JPH04296721A - カラーフィルタ、その製造方法およびそれを用いた液晶表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】〔発明の目的〕

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は、塗膜の厚さのばらつき
、平坦性の不足、位置ずれおよび異物付着の影響を軽減
したカラーフィルタ、その製造方法およびそれを用いた
液晶表示装置に関する。

【０００３】

【従来の技術】液晶表示装置は、携帯用コンピュータ、
ワードプロセッサなどのディスプレイや、薄型テレビに
利用されており、近年ではフルカラー表示が可能なもの
まで登場してきている。とくに、フルカラー液晶表示装
置の需要は急速に伸びており、低価格化や大面積化、高
品位化が進められている。

【０００４】図１６は、カラー液晶表示装置に使用され
るカラーフィルタ１で、このカラーフィルタ１は、ガラ
ス製の透明基板２上に所定の遮光パターンすなわちブラ
ックマトリクス３が形成されている。このブラックマト
リクス３により形成される画素部に、色膜としての透明
着色層４が形成され、さらに、透明保護膜５、ＩＴＯ（
Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｉｎ　Ｏｘｉｄｅ）　等からなる透明
導電膜である透明電極６が順次積層形成されている。

【０００５】なお、ブラックマトリクス３は、隣り合う
透明着色層４間の境を明確に規定して、色が混ざる事を
防いでコントラストを向上させている。また、表示画素
の微細な透明着色層４は全面において均一な色表示が望
まれるため、一部の色が欠けたりするような欠陥は著し
く製品の商品価値を下げる。また、透明保護膜５は透明
着色層４の凹凸を軽減したり、液晶材料と透明着色層４
との直接接触を防止するために形成される。

【０００６】また、図１７は、透明保護膜５を省略し、
透明着色層４上全域に直接透明電極６を設けたものであ
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、大きい
面積の表示部を形成する場合は図１６に示すように、ブ
ラックマトリクス３の一部に色凸部７があると、透明保
護膜５および透明電極６が盛上り、電極凸部８が生じる
。また、透明着色層４とブラックマトリクス３との間に
印刷などの位置ずれや、異物付着などで色隙間９がある
と、一部の色表示が不完全になったり、コントラストが
悪くなる。したがって、一部の透明電極５に突起や、色
の欠けが生じ、画質の低下を招く。

【０００８】また、図１７に示すように、高温硬化によ
る透明保護膜を省いた場合は構造を単純化できるが、透
明着色層４の形状がそのまま透明電極５に残る。

【０００９】このように、上記従来の有機塗膜の遮光パ
ターン、色膜、透明保護膜などを用いるカラーフィルタ
は、上述のように表示部全域および画素内において色膜
の突起や色膜間の影響で、厚さのばらつきや平坦性の不
足などを生じやすい。

【００１０】本発明は上記問題点に鑑みなされたもので
、塗膜の厚さのばらつき、平坦性の不足、位置ずれおよ
び異物付着の影響を軽減したカラーフィルタ、その製造
方法およびそれを用いた液晶表示装置を提供することを
目的とする。

【００１１】〔発明の構成〕

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１記載のカラーフ
ィルターの製造方法は、基板に低温乾燥させた有機塗膜
を形成し、この乾燥された有機塗膜に揮発した有機溶剤
をその気相雰囲気中で吸収させ、この有機塗膜を再度液
状化して水平方向に広げ、隣り合う前記有機塗膜面の表
面粗さを０．１〜０．５μｍの範囲に１回以上平坦化す
るものである。

【００１３】請求項２記載のカラーフィルタの製造方法
は、基板に遮光パターンを形成し、この遮光パターンを
境に有機物の単色の色膜を赤、緑、青に塗り分け、前記
色膜に揮発した有機溶剤をこの有機溶剤の気相雰囲気中
で吸収させ、この色膜を再度液状化して流動性を与えて
水平方向に広げ、前記色膜面と隣り合う前記遮光パター
ン面の表面粗さを０．１〜０．５μｍの範囲として平坦
化し、前記色膜で吸収した前記有機溶剤を揮発させて前
記色膜を硬化させ、前記色膜上に有機膜からなる透明保
護膜を塗布して乾燥させ、揮発した有機溶剤をこの有機
溶剤の気相雰囲気中でこの透明保護膜に吸収させ、この
透明保護膜を再度液状化して前記透明保護膜面のみを平
坦化し、この透明保護膜が吸収した前記有機溶剤を揮発
させてこの透明保護膜を硬化させ、この透明保護膜上に
透明導電膜を形成するものである。

