JPH04303777A - 埋め込みアレイを試験するためのテストパターンジェネレータ - Google Patents

埋め込みアレイを試験するためのテストパターンジェネレータ

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JPH04303777A
JPH04303777A JP3353174A JP35317491A JPH04303777A JP H04303777 A JPH04303777 A JP H04303777A JP 3353174 A JP3353174 A JP 3353174A JP 35317491 A JP35317491 A JP 35317491A JP H04303777 A JPH04303777 A JP H04303777A
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dut
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、一般的に、試験装置
、より具体的には、各ピンをレプリカすると共に、埋め
込みアレイを効率的に試験することが可能な独立したア
ルゴリズミックなテストパターンジェネレータを有する
試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】VLSI製品、特にチップ、モジュール
、カード及びボードを試験することは、回路の速度、密
度及びロジックの複雑さの増大を考慮するとますます難
しくなっている。過去に、ロジック及びアレイ(メモリ
としても知られる)の試験は、異なるテスタで決まった
手順で行われた。すなわち、1つめは、ロジック試験で
あり、2つめはアレイ(またはメモリ)試験である。 しかしながら、2つのパス試験は、高価であり、煩雑で
あり、時間を要してしまうので理想的なものではない。 ロジックに埋め込まれたアレイの出現により、試験がよ
り複雑となった。これは、主として埋め込みアレイが普
通になったので、各部に独立したI/Oを割り当てるこ
とにより、また、アレイからロジックを隔離する方法を
設計中に組み入れることにより、アレイからロジックを
分離することに対してロジック設計者は、必要な努力を
することに消極的であった。
【0003】アレイを試験することは、ロジックを試験
することとは根本的に異なる。アレイは、高度な構造な
ので高度の規則的な試験ベクトルを必要とする。一方、
ロジックは、本来的によりランダムであり、発見的パタ
ーンの手段により、事実上、確定的か、擬似ランダムか
、または、完全にランダムかが通常試験される。適切な
可試験性及び故障検出率を確実にするために、「可試験
性の設計」として知られるある設計制約が導入され、引
き続き広範囲に使用された。可試験性の典型的設計の好
例がスキャン設計であり、より詳しくは、当業者に周知
のレベル依存性スキャン設計(LSSD)であり、イー
・ケー・アイチェルバーガーの米国特許第3,783,
254号に十分に記載されている。設計者に特定の設計
規則を義務づけることにより、製品の完全な可試験性が
保証されうる。
【0004】LSSD設計において、データは、シフト
レジスタからなるスキャンチェーンを介して直列に入力
され、組合せロジックを介してシフトレジスタの他のチ
ェーン及び主たる出力の何れかへ伝搬される。埋め込み
アレイの試験を容易にするために、スキャンチェーンは
アレイからロジックを隔離するために使用される。
【0005】埋め込みアレイは高度に規則的及び高度に
構造化のパターンを必要とすることが当業者により知ら
れている。若し、埋め込みアレイの入力において、上述
のLSSDシフトレジスタチェーンのような特別な回路
を使用することにより強化されていないならば、製品の
ロジック部を通じてこれらのパターンをアレイ入力に容
易に入力することができない。
【0006】典型的なアレイ試験装置は、被試験アレイ
に入力される多量の試験ベクトルを記憶できるメモリ素
子を含む。これは、アレイが決まった手順でN2 (N
はメモリサイズ)の試験ベクトル系列を必要とするので
、特に重要なことである。さらに、各ステップでただ1
つの試験ベクトルがメモリから読み出し可能とされるの
で、アレイ試験は、本質的に低速であり、例えば最大で
100〜300MHzであり、過度に長い試験時間とな
ってしまう。
【0007】また、複数の試験装置は、一般的に、メモ
リにアドレスの系列を供給するアドレス発生回路を含む
。試験装置の各ピンには、電子回路が付加的に設けられ
、この電子回路は、ピン毎の1つのドライバ及び1つの
レシーバと、アドレス、データ、制御を切り換えるため
の複数のマルチプレクサとを有する。
【0008】もっと後の世代の試験装置は、速度、柔軟
性及び多様性を増すために、変形されてきている。最も
著しい革新は、これによって各ピンに関連する電子回路
が内蔵されており、全ての要素が被試験デバイス(DU
T)の如何なるI/Oにも完全な試験を課すような、試
験装置が真に「ピン毎」であることである。このように
、各ピンは、電子回路により駆動される。電子回路は、
コマンドを保持するためのそれ自身のピンメモリ回路と
、コマンドを復号すると共に、ピンメモリのために次の
コマンドアドレスを発生するための制御回路とを有する
。これらの特徴は、エー・ケー・ジェフリー、他による
米国特許第4,931,723号に詳述される。
【0009】「ピン毎」試験設計の重要な特色は、通常
はチャネルとして言及され、DUTの各入力または双方
向ドライバに接続される、その独特な処理素子である。 このようなアーキテクチャの全てのチャネルは、パイプ
ライン構成で同時に動作する。DUTのためのデータ、
アドレス、コマンド及び制御信号は試験を行う前に各チ
ャネルのメモリにロードされる。チャネルのメモリにア
ドレスを記憶させることは、所定の試験のためのアドレ
スの如何なる系列の発生を可能とする。しかしながら、
これは、過度の量のためにチャネル内に存在する利用可
能なメモリを全て使い果たしてしまう。
【0010】多量の試験データをメモリに入出力させる
ことの必要性によって、その速度に対する強い限定的制
約ばかりでなく、試験装置の設計に重大な制限を加える
。試験において、アルゴリズミックに試験ベクトルを作
成することは、そのような大容量のメモリの必要性を省
き、これと共に、試験の性能を改善する。これは、チャ
ネル内に記憶された系列のただ1つのコピーを保持する
一方で、被試験デバイス(DUT)内の多くのアドレス
に、データ、コマンド及び制御系列の供給を可能にする
。典型的に、アルゴリズミックアドレス発生器は、一般
的にカウンタの形態であり、各チャネル毎に繰り返され
る。様々なアルゴリズミック試験発生器の例が下記の文
