JPH04307349A - 化学分析のために液体試料を加工処理または調製する装置 - Google Patents
化学分析のために液体試料を加工処理または調製する装置Info
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- JPH04307349A JPH04307349A JP3313364A JP31336491A JPH04307349A JP H04307349 A JPH04307349 A JP H04307349A JP 3313364 A JP3313364 A JP 3313364A JP 31336491 A JP31336491 A JP 31336491A JP H04307349 A JPH04307349 A JP H04307349A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は好ましくは定量−化学分
析、特にフロー注入分析(FIA)のための液体試料を
加工処理または調製する装置において、分析装置または
検出器に導かれる供給溝または供給パイプを含み、担体
媒体用の少なくとも1個のパイプ及び調査すべき試料を
供給するための少なくとも1個の他のパイプが設けられ
ており、該試料を供給するためのパイプは担体媒体用の
供給パイプ内に導かれており、かつ、適当な場合には、
ポンプ、バルブ、混合装置、試料の希釈液用の他の供給
パイプ等を含む装置に関する。
析、特にフロー注入分析(FIA)のための液体試料を
加工処理または調製する装置において、分析装置または
検出器に導かれる供給溝または供給パイプを含み、担体
媒体用の少なくとも1個のパイプ及び調査すべき試料を
供給するための少なくとも1個の他のパイプが設けられ
ており、該試料を供給するためのパイプは担体媒体用の
供給パイプ内に導かれており、かつ、適当な場合には、
ポンプ、バルブ、混合装置、試料の希釈液用の他の供給
パイプ等を含む装置に関する。
【0002】
【従来の技術】そのような装置は種々の形で知られてお
り、特にフロー注入分析において好結果を示した。検出
器のタイプにより、それらに連結される評価ユニットお
よび評価方法、データは、pH値、導電率、スペクトル
−測光パラメータ、他の物理または化学的パラメータ、
または個々の物質について得られる。特にそのようなパ
ラメータの知識は、試料または試料中の濃度に関して、
結論を引き出すことを可能とする。フロー注入分析、略
してFIAは特に、試料量をできるだけ少量にし、同時
に高い分析精度および再現性を達成するという要求に応
じる。
り、特にフロー注入分析において好結果を示した。検出
器のタイプにより、それらに連結される評価ユニットお
よび評価方法、データは、pH値、導電率、スペクトル
−測光パラメータ、他の物理または化学的パラメータ、
または個々の物質について得られる。特にそのようなパ
ラメータの知識は、試料または試料中の濃度に関して、
結論を引き出すことを可能とする。フロー注入分析、略
してFIAは特に、試料量をできるだけ少量にし、同時
に高い分析精度および再現性を達成するという要求に応
じる。
【0003】試料は、担体媒体により検出器に運搬する
ため、担体媒体に部分的に添加される。その操作原理の
改善はまた、第一に試料を希釈し、試料を担体媒体に注
入または導入する前に他の試薬に添加および混合し、ま
たは追加の反応および分析、例えば、クロマトグラフィ
または電気泳動を行うことが可能である。
ため、担体媒体に部分的に添加される。その操作原理の
改善はまた、第一に試料を希釈し、試料を担体媒体に注
入または導入する前に他の試薬に添加および混合し、ま
たは追加の反応および分析、例えば、クロマトグラフィ
または電気泳動を行うことが可能である。
【0004】できる限り連続的に行われるタイプのフロ
ー分析は、広範囲、多種に使用される。環境保護に関連
して水を試験するだけでなく、製造工程を監視するため
にも使用されうる。欧州特許第243310号は例えば
、フロー注入分析を使用した織物加工剤及び織物仕上げ
剤およびそれらの中間体の製造における、制御および最
適化方法が記載されている。
ー分析は、広範囲、多種に使用される。環境保護に関連
して水を試験するだけでなく、製造工程を監視するため
にも使用されうる。欧州特許第243310号は例えば
、フロー注入分析を使用した織物加工剤及び織物仕上げ
剤およびそれらの中間体の製造における、制御および最
適化方法が記載されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの分析
の特に不都合な点は、個々の部品及び集合体、特に機械
部品、例えば、今まで慣用のピストンポンプ、注入バル
ブ及び同様のものを用いるのに要する空間量である。こ
れらの部品およびそれらに導かれる供給パイプ、及び導
き出される放出パイプは、それらの固有の容量のため大
量の試料液体および担体液体を消費し、相当する長いパ
イプのため運搬時間が長くなる。
の特に不都合な点は、個々の部品及び集合体、特に機械
部品、例えば、今まで慣用のピストンポンプ、注入バル
ブ及び同様のものを用いるのに要する空間量である。こ
れらの部品およびそれらに導かれる供給パイプ、及び導
き出される放出パイプは、それらの固有の容量のため大
量の試料液体および担体液体を消費し、相当する長いパ
イプのため運搬時間が長くなる。
【0006】従って、本発明の問題は、多数の測定位置
を持つ大型装置の操作の場合でさえも、分析時間を非常
に減少させ、そして少なくとも1マグニチュード、好ま
しくは2ないし5マグニチュードにより担体液体および
試薬の量を減少させることである。加えて、装置は容易
に組み立てられうる。
を持つ大型装置の操作の場合でさえも、分析時間を非常
に減少させ、そして少なくとも1マグニチュード、好ま
しくは2ないし5マグニチュードにより担体液体および
試薬の量を減少させることである。加えて、装置は容易
に組み立てられうる。
【0007】
【課題を解決するための手段】その問題に対する解決は
本質的に、装置が積層体を形成するために一組の板状部
品で組み立てられ、そしてそれぞれの部品はパイプ片お
よび/または分岐物または開口部および/またはバルブ
、ポンプまたは検出器を含む事実からなる。
本質的に、装置が積層体を形成するために一組の板状部
品で組み立てられ、そしてそれぞれの部品はパイプ片お
よび/または分岐物または開口部および/またはバルブ
、ポンプまたは検出器を含む事実からなる。
【0008】そのような板状部品は非常に容易に小型化
され、異なる流れシステム及び流れパイプを組み立てる
ために、相互に部品が数および/または順序および/ま
