JPH04291739A

JPH04291739A - バーンイン装置

Info

Publication number: JPH04291739A
Application number: JP3056881A
Authority: JP
Inventors: Yasukazu Chiba; 千葉　靖一
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1991-03-20
Filing date: 1991-03-20
Publication date: 1992-10-15

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】（目次）・産業上の利用分野・従来の技術（図５，図６）・発明が解決しようとする課題・課題を解決するための手段・作用・実施例（１）第１の実施例（図１〜図４）（２）第２の実施例・発明の効果

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は、バーンイン装置に関し
、より詳しくは、多品種、かつ同一の外部リード数及び
配置を有するランダムロジックＬＳＩ等のスクリーニン
グ等を行うためのバーンイン装置に関する。

【０００３】近年、ゲートアレイ等ランダムロジックＬ
ＳＩにおいては、出荷時のスクリーニングでは、バイア
スを印加しないで高温放置する試験の外に、電気信号を
印加して実動作に近い状態で加速試験を行う、所謂ダイ
ナミック動作試験を行う場合がある。

【０００４】また、同一のパッケージに配線のみを変え
た同一のチップを入れることが多いので、同一の外部リ
ード数及び配置を有する異品種の場合、対応する外部リ
ードの機能が異なっている。このため、品種毎に異なる
バーンインボードを用意する必要があり、また、品種に
よっては試験されるＬＳＩへの動作用信号を印加するの
に異なる信号発生器が必要な場合もある。このため、試
験コストの上昇を招くとともに、注意深い管理や手間を
要し、管理上のミスも多くなるので、バーンインボード
や信号発生器の標準化が望まれている。

【０００５】

【従来の技術】図３（ａ）はバーンイン装置の全体の構
成図で、被試験ＬＳＩが搭載されるバーンインボード１
と、ＬＳＩへの信号供給手段２と、ＬＳＩへのＶＤＤ　
の供給のための電源３と、ＬＳＩの接地４とからなる。

【０００６】図４及び図６は、それぞれ従来例のバーン
インボード及び信号供給手段の詳細な構成についての説
明図である。図４において、１はバーンインボードで、
試験されるＬＳＩ５ａ〜５ｔを搭載するための複数のソ
ケット６ａ〜６ｔが多数並べられ、ソケット６ａ〜６ｔ
の端子Ｔａ（２）　〜　Ｔａ（ｎ−１），…，Ｔｔ（２
）　〜　Ｔｔ（ｎ−１）には信号供給手段２としての信
号発生器の出力端子Ｓ（１）〜Ｓ（ｍ）からの配線１４
がソケット６ａ〜６ｔ毎に並列に接続され、かつ端子Ｔ
ａ（１）　，…，Ｔｔ（１）　／Ｔａ（ｎ）　，…，　
Ｔｔ（ｎ）にはそれぞれ電源３／接地４からの配線１４
が接続されている。

【０００７】即ち、図３（ｂ）に示すように、通常、Ｌ
ＳＩ５ａ〜５ｔは、ＬＳＩ５ａ〜５ｔを駆動するために
入力される信号を導く入力用外部リード、及び駆動して
いるＬＳＩに信号を加えて取り出すための出力用外部リ
ードからなる信号リードＬＳ（１）　〜ＬＳ（ｍ）　、
電源３により供給される電流／電圧をＬＳＩ５ａに導く
電源リードＬＤ（１）　、ＬＳＩ５ａの各素子の共通部
を接地する接地リードＬＤ（２）　を有している。しか
も、外形上、外部リードＬＤ（１）　，ＬＳ（１）　〜
ＬＳ（ｍ）　，ＬＤ（２）　の数及び配置が同じでも、
品種によって対応する外部リードＬＤ（１）　，ＬＳ（
１）　〜ＬＳ（ｍ）　，ＬＤ（２）　の機能（入力用，
出力用等）が異なっている。

【０００８】従って、バーンインを行う場合、図５に示
すように、信号供給手段２の出力端子Ｓ（１）〜Ｓ（ｍ
）からの配線１４は入力用外部リード及び出力用外部リ
ードに正確に対応するように各ソケット６ａ〜６ｔ毎に
並列に接続されている。そうでないと、信号供給手段２
とＬＳＩ５ａ〜５ｔ出力との間又はＬＳＩ５ａ〜５ｔ出
力同士の間で電流の配分が異なってくるという、所謂競
合が発生し、ＬＳＩ５ａ〜５ｔの破壊等が生じる。また
、外部リードＬＤ（１），ＬＳ（１）　〜ＬＳ（ｍ）　
，ＬＤ（２）　、特に信号リードＬＳ（１）　〜ＬＳ（
ｍ）　の機能に対応して異なる信号を出力する信号供給
手段が必要となる。なお、マイクロプロセッサの場合に
は入出力が共通になっているので、対応する別の信号供
給手段，別のバーンインボードが必要になる。