献に見出される。すなわち、米国特許第4,807,2
29号、IBMテクニカルディスクロージャブリテンに
おける1989年度4月の31巻第11号の160−1
61頁「確定的シードを用いたアルゴリズミックランダ
ムパターン発生器」、1990年度4月の第32巻第1
1号の248−249頁「変形ロジック試験ハードウェ
アエンハンスメント」、第32巻6A号の76−79頁
「試験におけるアルゴリズミックパターン発生」、及び
1988年度3月の30巻第10号の116−123頁
「「ピン毎」試験のためのアレイ試験パターン発生」で
ある。アレイテストパターン(例えば、0や1のウォー
キングまたはマーチング、リプルワードまたはビット、
0と1がレギュラーパターン内に交互に選択されるチェ
ッカーボード等)の標準的なあるいは高級なレプリゼン
テーションを採用することにより、並びにこれらのパタ
ーンを0と1の2進系列にすることにより、上述の文献
は、一般的に、ソフトウェア中に試験パターンを発生す
るための手段を提供する。これらの特別な利点は、「デ
ィスターブ試験」と呼ばれるものであり、ホームセルア
ドレスが選択され、各ホームアドレスのための他の各セ
ル(即ちアウェイ(Away))のロケーションは、そ
れがディスターブされたか否かを決定するためにポーリ
ングされる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】この技術において現在
見出された上述の制約を考慮して、この発明の目的は、
埋め込みアレイを試験するための試験装置ハードウェア
の試験パターンをアルゴリズム的に発生させることであ
る。
【0012】この発明の他の目的は、「ピン毎」試験の
各ピンにおいて、レプリカされることが十分に容易であ
るアルゴリズミックテストパターンジェネレータを構成
することである。
【0013】この発明のさらに他の目的は、各試験装置
のピンにLSSDアレイパターン発生器(APG)を割
り当てることによってロジックからアレイを隔離する単
一のLSSDシフトレジスタに、長い試験系列をシフト
させる必要性を回避することであり、こうすることで、
被試験デバイス(DUT)が数個の短いレジスタを有す
ることが可能になる。
【0014】この発明の具体的な目的は、アルゴリズミ
ックにアレイ試験パターンを形成するためにインクリメ
ント/デクリメントカウンタを使用することである。
【0015】また、この発明の他の具体的な目的は、1
つのカウンタのビットを選択し、そのビットにおいて、
インクリメント及びデクリメントが開始及び終了する。
【0016】この発明のよりさらに他の目的は、他方の
カウンタのどのビットが一方のカウンタの動作を制御す
るという選択をする間に、一方のカウンタの内容を他方
のカウンタに転送する。こうすることで、小型で高性能
なAPG(アレイパターン発生器)を形成することが可
能になる。
【0017】
【課題を解決するための手段】これらの目的は、集積回
路の埋め込みアレイを試験するためのテストパターンジ
ェネレータを形成するこの発明によって達成される。こ
の発明は、その上に埋め込みアレイを有する集積回路と
、埋め込みアレイに対してそれぞれ試験データを入力及
び出力するためのLSSD回路と、埋め込みアレイのた
めの2進試験パターンを作成するためのコマンド駆動の
発生器とからなる。
【0018】
【実施例】ロジック、アレイ及び埋め込みアレイの試験
が可能な進歩した試験システムは、一般的に「ピン毎」
の構成で設計されている。この「ピン毎」構成の中核は
、ロジック及びアレイの両試験機能を組み入れることが
可能なピンコントローラとして動作するように設計され
るデータベクトルプロセッサ(DVP)である。
【0019】試験装置の速度は、各ピンにあるテストパ
ターンジェネレータ(TPG)に情報を伝送することが
できるプログラムコントローラの速度に、直接的に関係
している。このことは、データベクトルプロセッサ(D
VP)を使用する根本的な理由である。DVPは、この
状況を緩和するのみならず、各ピンを真に独立型とする
【0020】この発明による試験システム内に組み込ま
れたテストパターンジェネレータがデータベクトルプロ
セッサを有するように設計されることは、また、試験プ
ログラムの大きさを縮小すると共に、ピンの可プログラ
ム性を容易とするためのアルゴリズミックループ構成を
提供する。このことは、LSSDスキャンチェーンを介
してのみアクセス可能であるアレイに対して試験データ
を発生する独特な「ピン毎」の手段を提供する。
【0021】各DVPは、バウンダリスキャンリング及
びLSSDシフトレジスタ列を介して、埋め込みアレイ
を試験するために構成されるLSSDアルゴリズミック
テストパターンジェネレータ(APG)を有するように
設計される。これは、DUTの入力シフトレジスタラッ
チチェーン(SRL)を介してのアクセスのみが可能で
あるアレイを試験することを可能にする。LSSD  
APGロジックを制御するコマンドは、データストリー
ム中に組み込まれると共にメモリ内に記憶される。
【0022】埋め込みアレイを試験することは、特にア
レイがDUTのSRLチェーンを介してのアクセスのみ
が可能な場合に、一般的に、多量のデータを必要とする
。多量のデータを転送する必要性を軽減するために、L
SSD  APGは、好ましくは、DVPの設計に組み
込まれる。その独特な特徴は、その2つのカウンタの動
作であり、カウンタは好ましくは24ビット長であり、
16メガビットのアレイまでのアドレスを可能にする。 特質上、工夫されたLSSD  APGは、少なくとも
250MHz の最大パターン発生レートまでのアレイ
パターンの発生を可能にする。
【0023】この種の試験が多量のデータを発生可能で
あることは、当業者に知られている。このために、これ
以降は、標準的またはコマンド駆動の形態として言及さ
れるようなアルゴリズミックまたは高級なフォームで試
験データを扱うことが好ましい。それによって試験装置
により要求される場合のみに2進データへの変換が可能
とされる。LSSD  APGを操作するために要求さ
れるコマンドは、DVPと関連するメモリ内に記憶され
る。これらのコマンドは、ホーム及びアウェイのために
カウンタ「H」及びカウンタ「A」として、それぞれ言
及される2つのカウンタに対して、次の構造(SRLチ
ェーン内に記憶されるデータとして規定される)の前に
、いかに実行するかを教える。構造データは、通常、被
試験のチェーン内のSRLの数と等しい長さを有する構
造データの長さでサブコマンドのリストの後にくる。
【0024】LSSD  APGのハードウェアの説明
図1を参照して、5つの主要なセクションからなるLS
SD  APGが以下に示される。 1.ブロック10  −  コマンド記憶レジスタ2.