たは位置を変化させて積層させるという本発明の重要な
進歩を可能にし、操作位置において、密封方法で連結さ
れる。フロー注入分析のためにそのように形成された流
れシステムは、そのタイプの慣用システムと同じ性能を
持つ。例えば、10要素により大きさを縮小され、計測
されるFIAシステムの場合、試薬を約1000回分よ
り少なく消費し、それにもかかわらず、分析は約10回
分よりもより早い。
され、異なる流れシステム及び流れパイプを組み立てる
ために、相互に部品が数および/または順序および/ま
たは位置を変化させて積層させるという本発明の重要な
進歩を可能にし、操作位置において、密封方法で連結さ
れる。フロー注入分析のためにそのように形成された流
れシステムは、そのタイプの慣用システムと同じ性能を
持つ。例えば、10要素により大きさを縮小され、計測
されるFIAシステムの場合、試薬を約1000回分よ
り少なく消費し、それにもかかわらず、分析は約10回
分よりもより早い。
【0009】特に、試料を入れる箇所での試料加工処理
は運搬路を短縮する。そのような板状部品の内部では、
例えば、ほんの5mmの運搬経路が長さ200mまでの
慣用のパイプの代わりに得られうる。電気的または光学
的信号は従って、より早く伝達されうる。
は運搬路を短縮する。そのような板状部品の内部では、
例えば、ほんの5mmの運搬経路が長さ200mまでの
慣用のパイプの代わりに得られうる。電気的または光学
的信号は従って、より早く伝達されうる。
【0010】それぞれの場合1個の板状部品は、少なく
とも1個の装置の機能部分、例えば、バルブ、混合チャ
ンバー、ポンプ部品、抽出器、反応器、連結部品および
/または検出セル、特に写真−光学またはクロマトグラ
フィ用検出セル等を含む。従って、そのような機能部分
は部品の目的で必要な位置に困難なく導入され、設けら
れうる。
とも1個の装置の機能部分、例えば、バルブ、混合チャ
ンバー、ポンプ部品、抽出器、反応器、連結部品および
/または検出セル、特に写真−光学またはクロマトグラ
フィ用検出セル等を含む。従って、そのような機能部分
は部品の目的で必要な位置に困難なく導入され、設けら
れうる。
【0011】板状部品に設けられた機能部分は、その部
品の中央に都合良く配置され、供給および放出溝または
同様の供給開口部は部品の端部または周縁部近くに配置
されうる。供給パイプは特に、困難なく引き込まれ、そ
して供給および放出部品は交差を伴った複雑化を生じる
ことなく容易に用いられうるという都合良い点を持つ。 結果として、供給パイプの配置を修正することは容易に
可能であり、一方、他の部品を循環する配置により機能
部分の配置は維持される。非常に少数の部品のみを持つ
ため、そのような装置にもっとも多くの変化を要求して
も容易に満足される。
品の中央に都合良く配置され、供給および放出溝または
同様の供給開口部は部品の端部または周縁部近くに配置
されうる。供給パイプは特に、困難なく引き込まれ、そ
して供給および放出部品は交差を伴った複雑化を生じる
ことなく容易に用いられうるという都合良い点を持つ。 結果として、供給パイプの配置を修正することは容易に
可能であり、一方、他の部品を循環する配置により機能
部分の配置は維持される。非常に少数の部品のみを持つ
ため、そのような装置にもっとも多くの変化を要求して
も容易に満足される。
【0012】制御装置に装置を連結することは電気ケー
ブル、特に検出器、ポンプおよび/またはバルブの場合
、油圧および/または空気ホースを介して、例えば、ポ
ンプまたはバルブの場合、または試薬用の供給ホースを
介して、及び光ファイバーを介して、簡単な方法で、特
に光透視法の原理に基づいて操作される検出器に行われ
る。
ブル、特に検出器、ポンプおよび/またはバルブの場合
、油圧および/または空気ホースを介して、例えば、ポ
ンプまたはバルブの場合、または試薬用の供給ホースを
介して、及び光ファイバーを介して、簡単な方法で、特
に光透視法の原理に基づいて操作される検出器に行われ
る。
【0013】この全ては、相当する開口部および溝部分
を持つ板状部品を本発明に従って積層することにより可
能になり、そのため、全装置は非常に小型で少量の固有
容量を持つ形態でありうる。
を持つ板状部品を本発明に従って積層することにより可
能になり、そのため、全装置は非常に小型で少量の固有
容量を持つ形態でありうる。
【0014】少なくとも1個のポンプを部品の内部およ
び/または装置の外側に都合良く配置できる。部品の組
み立て物の内部に設けられるべきポンプは例えば、2個
の部品の間に配置された隔膜により形成され、該隔膜は
圧力および/または減圧の方法により一方の側に撓まさ
れ、他の側に吸引及び圧力パイプを持つ。その中に設け
られた部品および溝の幾つかにより、そのような隔膜は
、圧力により一方向に、及び減圧により反対方向に交互
に撓まされることにより振動させられうる。そのような
振動する隔膜は他方では、たわみメカニズムからかけ離
れた反応側で、必要なポンプ操作を行う。機械的運転が
必要ないので、非常に少量のみが必要とされる。
び/または装置の外側に都合良く配置できる。部品の組
み立て物の内部に設けられるべきポンプは例えば、2個
の部品の間に配置された隔膜により形成され、該隔膜は
圧力および/または減圧の方法により一方の側に撓まさ
れ、他の側に吸引及び圧力パイプを持つ。その中に設け
られた部品および溝の幾つかにより、そのような隔膜は
、圧力により一方向に、及び減圧により反対方向に交互
に撓まされることにより振動させられうる。そのような
振動する隔膜は他方では、たわみメカニズムからかけ離
れた反応側で、必要なポンプ操作を行う。機械的運転が
必要ないので、非常に少量のみが必要とされる。
【0015】相互に順序および/または角の位置を変化
させて個々の部品を積層させるため、個々の部品は中心
を決める穴または連結穴または一致する位置のくぼみか
らなり、及びそれぞれの部品はその周縁部に沿って、幾
つかの例えば、4個の、同一の角度により互いに関連し
て並置され、そして部品の中心から同じ距離に配置され
る方法を確実にするため、中心を決める穴または連結穴
からなるのが都合良い。そのような幾つかの連結穴は、
それらの中を通る連結方法が個々の板状またはウェハー
状部品に一定の圧縮力を持続的に働かせることができ、
そのため、ウェハー状部品は操作位置において密封方法
で相互の位置にするという都合の良い点を持つ。
させて個々の部品を積層させるため、個々の部品は中心
を決める穴または連結穴または一致する位置のくぼみか
らなり、及びそれぞれの部品はその周縁部に沿って、幾
つかの例えば、4個の、同一の角度により互いに関連し
て並置され、そして部品の中心から同じ距離に配置され
