JPS59222774A - 発光素子用試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は半導体レーザ等の発光素子を高温で試験を行
なう発光素子用試験装置に関するものである。一般に半
導体発光素子の特性を高温で測定したり、高温で動作エ
ージング試験を行なうことは、半導体発光素子の品質を
高めるために重要であり、この発光素子の測定には光出
力を測定するために、発光素子と対向して受光素子が置
かれるのが通常である。ところが受光素子は温度番こよ
り感度が変化するため、従来高温で発光素子の光出力を
より正確に測定するには、発光素子のみを高温室に入れ
、受光素子は隔離して室温近くの温度に保つことが行な
われていた。

また、発光素子に直接受光素子を対向させず・ガラスフ
ァイバーで発光素子の光出力を受光し、室温中に置かれ
た受光素子まで導いて測定する方法等もあった。

しかし、これらの方法ではいずれも一度をこ多数の発光
素子を試験するには装置の製作に多大の費用がかかり、
かつ巨大なものとなるため実用上池の方法が強く要望さ
れる状態となってし）だ。

この発明は、上記した点に鑑みてなされたものであり、
試料となる発光素子と発光素子の光出力を測定する受光
素子を同一恒温槽内に配設できるようにし、かつ受光素
子を冷却できるよう（こしｔこ構成として構造が簡単で
あるとともに多数の発光素子の試験が行なえるようにし
たことを目的とするものである。

以下にこの発明の一実施例を図に基づいて説明すると図
において、（１）は恒温槽、（２）はこの恒温槽の外壁
、（３）　（３）は上記恒温槽ｉｌｌ内に配設された枠
で、対向する面にそ一４ｚぞれ挿入？！（８ａ）・・・
（３ａ）及び取付溝（３ｂ）・・・（８ｂ）が１つ置き
に形成されている。（４）はこの枠（３）の挿入溝（８
ａ）に両端が挿入されるトレイで、上面に試料となる発
光素子（５）が取り付けられ（４へ）　　（ｉ） る又は載置される取付部２・・・付的を有するものであ
る。（６）は上記枠（３）の既刊溝（ａｂ）に両端が固
定されるパネルで、上記トレイ（４）の上面に下面が対
向し、かつ上記トレイ（４）の発光素子取付部（４ａ）
に対向した位置に上記発光素子の光出力を測定する受光
素子（７）が固定される取付部（６ａ）を有するもので
ある。（８）は上記パネル（６）の１受光素子取付部（
６ａ）近傍に埋設された冷却用配管で、内部を水等の液
媒が流れ、受光素子（７）の温度補償がなされるもので
ある。

この発明は以上述べたように、恒温槽内に試料となる発
光素子が取り付けられる取付部を有するトレイと発光素
子の光出力を測定する受光素子が取り付けられる取付部
を有するパネルを配設し、かつパネルの受光素子取付部
近傍に冷却用配管を設け、この冷却用配管に液媒を流す
ものとしたので、構造が簡単であり、しかも発光素子が
同時に多数試験できるとともに、受光素子が冷却される
ため安定した受光感度が得られるため精度良い試験が行
なえるという効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

図はこの発明の一実施例を示す断面図である。 （１）は恒温槽、（４）はトレイ、（５）は発光素子、
（６）はパネル、（７）は受光素子、（８）は冷却用配
管である。 代理人　　大　岩　増　雄

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 恒温槽、この恒温槽内に配設され、試料となる発光素子
   が取り付けられるトレイ、上記恒温槽内に上記トレイと
   対向して配設され、上記トレイの発光素子取り付は部と
   対向した位置に上記発光素子の光出力を測定する受光素
   子の取付部を有するパネル、このパネルの受光素子取付
   部近傍に配設され、受光素子の温度保償を行なう液媒が
   流れる冷却用配管を備えた発光素子用試験装置。