JPH04310853A - 凹凸欠陥検出装置 - Google Patents
凹凸欠陥検出装置Info
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- JPH04310853A JPH04310853A JP3076659A JP7665991A JPH04310853A JP H04310853 A JPH04310853 A JP H04310853A JP 3076659 A JP3076659 A JP 3076659A JP 7665991 A JP7665991 A JP 7665991A JP H04310853 A JPH04310853 A JP H04310853A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、凹凸欠陥検出装置、特
に、鉄板やアルミ板等の平板の表面にあるへこみやゴミ
等の凹凸欠陥を、テレビカメラで撮像し、画像処理によ
り認識する凹凸欠陥検出装置に関する。
に、鉄板やアルミ板等の平板の表面にあるへこみやゴミ
等の凹凸欠陥を、テレビカメラで撮像し、画像処理によ
り認識する凹凸欠陥検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術としては、例えば、特公平２
−４２４０７号公報に示されている凹凸欠陥検出装置が
ある。
−４２４０７号公報に示されている凹凸欠陥検出装置が
ある。
【０００３】従来の凹凸欠陥検出装置は、図４に示すよ
うに、被検査物１の表面を照明する光源２と、被検査物
１の正反射光を撮像するテレビカメラ３と、テレビカメ
ラ３の撮像出力ａをＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器４と、
Ａ／Ｄ変換器４のＡ／Ｄ出力ｂを画像データｃとして順
次格納するフレームメモリ５と、画像データｃをＭ×Ｎ
個の複数領域に分割し、各領域の平均光量を計算し、各
領域の平均光量を比べて差を計算し、その平均光量の差
を判定値と比較する手段としてのコンピュータ９と、コ
ンピュータ９の処理結果や途中結果を書き込むメモリ１
６とを有している。ここで、フレームメモリ５は、１画
像を２５６×２５６の画素に分散して記憶しており、１
画素は２５６階調（８ビット）の光量データを持つ。
うに、被検査物１の表面を照明する光源２と、被検査物
１の正反射光を撮像するテレビカメラ３と、テレビカメ
ラ３の撮像出力ａをＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器４と、
Ａ／Ｄ変換器４のＡ／Ｄ出力ｂを画像データｃとして順
次格納するフレームメモリ５と、画像データｃをＭ×Ｎ
個の複数領域に分割し、各領域の平均光量を計算し、各
領域の平均光量を比べて差を計算し、その平均光量の差
を判定値と比較する手段としてのコンピュータ９と、コ
ンピュータ９の処理結果や途中結果を書き込むメモリ１
６とを有している。ここで、フレームメモリ５は、１画
像を２５６×２５６の画素に分散して記憶しており、１
画素は２５６階調（８ビット）の光量データを持つ。
【０００４】画像データｃの模式図である図２を参照す
ると、凸欠陥は光源側２が明部１０となり、テレビカメ
ラ３側が暗部１１となる（凹欠陥の場合は逆となる。）
。この画像データｃに対し、コンピュータ９で以下の処
理を行う。まず、図５のように、フレームメモリ５の２
５６×２５６の画素をＭ×Ｎ個の領域に分割する。図５
の場合、Ｍ＝８、Ｎ＝８の６４領域に分割されており、
１領域の画素数は３２×３２＝１０２４画素となってい
る。次に、この１領域内の１０２４画素について平均光
量を計算し、メモリ１６に書き込む。これを６４領域す
べてについて計算し、結果を領域の位置に沿って図６の
ようにＫ１１，Ｋ１２と割り付ける。今後、平均光量は
ＫＭＮで位置を示す。
ると、凸欠陥は光源側２が明部１０となり、テレビカメ
ラ３側が暗部１１となる（凹欠陥の場合は逆となる。）
。この画像データｃに対し、コンピュータ９で以下の処
理を行う。まず、図５のように、フレームメモリ５の２
５６×２５６の画素をＭ×Ｎ個の領域に分割する。図５
の場合、Ｍ＝８、Ｎ＝８の６４領域に分割されており、
１領域の画素数は３２×３２＝１０２４画素となってい
る。次に、この１領域内の１０２４画素について平均光
量を計算し、メモリ１６に書き込む。これを６４領域す
