

【００９８】（実施例９）実施例７で作製した画像形成
装置を発光源として用い、図１８に示される様な光プリ
ンターを作製した。図中４１は発光源、４４は被記録体
であるところの電子写真用感光体、４８は帯電器、４５
は現像器、４６は除電器、４７はクリーナー、４９は画
像を形成すべき紙である。又、本実施例は蛍光体として
Ｚｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ（Ｐ１蛍光体）の黄緑発光蛍光体
、電子写真用感光体としてアモルファスシリコン感光体
を用いた。

【００９９】次に本実施例の光プリンターの駆動方法を
説明する。まず、帯電器４８により被記録体４４をプラ
ス電圧に帯電する。帯電する電圧は１００Ｖ〜５００Ｖ
が適当であるがこれに限るものではない。次に発光源４
１により情報信号に応じた発光パターに被記録体４４に
照射し光照射部を除電し静電濳像パターンを形成する。次に現像器４５によりトナー粒子で被記録体４４を現像
する。

【０１００】上記トナーを吸着した部分は被記録体４４
の回転と共に移動し、除電器４６によって帯電が解除さ
れると、吸着されていたトナーが落下する。この時、被
記録体４４と除電器４６の間には、画像を形成すべき紙
４９が位置しており、トナーはこの紙４９上に落下され
る。トナーを受止めた紙４９は、定着装置（図示されて
いない）へと移動し、ここでトナーが紙４９上に定着さ
れ、紙４９上に発光源４１で表された画像が再現記録さ
れた。

【０１０１】得られた記録画像は高コントラストで鮮明
な画像であり、高解像度の画像が高速に形成された。

【０１０２】

【発明の効果】以上説明した様に本発明の画像形成装置
は、電子放出素子と画像形成部材とが、基体面に並設さ
れているので、（１）該装置内に発生するイオンによる
素子ダメージが極めて少ない。（２）電子放出素子と画
像形成部材との厳密な位置合わせが不要で極めて容易に
相方を配設できる。（３）電子放出素子と画像形成部材
間の距離変動を生じない。等の利点を有し、結果として
、長寿命でしかもコントラストが高く、色ムラ及び輝度
ムラのない画像が形成できる。さらに、本発明の画像形
成装置は作製が容易で、極めて薄形化が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の画像形成装置の概略構成図。