ブロック100〜102  −  「ホーム」カウンタ
及び関連する制御ロジック 3.ブロック200〜203  −  「アウェイ」カ
ウンタ及び関連する制御ロジック 4.ブロック300〜340  −  出力選択セクシ
ョン5.ブロック390  −  上述の全てに関して
のタイミング及び系列セクション
【0025】コマンド記憶レジスタ10は、制御セクシ
ョンからのコマンドワードを受理し、LSSD  AP
Gにより発生される次のパターンの処理に使用されるた
めにそれを記憶する。シーケンサが出力レジスタ300
を更新するために完結のサイクルを通り抜けるまで、こ
のレジスタは、コマンドワードを保持する。コマンドワ
ードは、複数の異なるサブコマンドに分割され、各サブ
コマンドは、後述するように、それに付随するロジック
ブロックを制御する特定のコードを有する。
【0026】ブロック100は、被試験メモリアレイ(
MUT)の「ホーム」ロケーションを番地決めするため
に設計されたNビットカウンタである。このカウンタは
、コマンド記憶レジスタ10内に記憶されたコマンドに
より下記のように制御される。 a.全て0にリセットする、または、 b.1のカウントによりインクリメントする、または、
c.1のカウントによりデクリメントする、または、d
.ポーズ−コマンドサイクルをスキップする。
【0027】上述の4つの機能は、バス11により制御
される。バス11のデータに加えて、「アウェイ」カウ
ンタ200の予め選択された位置のキャリービットの不
存在によって、インクリメント及びデクリメント動作が
禁止されうる。キャリービットの選択は、バス12の情
報を、付加的に復号するブロック102内で行われる。
【0028】「アウェイ」または「A」カウンタは、通
常、「ホーム」セル内のディスターブ状態を形成するた
めに用いられるMUTセルをアドレス決めするために使
用され、「ホーム」または「H」カウンタに比べて一般
的に、より複雑である。「A」カウンタは、また、Nビ
ットからなり、以下のような基本的な動作を行う。 a.全部0にリセットする、または、 b.2n (n≦N)のカウントによりインクリメント
する、または、 c.2n のカウントによりデクリメントする、または
、d.「H」カウンタからのデータがロードされる。
【0029】これらの動作は、バス21の情報を復号す
る「A」動作デコーダ201により制御される。インク
リメント及びデクリメント動作は、ストップキャリーセ
レクト及びインクリメントビットセレクト(202及び
203)により変更される。インクリメントビットセレ
クト203は、バス23のサブコマンドを復号し、どの
ビットからも開始して、「A」カウンタがインクリメン
トまたはデクリメントさせられる。これによって、実質
的に、カウンタが2n のインクリメントでカウントで
きる。ストップキャリーセレクト202は、バス22上
のサブコマンドを復号し、「A」キャリー/ボロービッ
トの伝搬を停止し、より上位のビットがこれによって非
ディスターブ状態にとどまることができる。
【0030】出力セクションは、ブロック300−34
0から構成され、被試験モジュールのアドレス、データ
−入力、期待されるデータ−出力及びアレイ制御を決定
するために使用される。ブロック390からの系列内の
最後のタイミング信号は、レジスタ300内に出力をラ
ッチするものである。出力レジスタ300の部分は、直
接的にまたは全てのカウンタビットの反転後に「H」ま
たは「A」の内容を記憶する。この反転は、線39によ
り制御される。
【0031】出力セクションは、付加的に、データ及び
MUTのための制御線信号として使用される4種類の出
力を発生する。各種類に関して、実及び相補の利用が可
能である。4つの種類には、以下のものが含まれる。 1.MUTの駆動には直接的に関連しないLSSD段の
ためのバイアスとして一般的に使用される固定出力レベ
ル(41) 2.MUTのR/W、出力イネーブル等を制御するため
に通常、使用されるコマンド(38)の1つのビットの
直接出力 3.「H」及び「A」カウンタの幾つかの選択されたビ
ットにより制御されるデータ 選択は、バス31のサブコマンドを解釈する出力制御3
01の手段により行われる。コントロールの種類は、線
36、37及び38によりそれぞれ活動状態とされるA
NDゲート310、311及びエクスクルーシブORゲ
ート312、314により決定される。 4.カウンタ「A」及び「H」の内容を比較することに
より制御される出力データ。この比較は、ブロック30
2でなされ、3個の出力を形成する。 a.H>A b.H=A c.H<A
【0032】制御線33、34及び35は、アンドゲー
ト320、321、及び322をそれぞれ駆動するため
に使用される。アンドゲート320、321、及び32
2は、上述の状態のどれが活動状態とされるべきかを選
択する。これらの状態は、それからORされ(323)
、エクスクルーシブORゲート324に転送される。エ
クスクルーシブORゲート324は、選択された出力4
2の条件付き反転として使用される。出力データがレジ
スタ300にラッチされると、セレクタ304は、LS
SD  APGからの所望の出力を直列データ列に順序
化するために使用される。このデータは、そして、図2
に示されるMUT400を含むDUT500のLSSD
シフトレジスタ列に供給される。
【0033】セレクタを駆動するデータは、LSSD 
 APGの外部のパターンメモリまたは発生器で作成さ
れる。選択処理が開始されると、新しいコマンドは、レ
ジスタ10と、この新しいコマンドを実行するために再
スタートされるタイミングシーケンサに記憶されること
が可能となる。これは、同時に行われ、すなわち、出力
データのスキャンと次のコマンドの実行とが同時に生じ
る。レジスタ300に結果をラッチする処理は、スキャ
ンが完了するまで遅延される。このために、LSSD 
 APGは、過度に高速である必要はなく、従って、そ
のコストを低下させると共に低コストの技術を使用でき
る。高速のスキャン速度は、数サイクル間のデータの並
列化の選択と、そして、速度上で高速のシフトレジスタ
にそれを配置することによって達成されうる。
【0034】LSSD  APGの動作は、以下のリス
トの順序でなされる。 1.「A」及び「H」カウンタをリセットするためのコ
マンドでLSSDAPGを初期化する。 2.レジスタ300にラッチされる出力を待つ。 3.レジスタ10に新しいコマンドを記憶する。 4.図2に示されるように、記憶されたまたは発生され
たパターンでセレクタ304を活動状態とする。このパ
ターンは、MUT400の入力及びLSSDシフトレジ
スタ列410へのそれらの接続の関係を表す。 5.レジスタ300内に前のコマンドの結果をラッチす
ると共にレジスタ10内に新しいコマンドを記憶する。 6.試験が完了するまでステップ4及び5を繰り返す。
【0035】示される種々の例により、どのようにして
パターンが発生されるかを、より理解することが可能に
なる。
【0036】図2を参照すると、簡単な埋め込みアレイ
が考慮されている。2つのLSSDAPGがこの試験に
含まれる。その一つはLSSD  SR入力410を駆
動するものであり、他の1つは出力LSSD  SR4
20から走査され出力されたデータの結果と比較される
データを発生するものである。
【0037】また、組合せロジックがシフトレジスタS
Rチェーン410及びMUT400間に存在する場合の
説明するためのゲート71が示される。この例では、ロ
ジックを試験するための入力の幾つかは、MUT400