【００１４】請求項３のカラーフィルタは、基板に有機
塗膜からなる遮光パターンおよび色膜が形成されたカラ
ーフィルタにおいて、隣り合う前記遮光パターンと前記
色膜および隣り合う前記色膜の膜面は、間隙なく形成さ
れ、表面粗さが０．１〜０．５μｍの範囲であるもので
ある。

【００１５】請求項４の液晶表示装置は、表面に色膜お
よび透明導電膜が順次設けられた第１の基板と、この第
１の基板と所定の間隙を介して対向配置されると共に対
向面側に電極層を有する第２の基板と、前記間隙に挟持
された液晶と、前記第１の基板および前記第２の基板の
外側にそれぞれ配設された偏光板とを有する液晶表示装
置において、前記色膜および前記透明導電膜を備えた第
１の基板は請求項３記載のカラーフィルタであるもので
ある。

【００１６】

【作用】請求項１記載のカラーフィルタの製造方法は、
基板に有機塗膜のエポキシが硬化しない温度である低温
乾燥させた有機塗膜を形成し、この乾燥された有機塗膜
に揮発した有機溶剤をその気相雰囲気中で吸収させて、
この有機塗膜を有機溶剤により再度液状化して水平方向
に広げて凹凸を平坦化して、隣り合う前記有機塗膜面の
表面粗さを０．１〜０．５μｍの範囲にし、有機塗膜の
厚さのばらつき、平坦性の不足、位置ずれおよび異物付
着の影響を軽減する。

【００１７】請求項２記載のカラーフィルタの製造方法
は、遮光パターンを形成し、この遮光パターンを境に単
色の色膜を赤、緑、青に塗り分け、前記色膜に揮発した
有機溶剤をその気相雰囲気中で吸収させ、この色膜を有
機溶剤により再度液状化して流動性を与えて水平方向に
広げて凹凸を平坦化し、、前記色膜面と隣り合う前記黒
色塗膜面の表面粗さを０．１〜０．５μｍの範囲とし、
前記色膜で吸収した前記有機溶剤を揮発させて前記色膜
を硬化させ、前記色膜上に有機膜からなる透明保護膜を
塗布して乾燥させ、揮発した有機溶剤をその気相雰囲気
中でこの透明保護膜に吸収させ、この透明保護膜を有機
溶剤により再度液状化して凹凸を平坦化し、て前記透明
保護膜面のみを平坦化し、この透明保護膜が吸収した前
記有機溶剤を揮発させてこの透明保護膜を硬化させ、こ
の透明保護膜上に透明導電膜を形成し、有機塗膜の厚さ
のばらつき、平坦性の不足、位置ずれおよび異物付着の
影響を軽減する。

【００１８】請求項３のカラーフィルタは、基板に有機
塗膜からなる遮光パターンおよび色膜が形成されたカラ
ーフィルタにおいて、色欠けを防ぐために隣り合う前記
遮光パターンと前記色膜および隣り合う前記色膜の膜面
を間隙なく形成し、表面粗さが０．１μｍより小さいと
モアレを生じ、０．５μｍより大きいと液晶セルのギャ
ップの調整が難しくなるので、表面粗さを０．１〜０．
５μｍの範囲とし、有機塗膜の厚さのばらつき、平坦性
の不足、位置ずれおよび異物付着の影響を軽減する。

【００１９】請求項４の液晶表示装置は、表面に色膜お
よび透明導電膜が順次設けられた第１の基板と、この第
１の基板と所定の間隙を介して対向配置されると共に対
向面側に電極層を有する第２の基板と、前記間隙に挟持
された液晶と、前記第１の基板および前記第２の基板の
外側にそれぞれ配設された偏光板とを有する液晶表示装
置において、前記色膜および前記透明導電膜を備えた第
１の基板は請求項３記載のカラーフィルタを用いること
により、有機塗膜の厚さのばらつき、平坦性の不足、位
置ずれおよび異物付着の影響を軽減する。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１ないし図５を
参照して説明する。