【０００９】このようなバーンインボード１及び信号供
給手段２を用いて所謂ダイナミック動作試験を行う場合
、次のようにする。なお、ＬＳＩ５ａ〜５ｔ内の各素子
は絶縁ゲート電界効果トランジスタ（ＭＩＳＴ）である
とする。

【００１０】まず、同一の外部リードＬＤ（１）　，Ｌ
Ｓ（１）　〜ＬＳ（ｍ）　，ＬＤ（２）　の数及び配置
を有する、同一の品種のＬＳＩ５ａ〜５ｔをソケット６
ａ〜６ｔに差し込んだ後、バーンインボード１全体を温
度１２５　℃の恒温槽に入れる。

【００１１】次いで、電源リードＬＤ（１）　に接続さ
れた電源３をオンした後、信号供給手段２により各ＬＳ
Ｉ５ａ〜５ｔの入力用外部リードに約５Ｖのパルス状の
電圧を印加して素子を駆動させるとともに、出力用外部
リードに数ｍＡの電流が流れるようにパルス状の電圧を
印加する。そして、この状態を所定の時間保持した後、
恒温槽からバーンインボード１を取り出す。次いで、各
ＬＳＩ５ａ〜５ｔをバーンインボード１から取り外した
後、それぞれ特性試験を行い、不良になったＬＳＩを棄
却する。

【００１２】このようにして次々にスクリーニングを行
う。なお、同一の品種については同一のバーンインボー
ド１及び信号供給手段２を用いることができる。

【００１３】次に、異なる品種のＬＳＩについてダイナ
ミック動作試験によるスクリーニングを行う場合には、
同一の外部リードの数及び配置を有していても対応する
外部リードの機能が異なっているので、別のバーンイン
ボードや別の信号供給手段を用いて行うことになる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、ダイナ
ミック動作試験によるスクリーニングを行う場合には、
異品種のＬＳＩについては別のバーンインボード及び信
号供給手段を用いる必要がある。このため、品種が増え
てくると、品種の数だけバーンインボード及び信号供給
手段が必要となり、試験コストの上昇を招くとともに、
注意深い管理や手間を要し、管理ミスも多くなるという
問題がある。

【００１５】本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので、異品種であって、対応する外部リードの
機能が互いに異なる場合でも同一のバーンインボードを
用いてバーンインを行うことが可能なバーンイン装置を
提供することを目的とするものである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記課題は、第１に、半
導体集積回路装置に信号電圧又は信号電流を導く複数の
信号リード及び１以上の電源リードに対応する複数の端
子を有し、前記信号リード及び電源リードと前記端子と
が接触した状態で前記半導体集積回路装置が載置される
複数の載置手段を設けたバーンインボードと、前記複数
の載置手段に載置された半導体集積回路装置の信号リー
ドに信号電圧又は信号電流を供給する信号供給手段とを
有するバーンイン装置であって、前記信号リードに対応
する端子と前記信号供給手段とは、前記各載置手段毎に
並列に、かつバーンインボード上に設けられた抵抗器を
介して電気的に接続されていることを特徴とするバーン
イン装置によって達成され、第２に、前記信号供給手段
は順序回路を用いて信号を発生する手段であることを特
徴とする第１の発明に記載のバーンイン装置によって達
成される。

【００１７】

【作用】本発明のバーンイン装置においては、信号リー
ドに対応する端子と信号供給手段とは、各載置手段毎に
並列に、かつ抵抗器を介して信号電圧又は信号電流を供
給することができるように電気的に接続されている。

【００１８】従って、各半導体集積回路装置毎に並列に
、かつ各半導体集積回路装置の信号リードに抵抗器を介
して信号供給手段により信号電圧又は信号電流を供給す
ることができる。

