JPH04321242A - チップストッカー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体装置特にダイ
ボンド装置内においてチップを収納するためのチップス
トッカーに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ダイボンド装置内において半導体ウエハ
から切り出されたチップを収納するためのチップストッ
カーとしては、図３に示すようなものが一般に用いられ
ている。このチップストッカー（２０）は、トレイ体（
２１）に複数の同形同寸の収納溝（２２）を所定間隔で
設けたものである。チップ（１）は、切り出し（ダイシ
ング）後、ウエハから吸着等の方法で移送され、上記チ
ップストッカー（２０）の各収納溝（２２）に収納され
る。

【０００３】なお、例えば実開昭５７−１２８１５１号
公報，実開平１−１３７５３７号公報，実開平２−１１
０３３５号公報，特開平１−２８９１３４号公報等には
、この種従来のチップストッカーの変形例がそれぞれ示
されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のチップストッカ
ーは上記のようにトレイ体に複数の同形同寸の収納溝を
所定間隔で設けたもので、各収納溝のサイズが固定的で
ある。そのため、チップの大きさが変わるとチップスト
ッカー自体を取り換えなければならないということで、
膨大な数のチップストッカーを準備する必要があり、ま
た、チップストッカーの交換に時間がかかって作業性が
悪いといった問題点があった。上記各公報に記載のもの
においても上記の問題点は本質的に解消されていない。

【０００５】この発明はこのような問題点を解消するた
めになされたもので、全サイズのチップに対して対応可
能で、チップの大きさが変わっても交換を要しないチッ
プストッカーを得ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明に係るチップス
トッカーは、半導体ウエハから切り出され所定の間隔で
配置される複数のチップのそれぞれの隣合った２辺に対
向する凹凸を有し平面上を前後左右に移動可能とされた
第１のガイド板と、複数のチップのそれぞれの他の隣合
った２辺に対向する凹凸を有し同平面上を前後左右に移
動可能とされた第２のガイド板と、これら一対のガイド
板の位置を変更して所定位置に保持するガイド板位置保
持手段を備えたものである。

【０００７】

【作用】この発明においては、半導体ウエハから切り出
され所定の間隔で配置される複数のチップのそれぞれの
隣合った２辺に第１のガイド板の凹凸が対向し、それぞ
れのチップの他の隣合った２辺には第２のガイド板の凹
凸が対向することにより、これら一対のガイド板の凹凸
によってチップ収納位置が規定される。そして、チップ
の大きさが変わると、上記一対のガイド板を平面上で左
右前後に移動させる。それにより、大きさの異なるチッ
プの隣合った２辺および他の隣合った２辺に対してそれ
ぞれのガイド板の対向位置が調整され、チップサイズに
合った大きさに収納スペースが変更される。

【０００８】

【実施例】図１はこの発明によるチップストッカーの一
実施例の平面図であり、図２はその主要部の斜視図であ
る。この実施例において、チップストッカー（２）は、
それぞれのチップ（１）の隣合う１短辺と１長辺に対向
してこれをガイドすべく前側（図１で下側）に第１のガ
イド板（３ａ）が配置され、また、それぞれのチップ（
１）の隣合う他の１短辺と１長辺に対向してこれをガイ
ドすべく後側（図１で上側）に第２のガイド板（３ｂ）
が配置されている。これらガイド板（３ａ），（３ｂ）
は、図に示すように同一平面上において平行に配列され
、向き合ったそれぞれの内縁は、一定間隔で内側に突出
する櫛歯状の凸部（４ａ），（４ｂ）と凹部（５ｂ），
（５ｂ）とが交互に並ぶ形状とされている。