【００２１】図１において、１１はカラーフィルタで、
このカラーフィルタ１１は透明なガラス基板１２上に遮
光パターンとしての有機塗膜の黒色塗膜などからなるブ
ラックマトリクス１３が形成され、このブラックマトリ
クス１３間には、このブラックマトリクス１３を境とし
て、色膜である有機塗膜としての透明着色層１４がたと
えば赤、緑、青の順に配置されている。なお、透明着色
層１４としては、２００〜２５０℃ぐらいの温度で加熱
硬化した高温硬化色膜が常用されている。また、透明着
色層１４は一般に染色法、電着法、印刷法などにより表
示画素が形成される。さらに、ブラックマトリクス１３
及び透明着色層１４の上面には透明保護膜１５が形成さ
れ、この透明保護膜１５の上面には透明導電膜が形成さ
れている。

【００２２】次に、上記図１に示す製造工程を、図２な
いし図５を参照して説明する。

【００２３】まず、図２に示すブラックマトリクス工程
で、ガラス基板１２上に、エポキシ樹脂の硬化を抑制で
きる温度である約２０℃以上１００℃以下の温度で有機
物の黒色塗膜などを低温乾燥させて格子状のブラックマ
トリクス１３を形成する。

【００２４】次に、図３に示す色置き工程で、約１００
℃以下の温度、好ましくは室温で１５〜３０分間、この
ブラックマトリクス１３間に赤、緑、青の透明着色層１
４を印刷塗り分け乾燥させる。

【００２５】そして、図４の気相平坦化工程で、ブラッ
クマトリクス１３および透明着色層１４に、ステンレス
容器Ｃ内の揮発したエチルセロソルブ、テトラヒドロフ
ラン、メチルエチルケトン、アセトンなどの有機溶剤Ｄ
のいずれかを２０〜２５℃のそのガス状の気相雰囲気Ａ
中で３０〜６０分間吸収させる。なお、ブラックマトリ
クス１３および透明着色層１４は、有機溶剤Ｄの液面か
ら１０ｍｍ離して対向させて、かつ、有機溶剤Ｄの液面
に水平に保ち行なう。この吸収時間は、短すぎると十分
な平坦化を行なうことができず、反対に、長すぎるとに
じみを生じてしまう。そうして、ブラックマトリクス１
３および透明着色層１４が有機溶剤を吸収して液状化し
始めると流動性が生じて、暴露する前の凹凸や色隙間の
凹みは液化されたブラックマトリクス１３および透明着
色層１４がそれぞれ流れ込むことにより埋められ、図５
に示すように、水平に隣り合う透明着色層１４とブラッ
クマトリクス１３との段差を０．１〜０．５μｍとなる
ように形成する。

【００２６】この後、透明着色層１４が吸収した前記有
機溶剤Ｄを徐々に揮発させ、さらに、高温加熱や紫外線
照射などで、透明着色層１４を硬化させる硬化工程を行
なう。したがって、ブラックマトリクス１３と透明着色
層１４は気相平坦化工程で平坦化されたまま硬化し、有
機膜からなる透明保護膜１５を塗布し易い平坦な表面を
得られる。そして、この表面上に、エポキシ樹脂などか
らなる透明保護膜１５を２〜４μｍ塗布し、この透明保
護膜１５を２００〜２５０℃で加熱硬化すると、段差が
約０．１〜０．５μｍ、すなわち表面粗さが０．１〜０
．５μｍであるので、コートむらや突起などを少なくで
きる。なお、表面粗さが０．１μｍより小さいとモアレ
を生じ、０．５μｍより大きいと液晶セルのギャップの
調整が難しくなる。

【００２７】さらに、透明保護膜１５上に、インジウム
、スズの酸化物などよりなる透明導電膜１６を、スパッ
タリング等で成膜して、図１に示すカラーフィルタを製
造する。

【００２８】次に、他の実施例を図６ないし図１１を参
照して説明する。

【００２９】なお、図１ないし図５に示す実施例と同一
部分には、同一符号を付して説明する。

【００３０】図６に示すカラーフィルタ１１は、透明な
ガラス基板１２上に黒色塗膜などからなるブラックマト
リクス１３が形成され、このブラックマトリクス１３間
には、透明着色層１４がたとえば赤、緑、青に配置され
ている。さらに、ブラックマトリクス１３および透明着
色層１４の上面には透明保護膜１５が形成され、この透
明保護膜１５の上面には透明導電膜が形成されている。