の入力に供給される適切な信号のための特定レベルに設
定される必要がある。
【0038】M(ワード数)を23 =8(3個のアド
レス線)であるとすると、 試験#1−アドレス0で開始し、M1までの全てのロケ
ーションにおいて1をビット0、2、4に書き込む。 試験#2−アドレス0で開始し、M1までの上述の記憶
されたデータを読み出す。 試験#3−相補データで試験#1を繰り返す。 試験#4−上述のデータを読み出す。
【0039】図2の例において、適切な動作のために、
シフトレジスタ位置31(SR31)に1がセットされ
、SR15に0がセットされることが必要であることを
注意されたい。
【0040】全ての他の段(接続されていない状態で示
される)は、MUT試験に何らの影響も有さないと仮定
され、従って、強制的に0とされる。
【0041】両LSSD  APG(SR−IN及びS
R−OUT)のコマンドは同一である。 1.  初期化−「H」及び「A」をリセットする。出
力レジスタ300(ビット0〜N)内にカウンタ「A」
の内容を記憶する。出力制御バス31を設定して、「A
」ビット3(A3)を選択し、コントロールバス22を
設定して、キャリーをA3で停止し、コントロールバス
23を設定し、「A」をA0でインクリメントし、A4
キャリーが1の場合に「H」をインクリメントするよう
にコントロールバス12を設定し、最後に、出力制御線
33−36、38、39を0にセットすると共に出力制
御線37を1にセットする。これらの出力選択によって
、出力  N+1=A3 出力  N+2=−A3 出力  N+3=H0 出力  N+4=−H0 出力  N+5=0 出力  N+6=1 出力  N+7=0 出力  N+8=1      となる。 2.若し、A3=1ならば、「A」及び「H」をインク
リメントする。全ての他の制御ビットを初期コマンドと
同じものに記憶する。 3.ステップ2を8回繰り返す。 4.ステップ2及び3を4回繰り返す。
【0042】以下のものは、MUT400にパターンの
適切なアプリケーションを形成するために選択されねば
ならない出力の順序である。
【0043】 シフトレジスタ位置              説明
            出力レジスタ300番号1 
、3 、9 −14 、20−  22、27−30 、32             
     無関係                N
+7          2            
+書き込み/−読み出し        N+2   
       4              +デー
タ0出力              N+4    
      5              +データ
1出力              N+3     
     6              +データ2
出力              N+4      
    7              +データ3出
力              N+3       
   8              +データ4出力
              N+4        
  15            −イネーブル   
             N+7         
 16            +データ4入力   
           N+4          1
7            +アドレス1      
            1          18
            +アドレス2       
           2          19 
           +アドレス0        
          0          23  
          +データ3入力        
      N+3          24    
        +データ2入力          
    N+4          25      
      +データ1入力            
  N+3          26        
    +データ0入力              
N+4          31          
  +イネーブル                N
+8
【0044】上述のスキャンパターンは、両LSS
D  APGに(4×8=)32回適用される。書き込
み動作時に出力データを走査している間に、ピンエラー
ログの受信がオフされることが特に注意されるべきであ
る。これは、書き込み時間中に出力データが規定できな
いものでありうるからである。
【0045】出力レジスタの使用されるビット中のデー
タは、次のようなものである。 N+8   N+7  N+4  N+3  N+2 
   2    1    0      実行される
                         
                         
            コマンド  1      
0    −H0      HO    −A3  
    A2    A1    A0    1  
    0      1      0      
1      0    0    0    1  
初期化  1      0      1     
 0      1      0    0    
1    2  インクリ             
                         
                         
 メント  1      0      1    
  0      1      0    1   
 0    3    〃  1      0   
   1      0      1      0
    1    1    4    〃  1  
    0      1      0      
1      1    0    0    5  
  〃  1      0      1     
 0      1      1    0    
1    6    〃  1      0    
  1      0      1      1 
   1    0    7    〃  1   
   0      1      0      1
      1    1    1    8   
 〃  1      0      1      
0      0      0    0    0
    9    〃  1      0     
 1      0      0      0  
  0    1    10  〃  1     
 0      1      0      0  
    0    1    0    11  〃 
 1      0      1      0  
    0      0    1    1   
 12  〃  1      0      1  
    0      0      1    0 
   0    13  〃  1      0  
    1      0      0      
1    0    1    14  〃  1  
    0      1      0      
0      1    1    0    15 
 〃  1      0      1      
0      0      1    1    1
    16  〃  1      0      
0      1      1      0   
 0    0    17  〃  1      
