JPH04286311A - 半導体露光装置 - Google Patents
半導体露光装置Info
- Publication number
- JPH04286311A JPH04286311A JP3074204A JP7420491A JPH04286311A JP H04286311 A JPH04286311 A JP H04286311A JP 3074204 A JP3074204 A JP 3074204A JP 7420491 A JP7420491 A JP 7420491A JP H04286311 A JPH04286311 A JP H04286311A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cpu
- cpus
- wafer
- exposure apparatus
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 3
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
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- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体露光装置に関する
ものである。
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体露光装置は、複数のＣＰＵ
を内蔵し各ＣＰＵ間を１対１通信により接続し、相互通
信により装置を動作させていた。
を内蔵し各ＣＰＵ間を１対１通信により接続し、相互通
信により装置を動作させていた。
【０００３】従来の半導体露光装置における複数のＣＰ
Ｕ間の接続方式の例を図３（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。
Ｕ間の接続方式の例を図３（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
図３（ａ）の方式では、１つのＣＰＵから他の１つのＣ
ＰＵに通信を行う場合に別のＣＰＵを経由しなければな
らない場合が生ずる。
図３（ａ）の方式では、１つのＣＰＵから他の１つのＣ
ＰＵに通信を行う場合に別のＣＰＵを経由しなければな
らない場合が生ずる。
【０００５】また、１つのＣＰＵから複数のＣＰＵに対
し高速で通信を行わなければならない場合、図３（ｂ）
に示すように、当該１つのＣＰＵから全ての通信したい
ＣＰＵに対し個別に通信線を配設しなければならない。
し高速で通信を行わなければならない場合、図３（ｂ）
に示すように、当該１つのＣＰＵから全ての通信したい
ＣＰＵに対し個別に通信線を配設しなければならない。
【０００６】さらに、複数のＣＰＵの各々から複数のＣ
ＰＵに対し高速通信の要求がある場合には、図３（ｃ）
に示すように、通信線の数がＣＰＵの数の２乗に比例し
て増加し配線が複雑になる。
ＰＵに対し高速通信の要求がある場合には、図３（ｃ）
に示すように、通信線の数がＣＰＵの数の２乗に比例し
て増加し配線が複雑になる。
【０００７】本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされ
たものであって、複数のＣＰＵを有する半導体露光装置
において、各ＣＰＵ間の連結配線を簡素化しかつＣＰＵ
の増減に容易に対処可能とすることを目的とする。
たものであって、複数のＣＰＵを有する半導体露光装置
において、各ＣＰＵ間の連結配線を簡素化しかつＣＰＵ
の増減に容易に対処可能とすることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
、本発明では、装置を動作させるために複数のＣＰＵを
用いている半導体露光装置において、各ＣＰＵ間で動作
等を確認、伝達するために２線式多対多の通信手段を設
けている。
、本発明では、装置を動作させるために複数のＣＰＵを
用いている半導体露光装置において、各ＣＰＵ間で動作
等を確認、伝達するために２線式多対多の通信手段を設
けている。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明に係る半導体露光装置の一実
施例の構成を示す斜視図である。図示したように、この
装置は、露光用の光源である照明装置１と、この照明装
置１から射出された露光光を遮断するためのシャッタ２
と、回路パターンが形成されたレチクル３を搭載するレ
チクルステージ４と、レチクルを搬送するためのレチク
ルハンド５と、露光焼付け用の投影レンズ等からなる投
影光学系６と、回路パターンを焼付けるべきウエハ７を