【００３１】次に、上記図６に示す製造工程を、図７な
いし図１１を参照して説明する。

【００３２】まず、図７に示すブラックマトリクス工程
で、ガラス基板１２上に、エポキシを硬化させる温度で
ある約１００℃以上の温度で有機物の黒色塗膜などを高
温乾燥させて格子状のブラックマトリクス１３を形成す
る。

【００３３】次に、図８に示す色置き工程で、図３と同
様に、このブラックマトリクス１３間に赤、緑、青の透
明着色層１４を印刷により塗り分け、乾燥させる。

【００３４】そして、図４に示す場合と同様に気相平坦
化工程で、有機溶剤Ｄをその気相雰囲気Ａ中で透明着色
層１４に吸収させる。なお、ブラックマトリクス１３は
高温乾燥されているので、ブラックマトリクス１３は有
機溶剤Ｄにより流動化されない。透明着色層１４が有機
溶剤を吸収して液状化し始めると流動性が生じて、暴露
する前の凹凸や色隙間の凹みは液化された透明着色層１
４が流れ込むことにより埋められ、図９に示すように、
水平に隣り合う透明着色層１４とブラックマトリクス１
３と間隙を無くすように形成する。なお、このとき、透
明着色層１４は、表面張力によりブラックマトリクス１
３部分で盛り上がりが生じる。

【００３５】この後、図１０に示すように透明着色層１
４が吸収した前記有機溶剤Ｄを徐々に揮発させ、さらに
、高温加熱や紫外線照射などで、透明着色層１４を硬化
させる硬化工程を行なう。したがって、ブラックマトリ
クス１３と透明着色層１４は気相平坦化工程で平坦化さ
れたまま硬化するため、有機膜からなる透明保護膜１５
を塗布し易い表面が得られる。

【００３６】そして、これらブラックマトリクス１３お
よび透明着色層１４の表面上に、透明保護膜１５を２〜
４μｍ塗布して乾燥させ、再び図４に示す場合と同様に
気相平坦化工程で、有機溶剤Ｄをその気相雰囲気Ａ中で
透明保護膜１５に吸収させる。透明保護膜１５が有機溶
剤を吸収して液状化し始めると流動性が生じて、暴露す
る前の凹凸や色隙間の凹みは液化された透明保護膜１５
が流れ込むことにより埋められ、この透明保護膜１５を
２００〜２５０℃で加熱硬化すると、図１１に示す段差
が約０．１〜０．５μｍ、すなわち表面粗さが０．１〜
０．５μｍとなるので、コートむらや突起などの欠陥の
少なくできる。

【００３７】さらに、透明保護膜１５上に、インジウム
、スズの酸化物などよりなる透明導電膜１６を、スパッ
タリング等で成膜して、図６に示すカラーフィルタを製
造する。

【００３８】また、他の実施例を図１２ないし図１４を
参照して説明する。

【００３９】なお、図１ないし図５に示す実施例と同一
部分には、同一符号を付して説明する。

【００４０】図１２に示すカラーフィルタ１１は透明な
ガラス基板１２上に遮光パターンとしてクロムなどの金
属遮光パターン１７（必要に応じてクロムの表面に酸化
膜を形成する）が形成され、この金属遮光パターン１７
間には、透明着色層１４が例えば赤、緑、青に配置され
ている。さらに、透明着色層１４および金属遮光パター
ン１７の上面には透明導電膜１６が形成されている。

【００４１】次に、上記図１２に示す製造工程を、図１
３および図１４を参照して説明する。

【００４２】まず、ブラックマトリクス工程でガラス基
板１２上に、格子状の金属遮光パターン１７を形成する
。次に、図１３に示す色置き工程で、金属遮光パターン
間に赤、緑、青の透明着色層１４を印刷により塗り分け
、乾燥させる。

【００４３】そして、図４の気相平坦化工程と同様に、
ステンレス容器Ｃ内の揮発した有機溶剤Ｄによる気相雰
囲気Ａ中で１５〜３０分間吸収させる。そうして、透明
着色層１４が有機溶剤を吸収して液状化し始めると流動
性が生じて、暴露する前の凹凸や色隙間の凹みは液化さ
れた透明着色層１４が流れ込むことにより埋められ、図
１４に示すように、水平に隣り合う透明着色層１４との
段差を０．１〜０．５μｍ、すなわち表面粗さが０．１
〜０．５μｍの平坦面となるように形成する。この後、
透明着色層１４が吸収した前記有機溶剤Ｄを徐々に揮発
させ、さらに、高温加熱や紫外線照射などで、透明着色
層１４を硬化させる硬化工程を行なう。したがって、透
明着色層１４は気相平坦化工程で平坦化されたまま硬化
するため、透明導電膜１６を形成し易い平坦な表面が得
られる。