べてについて計算し、結果を領域の位置に沿って図６の
ようにＫ１１，Ｋ１２と割り付ける。今後、平均光量は
ＫＭＮで位置を示す。
【０００５】次に、１つの領域の平均光量ＫＭＮＣ対し
、その周囲８近傍中の最小平均光量ＭＩＮ（ＫＭＮの８
近傍）との差ＳＭＮを計算する（式（１））。
、その周囲８近傍中の最小平均光量ＭＩＮ（ＫＭＮの８
近傍）との差ＳＭＮを計算する（式（１））。
【０００６】
ＳＭＮ＝ＫＭＮ−ＭＩＮ（ＫＭＮの８近傍）
（１）（ただし、ＫＭＮ＜ＭＩＮ（ＫＭＮの
８近傍）の場合、ＳＭＮ＝０）このＳＭＮもＳ１１から
Ｓ８８まで、６４領域すべてについて計算する。
（１）（ただし、ＫＭＮ＜ＭＩＮ（ＫＭＮの
８近傍）の場合、ＳＭＮ＝０）このＳＭＮもＳ１１から
Ｓ８８まで、６４領域すべてについて計算する。
【０００７】ここで、図７（ａ）のように、Ｋ２２とＫ
３２にわたって凸欠陥がある場合、明部Ｋ２２の平均光
量が１００、暗部Ｋ３２の平均光量が２０、残りの平均
光量はすべて５０とすると、図７（ｂ）のように、Ｓ２
２＝８０、他はＳＭＮ＝０，または３０となり、判定値
をあらかじめ８０以上と設定しておけば、この判定値と
比較することで、Ｋ２２の領域に欠陥が存在することが
判る。
３２にわたって凸欠陥がある場合、明部Ｋ２２の平均光
量が１００、暗部Ｋ３２の平均光量が２０、残りの平均
光量はすべて５０とすると、図７（ｂ）のように、Ｓ２
２＝８０、他はＳＭＮ＝０，または３０となり、判定値
をあらかじめ８０以上と設定しておけば、この判定値と
比較することで、Ｋ２２の領域に欠陥が存在することが
判る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の凹凸欠
陥検出装置は、撮画像を複数領域に分割し、各領域毎の
平均光量を計算し、各領域間の平均光量を比べて差を計
算して判定値と比較することで欠陥検出を行うため、計
算処理回数が膨大で検出に時間がかかり、また、欠陥位
置の特定が分割した領域単位でしかできない、という欠
点があった。
陥検出装置は、撮画像を複数領域に分割し、各領域毎の
平均光量を計算し、各領域間の平均光量を比べて差を計
算して判定値と比較することで欠陥検出を行うため、計
算処理回数が膨大で検出に時間がかかり、また、欠陥位
置の特定が分割した領域単位でしかできない、という欠
点があった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の凹凸欠陥検出装
置は、被検査物の表面を照明する光源と、前記被検査物
の正反射光を撮像するテレビカメラと、前記テレビカメ
ラの出力をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器と、前記Ａ／Ｄ
変換器の出力を順次格納するフレームメモリと、前記フ
レームメモリに格納された画像データを２値化する２値
化手段と、該２値画像データをＸ方向，Ｙ方向にそれぞ
れ加算する加算手段と、該加算値中でＸ方向，Ｙ方向そ
れぞれに対し、あらかじめ設定された判定基準に合致す
る数値のＸ，Ｙ座標を算出する座標算出手段と、該座標
での光量データとあらかじめ設定された基準光量値とを
比較して欠陥を判定する欠陥判定手段とを含んで構成さ
れる。
置は、被検査物の表面を照明する光源と、前記被検査物
の正反射光を撮像するテレビカメラと、前記テレビカメ
ラの出力をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器と、前記Ａ／Ｄ
変換器の出力を順次格納するフレームメモリと、前記フ
レームメモリに格納された画像データを２値化する２値
化手段と、該２値画像データをＸ方向，Ｙ方向にそれぞ
れ加算する加算手段と、該加算値中でＸ方向，Ｙ方向そ
れぞれに対し、あらかじめ設定された判定基準に合致す
る数値のＸ，Ｙ座標を算出する座標算出手段と、該座標
での光量データとあらかじめ設定された基準光量値とを
比較して欠陥を判定する欠陥判定手段とを含んで構成さ
れる。
【００１０】
【実施例】次に、本発明の実施例について、図面を参照
して詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示すブ
ロック図である。
して詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示すブ
ロック図である。
【００１１】図１に示す凹凸欠陥検出装置は、被検査物