る方法を確実にするため、中心を決める穴または連結穴
からなるのが都合良い。そのような幾つかの連結穴は、
それらの中を通る連結方法が個々の板状またはウェハー
状部品に一定の圧縮力を持続的に働かせることができ、
そのため、ウェハー状部品は操作位置において密封方法
で相互の位置にするという都合の良い点を持つ。
【0016】部品の外形は同一または同じ寸法であり、
そのため部品は一致する。それは積み重ねやすさ及び小
型化の可能性を改善する。例えば、部品の外形は円形ま
たは四角形である。それは互いに異なる角の位置でさえ
、不一致することなく、個々の部品の配置を促進する。 しかし、他の正多角形、例えば、六角形ももちろん、上
記の都合の良い点を得るため、部品として作られる。
そのため部品は一致する。それは積み重ねやすさ及び小
型化の可能性を改善する。例えば、部品の外形は円形ま
たは四角形である。それは互いに異なる角の位置でさえ
、不一致することなく、個々の部品の配置を促進する。 しかし、他の正多角形、例えば、六角形ももちろん、上
記の都合の良い点を得るため、部品として作られる。
【0017】本発明の都合良い具体例は、板状部品がガ
ラス、プラスチックスまたは金属ウェハー、特に精錬さ
れたスチールである。そのような部品は製造が容易であ
り、安価である。例えば、直径が約5cmのウェハーが
有用な結果をもたらすが、他のどんな寸法も使用できる
。
ラス、プラスチックスまたは金属ウェハー、特に精錬さ
れたスチールである。そのような部品は製造が容易であ
り、安価である。例えば、直径が約5cmのウェハーが
有用な結果をもたらすが、他のどんな寸法も使用できる
。
【0018】板状部品が結晶から単離されたチップ状ウ
ェハーのとき、さらに小型化が行われる。そのようなウ
ェハーは例えば、2ないし20mmの側面の長さを持つ
。流れ開口部、流路および/または連結穴および/また
は機能部分のくぼみは部品にエッチングされうる。非常
に小さい開口部および溝部分の配置および同類のものは
エッチング技術で製造され、そのため必要な試料容量中
で得られる有効な減少を伴う望ましい小型化は高度に行
われるということが公知である。
ェハーのとき、さらに小型化が行われる。そのようなウ
ェハーは例えば、2ないし20mmの側面の長さを持つ
。流れ開口部、流路および/または連結穴および/また
は機能部分のくぼみは部品にエッチングされうる。非常
に小さい開口部および溝部分の配置および同類のものは
エッチング技術で製造され、そのため必要な試料容量中
で得られる有効な減少を伴う望ましい小型化は高度に行
われるということが公知である。
【0019】板状部品の相互に対面する表面は平面−平
行であり、層状に、連結された操作位置において、それ
らは流れ開口部等の端を密封するか、または一方を開放
する溝部分の表面で密封するか、または機能部分の開口
部を密封する。特殊な密封を必要としないため、個々の
部品の積み重ねおよび組み立てを促進する。しかし、例
えば、ポンプまたはバルブの部分中、付加的な密封部品
としてウェハーのどれか1つ、または板状部品のどれか
1つを積層体の中に挿入することも可能である。
行であり、層状に、連結された操作位置において、それ
らは流れ開口部等の端を密封するか、または一方を開放
する溝部分の表面で密封するか、または機能部分の開口
部を密封する。特殊な密封を必要としないため、個々の
部品の積み重ねおよび組み立てを促進する。しかし、例
えば、ポンプまたはバルブの部分中、付加的な密封部品
としてウェハーのどれか1つ、または板状部品のどれか
1つを積層体の中に挿入することも可能である。
【0020】バルブを形成するため、部品を通して伸び
る流れ開口部は部品の厚さ幅で漏斗状であり、少なくと
もその部分において、漏斗の形における先細りの部分の
中に球状バルブ部材を含みうる。その部分が過剰の圧力
により普通と違う動きをするとき、ボールは後戻りしな
いバルブの方法で流れをさえぎることができる。しかし
、圧力の方向が逆転するとき、バルブは開かれる。
る流れ開口部は部品の厚さ幅で漏斗状であり、少なくと
もその部分において、漏斗の形における先細りの部分の
中に球状バルブ部材を含みうる。その部分が過剰の圧力
により普通と違う動きをするとき、ボールは後戻りしな
いバルブの方法で流れをさえぎることができる。しかし
、圧力の方向が逆転するとき、バルブは開かれる。
【0021】密封方法で積み重ねられた板状部品と一緒
にプレスするため、連結穴を通して伸びる貫通棒または
スクリューが与えられうる。
にプレスするため、連結穴を通して伸びる貫通棒または
スクリューが与えられうる。
【0022】最終的に、部品の組み立て物は、流れ溝へ
の連結部を持つウェハーからなり、必要ならば、該ウェ
ハーはより厚みを、及びより大きな外形を持ち、そのた
め、慣用の穴は小型化された流れ溝に用いられうる。
の連結部を持つウェハーからなり、必要ならば、該ウェ
ハーはより厚みを、及びより大きな外形を持ち、そのた
め、慣用の穴は小型化された流れ溝に用いられうる。
【0023】特に、上記の特徴及び大きさが、個々にま
たは選択的に組み合わさるとき、装置は要求により、も
っとも小さな空間でフロー注入分析を行うことができ、
それは必要とされる試薬がほとんどなしで、それにもか
かわらず、精度を損なうことなく非常に速く行われる。 装置に要求される空間は非常に小さいので、多くの場合
、装置はそのような分析に必要をされる位置にできるだ
け近く設けられ、それは環境保護に関連するか、または
製造工程の監視または同様のもののどれかに用いられる
。
たは選択的に組み合わさるとき、装置は要求により、も
っとも小さな空間でフロー注入分析を行うことができ、
それは必要とされる試薬がほとんどなしで、それにもか
かわらず、精度を損なうことなく非常に速く行われる。 装置に要求される空間は非常に小さいので、多くの場合
、装置はそのような分析に必要をされる位置にできるだ
け近く設けられ、それは環境保護に関連するか、または
製造工程の監視または同様のもののどれかに用いられる
。
【0024】本発明の本質的に詳細な部分は、図に関し
て以下の幾つかの具体例により詳細に記載されている。
て以下の幾つかの具体例により詳細に記載されている。
【0025】略図および拡大図において、第1図は運搬
液体用ポンプ、試料用ポンプ、担体液体パイプ用注入バ
ルブ、及び検出器を伴うフロー注入分析適用の簡単な例
の流れ図である。
液体用ポンプ、試料用ポンプ、担体液体パイプ用注入バ
ルブ、及び検出器を伴うフロー注入分析適用の簡単な例
の流れ図である。
【0026】第2図は第1図中破線により縁取られた部
分、いわゆる供給および放出パイプを持つ注入バルブを
製造するための、本発明の部品組み立て物を示す。