【００１９】これにより、例えば半導体集積回路装置が
ＭＩＳトランジスタからなるロジック回路を有する場合
、信号供給手段により各端子に信号電圧／電流を供給す
ることによりゲート入力には電圧が印加され、ロジック
回路の出力には抵抗器により制限された電流が流れる。このため、電流の配分の不均一は生じにくいので、半導
体集積回路装置の出力同士、又は半導体集積回路装置の
出力と信号供給手段の出力との間で競合が生じない。従
って、従来のように半導体集積回路装置の外部リードの
機能（入力，出力等）に対応した信号電圧又は信号電流
を供給する必要がなく、大きさの等しい信号電圧又は信
号電流を供給することができる。これにより、異品種で
あって、対応する外部リードの機能が互いに異なる場合
でも同一のバーンインボードを用い、かつ同一の信号供
給手段、例えば順序回路により信号を発生する手段を用
いてバーンインを行うことができる。

【００２０】

【実施例】図３（ａ）は、本発明の実施例のバーンイン
装置の全体の構成図で、被試験ＬＳＩが搭載されるバー
ンインボード７と、ＬＳＩへの信号供給手段８と、ＬＳ
ＩへのＶＤＤ　の供給のための電源９と、ＬＳＩの接地
１０とからなる。

【００２１】図４及び図２は、それぞれバーンインボー
ド７及び信号供給手段２の詳細な構成についての説明図
である。図４において、７はバーンインボードで、試験
されるＬＳＩ１１ａ〜１１ｔを搭載するための複数のソ
ケット１２ａ〜１２ｔが多数並べられ、ソケット１２ａ
〜１２ｔの端子Ｔａ（２）　〜　Ｔａ（ｎ−１），…，
Ｔｔ（２）　〜　Ｔｔ（ｎ−１）には信号供給手段８と
してのバイナリカウンタの出力端子Ｓ（１）〜Ｓ（ｍ）
からの配線１３がソケット１２ａ〜１２ｔ毎に並列に接
続され、かつ端子Ｔａ（１）　，…，Ｔｔ（１）　／Ｔ
ａ（ｎ）　，…，　Ｔｔ（ｎ）にはそれぞれ電源９／接
地１０からの配線１３が接続されている。

【００２２】即ち、図３（ｂ）に示すように、通常、Ｌ
ＳＩ１１ａ〜１１ｔは、ＬＳＩ１１ａ〜１１ｔを駆動す
るために入力される信号を導く入力用外部リード、及び
駆動しているＬＳＩに信号を加えて取り出すための出力
用外部リードからなる信号リードＬＳ（１）　〜ＬＳ（
ｍ）　、電源９により供給される電流／電圧をＬＳＩ１
１ａに導く電源リードＬＤ（１）　、ＬＳＩ１１ａの各
素子の共通部を接地する接地リードＬＤ（２）　を有し
ている。しかも、外形上、外部リードＬＤ（１）　，Ｌ
Ｓ（１）　〜ＬＳ（ｍ）　，ＬＤ（２）　の数及び配置
が同じでも、品種によって対応する外部リードＬＤ（１
）　，ＬＳ（１）　〜ＬＳ（ｍ）　，ＬＤ（２）　の機
能（入力用，出力用等）が異なっている。

【００２３】図１は、ＬＳＩが搭載されたバーンインボ
ード７とその接続状態の詳細を示す構成図である。図中
符号１２ａ〜１２ｔはバーンインボード７に設置された
複数のソケット（載置手段）で、これらのソケット１２
ａ〜１２ｔにはＬＳＩ１１ａ〜１１ｔが載置される。そ
して、ＬＳＩ１１ａ〜１１ｔの外部リードＬＤ（１）　
，ＬＳ（１）　〜ＬＳ（ｍ）　，ＬＤ（２）　に対応し
、かつこれらの外部リードリードＬＤ（１）　，ＬＳ（
１）　〜ＬＳ（ｍ）　，ＬＤ（２）と接触する複数の端
子Ｔａ（１）　〜Ｔａ（ｎ）　，…，Ｔｔ（１）　〜Ｔ
ｔ（ｎ）　が出ている。なお、各ソケット１１ａ〜１１
ｔの端子のうちＴａ（１）　，…，　Ｔｔ（１）　は直
流電源８と接続され、ＶＤＤ　が供給される電源用の端
子、Ｔａ（ｎ）　，…，　Ｔｔ（ｎ）　は接地用の端子
となっている。また、８はバーンインボード７上のＬＳ
Ｉ１１ａ〜１１ｔに信号を送る信号供給手段で、図２に
詳細を示すように、順序回路による信号発生器、例えば
バイナリカウンタからなり、クロックパルス（ＣＫ）に
従って或いは所定の周期で信号電圧又は信号電流を出力
する。１３はＬＳＩ１１ａ〜１１ｔの信号リードＬＳ（
１）　〜ＬＳ（ｍ）　と対応するソケット１２ａ〜１２
ｔの端子Ｔａ（２）　〜Ｔａ（ｎ−１）　，…，Ｔｔ（
２）　〜Ｔｔ（ｎ−１）　と信号供給手段８との間を、
各ソケット１２ａ〜１２ｔ毎に並列に、かつ抵抗器Ｒａ
（２）　〜Ｒａ（ｎ−１）　，…，Ｒｔ（２）　〜Ｒｔ
（ｎ−１）　を介して信号電圧又は信号電流を供給する
ことができるように電気的に接続されている配線である
。

