JPH0432534U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0432534U JPH0432534U JP7399990U JP7399990U JPH0432534U JP H0432534 U JPH0432534 U JP H0432534U JP 7399990 U JP7399990 U JP 7399990U JP 7399990 U JP7399990 U JP 7399990U JP H0432534 U JPH0432534 U JP H0432534U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- wafers
- heat treatment
- cap part
- cap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
Description
第1図は本考案ボートの一実施例の構成を示す
斜視図、第2図はその他の実施例の構成を示す斜
視図、第3図は従来のボートとキヤツプ部の部分
分解斜視図、第4図はその組立状態の断面図であ
る。 1……ボート、2……キヤツプ部、4……ウエ
ーハ保持溝、5……柱、6……上方フランジ部、
12……被載置部、13……位置決めスリツト。
斜視図、第2図はその他の実施例の構成を示す斜
視図、第3図は従来のボートとキヤツプ部の部分
分解斜視図、第4図はその組立状態の断面図であ
る。 1……ボート、2……キヤツプ部、4……ウエ
ーハ保持溝、5……柱、6……上方フランジ部、
12……被載置部、13……位置決めスリツト。
Claims (1)
- ヒータ内に設けられた反応室内に、ウエーハを
載置するボート1と、このボート1を載置するキ
ヤツプ部2を挿入し、ウエーハを加熱処理する縦
型熱処理装置においてボート1と、保温筒を兼ね
たキヤツプ部2とを一体に形成せしめてなる縦型
熱処理装置用ボート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7399990U JPH0432534U (ja) | 1990-07-11 | 1990-07-11 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7399990U JPH0432534U (ja) | 1990-07-11 | 1990-07-11 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0432534U true JPH0432534U (ja) | 1992-03-17 |
Family
ID=31613307
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7399990U Pending JPH0432534U (ja) | 1990-07-11 | 1990-07-11 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0432534U (ja) |
-
1990
- 1990-07-11 JP JP7399990U patent/JPH0432534U/ja active Pending