分、いわゆる供給および放出パイプを持つ注入バルブを
製造するための、本発明の部品組み立て物を示す。
【0027】第3図は、積み重ねられ、及び組み立てら
れた形の第2図の部品組み立て物を示す。
れた形の第2図の部品組み立て物を示す。
【0028】第4図は個々の部品がエッチングされた開
口部をもつ縮小チップ状であり、及び互いに関連して示
される部品の修正された組み立て物を示す。
口部をもつ縮小チップ状であり、及び互いに関連して示
される部品の修正された組み立て物を示す。
【0029】第5図は組み立てられ、そして積み重ねら
れた形の第4図の部品の組み立て物である。
れた形の第4図の部品の組み立て物である。
【0030】第6図は、内部ポンプ、パイプ及び検出器
を持つ部品の積み重ね体の外側に、容器及び信号評価ユ
ニットを供給し、それが図式で示された略図における本
発明の装置を示す。
を持つ部品の積み重ね体の外側に、容器及び信号評価ユ
ニットを供給し、それが図式で示された略図における本
発明の装置を示す。
【0031】第7図はポンプが部品の積層体の外側に設
けられた第6図に相当する配置を示す。
けられた第6図に相当する配置を示す。
【0032】第8図は、慣用の注入部を持つ第1図の配
置、及び互いに隣あって配置された2個のT片を持つ注
入部である外部制御されたバルブの無しの解決策を示す
。
置、及び互いに隣あって配置された2個のT片を持つ注
入部である外部制御されたバルブの無しの解決策を示す
。
【0033】第9図は導管(a),溝部分(b),中央
混合チャンバー(c)及び注入用溝システム(d)を持
つ本発明の部品組み立て物の4個の異なる積層部品を示
し、それらはこれらの異なる個々の部品のそれぞれを多
数用いることが可能である。
混合チャンバー(c)及び注入用溝システム(d)を持
つ本発明の部品組み立て物の4個の異なる積層部品を示
し、それらはこれらの異なる個々の部品のそれぞれを多
数用いることが可能である。
【0034】第10図は、導管、連結溝、後戻りしない
バルブ、及び柔軟な隔膜により形成され、両側に混合チ
ャンバーとして相当する穴または同様のものを持つ板を
持つポンプからなる異なる部品の積み重ね体の分解図で
ある。
バルブ、及び柔軟な隔膜により形成され、両側に混合チ
ャンバーとして相当する穴または同様のものを持つ板を
持つポンプからなる異なる部品の積み重ね体の分解図で
ある。
【0035】第11図は、連結部を持つ2個の密封用板
の間に組み立てられた状態にある第10図の部品組み立
て物を示す。
の間に組み立てられた状態にある第10図の部品組み立
て物を示す。
【0036】第12図は組み立てられた状態での具体例
であり、明らかにするため、個々の板を、担体液体用の
ポンプおよび提供されるべき試料用のポンプの両方を個
々に示していない、。
であり、明らかにするため、個々の板を、担体液体用の
ポンプおよび提供されるべき試料用のポンプの両方を個
々に示していない、。
【0037】第13図は、円形の外形の積み重ねやすい
部品から組み立てられ、より多くのパイプ部分、バルブ
及びポンプを持つ装置の他の具体例であり、これはオン
ライングルコース分析に適する。
部品から組み立てられ、より多くのパイプ部分、バルブ
及びポンプを持つ装置の他の具体例であり、これはオン
ライングルコース分析に適する。
【0038】第14a〜h図は、異なる穴、溝部分また
は溝システムまたは混合チャンバーを持つ多数の四角形
のチップ状板状部品からなる部品の組み立て物である。
は溝システムまたは混合チャンバーを持つ多数の四角形
のチップ状板状部品からなる部品の組み立て物である。
【0039】第15図は光学検出器として適当であり、
光学的試験のために反射性表面により両側に設定された
1個の入口および溝部分への1個の出口を持つ部品を示
す。
光学的試験のために反射性表面により両側に設定された
1個の入口および溝部分への1個の出口を持つ部品を示
す。
【0040】第16図は、電気化学的試験のために使用
される溝部分の両側に、イオン選択性フィールド効果ト
ランジスターを持つ電気化学的分析用の検出部品を示す
。
される溝部分の両側に、イオン選択性フィールド効果ト
ランジスターを持つ電気化学的分析用の検出部品を示す
。
【0041】
【実施例】以下に記載された具体例において、相当する
部品は形態が異なっていても同一の参照番号を持つ。特
に、化学分析用の液体試料を加工処理または調製するた
めの装置の種々の具体例はそれぞれ参照番号1を持つ。
部品は形態が異なっていても同一の参照番号を持つ。特
に、化学分析用の液体試料を加工処理または調製するた
めの装置の種々の具体例はそれぞれ参照番号1を持つ。
【0042】第1図は、フロー注入分析の簡単な例を示
すものであり、液体試料を処理するための装置1は、検
出器3につながる供給パイプ2、注入バルブ4および、
注入バルブ4につながる供給パイプ5から本質的になる
。この配置は第1図における回路図として示され、供給
パイプ2および5の始めに、ポンプ6および7がそれぞ
れ配置される。該ポンプは以下の具体例の多くにおいて
、装置1の内部に組み込まれ、または交互に第7図に示
すように選択的に装置1の外側に配置される。
すものであり、液体試料を処理するための装置1は、検
出器3につながる供給パイプ2、注入バルブ4および、
注入バルブ4につながる供給パイプ5から本質的になる
。この配置は第1図における回路図として示され、供給
パイプ2および5の始めに、ポンプ6および7がそれぞ
れ配置される。該ポンプは以下の具体例の多くにおいて
、装置1の内部に組み込まれ、または交互に第7図に示
すように選択的に装置1の外側に配置される。
【0043】第1図に従って非常に簡単に組み立てられ
た装置1および、多数の個々のパイプ部分または機能部
分を持つ後記する同じタイプの装置1のどちらも、第2
図ないし第5図及び第9図ないし第16図により、板状
部品8の積み重ね体から組み立てられうる。部品8は、
パイプ部分9、流れ開口部10、バルブ11または中央
チャンバー12に関してその構造において互いに異なる
。にもかかわらず、以下においてすべての部品は装置1
の部品組み立て物内では参照番号8を持ち、それらは同
一の外形を持ち、それらが一致するように互いに積み重
ねることができる。
た装置1および、多数の個々のパイプ部分または機能部
分を持つ後記する同じタイプの装置1のどちらも、第2
図ないし第5図及び第9図ないし第16図により、板状
部品8の積み重ね体から組み立てられうる。部品8は、
パイプ部分9、流れ開口部10、バルブ11または中央
チャンバー12に関してその構造において互いに異なる
。にもかかわらず、以下においてすべての部品は装置1
の部品組み立て物内では参照番号8を持ち、それらは同