１の表面を照明する光源２と、被検査物１の正反射光を
撮像するテレビカメラ３と、テレビカメラ３の撮像出力
ａをＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器４と、Ａ／Ｄ変換器４
のＡ／Ｄ出力ｂを画像データｃとして順次格納するフレ
ームメモリ５と、画像データｃを２値化し２値画像デー
タｄに変換する２値化部６と、２値画像データｄをＸ方
向，Ｙ方向にそれぞれ加算し、加算データｅを算出する
加算部７と、加算データｅに対し、Ｘ方向，Ｙ方向それ
ぞれについて、あらかじめ設定された判定基準に合致す
る欠陥候補座標データｆを算出する座標算出部８と、フ
レームメモリ５と座標算出部８とに接続され、算出され
た欠陥候補座標点１２〜１５での光量データとあらかじ
め設定された基準光量値とを比較して欠陥を判定する、
欠陥判定手段としてのコンピュータ９とを含んで構成さ
れる。ここで、フレームメモリ５は、１画像を２５６×
２５６の画素に分散して記憶しており、１画素は２５６
階調（８ビット）の光量データを持つ。
１の表面を照明する光源２と、被検査物１の正反射光を
撮像するテレビカメラ３と、テレビカメラ３の撮像出力
ａをＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器４と、Ａ／Ｄ変換器４
のＡ／Ｄ出力ｂを画像データｃとして順次格納するフレ
ームメモリ５と、画像データｃを２値化し２値画像デー
タｄに変換する２値化部６と、２値画像データｄをＸ方
向，Ｙ方向にそれぞれ加算し、加算データｅを算出する
加算部７と、加算データｅに対し、Ｘ方向，Ｙ方向それ
ぞれについて、あらかじめ設定された判定基準に合致す
る欠陥候補座標データｆを算出する座標算出部８と、フ
レームメモリ５と座標算出部８とに接続され、算出され
た欠陥候補座標点１２〜１５での光量データとあらかじ
め設定された基準光量値とを比較して欠陥を判定する、
欠陥判定手段としてのコンピュータ９とを含んで構成さ
れる。ここで、フレームメモリ５は、１画像を２５６×
２５６の画素に分散して記憶しており、１画素は２５６
階調（８ビット）の光量データを持つ。
【００１２】図２は、画像データｃの模式図である。こ
のとき、凸欠陥は、光源２側が明部１０となり、テレビ
カメラ３側が暗部１１となる（凹欠陥の場合は逆となる
）。
のとき、凸欠陥は、光源２側が明部１０となり、テレビ
カメラ３側が暗部１１となる（凹欠陥の場合は逆となる
）。
【００１３】図３は、２値画像データｄの模式図である
。図中、右側と下側のグラフは、それぞれ、Ｘ方向の加
算データｅ、Ｙ方向の加算データｅである。また、欠陥
候補座標点１２〜１５は、座標算出部８で算出された欠
陥候補座標データｆの画像上の点を示す。まず、フレー
ムメモリ５に格納された画像データｃを、２値化部６で
２値画像データｄに変換する。このとき、２値画像デー
タｄは図３のように、欠陥があって暗い画素は”０”と
なり、他の画素は”１”となるように２値化する。
。図中、右側と下側のグラフは、それぞれ、Ｘ方向の加
算データｅ、Ｙ方向の加算データｅである。また、欠陥
候補座標点１２〜１５は、座標算出部８で算出された欠
陥候補座標データｆの画像上の点を示す。まず、フレー
ムメモリ５に格納された画像データｃを、２値化部６で
２値画像データｄに変換する。このとき、２値画像デー
タｄは図３のように、欠陥があって暗い画素は”０”と
なり、他の画素は”１”となるように２値化する。
【００１４】次に、２値画像データｄを加算部７でＸ方
向，Ｙ方向それぞれ加算し、加算データｅとする。加算
データｅは図３のように、欠陥の無いラインでは２５６
となり、欠陥のあるラインではその画素数分だけ２５６
より小さくなる。次に、加算データｅをもとに欠陥候補
座標点１２〜１５を算出する。加算データｅのうち、欠
陥のあるラインの数値は、必ず２５６より小さくなるた
め、あらかじめ設定された判定基準値と比較して、小さ
い数値の座標を欠陥候補座標データｆとする。ここで、
欠陥の大きさが大きいほど加算データｅは小さくなるの
で、判定基準値は、検出する欠陥の大きさにより設定し
ておく。また、判定基準値より小さい加算データｅの座
標は、欠陥の大きさに対応した幅を持つため、その幅の
中心を欠陥候補座標データｆとする。
向，Ｙ方向それぞれ加算し、加算データｅとする。加算
データｅは図３のように、欠陥の無いラインでは２５６
となり、欠陥のあるラインではその画素数分だけ２５６