0      0      1      1   
   0    0    1    18  〃  
1      0      0      1   
   1      0    1    0    
19  〃  1      0      0   
   1      1      0    1  
  1    20  〃  1      0   
   0      1      1      1
    0    0    21  〃  1   
   0      0      1      1
      1    0    1    22  
〃  1      0      0      1
      1      1    1    0 
   23  〃  1      0      0
      1      1      1    
1    1    24  〃  1      0
      0      1      0    
  0    0    0    25  〃  1
      0      0      1    
  0      0    0    1    2
6  〃  1      0      0    
  1      0      0    1   
 0    27  〃  1      0    
  0      1      0      0 
   1    1    28  〃  1    
  0      0      1      0 
     1    0    0    29  〃
  1      0      0      1 
     0      1    0    1  
  30  〃  1      0      0 
     1      0      1    1
    0    31  〃  1      0 
     0      1      0     
 1    1    1    32  〃  1 
     0      1      0     
 1      0    0    0    33
  〃
【0046】1つのコマンドによりスキャンが遅
延されることは無意味であり、従って、最後のコマンド
の結果は、走査されない。2つのコマンドの使用は、4
つの試験セクションを動作可能とすることが前述の例か
ら明らかである。
【0047】もう一つの例では、各ビットプレーン中に
チェッカーボードパターン及び相補データを有する交互
ビットプレーンが必要とされる。
【0048】
【0049】物理的なレイアウトが変更されなかったの
で、スキャン系列は不変のままである。しかしながら、
+書き込み/−読み出し線は現在はA3にある。
【0050】入力及び期待される出力データをコマンド
が変形するために、以下の変更が必要とされる。 1.  出力セクション選択コマンドは、a)コマンド
31に基づいて出力制御301により選択された出力が
現在はA0であり、ライン36及び37がA1にある。 b)データの反転のために、選択線38が始めの2つの
試験で1に保持され、終わりの2つで0に保持される。 c)A0ビットがキャリーを有する時には、カウンタ「
H」がインクリメントされる。 N+8   N+7  N+4  N+3    3 
   2    1    0        実行さ
れる                       
                         
              コマンド  1    
  0      0      1      1 
   0    0    0    1  初期化 
   1      0      1      0
      1    0    0    1   
 2  インクリメ                
                         
                     ント  
1      0      1      0   
   1    0    1    0    3 
   〃  1      0      0    
  1      1    0    1    1
    4    〃  1      0     
 0      1      1    1    
0    0    5    〃  1      
0      1      0      1   
 1    0    1    6    〃  1
      0      1      0    
  1    1    1    0    7  
  〃  1      0      0     
 1      1    1    1    1 
   8    〃  1      0      
0      1      0    0    0
    0    9    〃  1      0
      1      0      0    
0    0    1    10  〃  1  
    0      1      0      
0    0    1    0    11  〃
  1      0      0      1 
     0    0    1    1    
12  〃  1      0      0   
   1      0    1    0    
0    13  〃  1      0     
 1      0      0    1    
0    1    14  〃  1      0
      1      0      0    
1    1    0    15  〃  1  
    0      0      1      
0    1    1    1    16  〃
  1      0      1      0 
     1    0    0    0    
17  〃  1      0      1   
   0      1    0    0    
1    18  〃  1      0     
 0      1      1    0    
1    0    19  〃  1      0
      0      1      1    
0    1    1    20  〃  1  
    0      1      0      
1    1    0    0    21  〃
  1      0      1      0 
     1    1    0    1    
22  〃  1      0      0   
   1      1    1    1    
0    23  〃  1      0     
 0      1      1    1    
1    1    24  〃  1      0
      1      0      0    
0    0    0    25  〃  1  
    0      1      0      
0    0    0    1    26  〃
  1      0      0      1 
     0    0    1    0    
27  〃  1      0      0   
   1      0    0    1    
1    28  〃  1      0     
 1      0      0    1    
0    0    29  〃  1      0
      1      0      0    