【００４４】次に、上記図１ないし図１４に示すように
形成された３つの実施例のカラーフィルタ１１を用いた
液晶表示装置を図１５を参照して説明する。

【００４５】図１５は、アクティブマトリクス型駆動方
式の一方式で、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ　ＦｉｌｍＴｒａｎｓ
ｉｓｔｏｒ）アクティブマトリクス方式の液晶表示装置
の断面構造を示している。フルカラー液晶表示装置に使
用される基板としてのカラーフィルタ１１は、ガラス基
板１２上にブラックマトリクス１３が形成されている。 このブラックマトリクス１３により形成される画素部に
、透明着色層１４が形成され、さらに、透明保護膜１５
、透明導電膜１６および配向膜２１が順次積層形成され
ている。そして、カラーフィルタ１１と、画素電極２２
が内側に設けられた対向する透明基板２３（ゲート電極
等は省略）とによって、液晶２４を挟持するとともに、
外側に偏光板２５，２６　をそれぞれ配置することによ
って、液晶表示装置が構成されている。

【００４６】また、本発明はカラーフィルタに限定され
ず、硬化を抑制し低温乾燥された有機塗膜を有する印刷
品にも応用できるので工業的価値は大である。

【００４７】

【発明の効果】請求項１記載のカラーフィルタの製造方
法によれば、基板に有機塗膜のエポキシが硬化しない温
度である低温乾燥させた有機塗膜を形成し、この乾燥さ
れた有機塗膜に揮発した有機溶剤をその気相雰囲気中で
吸収させて、この有機塗膜を有機溶剤により再度液状化
して水平方向に広げて凹凸を平坦化して、隣り合う前記
有機塗膜面の表面粗さを０．１〜０．５μｍの範囲にし
、有機塗膜の厚さのばらつき、平坦性の不足、位置ずれ
および異物付着の影響を軽減することができる。

【００４８】請求項２記載のカラーフィルタの製造方法
によれば、遮光パターンを形成し、この遮光パターンを
境に単色の色膜を赤、緑、青に塗り分け、前記色膜に揮
発した有機溶剤をその気相雰囲気中で吸収させ、この色
膜を有機溶剤により再度液状化して流動性を与えて水平
方向に広げて凹凸を平坦化し、、前記色膜面と隣り合う
前記黒色塗膜面の表面粗さを０．１〜０．５μｍの範囲
とし、前記色膜で吸収した前記有機溶剤を揮発させて前
記色膜を硬化させ、前記色膜上に有機膜からなる透明保
護膜を塗布して乾燥させ、揮発した有機溶剤をその気相
雰囲気中でこの透明保護膜に吸収させ、この透明保護膜
を有機溶剤により再度液状化して凹凸を平坦化し、て前
記透明保護膜面のみを平坦化し、この透明保護膜が吸収
した前記有機溶剤を揮発させてこの透明保護膜を硬化さ
せ、この透明保護膜上に透明導電膜を形成し、有機塗膜
の厚さのばらつき、平坦性の不足、位置ずれおよび異物
付着の影響を軽減することができる。

【００４９】請求項３のカラーフィルタによれば、基板
に有機塗膜からなる遮光パターンおよび色膜が形成され
たカラーフィルタにおいて、色欠けを防ぐために隣り合
う前記遮光パターンと前記色膜および隣り合う前記色膜
の膜面を間隙なく形成し、表面粗さが０．１μｍより小
さいとモアレを生じ、０．５μｍより大きいと液晶セル
のギャップの調整が難しくなるので、表面粗さを０．１
〜０．５μｍの範囲とし、有機塗膜の厚さのばらつき、
平坦性の不足、位置ずれおよび異物付着の影響を軽減す
ることができる。

【００５０】請求項４の液晶表示装置によれば、表面に
色膜および透明導電膜が順次設けられた第１の基板と、
この第１の基板と所定の間隙を介して対向配置されると
共に対向面側に電極層を有する第２の基板と、前記間隙
に挟持された液晶と、前記第１の基板および前記第２の
基板の外側にそれぞれ配設された偏光板とを有する液晶
表示装置において、前記色膜および前記透明導電膜を備
えた第１の基板は請求項３記載のカラーフィルタを用い
ることにより、有機塗膜の厚さのばらつき、平坦性の不
足、位置ずれおよび異物付着の影響を軽減することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のカラーフィルタを示す断面
図である。