【図２】表面伝導形放出素子の電子放出特性の説明図。

【図３】本発明の画像形成装置における電位規定手段の
説明図。

【図４】本発明の画像形成装置における電位規定手段の
説明図。

【図５】本発明の画像形成装置の駆動方法の説明図。

【図６】本発明の画像形成装置の駆動方法の説明図。

【図７】本発明の画像形成装置の駆動方法の説明図。

【図８】本発明の画像形成装置の駆動方法の説明図。

【図９】従来の画像形成装置におけるイオンダメージの
説明図。

【図１０】本発明の画像形成装置におけるイオンダメー
ジの説明図。

【図１１】本発明のＸＹマトリックス構成を有する画像
形成装置の駆動方法の説明図。

【図１２】本発明のＸＹマトリックス構成を有する画像
形成装置の駆動方法の説明図。

【図１３】本発明の画像形成装置の概略説明図。

【図１４】本発明の画像形成装置の概略説明図。

【図１５】本発明の画像形成装置の概略説明図。

【図１６】本発明の画像形成装置の概略説明図。

【図１７】本発明の画像形成装置の概略説明図。

【図１８】本発明の実施例１で作製された画像形成装置
の概略構成図。

【図１９】本発明の実施例１で作製された画像形成装置
の一電子放出素子近傍の拡大図。

【図２０】図１９のＡ−Ａ’断面図。

【図２１】本発明の実施例３で作製された画像形成装置
の一電子放出素子近傍の拡大図。

【図２２】図２１のＡ−Ａ’断面図。

【図２３】本発明の実施例４で作製された画像形成装置
の概略構成図。

【図２４】本発明の実施例４で作製されたフルカラー画
像形成装置の説明図。

【図２５】本発明の実施例６で作製された画像形成装置
の概略構成図。

【図２６】従来の画像形成装置の概略構成図。

【符号の説明】

１、２４、６１、８１、９１　　基体２　　電子放出素子３、２３、６６、８６、９９　　画像形成部材４、２７
、７０、１００　　フェースプレート９７　　ガラス板５、７１、２１　　支持枠７　　正極側素子電極８　　負極側素子電極９、２２、６９、８９、９４　　電子放出部１２　　補
助電極６、２９、７２　　電位規定手段１０　　接地１１、１３、１９　　電圧印加手段１４、９６　　変調電極９５　　電子通過孔１５　　変調回路２０　　駆動回路１６、９８　　透明電極１７　　放出電子１８　　正イオン６３、８３　　絶縁体２５、２６、３０　　配線端子２８、３４、４４　　被記録媒体３１、４１　　発光源３２、３３　　支持手段４５　　現像器４６　　除電器４７　　クリーナー４８　　帯電器４９　　紙６７、８７　　電子放出素子電極６４、６５、８４、８５、９３　　電子放出素子配線電
極６２、８２　　画像形成部材配線電極１０１　　輝点９２　　支持体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　電子放出素子と、該電子放出素子から
放出される電子線の照射により画像形成する画像形成部
材とを有する画像形成装置において、該電子放出素子と
該画像形成部材とが、基体面に並設されており、且つ該
基体上の電位を規定する為の電位規定手段を有すること
を特徴とする画像形成装置。
【請求項２】　　該電位規定手段が、該基体面に対向し
て配置された導電部材である請求項１に記載の画像形成
装置。
【請求項３】　　該電位規定手段が、該基体面に対向配
置され、接地された導電部材である請求項１に記載の画
像形成装置。
【請求項４】　　該電位規定手段が、該基体面に対向配
置され、電圧印加手段に接続された導電部材である請求
項１に記載の画像形成装置。
【請求項５】　　該電子線の該画像形成部材への照射を
補足するための補助手段を有する請求項１に記載の画像
形成装置。
【請求項６】　　該補助手段が、該画像形成部材へ電圧
を印加するための電圧印加手段を有する請求項５に記載
の画像形成装置。
【請求項７】　　該電子線を情報信号に応じて変調する
変調手段を有する請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項８】　　該変調手段が、情報信号に応じた電圧
を該画像形成部材に印加する為の電圧印加手段を有する
請求項７に記載の画像形成装置。
【請求項９】　　該変調手段が、情報信号に応じた電圧
を該電子放出素子に印加する為の電圧印加手段を有する
請求項７に記載の画像形成装置。
【請求項１０】　　該変調手段が、情報信号に応じた電
圧を該電位規定手段に印加する為の電圧印加手段を有す
る請求項７に記載の画像形成装置。
【請求項１１】　　該電子放出素子が、冷陰極型の電子
放出素子である請求項１乃至１０のいずれかに記載の画
像形成装置。
【請求項１２】　　該電子放出素子が、該基体面に配置
された電極間に電子放出部を有し、該電極間に電圧を印
加することにより該電子放出部より電子を放出する素子
である請求項１乃至１０のいずれかに記載の画像形成装
置。
【請求項１３】　　該画像形成部材が、該電子線の照射
により発光する発光体である請求項１乃至１０のいずれ
かに記載の画像形成装置。
【請求項１４】　　該画像形成部材が、該電子線の照射
により発光する発光体であって、Ｒ（レッド）、Ｇ（グ
リーン）、Ｂ（ブルー）の三原色発光体を有する請求項
１乃至１０のいずれかに記載の画像形成装置。
【請求項１５】　　該電子放出素子の複数の電子放出部
と該画像形成部材の複数とが、該基体面に行列配置され
ている請求項１乃至１０のいずれかに記載の画像形成装
置。
【請求項１６】　　該画像形成部材が、電子線の照射に
より発光する発光体であって、さらに該発光体からの光
の照射により画像記録される被記録体を有する請求項１
乃至１０のいずれかに記載の画像形成装置。
【請求項１７】　　該画像形成部材が、電子線の照射に
より発光する発光体であって、さらに該発光体からの光
の照射により画像記録される被記録体の支持手段を有す
る請求項１乃至１０のいずれかに記載の画像形成装置。