【００２４】以上のように、本発明の実施例のバーンイ
ン装置においては、図１に示すように、信号リードＬＳ
（１）　〜ＬＳ（ｍ）　に対応する端子Ｔａ（２）　〜
Ｔａ（ｎ−１）　，…，Ｔｔ（２）　〜Ｔｔ（ｎ−１）
　と信号供給手段８とは、各ソケット１２ａ〜１２ｔ毎
に並列に、かつ抵抗器Ｒａ（２）　〜Ｒａ（ｎ−１）　
，…，Ｒｔ（２）　〜Ｒｔ（ｎ−１）　を介して信号電
圧／電流を供給することができるように電気的に接続さ
れている。なお、図１の場合、電源用の端子Ｔａ（１）
　，…，　Ｔｔ（１）　、及び接地用の端子Ｔａ（ｎ）
　，…，　Ｔｔ（ｎ）　にも抵抗器Ｒａ（１）　，…，
Ｒｔ（１）　、及びＲａ（ｎ）　，…，Ｒｔ（ｎ）　が
接続されている。この様にしても支障はないが、信号用
の端子Ｔａ（２）　〜Ｔａ（ｎ−１）　，…，Ｔｔ（２
）　〜Ｔｔ（ｎ−１）　と、電源用の端子Ｔａ（１）　
，…，　Ｔｔ（１）　と、接地用の端子Ｔａ（ｎ）　，
…，　Ｔｔ（ｎ）　とはそれぞれ区別して信号供給手段
８，電源９，接地１０への接続が必要がある。

【００２５】従って、例えばＬＳＩ１１ａ〜１１ｔがＭ
ＩＳトランジスタからなるロジック回路を有する場合、
信号供給手段７により各端子Ｔａ（１）　〜Ｔａ（ｎ）
　，…，Ｔｔ（１）　〜Ｔｔ（ｎ）　に信号電圧／電流
を供給することによりゲート入力には電圧が印加され、
ロジック回路の出力には抵抗器Ｒａ（２）　，…，Ｒａ
（ｎ−１）　，…，Ｒｔ（２）　，又はＲｔ（ｎ−１）
　により制限された電流が流れる。このため、電流の配
分の不均一は生じにくいので、ＬＳＩ１１ａ〜１１ｔの
出力同士、又はＬＳＩ１１ａ〜１１ｔの出力と信号供給
手段８の出力との間で競合が生じない。従って、従来の
ようにＬＳＩ１１ａ〜１１ｔの外部リードＬＤ（１）　
，ＬＳ（１）　〜ＬＳ（ｍ）　，ＬＤ（２）　の機能（
入力，出力等）に対応した信号電圧／電流を供給する必
要がなく、大きさの等しい信号電圧／電流を供給するこ
とができる。これにより、異品種であって、対応する外
部リードＬＤ（１）　，ＬＳ（１）〜ＬＳ（ｍ）　，Ｌ
Ｄ（２）　の機能が互いに異なる場合でも同一のバーン
インボード７を用い、かつ同一の信号供給手段７、例え
ば順序回路を用いて信号を発生する手段、特にＣＲＣコ
ード発生器又はバイナリカウンタを用いてバーンインを
行うことができる。

【００２６】次に、上記のバーンインボード７及び信号
供給手段８を用いて所謂ダイナミック動作試験を行うバ
ーンイン方法について説明する。なお、ＬＳＩ１１ａ〜
１１ｔはＭＩＳトランジスタからなるロジック回路を有
するとする。