一の外形を持ち、それらが一致するように互いに積み重
ねることができる。
【0044】第1図ないし第5図による非常に簡単な組
み立て物は、部品8のそれぞれがパイプ片9、分岐部1
3及び流れ開口部10からなることをすでに示し、注入
バルブ4に相当する内部容量をもつ注入位置においてパ
イプ2及び5を集める。パイプ5が再び導き出された後
、パイプ2はさらに外部の検出器に導かれる。それゆえ
、この具体例をもってさえ、相当の空間および内部容量
が積み重ねやすい部品8を使用した結果として、第1図
の装置1に蓄えられ、そのため、相当する少量の試料液
体および相当する少量の担体液体が実際の分析に必要で
ある。
み立て物は、部品8のそれぞれがパイプ片9、分岐部1
3及び流れ開口部10からなることをすでに示し、注入
バルブ4に相当する内部容量をもつ注入位置においてパ
イプ2及び5を集める。パイプ5が再び導き出された後
、パイプ2はさらに外部の検出器に導かれる。それゆえ
、この具体例をもってさえ、相当の空間および内部容量
が積み重ねやすい部品8を使用した結果として、第1図
の装置1に蓄えられ、そのため、相当する少量の試料液
体および相当する少量の担体液体が実際の分析に必要で
ある。
【0045】第6図及び第7図において、異なる機能を
持つ積み重ね得る部品8それぞれから組み立てられた装
置1は単にかたまりとして示されている。実際の装置1
の外側に、慣用のホースまたはパイプ15を介して装置
1に連結される容器14を配置することが可能であり、
第6図中で、ポンプ6及び7は下記に記載されるべき方
法で装置1の内部に配置されるが、第7図の説明におい
て、それらは外部ポンプの形態にあることがわかる。
持つ積み重ね得る部品8それぞれから組み立てられた装
置1は単にかたまりとして示されている。実際の装置1
の外側に、慣用のホースまたはパイプ15を介して装置
1に連結される容器14を配置することが可能であり、
第6図中で、ポンプ6及び7は下記に記載されるべき方
法で装置1の内部に配置されるが、第7図の説明におい
て、それらは外部ポンプの形態にあることがわかる。
【0046】第6図及び第7図は連結、例えば、電気ケ
ーブル16の形態で、装置1が電気信号評価ユニット1
7または光学信号評価ユニット18に連結されうる方法
によるものを示す。
ーブル16の形態で、装置1が電気信号評価ユニット1
7または光学信号評価ユニット18に連結されうる方法
によるものを示す。
【0047】第8図において、注入バルブ4を持つ第1
図の装置1は、連続して配置される2個のT片19を持
つ装置の流れ図と比較して、T片19の上流部及び下流
部の両方のパイプ2に存在するポンプを示す。さらに、
吸引ポンプは2番目のT片の下流部の枝分かれしたパイ
プ5として存在するのでこれらすべてのポンプを作動す
ることにより、パイプ5からパイプ2への望ましい注入
が行われうる。
図の装置1は、連続して配置される2個のT片19を持
つ装置の流れ図と比較して、T片19の上流部及び下流
部の両方のパイプ2に存在するポンプを示す。さらに、
吸引ポンプは2番目のT片の下流部の枝分かれしたパイ
プ5として存在するのでこれらすべてのポンプを作動す
ることにより、パイプ5からパイプ2への望ましい注入
が行われうる。
【0048】それに必要な板状部品8は第9a〜d図に
示され、その中で1個の部品8は流れ開口部10だけか
らなり、他の部品8は溝またはパイプ片9からなり、他
の部品は混合チャンバーとして中央穴からなり、特に最
後の部品8は互いにとなりあって配置された2個のT片
19を持つ溝システムからなる。
示され、その中で1個の部品8は流れ開口部10だけか
らなり、他の部品8は溝またはパイプ片9からなり、他
の部品は混合チャンバーとして中央穴からなり、特に最
後の部品8は互いにとなりあって配置された2個のT片
19を持つ溝システムからなる。
【0049】第10図及び第11図は、9個の板状部品
8のすべてが装置1を形成するため積層された装置1を
示す。第10図は特別な順序で、部品8が流れ開口部1
0、バルブ11、チャンバー12、およびより低い入口
20から出口21への通路を与えるため分岐物13及び
パイプ部分9からなることを示す。
8のすべてが装置1を形成するため積層された装置1を
示す。第10図は特別な順序で、部品8が流れ開口部1
0、バルブ11、チャンバー12、およびより低い入口
20から出口21への通路を与えるため分岐物13及び
パイプ部分9からなることを示す。
【0050】中央チャンバー12を持つ2個の部品は、
第10図及び第11図に従って部品8の積層体の真ん中
に配置される。柔軟な隔膜24がこれらの部品8の間に
挿入されるとき、ポンプ6または7として使用され、そ
れは圧力または減圧により一方に撓まされ、その他方に
おいて、撓まされた結果として、チャンバー12で相当
するポンプを作用させる。第10図は破線により、隔膜
を動かすために取り扱われる圧力パイプ22、相当する
部品8の流れ開口部10及びパイプ部9を介して同様に
柔軟な隔膜下の操作チャンバー12に導かれる圧力パイ
プ22を示す。
第10図及び第11図に従って部品8の積層体の真ん中
に配置される。柔軟な隔膜24がこれらの部品8の間に
挿入されるとき、ポンプ6または7として使用され、そ
れは圧力または減圧により一方に撓まされ、その他方に
おいて、撓まされた結果として、チャンバー12で相当
するポンプを作用させる。第10図は破線により、隔膜
を動かすために取り扱われる圧力パイプ22、相当する
部品8の流れ開口部10及びパイプ部9を介して同様に
柔軟な隔膜下の操作チャンバー12に導かれる圧力パイ
プ22を示す。
【0051】例えば、一番下の部品8において、または
上から3番目の部品において(第10図参照)、バルブ
を形成するため、部品を通して伸びる流れ開口部23が
部品8の厚さ幅の漏斗状であり、少なくともその部分で
、その先細り部分に球状バルブ部材を含むことができ、
それにもかかわらず、図が小さいため、略図的にのみ示
される。
上から3番目の部品において(第10図参照)、バルブ
を形成するため、部品を通して伸びる流れ開口部23が
部品8の厚さ幅の漏斗状であり、少なくともその部分で
、その先細り部分に球状バルブ部材を含むことができ、
それにもかかわらず、図が小さいため、略図的にのみ示
される。
【0052】従って、流れは一方向にのみ生じ、いわゆ
る、そのような部品は後戻りしないバルブからなり、そ
れによって、2個のチャンバー12の間に柔軟な隔膜2
4により形成されたポンプが望ましい運搬方向に作動す
ることを確実にする。それにもかかわらず、広い空間を
必要とする付加的ホース及び機能部分は必要でなく、む
しろ、これらの機能を装置1の部品組み立て物の内部、