【０００９】また、上記第１のガイド板（３ａ）は、第
１の保持板（６ａ）上に配置され、該保持板（６ａ）に
対し前後方向（図１で上下の方向）に移動可能とされて
いる。一方、第２のガイド板（３ｂ）は、第２の保持板
（６ｂ）上に配置され、該保持板（６ｂ）に対しやはり
前後方向に移動可能とされている。そして、第１のガイ
ド板（３ａ）に対しては、チップ（１）に向け後方に該
ガイド板（３ａ）を押すよう第１のカムフォロア（７ａ
）が設けられるとともに、第１の保持板（６ａ）との間
に第１の引張バネ（８ａ）が一対設けられ、該引張バネ
（８ａ）によって第１のガイド板（３ａ）が反チップ側
（前方）に付勢されている。また、第２のガイド板（３
ｂ）に対しては、チップ（１）に向け前方に該ガイド板
（３ｂ）を押すよう第２のカムフォロア（７ｂ）が設け
られるとともに、第２の保持板（６ａ）との間に第２の
引張バネ（８ｂ）が一対設けられ、該引張バネ（８ｂ）
によって第２のガイド板（３ｂ）が反チップ方向（後方
）に付勢されている。

【００１０】上記第１と第２の保持板（６ａ），（６ｂ
）は、共通のベース板（９）上に係合され、該ベース板
（９）に案内されて左右方向（図１で左右の方向）に移
動可能とされている。また、第１の保持板（６ａ）に対
しては、チップ（１）に向け右側に該保持板（６ａ）を
押すよう第３のカムフォロア（７ｃ）が設けられるとと
もに、ベース板（９）との間に第３の引張バネ（８ｃ）
が一対設けられ、該引張バネ（８ｃ）によって第１の保
持板（６ａ）が反チップ側（左側）に付勢されている。 また、第２の保持板（６ｂ）に対しては、チップ（１）
に向け左側に該保持板（６ｂ）を押すよう第４のカムフ
ォロア（７ｄ）が設けられるとともに、ベース板（９）
との間に第４の引張バネ（８ｄ）が一対設けられ、該引
張バネ（８ｄ）によって第２の保持板（６ｂ）が反チッ
プ側（右側）に付勢されている。

【００１１】上記第１のカムフォロア（７ａ）と第２の
カムフォロア（７ｂ）は、上記ベース板（９）に対し、
共に左右方向の中央において該ベース板（９）の長手方
向軸線と直交する方向（すなわち前後方向）に配置され
ている。また、ベース板（９）の下方で上記第１のカム
フォロア（７ａ）および第２のカムフォロア（７ｂ）の
真下には、一端側（図１で上側）が左ネジで、他端側（
図１で下側）が右ネジとされた第１のボールネジ（１０
ａ）が前後方向に設けられている。そして、上記ボール
ネジ（１０ａ）の右ネジ部には、上記第１のカムフォロ
ア（７ａ）を支持する第１の支持ブロック（１１ａ）が
係合され、同左ネジ部には、上記第２のカムフォロア（
７ｂ）を支持する第２の支持ブロック（１１ｂ）が係合
されている。また、この第１のボールネジ（１０ａ）の
右ネジ側端部には、該ボールネジ（１０ａ）を駆動する
第１のパルスモータ（１２ａ）が連結されている。

【００１２】一方、ベース板（９）の下方には、該ベー
ス板（９）の長手方向軸線に沿う方向（すなわち左右方
向）に第２のボールネジ（１０ｂ）が設けられている。 この第２のボールネジ（１０ｂ）は、一端側（図１で左
側）が右ネジで、他端側（図１で右側）が左ネジとされ
、ベース板（９）と上記第１のボールネジ（１０ａ）と
の間に延設されている。そして、この第２のボールネジ
（１０ｂ）の右ネジ部には、上記第３のカムフォロア（
７ｃ）を支持する第３の支持ブロック（１１ｃ）が係合
され、同左ネジ部には、上記第４のカムフォロア（７ｄ
）を支持する第４の支持ブロック（１１ｄ）が係合され
ている。また、この第２のボールネジ（１０ｂ）の右ネ
ジ側端部には、該ボールネジ（１０ｂ）を駆動する第２
のパルスモータ（１２ｂ）が連結されている。