【００２７】まず、同一の外部リードＬＤ（１）　，Ｌ
Ｓ（１）　〜ＬＳ（ｍ）　，ＬＤ（２）　数及び配置を
有する、同一の品種のＬＳＩ１１ａ〜１１ｔをソケット
１２ａ〜１２ｔに差し込んだ後、バーンインボード７全
体を温度１２５　℃の恒温槽に入れる。

【００２８】次いで、電源リードＬＤ（１）　に接続さ
れた電源９をオンした後、各ＬＳＩ１１ａ〜１１ｔの出
力用外部リードＬＳ（１）　，…，又はＬＳ（ｍ）　に
２ｍＡの電流が流れるように設定された約２．５　ｋΩ
の抵抗器Ｒａ（２）　，…，Ｒａ（ｎ−１）　，…，Ｒ
ｔ（２）　，…，Ｒｔ（ｎ−１）　を介して信号供給手
段８により約５Ｖのパルス状の電圧を印加する。なお、
電源用の端子Ｔａ（１）　，…，　Ｔｔ（１）　と、接
地用の端子Ｔａ（ｎ）　，…，　Ｔｔ（ｎ）　に接続さ
れた抵抗器Ｒａ（１）　，…，Ｒｔ（１）　、及びＲａ
（ｎ）　，…，Ｒｔ（ｎ）　も同じく約２．５　ｋΩと
してある。このとき、信号供給手段８からはクロックパ
ルス（ＣＫ）に従って或いは所定の周期で信号電圧／電
流が出力される。従って、信号供給手段８により各端子
Ｔａ（２）　〜Ｔａ（ｎ−１）　，…，Ｔｔ（２）　〜
Ｔｔ（ｎ−１）　に信号電圧／電流を供給することによ
りゲート入力には電圧が印加され、ロジック回路の出力
には抵抗器Ｒａ（２）　〜Ｒａ（ｎ−１）　，…，Ｒｔ
（２）　〜Ｒｔ（ｎ−１）　により制限された電流が流
れる。このため、電流の配分の不均一は生じにくいので、ＬＳ
Ｉ１１ａ〜１１ｔの出力同士、又はＬＳＩ１１ａ〜１１
ｔの出力と信号供給手段８の出力との間で競合が生じな
い。

【００２９】そして、この状態を所定の時間保持した後
、バーンインボード７を取り出す。次いで、各ＬＳＩ１
１ａ〜１１ｔをバーンインボード７から取り外した後、
それぞれ特性試験を行い、不良になったＬＳＩを棄却す
る。

【００３０】このようにして次々にスクリーニングを行
う。なお、同一の品種については同一のバーンインボー
ド７及び信号供給手段８を用いることができる。

【００３１】次に、異なる品種のＬＳＩについてダイナ
ミック動作試験によるスクリーニングを行う場合にも、
同一の外部リードＬＤ（１）　，ＬＳ（１）　〜ＬＳ（
ｍ）　，ＬＤ（２）　の数及び配置を有していれば、対
応する外部リードＬＤ（１）　，ＬＳ（１）　〜ＬＳ（
ｍ）　，ＬＤ（２）　の機能が異なっていても、同じバ
ーンインボード７及び信号供給手段８を用いて行うこと
ができる。

【００３２】以上のように、本発明の実施例のバーンイ
ン装置を用いたバーンイン方法においては、各ＬＳＩ１
１ａ〜１１ｔ毎に並列に、かつ各ＬＳＩ１１ａ〜１１ｔ
の信号用外部リードＬＳ（２）　〜ＬＳ（ｍ）　に抵抗
器Ｒａ（２）　〜Ｒａ（ｎ−１）　，…，Ｒｔ（２）　
〜Ｒｔ（ｎ−１）　を介して信号供給手段８により信号
電圧／電流を供給している。

