JPH0429987B2 - - Google Patents
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- JPH0429987B2 JPH0429987B2 JP58098519A JP9851983A JPH0429987B2 JP H0429987 B2 JPH0429987 B2 JP H0429987B2 JP 58098519 A JP58098519 A JP 58098519A JP 9851983 A JP9851983 A JP 9851983A JP H0429987 B2 JPH0429987 B2 JP H0429987B2
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- JP
- Japan
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- light
- receiving element
- emitting element
- tray
- panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
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- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
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- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は半導体レーザ等の発光素子を高温で
試験を行なう発光素子用試験装置に関するもので
ある。一般に半導体発光素子の特性を高温で測定
したり、高温で動作エージング試験を行なうこと
は、半導体発光素子の品質を高めるために重要で
あり、この発光素子の測定には光出力を測定する
ために、発光素子と対向して受光素子が置かれる
のが通常である。ところが受光素子は温度により
感度が変化するため、従来高温で発光素子の光出
力をより正確に測定するには、発光素子のみを高
温室に入れ、受光素子は隔離して室温近くの温度
に保つことが行なわれていた。
試験を行なう発光素子用試験装置に関するもので
ある。一般に半導体発光素子の特性を高温で測定
したり、高温で動作エージング試験を行なうこと
は、半導体発光素子の品質を高めるために重要で
あり、この発光素子の測定には光出力を測定する
ために、発光素子と対向して受光素子が置かれる
のが通常である。ところが受光素子は温度により
感度が変化するため、従来高温で発光素子の光出
力をより正確に測定するには、発光素子のみを高
温室に入れ、受光素子は隔離して室温近くの温度
に保つことが行なわれていた。
また、発光素子に直接受光素子を対向させず、
ガラスフアイバーで発光素子の光出力を受光し、
室温中に置かれた受光素子まで導いて測定する方
法等もあつた。
ガラスフアイバーで発光素子の光出力を受光し、
室温中に置かれた受光素子まで導いて測定する方
法等もあつた。
しかし、これらの方法ではいずれも一度に多数
の発光素子を試験するには装置の製作に多大の費
用がかかり、かつ巨大なものとなるため実用上他
の方法が強く要望される状態となつていた。
の発光素子を試験するには装置の製作に多大の費
用がかかり、かつ巨大なものとなるため実用上他
の方法が強く要望される状態となつていた。
この発明は、上記した点に鑑みてなされたもの
であり、試料となる発光素子と発光素子の光出力
を測定する受光素子を同一恒温槽内に配設できる
ようにし、かつ受光素子を冷却できるようにした
構成として構造が簡単であるとともに多数の発光
素子の試験が行なえるようにしたことを目的とす
るものである。
であり、試料となる発光素子と発光素子の光出力
を測定する受光素子を同一恒温槽内に配設できる
ようにし、かつ受光素子を冷却できるようにした
構成として構造が簡単であるとともに多数の発光
素子の試験が行なえるようにしたことを目的とす
るものである。
以下にこの発明の一実施例を図に基づいて説明
すると図において、１は恒温槽、２はこの恒温槽
の外壁、３，３は上記恒温槽１内に配設された枠
で、対向する面にそれぞれ挿入溝３ａ…３ａ及び
取付溝３ｂ…３ｂが１つ置きに形成されている。
４はこの枠３の挿入溝３ａに両端が挿入されるト
レイで、上面に試料となる発光素子５が取り付け
られる又は載置される取付部４ａ…４ａを有する
ものである。６は上記枠３の取付溝３ｂに両端が
固定されるパネルで、上記トレイ４の上面に下面
が対向し、かつ上記トレイ４の発光素子取付部４
ａに対向した位置に上記発光素子の光出力を測定
する受光素子７が固定される取付部６ａを有する
ものである。８は上記パネル６の受光素子取付部
６ａ近傍に埋設された冷却用配管で、内部を水等
の液媒が流れ、受光素子７の温度補償がなされる
ものである。
すると図において、１は恒温槽、２はこの恒温槽
の外壁、３，３は上記恒温槽１内に配設された枠
で、対向する面にそれぞれ挿入溝３ａ…３ａ及び
取付溝３ｂ…３ｂが１つ置きに形成されている。
４はこの枠３の挿入溝３ａに両端が挿入されるト
レイで、上面に試料となる発光素子５が取り付け
られる又は載置される取付部４ａ…４ａを有する
ものである。６は上記枠３の取付溝３ｂに両端が
固定されるパネルで、上記トレイ４の上面に下面
が対向し、かつ上記トレイ４の発光素子取付部４
ａに対向した位置に上記発光素子の光出力を測定
する受光素子７が固定される取付部６ａを有する
ものである。８は上記パネル６の受光素子取付部
６ａ近傍に埋設された冷却用配管で、内部を水等
の液媒が流れ、受光素子７の温度補償がなされる
ものである。
この発明は以上述べたように、恒温槽内に試料
となる発光素子が取り付けられる取付部を有する
トレイと発光素子の光出力を測定する受光素子が
取り付けられる取付部を有するパネルを配設し、
かつパネルの受光素子取付部近傍に冷却用配管を
設け、この冷却用配管に液媒を流すものとしたの
で、構造が簡単であり、しかも発光素子が同時に
多数試験できるとともに、受光素子が冷却される