【００１３】この実施例においては、二つのガイド板（
３ａ），（３ｂ）の凸部（４ａ），（４ｂ）および凹部
（５ａ），（５ｂ）により、一定間隔をおいて複数のチ
ップ収納部が形成され、これらチップ収納部に半導体ウ
エハから切り出されたチップ（１）が収納される。この
時、各収納部において、チップ（１）のそれぞれの隣合
った２辺に第１のガイド板（３ａ）の凸部（４ａ）と凹
部（５ａ）が対向し、また、それぞれのチップ（１）の
他の隣合った２辺に第２のガイド板（３ｂ）の凸部（４
ｂ）と凹部（５ｂ）が対向し、それにより、各収納部に
おいて矩形のチップ収納位置が規定される。そして、チ
ップ（１）の大きさが変わった時は、既知のデータを入
力することによって各パルスモータ（１２ａ），（１２
ｂ）を制御し、各ボールネジ（１０ａ），（１０ｂ）を
駆動して各支持ブロック（１１ａ）〜（１１ｄ）を介し
各カムフォロア（７ａ）〜（７ｄ）を必要寸法だけ進退
動させる。そして、それにより各ガイド板（３ａ），（
３ｂ）を前後・左右に移動させ、その間に形成される各
チップ収納部の実質的なサイズを変えてチップサイズに
適合した収納スペースを得るようにする。

【００１４】また、この実施例においては、二つのガイ
ド板（３ａ），（３ｂ）は、前後方向には、一方が前向
きに移動するのに対し他方は後向きに移動し、左右方向
には、一方が左向きに移動するのに対し他方は右向きに
移動する。また、互いに逆向きに移動するこれら二つの
ガイド板（３ａ），（３ｂ）の移動量が等しくなるよう
各ボールネジ（１０ａ），（１０ｂ）の左右のネジピッ
チが設定されている。そのため、品種切替によりチップ
収納スペースのサイズを変えても、各チップの中心位置
は変わらず、したがって、チップのハンドリング等が容
易である。なお、上記実施例では、引張バネ，カムフォ
ロア，ボールネジおよびパルスモータからなる駆動系を
備えたチップストッカーであって、データ変更のみでこ
れら駆動系を制御して各ガイド板を前後左右に移動させ
るようにしたものを説明したが、これら引張バネ，カム
フォロア，ボールネジおよびパルスモータからなる駆動
系を取り除いて、ガイド板および保持板を手動で移動さ
せネジ等の手段で所定位置に固定するよう構成すること
も可能である。

【００１５】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、それぞ
れに凹凸を有する一対のガイド板によってチップ収納ス
ペースを構成し、しかも、各ガイド板がそれぞれ前後左
右に移動可能で、それぞれの位置を変更し保持するよう
構成したので、品種切替に際してチップ収納スペースを
自由に変更でき、したがって、チップストッカーを交換
することなしに全サイズのチップに対して対応すること
ができる。また、チップ収納スペースを変更してもチッ
プ中心位置が不変でチップのハンドリング等が容易であ
るようにできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明によるチップストッカーの一実施例を
示す平面図

【図２】その主要部の斜視図

【図３】従来のチップストッカーを示す斜視図

【符号の説明】

１　　チップ ２　　チップストッカー ３ａ　　第１のガイド板 ３ｂ　　第２のガイド板 ４ａ，４ｂ　　凸部 ５ａ，５ｂ　　凹部 ６ａ，６ｂ　　保持板 ７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ　　カムフォロア８ａ，８ｂ，
８ｃ，８ｄ　　引張バネ ９　　ベース板 １０ａ，１０ｂ　　ボールネジ １２ａ，１２ｂ　　パルスモータ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　半導体ウエハから切り出され所定の間
   隔で配置される複数のチップのそれぞれの隣合った２辺
   に対向する凹凸を有し平面上を前後左右に移動可能とさ
   れた第１のガイド板と、前記複数のチップのそれぞれの
   他の隣合った２辺に対向する凹凸を有し同平面上を前後
   左右に移動可能とされた第２のガイド板と、これら一対
   のガイド板の位置を変更して所定位置に保持するガイド
   板位置保持手段を備えたことを特徴とするチップストッ
   カー。