【００３３】従って、例えばＬＳＩ１１ａ〜１１ｔがＭ
ＩＳトランジスタからなるロジック回路を有する場合、
信号供給手段８により各端子Ｔａ（２）　〜Ｔａ（ｎ−
１）　，…，Ｔｔ（２）　〜Ｔｔ（ｎ−１）に信号電圧
／電流を供給することによりゲート入力には電圧が印加
され、ロジック回路の出力には抵抗器Ｒａ（２）　〜Ｒ
ａ（ｎ−１）　，…，Ｒｔ（２）　〜Ｒｔ（ｎ−１）　
により制限された電流が流れる。このため、電流の配分
の不均一は生じにくいので、ＬＳＩ１１ａ〜１１ｔの出
力同士、又はＬＳＩ１１ａ〜１１ｔの出力と信号供給手
段８の出力との間で競合が生じない。従って、従来のよ
うにＬＳＩ１１ａ〜１１ｔの外部リードＬＳ（１）　〜
ＬＳ（ｍ）　の機能（入力，出力等）に対応した信号電
圧／電流を供給する必要がなく、大きさの等しい信号電
圧／電流を供給することができる。これにより、異品種
であって、対応する外部リードＬＳ（１）　〜ＬＳ（ｍ
）　の機能が互いに異なる場合でも同一のバーンインボ
ード７を用い、かつ同一の信号供給手段８、特にＣＲＣ
コード発生器又はバイナリカウンタ等、順序回路による
信号発生器を用いてダイナミック動作バーンインを行う
ことができる。

【００３４】

【発明の効果】以上のように、本発明のバーンイン装置
においては、信号リードに対応する端子と信号供給手段
とは、各載置手段毎に並列に、かつ抵抗器を介して信号
電圧又は信号電流を供給することができるように電気的
に接続されている。

【００３５】これにより、各半導体集積回路装置毎に並
列に、かつ各半導体集積回路装置の信号リードに抵抗器
を介して信号供給手段により信号電圧又は信号電流を供
給することができる。

【００３６】従って、半導体集積回路装置の出力同士、
又は半導体集積回路装置の出力と信号供給手段の出力と
の間で抵抗により制限された電流が流れるので、半導体
集積回路装置の出力同士、又は半導体集積回路装置の出
力と信号供給手段の出力との間で競合が生じない。

【００３７】このため、従来のように半導体集積回路装
置の外部リードの機能（入力，出力等）に対応した信号
電圧／電流を供給する必要がないので、異品種であって
、対応する外部リードの機能が互いに異なる場合でも同
一のバーンインボードを用い、かつ同一の信号供給手段
、特にＣＲＣコード発生器又はバイナリカウンタ等、順
序回路による信号発生器を用いてダイナミック動作バー
ンインを行うことができる。これにより、バーンインボ
ードの標準化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例のバーンイン装置について説明
する構成図である。

【図２】本発明の実施例のバーンイン装置に用いられる
信号供給手段の詳細について説明する図である。

【図３】バーンイン装置の構成及び被試験ＬＳＩについ
て説明する図である。

【図４】バーンインボードについて説明する構成図であ
る。

【図５】従来例のバーンイン装置について説明する構成
図である。

【図６】従来例のバーンイン装置に用いられる信号供給
手段の詳細について説明する図である。

【符号の説明】

１，７　　バーンインボード、２，８　　信号供給手段、３，９　　電源、４，１０　　接地、５ａ〜５ｔ，１１ａ〜１１ｔ　　　ＬＳＩ（半導体集積
回路装置）、６ａ〜６ｔ，１２ａ〜１２ｔ　　　ソケット（載置手段
）、ＬＤ（１）　　　電源リード、ＬＳ（１）　〜ＬＳ（ｍ）　　　信号リード、ＬＤ（２
）　　　接地リード（電源リード）、Ｒａ（１）　〜Ｒ
ａ（ｎ）　，…，Ｒｔ（１）　〜Ｒｔ（ｎ）　　　抵抗
器、Ｔａ（１）　〜Ｔａ（ｎ）　，…，Ｔｔ（１）　〜
Ｔｔ（ｎ）　　　端子。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　半導体集積回路装置に信号電圧又は信
号電流を導く複数の信号リード及び１以上の電源リード
に対応する複数の端子を有し、前記信号リード及び電源
リードと前記端子とが接触した状態で前記半導体集積回
路装置が載置される複数の載置手段を設けたバーンイン
ボードと、前記複数の載置手段に載置された半導体集積
回路装置の信号リードに前記信号電圧又は信号電流を供
給する信号供給手段とを有するバーンイン装置であって
、前記信号リードに対応する端子と前記信号供給手段と
は、前記各載置手段毎に並列に、かつバーンインボード
上に設けられた抵抗器を介して電気的に接続されている
ことを特徴とするバーンイン装置。
【請求項２】　　前記信号供給手段は順序回路を用いて
信号を発生する手段であることを特徴とする請求項１記
載のバーンイン装置。