1    0    1    30  〃  1  
    0      0      1      
0    1    1    0    31  〃
  1      0      0      1 
     0    1    1    1    
32  〃  1      0      1   
   0      1    0    0    
0    33  〃
【0051】第2の例により、1
6のアドレスロケーションを有するアレイは、4×4ア
レイ、すなわち、1ビットアレイとして構成される。そ
れを試験するために、アレイは、全て0にロードされる
。これらの後に、列ディスターブ試験が行われる。この
試験は、その後に同一列の各セル内の1及び0が続く1
を試験セル内に書き込むことからなる。スキャンコマン
ドがパターン独立であるので、試験ベクトルを形成する
ために必要なLSSD  APGコマンドのみが以下に
述べられる。レジスタ300からの選択された出力は、 出力                  用途0  
            アドレスビット01    
          アドレスビット12      
        アドレスビット23        
      アドレスビット4N+5        
+書き込み/−読み出し制御N+1        +
データ入力または期待される+データ出力
【0052】このセットアップが適切にされ、線33〜
35は、全てのコマンドに関して0になるように選択さ
れる。これは、ブロック323の出力を0のままとさせ
、一方、出力制御301(線42の)からの出力をエク
スクルーシブORゲート324に手渡し、線N+1に生
じさせる。書き込みコマンドのために線38を1とし、
読み出しコマンドのために0として、データが1とされ
る時には1とされ、0が必要とされる時には0とされる
出力制御301の出力を、制御バス31は選択する。
【0053】コマンドが以下のように要約される。 a.カウンタリセット−「H」が出力−0を書き込むb
.「H」をインクリメント−「H」が出力−0を書き込
む c.ステップbを15回繰り返す d.リセットカウンタ「H」−「H」が出力−1を書き
込む e.「H」を「A」にロードする−「H」が出力−1を
書き込む f.ビットA2で「A」をインクリメントし、A3でキ
ャリーを停止−「A」が出力−1を書き込むg.カウン
タをホールド−「A」が出力−0を書き込むh.ステッ
プf及びgを3回繰り返す i.カウンタをホールド−「H」が出力−1を読み出す
j.カウンタをホールド−「H」が出力−0を書き込む
k.「H」をインクリメント−「H」が出力−1を書き
込む l.ステップeに戻り、ステップe〜kを16回繰り返
【0054】試験の列ディスターブ部分を実行している
時に、特別な注意が払われる。「H」が「A」にロード
される時は、常に、「A」は、被試験のセル「H」とし
て同一のコラムに設定される。A2ビットをインクリメ
ントすることにより、ディスターブセルは、同一列内で
、ある列から次の列に移動される。キャリービットが以
前のA3を伝搬しないことにより、同一列への復帰は、
最後に到達した時に生じる。一例として、若し、現在の
「H」が6であるならば、ステップeは「A」を6とさ
れ、ステップfはそれを10、14、2とする。同様に
、より複雑なアドレスパターンが容易に構成可能である
。一番近いものまたは行ディスターブのようなパターン
、またはN2 個のパターンでさえも構成可能である。 同様に、データ構成は、全て1または0、チェッカーボ
ード、列バー、または行バーに変更可能である。
【0055】図3を参照して、DUT500内の複数の
埋め込みアレイ400が示される。LSSDシフトレジ
スタチェーン410は、各アレイ400に対して、すな
わち、駆動しているアレイ400、または出力としての
シフトレジスタチェーン420に付加される。各LSS
Dシフトレジスタチェーンは、それぞれ、被試験装置の
ピンエレクトロニクスの範囲内でLSSD  APG(
ブロック430)によりサービスされる。各アレイは、
適切なLSSD  APG及びその入力及び出力をサー
ビスし、400A内としての、LSSDチェーンで、ま
たは400B内としての、独立のLSSD入力及び出力
シフトレジスタチェーンにより、同時に試験可能である
ことが上述の論議から明らかである。埋め込みアレイ4
00Aの入力及び出力の両者をサービスする単一のLS
SDチェーンの場合には、アレイに対する2進データ及
び同一回路を有するアレイから読み出し出力を提供する
ために、共通の入力/出力の使用をアレイが要求する。
【0056】
【発明の効果】この発明によれば、各ピンにおいて、レ
プリカされることが十分に容易なアルゴリズミックテス
トパターンジェネレータを提供することが可能であり、
被試験デバイス(DUT)が数個の短いレジスタを有す
ることが可能である。また、小型で高性能なAPG(ア
レイパターン発生器)を形成することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明による「ピン毎」LSSD・APG発
生器のブロック図である。
【図2】この発明による2つのLSSD・SRL(シフ
トレジスタラッチ)により包囲されたDUTの概略図で
ある。
【図3】マルチポートを使用する、複数の埋め込みアレ
イを同時に試験するための回路配列の概略図である。
【符号の説明】
10  コマンド記憶レジスタ 100  ホームカウンタ 200  アウェイカウンタ 390  シーケンサ 400  MUT 410  LSSDシフトレジスタ列 430  LSSD・APG 500  DUT

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  集積回路内の埋め込みアレイを試験す
    るためのテストパターンジェネレータであって、その中
    に埋め込みアレイを有する集積回路と、上記集積回路に
    含まれる上記埋め込みアレイに対して及び上記埋め込み
    アレイから、それぞれ、試験データを入力及び出力する
    ためのレベル依存性スキャン設計(LSSD)手段と、
    2進試験パターンを生成し、上記入力及び出力試験デー
    タを上記LSSD手段に供給するためのコマンド駆動手
    段とからなる装置。
  2. 【請求項2】  上記テストパターンジェネレータは、
    少なくとも1つのピンを有する試験装置内にあり、上記
    LSSD手段は、試験される集積回路内に含まれ、2進
    試験パターンを発生する上記コマンド駆動手段は試験装
    置の上記少なくとも1つのピンに含まれる請求項1記載
    のテストパターンジェネレータ。
  3. 【請求項3】  上記LSSD手段及び上記コマンド駆
    動手段は、試験装置の少なくとも上記1つのピン内に含
    まれる請求項2記載のテストパターンジェネレータ。
  4. 【請求項4】  上記LSSD手段及びコマンド駆動手
    段は、試験装置の複数の上記1つのピンにレプリカされ
    る請求項2記載のテストパターンジェネレータ。
  5. 【請求項5】  上記試験装置は、「ピン毎」アーキテ
    クチャを有し、それによって、上記テストパターンジェ
    ネレータは、試験装置の上記1つのピン毎にレプリカさ
    れる請求項2記載のテストパターンジェネレータ。
  6. 【請求項6】  試験装置のピンエレクトロニクスに含
    まれるLSSD被試験デバイス(DUT)内の埋め込み