または板状部品8の間に、極小型化方法により配置する
ことが可能である。
る、そのような部品は後戻りしないバルブからなり、そ
れによって、2個のチャンバー12の間に柔軟な隔膜2
4により形成されたポンプが望ましい運搬方向に作動す
ることを確実にする。それにもかかわらず、広い空間を
必要とする付加的ホース及び機能部分は必要でなく、む
しろ、これらの機能を装置1の部品組み立て物の内部、
または板状部品8の間に、極小型化方法により配置する
ことが可能である。
【0053】第11図は、個々の板状部品8が密着した
積層物の形態で確かに連結されたとき、装置1の外側の
全体がどのくらいかを示し、部品組み立て物は装置1の
流路に通じる入口20及び出口21として連結をもつ密
封ウェハー25からなる。そのような密封ウェハーはま
た、第12図及び第13図の具体例に示される。
積層物の形態で確かに連結されたとき、装置1の外側の
全体がどのくらいかを示し、部品組み立て物は装置1の
流路に通じる入口20及び出口21として連結をもつ密
封ウェハー25からなる。そのような密封ウェハーはま
た、第12図及び第13図の具体例に示される。
【0054】第12図は上記の方法により、2個のポン
プ、いわゆる担体液体用ポンプ6及び試料用ポンプ7が
、積層された板状部品から組み立てられた装置1の内部
で用いられ、これらのポンプ6及びポンプ7のそれぞれ
は、順番にチャンバー12を持つ2個の板およびそれら
の間に配置された隔膜により形成される具体例を示す。 従って、ポンプ制御およびポンプ操作のためのより多く
の入口および出口は、上側の密封ウェハー25に与えら
れる。にもかかわらず、第12図による伸びる装置1の
場合でさえ、相当する少量の内部容量をもつ部品8の積
層体の内部に必要とされるのは、非常に小さな空間であ
る。
プ、いわゆる担体液体用ポンプ6及び試料用ポンプ7が
、積層された板状部品から組み立てられた装置1の内部
で用いられ、これらのポンプ6及びポンプ7のそれぞれ
は、順番にチャンバー12を持つ2個の板およびそれら
の間に配置された隔膜により形成される具体例を示す。 従って、ポンプ制御およびポンプ操作のためのより多く
の入口および出口は、上側の密封ウェハー25に与えら
れる。にもかかわらず、第12図による伸びる装置1の
場合でさえ、相当する少量の内部容量をもつ部品8の積
層体の内部に必要とされるのは、非常に小さな空間であ
る。
【0055】第13図は、例えば、本発明の方法におい
てグルコース分析器を組み立てるため、異なる機能部分
をもつ板状部品8の数がさらに増加されうることを示す
。
てグルコース分析器を組み立てるため、異なる機能部分
をもつ板状部品8の数がさらに増加されうることを示す
。
【0056】幾つかの部品8の一つ以上が存在し、それ
らが互いにそのような方法で循環するため、特に周縁部
の流れ開口部10を持つ幾つかの部品8を使用すること
が可能であり、充満したパイプの経路により、それらは
平行した部品8のパイプ部9に相当する連結部を作り出
し、そのため、装置1の少し単純な図の第12図にすで
に作られているようにパイプの連続的な流れが、入口2
0から出口21に作られる。
らが互いにそのような方法で循環するため、特に周縁部
の流れ開口部10を持つ幾つかの部品8を使用すること
が可能であり、充満したパイプの経路により、それらは
平行した部品8のパイプ部9に相当する連結部を作り出
し、そのため、装置1の少し単純な図の第12図にすで
に作られているようにパイプの連続的な流れが、入口2
0から出口21に作られる。
【0057】第2図,第3図及び第9a〜d図ないし第
13図の具体例において、板状部品8は円形の外形をも
ち、例えば、約50mmまたはそれ以上の直径をもつガ
ラス、プラスチックスまたは金属ウェハーである一方、
第4図及び第5図及び第14a〜h図ないし第16図の
具体例は、同様の方法で使用され、組み立てられ、結晶
からチップ状で分離されたウェハーであり、より小さな
外形を持つことができる板状部品を示し、そのため穴、
溝部分及びそれらに存在する同様のものがエッチング方
法により用いられる。その具体例において、これらの部
品8は四角形の外形を持つ。
13図の具体例において、板状部品8は円形の外形をも
ち、例えば、約50mmまたはそれ以上の直径をもつガ
ラス、プラスチックスまたは金属ウェハーである一方、
第4図及び第5図及び第14a〜h図ないし第16図の
具体例は、同様の方法で使用され、組み立てられ、結晶
からチップ状で分離されたウェハーであり、より小さな
外形を持つことができる板状部品を示し、そのため穴、
溝部分及びそれらに存在する同様のものがエッチング方
法により用いられる。その具体例において、これらの部
品8は四角形の外形を持つ。
【0058】特に第14a〜h図に示された部品組み立
て物の例において、存在しうる個々の部分の1個以上は
、パイプ部分9、流れ開口部10または異なる大きさで
混合チャンバーまたはポンプ部品でありうるチャンバー
12であることが再びわかる。
て物の例において、存在しうる個々の部分の1個以上は
、パイプ部分9、流れ開口部10または異なる大きさで
混合チャンバーまたはポンプ部品でありうるチャンバー
12であることが再びわかる。
【0059】第14d図に示された部品8の中に、アダ
プター26が試料および同様のものの供給が行われうる
ガラス毛細管を維持するために配置されうることが示さ
れる。第14c図の部品8に、非常に小さな部品の上に
、非常に狭い曲がりの中でさえ、すでに記載されたエッ
チング技術を使用して与えられるらせん状溝27が示さ
れており、いわゆる多数の曲げ及び曲がり(bends
andturns) により最も狭い空間で混合作業
を行うことができる可能性を与える。第13図はこのタ
イプのらせん状溝27を示す。
プター26が試料および同様のものの供給が行われうる
ガラス毛細管を維持するために配置されうることが示さ
れる。第14c図の部品8に、非常に小さな部品の上に
、非常に狭い曲がりの中でさえ、すでに記載されたエッ
チング技術を使用して与えられるらせん状溝27が示さ
れており、いわゆる多数の曲げ及び曲がり(bends
andturns) により最も狭い空間で混合作業
を行うことができる可能性を与える。第13図はこのタ
イプのらせん状溝27を示す。
【0060】第14図の全部品8のすべての場合、及び
同様に比較して拡大で示された第15図及び第16図の
部品8において、すべての4つ角に、円形ウェハーに存
在し、積層部品が連結位置に固定されるが、互いに循環
される位置に部品の配置を可能にさせることを確実にす
るポジションニング穴28を見ることができる。
同様に比較して拡大で示された第15図及び第16図の