【図２】同上カラーフィルタの製造工程を示す断面図で
ある。

【図３】同上カラーフィルタの図２に示す次の工程の製
造工程を示す断面図である。

【図４】同上カラーフィルタの図３に示す次の工程の製
造工程を示す断面図である。

【図５】同上カラーフィルタの図４に示す次の工程の製
造工程を示す断面図である。

【図６】本発明の他の実施例のカラーフィルタを示す断
面図である。

【図７】同上カラーフィルタの製造工程を示す断面図で
ある。

【図８】同上カラーフィルタの図７に示す次の工程の製
造工程を示す断面図である。

【図９】同上カラーフィルタの図８に示す次の工程の製
造工程を示す断面図である。

【図１０】同上カラーフィルタの図９に示す次の工程の
製造工程を示す断面図である。

【図１１】同上カラーフィルタの図１０に示す次の工程
の製造工程を示す断面図である。

【図１２】本発明のまた他の実施例のカラーフィルタを
示す断面図である。

【図１３】同上カラーフィルタの製造工程を示す断面図
である。

【図１４】同上カラーフィルタの図１３に示す次の工程
の製造工程を示す断面図である。

【図１５】本発明の一実施例の液晶表示装置を示す断面
図である。

【図１６】従来例のカラーフィルタを示す断面図である
。

【図１７】他の従来例のカラーフィルタを示す断面図で
ある。

【符号の説明】

１１　　　　基板としてのカラーフィルタ１２　　　　
ガラス基板 １３　　　　遮光パターンとしてのブラックマトリクス
１５　　　　透明保護膜 １４　　　　色膜、有機塗膜としての透明着色層１６　
　　　透明導電膜 １７　　　　遮光パターン ２２　　　　電極 ２３　　　　基板 ２４　　　　液晶

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　基板に低温乾燥させた有機塗膜を形成
   し、この乾燥された有機塗膜に揮発した有機溶剤をその
   気相雰囲気中で吸収させ、この有機塗膜を再度液状化し
   て水平方向に広げ、隣り合う前記有機塗膜面の表面粗さ
   を０．１〜０．５μｍの範囲に少なくとも１回平坦化す
   ることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
2. 【請求項２】　　基板に遮光パターンを形成し、この遮
   光パターンを境に単色の有機物の色膜を赤、緑、青に塗
   り分け、前記色膜に揮発した有機溶剤をこの有機溶剤の
   気相雰囲気中で吸収させ、この色膜を再度液状化して流
   動性を与えて水平方向に広げ、前記色膜面と隣り合う前
   記遮光パターン面の表面粗さを０．１〜０．５μｍの範
   囲として平坦化し、前記色膜で吸収した前記有機溶剤を
   揮発させて前記色膜を硬化させ、前記色膜上に有機膜か
   らなる透明保護膜を塗布して乾燥させ、揮発した有機溶
   剤をこの有機溶剤の気相雰囲気中でこの透明保護膜に吸
   収させ、この透明保護膜を再度液状化して前記透明保護
   膜面のみを平坦化し、この透明保護膜が吸収した前記有
   機溶剤を揮発させてこの透明保護膜を硬化させ、この透
   明保護膜上に透明導電膜を形成することを特徴とするカ
   ラーフィルタの製造方法。
3. 【請求項３】　　基板に有機塗膜からなる遮光パターン
   および色膜が形成されたカラーフィルタにおいて、隣り
   合う前記遮光パターンと前記色膜および隣り合う前記色
   膜の膜面は、間隙なく形成され、表面粗さが０．１〜０
   ．５μｍの範囲であることを特徴としたカラーフィルタ
   。
4. 【請求項４】　　表面に色膜および透明導電膜が順次設
   けられた第１の基板と、この第１の基板と所定の間隙を
   介して対向配置されると共に対向面側に電極を有する第
   ２の基板と、前記間隙に挟持された液晶と、前記第１の
   基板および前記第２の基板の外側にそれぞれ配設された
   偏光板とを有する液晶表示装置において、前記色膜およ
   び前記透明導電膜を備えた第１の基板は請求項３記載の
   カラーフィルタであることを特徴とした液晶表示装置。