    アレイを試験するテストパターンジェネレータであって
    、少なくとも2つのカウンタと、上記少なくとも2つの
    カウンタを活動状態とするために、コマンドを発生する
    ための上記少なくとも2つのカウンタに接続された論理
    手段と、上記少なくとも2つのカウンタ及び上記コマン
    ドの内容に基づいて出力データを形成するための出力デ
    ータ発生手段と、予め決められた系列中で出力を選択し
    、上記出力がDUTに含まれる埋め込みアレイに接続さ
    れたLSSDと対応させるための選択手段とからなる装
    置。
  7. 【請求項7】  上記少なくとも2つのカウンタの内容
    を比較するための比較手段を含む上記論理手段を有する
    請求項6記載のDUT内の埋め込みアレイを試験するた
    めのテストパターンジェネレータ。
  8. 【請求項8】  上記少なくとも2つのカウンタの1つ
    は、上記少なくとも2つのカウンタ内の如何なるカウン
    トからも開始される、インクリメント/デクリメントを
    行う請求項6に記載のDUT内の埋め込みアレイを試験
    するためのテストパターンジェネレータ。
  9. 【請求項9】  上記論理は、少なくとも2つのカウン
    タの一方の内容を上記少なくとも2つのカウンタの他方
    に転送する、請求項6に記載のDUT内の埋め込みアレ
    イを試験するためのテストパターンジェネレータ。
  10. 【請求項10】  上記一方のカウンタのカウントがイ
    ンクリメントされている時に上記2つのカウンタの一方
    のキャリービットを停止されることができ、それによっ
    て、上記一方のカウンタの上記カウントがデクリメント
    されている間にボロービットが停止しうる、請求項6記
    載のDUT内の埋め込みアレイを試験するためのテスト
    パターンジェネレータ。
  11. 【請求項11】  上記少なくとも2つのカウンタの他
    方におけるインクリメント/デクリメントが上記少なく
    とも2つのカウンタの一方内のキャリービットの存在に
    より制御されうる、請求項10記載のDUT内の埋め込
    みアレイを試験するためのテストパターンジェネレータ
  12. 【請求項12】  上記DUTに付加された上記LSS
    D手段が試験装置のピンエレクトロニクス内に含まれて
    いる、請求項6記載のDUT内の埋め込みアレイを試験
    するためのテストパターンジェネレータ。
  13. 【請求項13】  ディスターブ試験の提供により、被
    試験デバイス(DUT)集積回路に含まれる埋め込みア
    レイを試験する方法であって、 a)ホーム及びアウェイカウンタを0に設定するステッ
    プと、 b)DUTの隣接する次のセルをアドレス決めするため
    に上記ホームカウンタをインクリメントするステップと
    、 c)新たなディスターブセルをアドレス決めするために
    上記アエェイカウンタをインクリメントするステップと
    、 d)ディスターブされるDUTの各セルのアドレスをル
    ープすることにより、ステップc)を繰り返すステップ
    と、 e)DUTの各セルがアドレス決めされてしまうまで、
    新しいホームアドレスのためにステップb)を繰り返す
    ステップからなる方法。
  14. 【請求項14】  チェッカーボード試験を供給するこ
    とにより被試験デバイス(DUT)集積回路に含まれる
    埋め込みアレイを試験する方法であって、a)各シフト
    系列の開始で2つのカウンタの一方をインクリメントす
    るステップと、 b)DUTの行の長さと対応する上記一方のカウンタの
    キャリービットを検査することによりDUTの行の終わ
    りで上記2つのカウンタの第2のカウンタをインクリメ
    ントするステップと、 c)チェーカーボードパターンを形成するために必要と
    されるデータ入力を提供するために上記第1及び第2の
    カウンタの最下位ビットをエクスクルーシブORゲート
    するステップと、 d)埋め込みアレイのサイズに関連してステップa)か
    らステップc)を繰り返すステップとからなる方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08161900A (ja) * 1994-12-05 1996-06-21 Nec Ic Microcomput Syst Ltd 半導体記憶装置およびその検査方法

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5414714A (en) * 1992-03-26 1995-05-09 Motorola, Inc. Method and apparatus for scan testing an array in a data processing system
US5696770A (en) * 1993-09-30 1997-12-09 Texas Instruments Incorporated Method and apparatus for testing circuitry with memory and with forcing circuitry
US5488612A (en) * 1993-10-04 1996-01-30 International Business Machines, Corporation Method and apparatus for field testing field programmable logic arrays
US5428624A (en) * 1993-10-12 1995-06-27 Storage Technology Corporation Fault injection using boundary scan
US5598421A (en) * 1995-02-17 1997-01-28 Unisys Corporation Method and system for tracking the state of each one of multiple JTAG chains used in testing the logic of intergrated circuits
US5732246A (en) * 1995-06-07 1998-03-24 International Business Machines Corporation Programmable array interconnect latch
US5651013A (en) * 1995-11-14 1997-07-22 International Business Machines Corporation Programmable circuits for test and operation of programmable gate arrays
US5867507A (en) * 1995-12-12 1999-02-02 International Business Machines Corporation Testable programmable gate array and associated LSSD/deterministic test methodology
US5960009A (en) * 1996-08-09 1999-09-28 Lucent Technologies Inc. Built in shelf test method and apparatus for booth multipliers