ため安定した受光感度が得られるため精度良い試
験が行なえるという効果を有するものである。
となる発光素子が取り付けられる取付部を有する
トレイと発光素子の光出力を測定する受光素子が
取り付けられる取付部を有するパネルを配設し、
かつパネルの受光素子取付部近傍に冷却用配管を
設け、この冷却用配管に液媒を流すものとしたの
で、構造が簡単であり、しかも発光素子が同時に
多数試験できるとともに、受光素子が冷却される
ため安定した受光感度が得られるため精度良い試
験が行なえるという効果を有するものである。
図はこの発明の一実施例を示す断面図である。
１は恒温槽、４はトレイ、５は発光素子、６は
パネル、７は受光素子、８は冷却用配管である。
パネル、７は受光素子、８は冷却用配管である。
Claims (1)
- １ 恒温槽、この恒温槽内に配設され、試料とな
る発光素子が取り付けられるトレイ、上記恒温槽
内に上記トレイと対向して配設され、上記トレイ
の発光素子取り付け部と対向した位置に上記発光
素子の光出力を測定する受光素子の取付部を有す
るパネル、このパネルの受光素子取付部近傍に配
設され、受光素子の温度保償を行なう液媒が流れ
る冷却用配管を備えた発光素子用試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9851983A JPS59222774A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 発光素子用試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9851983A JPS59222774A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 発光素子用試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59222774A JPS59222774A (ja) | 1984-12-14 |
| JPH0429987B2 true JPH0429987B2 (ja) | 1992-05-20 |
Family
ID=14221896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9851983A Granted JPS59222774A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 発光素子用試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59222774A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62169064A (ja) * | 1986-01-21 | 1987-07-25 | Chino Corp | 光半導体試験装置 |
| JPS62274274A (ja) * | 1986-05-23 | 1987-11-28 | Chino Corp | 光半導体素子試験装置 |
| JPS63281078A (ja) * | 1987-05-13 | 1988-11-17 | Daito Denshi Kogyo Kk | 半導体素子のエ−ジング検査装置 |
| JPH074605Y2 (ja) * | 1987-12-23 | 1995-02-01 | ローム株式会社 | 発光素子の試験装置 |
| JPH06317629A (ja) * | 1993-05-10 | 1994-11-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザのエージング方法およびエージング用ボード |
| JPH072933U (ja) * | 1993-06-11 | 1995-01-17 | 住友電気工業株式会社 | 半導体レ−ザ信頼性試験装置 |
| JP4646037B2 (ja) * | 2006-11-24 | 2011-03-09 | 三菱電機株式会社 | バーイン装置槽内ラック |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4511434Y1 (ja) * | 1966-06-04 | 1970-05-21 | ||
| JPS5128190A (ja) * | 1974-07-01 | 1976-03-09 | Snam Progetti | |
| JPS5311959B2 (ja) * | 1973-07-12 | 1978-04-25 | ||
| JPS5641272B2 (ja) * | 1978-07-07 | 1981-09-26 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5539349Y2 (ja) * | 1974-12-27 | 1980-09-13 | ||
| JPS5311959U (ja) * | 1976-07-12 | 1978-01-31 | ||
| JPS5641272U (ja) * | 1979-09-05 | 1981-04-16 |
-
1983
- 1983-06-02 JP JP9851983A patent/JPS59222774A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4511434Y1 (ja) * | 1966-06-04 | 1970-05-21 | ||
| JPS5311959B2 (ja) * | 1973-07-12 | 1978-04-25 | ||
| JPS5128190A (ja) * | 1974-07-01 | 1976-03-09 | Snam Progetti | |
| JPS5641272B2 (ja) * | 1978-07-07 | 1981-09-26 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59222774A (ja) | 1984-12-14 |
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