より小さくなる。次に、加算データｅをもとに欠陥候補
座標点１２〜１５を算出する。加算データｅのうち、欠
陥のあるラインの数値は、必ず２５６より小さくなるた
め、あらかじめ設定された判定基準値と比較して、小さ
い数値の座標を欠陥候補座標データｆとする。ここで、
欠陥の大きさが大きいほど加算データｅは小さくなるの
で、判定基準値は、検出する欠陥の大きさにより設定し
ておく。また、判定基準値より小さい加算データｅの座
標は、欠陥の大きさに対応した幅を持つため、その幅の
中心を欠陥候補座標データｆとする。
【００１５】次に、算出された欠陥候補座標データｆに
対し、コンピュータ９で以下の処理を行い、欠陥を判定
する。欠陥候補座標データｆで示される画像データｃ上
の欠陥候補座標点１２〜１５の光量データとあらかじめ
設定された基準光量値とを比較し、基準光量値以下の場
合に欠陥があると判定する。例えば、欠陥のある暗部の
光量データを２０、欠陥の無い部分の光量データを５０
とした場合、基準光量値を３０とすれば、欠陥候補座標
点１２，１５に欠陥有りと判定される。
対し、コンピュータ９で以下の処理を行い、欠陥を判定
する。欠陥候補座標データｆで示される画像データｃ上
の欠陥候補座標点１２〜１５の光量データとあらかじめ
設定された基準光量値とを比較し、基準光量値以下の場
合に欠陥があると判定する。例えば、欠陥のある暗部の
光量データを２０、欠陥の無い部分の光量データを５０
とした場合、基準光量値を３０とすれば、欠陥候補座標
点１２，１５に欠陥有りと判定される。
【００１６】
【発明の効果】本発明の凹凸欠陥検出装置は、撮画像を
複数領域に分割し、格納領域毎の平均光量を計算し、各
領域間の平均光量を比べて差を計算して基準値と比較す
ることで欠陥検出を行う代わりに、撮画像を２値化して
Ｘ方向、Ｙ方向それぞれに加算し、加算値が判定基準に
合致した座標を欠陥候補座標として算出し、さらに欠陥
候補座標点の光量データと基準光量値を比較することで
欠陥検出を行うため、計算処理時間が短くできるので検
出時間が速く、また、欠陥位置の特定が正確にできる、
という効果がある。
複数領域に分割し、格納領域毎の平均光量を計算し、各
領域間の平均光量を比べて差を計算して基準値と比較す
ることで欠陥検出を行う代わりに、撮画像を２値化して
Ｘ方向、Ｙ方向それぞれに加算し、加算値が判定基準に
合致した座標を欠陥候補座標として算出し、さらに欠陥
候補座標点の光量データと基準光量値を比較することで
欠陥検出を行うため、計算処理時間が短くできるので検
出時間が速く、また、欠陥位置の特定が正確にできる、
という効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】画像データｃの模式図である。
【図３】２値画像データｄの模式図である。
【図４】従来の一例を示すブロック図である。
【図５】フレームメモリ５の領域分割図である。
【図６】平均光量の割付図である。
【図７】（ａ），（ｂ）は従来の一例による欠陥検出の
具体例を示す図である。
具体例を示す図である。
１ 被検査物
２ 光源
３ テレビカメラ
４ Ａ／Ｄ変換器
５ フレームメモリ
６ ２値化部
７ 加算部
８ 座標算出部
９ コンピュータ
１０ 凸欠陥明部
１１ 凸欠陥暗部
１２〜１５ 欠陥候補座標点
１６ メモリ
ａ 撮像出力
ｂ Ａ／Ｄ出力
ｃ 画像データ
ｄ ２値画像データ
ｅ 加算データ
ｆ 欠陥候補座標データ
Claims (1)
- 【請求項１】 被検査物の表面を照明する光源と、前
記被検査物の正反射光を撮像するテレビカメラと、前記
テレビカメラの出力をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器と、
前記Ａ／Ｄ変換器の出力を順次格納するフレームメモリ
と、前記フレームメモリに格納された画像データを２値
化する２値化手段と、該２値画像データをＸ方向，Ｙ方
向にそれぞれ加算する加算手段と、該加算値中でＸ方向
，Ｙ方向それぞれに対しあらかじめ設定された判定基準
に合致する数値のＸ，Ｙ座標を算出する座標算出手段と
、該座標での光量データとあらかじめ設定された基準光
量値とを比較して欠陥を判定する欠陥判定手段とを含む