US5872797A (en) * 1996-12-02 1999-02-16 International Business Machines Corporation Burn-in signal pattern generator
US6061815A (en) * 1996-12-09 2000-05-09 Schlumberger Technologies, Inc. Programming utility register to generate addresses in algorithmic pattern generator
US5889788A (en) * 1997-02-03 1999-03-30 Motorola, Inc. Wrapper cell architecture for path delay testing of embedded core microprocessors and method of operation
US6571365B1 (en) * 1999-11-03 2003-05-27 Unisys Corporation Initial stage of a multi-stage algorithmic pattern generator for testing IC chips
US6877122B2 (en) 2001-12-21 2005-04-05 Texas Instruments Incorporated Link instruction register providing test control signals to core wrappers
JP2005004876A (ja) * 2003-06-11 2005-01-06 Toshiba Corp 半導体記憶装置とその評価方法
US20060156131A1 (en) * 2004-12-24 2006-07-13 Yonsei University Method of reducing hardware overhead upon generation of test pattern in built-in sef test
CN1955945A (zh) * 2005-10-25 2007-05-02 国际商业机器公司 为软件测试过程自动生成测试执行序列的方法和装置
US8918689B2 (en) 2010-07-19 2014-12-23 Stmicroelectronics International N.V. Circuit for testing integrated circuits
US9939488B2 (en) * 2011-08-31 2018-04-10 Teseda Corporation Field triage of EOS failures in semiconductor devices

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60100064A (ja) * 1983-11-07 1985-06-03 Hitachi Ltd Ic試験装置
JPS63191977A (ja) * 1987-02-05 1988-08-09 Hitachi Ltd メモリicの試験パターン発生装置
JPS6432500A (en) * 1987-07-28 1989-02-02 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor storage device
JPH01205800A (ja) * 1988-02-12 1989-08-18 Nec Corp メモリ回路試験装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US491723A (en) * 1893-02-14 Dredging apparatus
US3781829A (en) * 1972-06-16 1973-12-25 Ibm Test pattern generator
US3783254A (en) * 1972-10-16 1974-01-01 Ibm Level sensitive logic system
JPS5914840B2 (ja) * 1979-10-19 1984-04-06 日本電信電話株式会社 半導体メモリ試験用パタ−ン発生装置
US4639919A (en) * 1983-12-19 1987-01-27 International Business Machines Corporation Distributed pattern generator
JPH0641966B2 (ja) * 1984-02-15 1994-06-01 株式会社アドバンテスト パタ−ン発生装置
JPH0750159B2 (ja) * 1985-10-11 1995-05-31 株式会社日立製作所 テストパタ−ン発生装置
JPH0746127B2 (ja) * 1986-05-20 1995-05-17 三菱電機株式会社 半導体試験装置
US4928278A (en) * 1987-08-10 1990-05-22 Nippon Telegraph And Telephone Corporation IC test system
US4989209A (en) * 1989-03-24 1991-01-29 Motorola, Inc. Method and apparatus for testing high pin count integrated circuits
US5127011A (en) * 1990-01-12 1992-06-30 International Business Machines Corporation Per-pin integrated circuit test system having n-bit interface

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60100064A (ja) * 1983-11-07 1985-06-03 Hitachi Ltd Ic試験装置
JPS63191977A (ja) * 1987-02-05 1988-08-09 Hitachi Ltd メモリicの試験パターン発生装置
JPS6432500A (en) * 1987-07-28 1989-02-02 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor storage device
JPH01205800A (ja) * 1988-02-12 1989-08-18 Nec Corp メモリ回路試験装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08161900A (ja) * 1994-12-05 1996-06-21 Nec Ic Microcomput Syst Ltd 半導体記憶装置およびその検査方法

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Publication number Publication date
US5285453A (en) 1994-02-08
JP2856586B2 (ja) 1999-02-10

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