部品8において、すべての4つ角に、円形ウェハーに存
在し、積層部品が連結位置に固定されるが、互いに循環
される位置に部品の配置を可能にさせることを確実にす
るポジションニング穴28を見ることができる。
【0061】第15図は、光学検出セルを形成するため
に反射表面を端部30の両方にもち、溝部分29につな
がる入口および出口からなる部品8を示す。
に反射表面を端部30の両方にもち、溝部分29につな
がる入口および出口からなる部品8を示す。
【0062】第16図において、部品8を電気化学的検
出セルに変える方法により、順番に入口および出口、イ
オン選択性フィールド効果トランジスター31からなる
比較できる溝部分29の両側に配置される。トランジス
ターそれ自身のような、トランジスター31の連結部3
2は半導体の組み立ての公知の方法により容易に取りつ
けられる。
出セルに変える方法により、順番に入口および出口、イ
オン選択性フィールド効果トランジスター31からなる
比較できる溝部分29の両側に配置される。トランジス
ターそれ自身のような、トランジスター31の連結部3
2は半導体の組み立ての公知の方法により容易に取りつ
けられる。
【0063】板状部品8の相互に対面する表面はそれぞ
れ平面−平行であるので、層状および連結された操作位
置において、それらは流れ開口部10または溝または溝
部分29,27または9の端部、並びにチャンバー12
を封する。それゆえ、積層により、個々のパイプ部分お
よび機能部分が封され、加えて封を必要としない装置1
が作られる。密封方法において積層された板状部品8と
一緒にプレスするため、連結穴またはポジションニング
穴28を通して伸びる貫通棒またはスクリューが詳細に
は示されていない方法により与えられる。
れ平面−平行であるので、層状および連結された操作位
置において、それらは流れ開口部10または溝または溝
部分29,27または9の端部、並びにチャンバー12
を封する。それゆえ、積層により、個々のパイプ部分お
よび機能部分が封され、加えて封を必要としない装置1
が作られる。密封方法において積層された板状部品8と
一緒にプレスするため、連結穴またはポジションニング
穴28を通して伸びる貫通棒またはスクリューが詳細に
は示されていない方法により与えられる。
【0064】非常に小さな外形を持つ装置1はこのよう
につくられるにもかかわらず、調製され、実施されるべ
きフロー注入分析を可能にするために必要な部品すべて
、小型化のため必要とされる担体液体および試料を極少
量、及び流れの距離を短くするためかなり増加される分
析スピードからなる。
につくられるにもかかわらず、調製され、実施されるべ
きフロー注入分析を可能にするために必要な部品すべて
、小型化のため必要とされる担体液体および試料を極少
量、及び流れの距離を短くするためかなり増加される分
析スピードからなる。
【0065】
【発明の効果】好ましくは定量−化学分析、特にフロー
注入分析のための液体試料を加工処理または調製する装
置1は、小型化および必要な試料容量を減少すると同時
に分析時間の短縮を目的として、積層体を形成するため
一組の板状部品8から組み立てられ、部品8のそれぞれ
はパイプ片9および/または分岐物13および/または
開口部および/またはバルブ、例えば、後戻りしないバ
ルブ、および/またはポンプ6,7からなり、そのため
、望ましい方法で検出器3に担体液体および試料を供給
できる。
注入分析のための液体試料を加工処理または調製する装
置1は、小型化および必要な試料容量を減少すると同時
に分析時間の短縮を目的として、積層体を形成するため
一組の板状部品8から組み立てられ、部品8のそれぞれ
はパイプ片9および/または分岐物13および/または
開口部および/またはバルブ、例えば、後戻りしないバ
ルブ、および/またはポンプ6,7からなり、そのため
、望ましい方法で検出器3に担体液体および試料を供給
できる。
【0066】分析の目的により、部品8に含まれるパイ
プ及び機能部分を持つ部品8は、互いに関連して数およ
び/または順序および/または位置を変化させて積み重
ねられ、操作位置に密封方法で連結することができる。
プ及び機能部分を持つ部品8は、互いに関連して数およ
び/または順序および/または位置を変化させて積み重
ねられ、操作位置に密封方法で連結することができる。
【図1】ポンプ、バルブ及び検出器を伴うフロー注入分
析用の簡単な流れ図である。
析用の簡単な流れ図である。
【図2】注入バルブを製造するための部品組み立て物を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図3】積み重ねられた第2図の部品組み立て物を示す
説明図である。
説明図である。
【図4】個々の部品が縮小チップ状である部品組み立て
物を示す説明図である。
物を示す説明図である。
【図5】積み重ねられた第4図の部品組み立て物を示す
説明図である。
説明図である。
【図6】ポンプ、パイプ及び検出器を持つ部品積み重ね
体、容器及び信号評価ユニットを伴う装置を示す説明図
である。
体、容器及び信号評価ユニットを伴う装置を示す説明図
である。
【図7】ポンプが部品積み重ね体の外側に設けられた装
置を示す説明図である。
置を示す説明図である。
【図8】注入バルブ4の代わりに2個のT片を持つ第1
図に相当する装置を示す説明図である。
図に相当する装置を示す説明図である。
【図9】導管を持つ部品組み立て物を示す説明図である
。
。
【図10】溝部分を持つ部品組み立て物を示す説明図で
ある。
ある。
【図11】中央混合チャンバーを持つ部品組み立て物を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図12】注入用溝システムを持つ部品組み立て物を示
す説明図である。
す説明図である。
【図13】部品の積み重ね体の分解図である。
【図14】密封用板の間に組み立てられた部品組み立て
物を示す説明図である。
物を示す説明図である。
【図15】担体液体用のポンプおよび試料用のポンプが
内部に具体的に用いられた部品組み立て物を示す説明図
である。
内部に具体的に用いられた部品組み立て物を示す説明図
である。
【図16】円形の積み重ね部品から組み立てられた装置
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図17】穴、溝部分を持つ多数の四角形のチップ状板
状部品を示す説明図である。
状部品を示す説明図である。
【図18】穴、溝部分を持つ多数の四角形のチップ状板
状部品を示す説明図である。
状部品を示す説明図である。
【図19】穴、溝部分を持つ多数の四角形のチップ状板
状部品を示す説明図である。
状部品を示す説明図である。