ことを特徴とする凹凸欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076659A JPH04310853A (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | 凹凸欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076659A JPH04310853A (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | 凹凸欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04310853A true JPH04310853A (ja) | 1992-11-02 |
Family
ID=13611537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3076659A Pending JPH04310853A (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | 凹凸欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04310853A (ja) |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5762826A (en) * | 1980-09-24 | 1982-04-16 | Amada Co Ltd | Work clamping device |
| JPS6158930U (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-21 | ||
| JPS63154233A (ja) * | 1986-12-17 | 1988-06-27 | Murata Mach Ltd | ワ−ク送り装置 |
| JPH01321028A (ja) * | 1988-06-23 | 1989-12-27 | Amada Co Ltd | 板材供給装置 |
| JPH021528U (ja) * | 1988-06-08 | 1990-01-08 | ||
| JPH021530U (ja) * | 1988-06-09 | 1990-01-08 | ||
| JPH0379247U (ja) * | 1989-11-30 | 1991-08-13 | ||
| JPH0379246U (ja) * | 1989-11-30 | 1991-08-13 | ||
| JPH04313432A (ja) * | 1991-04-12 | 1992-11-05 | Amada Co Ltd | 板材加工機用補助ワーククランプ装置 |
-
1991
- 1991-04-10 JP JP3076659A patent/JPH04310853A/ja active Pending
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5762826A (en) * | 1980-09-24 | 1982-04-16 | Amada Co Ltd | Work clamping device |
| JPS6158930U (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-21 | ||
| JPS63154233A (ja) * | 1986-12-17 | 1988-06-27 | Murata Mach Ltd | ワ−ク送り装置 |
| JPH021528U (ja) * | 1988-06-08 | 1990-01-08 | ||
| JPH021530U (ja) * | 1988-06-09 | 1990-01-08 | ||
| JPH01321028A (ja) * | 1988-06-23 | 1989-12-27 | Amada Co Ltd | 板材供給装置 |
| JPH0379247U (ja) * | 1989-11-30 | 1991-08-13 | ||
| JPH0379246U (ja) * | 1989-11-30 | 1991-08-13 | ||
| JPH04313432A (ja) * | 1991-04-12 | 1992-11-05 | Amada Co Ltd | 板材加工機用補助ワーククランプ装置 |
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