【図20】穴、溝部分を持つ多数の四角形のチップ状板
状部品を示す説明図である。
状部品を示す説明図である。
【図21】穴、溝部分を持つ多数の四角形のチップ状板
状部品を示す説明図である。
状部品を示す説明図である。
【図22】穴、溝部分を持つ多数の四角形のチップ状板
状部品を示す説明図である。
状部品を示す説明図である。
【図23】穴、溝部分、混合チャンバーを持つ板状部品
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図24】穴、溝部分、混合チャンバーを持つ板状部品
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図25】入口および出口につながる溝部分を持つ部品
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図26】イオン選択性フィールド効果トランジスター
を持つ検出部品を示す説明図である。
を持つ検出部品を示す説明図である。
1 装置
2,5 供給パイプ
3 検出器
4 供給バルブ
6,7 ポンプ
8 板状部品
9 パイプ片
10 導管
11 バルブ
12 中央混合チャンバー
13 分岐物
14 容器
15 パイプ
16 電気ケーブル
17 電気信号評価ユニット
18 光信号評価ユニット
19 T片
20 入口
21 出口
22 圧力パイプ
23 流れ開口部
24 隔膜
25 密閉板
26 アダプター
27 らせん状溝
28 連結穴,ポジションニング穴
29 溝部分
30 端部
31 イオン−選択性フィールト効果トランジスター
32 連結部
32 連結部
Claims (18)
- 【請求項1】 分析装置または検出器に導かれる供給
溝または供給パイプを含み、担体媒体用の少なくとも1
個のパイプ及び試験すべき試料を供給するための少なく
とも1個の他のパイプが設けられており、該試料を供給
するためのパイプは担体媒体用の供給パイプ内に導かれ
ており、かつ、適当な場合には、ポンプ、バルブ、混合
装置、試料の希釈液用の他の供給パイプ等を含んでいる
、好ましくは定量−化学分析、特にフロー注入分析(F
IA)のための液体試料を加工処理または調製する装置
において、装置(1)は積重ね体を形成するための一組
の板状部品(8)から組み立てられ、部品(8)のそれ
ぞれはパイプ片(9)および/または分岐物(13)ま
たは開口部および/またはバルブ(11)またはポンプ
(6,7)からなる装置。 - 【請求項2】 部品(8)は異なる流れシステム及び
流れパイプを組み立てるため相互に関連して数および/
または順序および/または位置を変化させて組み立て、
操作位置に密封した態様で連結される請求項1記載の装
置。 - 【請求項3】 それぞれの場合に1個の板状部品(8
)が例えば、バルブ(11)、混合チャンバー(12)
、ポンプ要素(6,7)、抽出器、反応器、連結片およ
び/または検出セル、特に写真光学、電気化学、電気泳
動またはクロマトグラフィー用検出セル等装置の少なく
とも1個の機能部分から請求項1または請求項2のいず
れかに記載された装置。 - 【請求項4】 板状部品(8)に設けられた機能部分
が、該部品の中央に配置され、供給および排出溝または
同様の供給用開口部(10)が部品(8)の端部または
周縁部近くに配置される請求項3記載の装置。 - 【請求項5】 制御装置への連結は、電気ケーブル、
特に検出器、ポンプおよび/またはバルブの場合、油圧
および/または空気ホースを介して、例えば、ポンプお
よび/またはバルブの場合、または試薬用の供給ホース
を介して、及び光ファイバーを介して、特に光透視法の
原理に基づいて操作される検出器に行われる請求項1な
いし4のいずれか一つに記載された装置。 - 【請求項6】 少なくとも1個のポンプが部品(8)
の内部および/または装置(1)の外側に配置される請
求項1ないし請求項5のいずれか一つに記載された装置
。 - 【請求項7】 ポンプが2個の部品(8)の間に配置
された隔膜(24)により形成され、該隔膜が圧力およ
び/または減圧により−パイプ22を通して−一方の側
に撓ませることができ、そして他の側に吸引および圧力
パイプを持つ請求項6記載の装置。 - 【請求項8】 個々の部品が中心を決める穴、ポジシ
ョニング穴、または連結穴(28)または、一致する位
置のくぼみを含む請求項1ないし請求項7のいずれか一
つに記載の装置。 - 【請求項9】 それぞれの部品(8)がその周縁部に
沿って、幾つかの、例えば、4個の、同一の角度により
互いに関連して並置され、そして部品の中心から同じ距
離に配置される手段を確実にするため中心を決める穴ま
たは連結穴を含む請求項1ないし請求項8のいずれか一
つに記載の装置。 - 【請求項10】 部品(8)の外形は、該部品が合致
するように同一及び同じ寸法である請求項1ないし請求
項9のいずれか一つに記載の装置。 - 【請求項11】 部品(8)の外形が円形または四角
形である請求項10記載の装置。 - 【請求項12】 板状部品(8)がガラス、プラスチ
ックスまたは金属ウェハー、特に精錬されたスチールウ
ェハーである請求項1ないし請求項11のいずれか一つ
に記載の装置。 - 【請求項13】 板状部品(8)が結晶から分離され
たチップ状のウェハーである請求項1ないし請求項11
のいずれか一つに記載の装置。 - 【請求項14】 流れ開口部、流路および/または連
結穴および/または機能部分用のくぼみが、部品(8)
にエッチングされている請求項3ないし請求項13のい
ずれか一つに記載の装置。 - 【請求項15】 板状部品(8)の相互に対面する表
面は平面で平行であり、それゆえ、層状に、連結された
操作位置において、それら表面は流れ開口部(10)等
の端部を封するか、または一方の側が開放された溝部分
(9,27,29)の表面を封する請求項1ないし請求
項14のいずれか一つに記載の装置。 - 【請求項16】 バルブを形成するため、部品(8)
を通して伸びている流れ開口部(23)が部品(8)の
厚さ幅で漏斗状であり、少なくともその部分において、
漏斗の形における先細り部分の中に球状バルブ部材を含
む請求項1ないし請求項15のいずれか一つに記載の装
置。 - 【請求項17】 密封状に一緒に積み重ねられた板状
部品(8)をプレスするため、連結穴(28)を通して
伸びる貫通棒またはスクリューが設けられている請求項
8ないし請求項16のいずれか一つに記載の装置。 - 【請求項18】 部品の組み立てが流路への接続部を
もつ密封ウェハー(25)からなる請求項1ないし請求
項17のどれか一つに記載の装置。
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