搭載し露光時のピントを調節するためにウエハ面に垂直
に移動可能なＺステージ８と、このＺステージ８を搭載
しＺ方向に直角なＸＹの２方向に移動可能なＸＹステー
ジ９と、このＸＹステージ９の位置を計測するレーザ干
渉計１０と、ウエハをＸＹステージ９上に供給するウエ
ハ供給ハンド１１と、ウエハをＸＹステージ上から回収
するウエハ回収ハンド１２とを具備している。本装置は
さらに、ＣＰＵ等の制御ユニットと記憶装置１４を格納
したコントロールボックス１３および装置制御のための
コマンド等を入力するコンソール（ＣＰＵ）１５を備え
ている。
施例の構成を示す斜視図である。図示したように、この
装置は、露光用の光源である照明装置１と、この照明装
置１から射出された露光光を遮断するためのシャッタ２
と、回路パターンが形成されたレチクル３を搭載するレ
チクルステージ４と、レチクルを搬送するためのレチク
ルハンド５と、露光焼付け用の投影レンズ等からなる投
影光学系６と、回路パターンを焼付けるべきウエハ７を
搭載し露光時のピントを調節するためにウエハ面に垂直
に移動可能なＺステージ８と、このＺステージ８を搭載
しＺ方向に直角なＸＹの２方向に移動可能なＸＹステー
ジ９と、このＸＹステージ９の位置を計測するレーザ干
渉計１０と、ウエハをＸＹステージ９上に供給するウエ
ハ供給ハンド１１と、ウエハをＸＹステージ上から回収
するウエハ回収ハンド１２とを具備している。本装置は
さらに、ＣＰＵ等の制御ユニットと記憶装置１４を格納
したコントロールボックス１３および装置制御のための
コマンド等を入力するコンソール（ＣＰＵ）１５を備え
ている。
【００１０】この露光装置は、複数のＣＰＵ、即ち前記
コンソール１５と、照明装置１およびシャッタ２を制御
する照明制御ＣＰＵ１６と、レチクルステージ４および
レチクルハンド５を制御するレチクルステージ制御ＣＰ
Ｕ１７と、Ｚステージ８およびＸＹステージ９を制御す
るウエハステージ制御ＣＰＵ１８と、ウエハ供給ハンド
１１およびウエハ回収ハンド１２を制御するウエハハン
ドリングＣＰＵ１９の合計５つのＣＰＵを有している。 ２０は接続ケーブルであり、その両端は電気的に終端と
されている。
コンソール１５と、照明装置１およびシャッタ２を制御
する照明制御ＣＰＵ１６と、レチクルステージ４および
レチクルハンド５を制御するレチクルステージ制御ＣＰ
Ｕ１７と、Ｚステージ８およびＸＹステージ９を制御す
るウエハステージ制御ＣＰＵ１８と、ウエハ供給ハンド
１１およびウエハ回収ハンド１２を制御するウエハハン
ドリングＣＰＵ１９の合計５つのＣＰＵを有している。 ２０は接続ケーブルであり、その両端は電気的に終端と
されている。
【００１１】上記５つの各ＣＰＵ１５〜１９に２線式多
対多通信インターフェイスを搭載し、上記接続ケーブル
２０により、５つのＣＰＵを相互に接続する。
対多通信インターフェイスを搭載し、上記接続ケーブル
２０により、５つのＣＰＵを相互に接続する。
【００１２】図２は、図１のＣＰＵ相互間の通信接続を
示すブロック図である。上記各ＣＰＵ１５〜１９はそれ
ぞれ内部に、２線式多対多通信インターフェイス２１を
備え、該インターフェイス２１を介して接続ケーブル２
０に接続される。各ＣＰＵは前記ケーブル２０に対して
、データの送信、受信を行う。全てのＣＰＵが単一の媒
体にアクセスすることができる。
示すブロック図である。上記各ＣＰＵ１５〜１９はそれ
ぞれ内部に、２線式多対多通信インターフェイス２１を
備え、該インターフェイス２１を介して接続ケーブル２
０に接続される。各ＣＰＵは前記ケーブル２０に対して
、データの送信、受信を行う。全てのＣＰＵが単一の媒
体にアクセスすることができる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る半導
体露光装置によれば、各ＣＰＵ間の結線が減少して配線
構成が簡素化するとともに各ＣＰＵの配置の自由度が増
加する。また、ＣＰＵの設置台数の増減や配置変更等に
対し容易に対処可能となる。従って、増設や設計変更に
対処できるばかりでなく、動作テスト等を必要最小限の
台数で行うことができる。
体露光装置によれば、各ＣＰＵ間の結線が減少して配線
構成が簡素化するとともに各ＣＰＵの配置の自由度が増
加する。また、ＣＰＵの設置台数の増減や配置変更等に
対し容易に対処可能となる。従って、増設や設計変更に
対処できるばかりでなく、動作テスト等を必要最小限の
台数で行うことができる。
【００１４】なお、上記実施例はＣＰＵが５つの場合の
構成を示したが、ＣＰＵの数は５つに限定されない。
構成を示したが、ＣＰＵの数は５つに限定されない。
【図１】本発明に係る半導体露光装置の構成を示す斜視
図である。
図である。
【図２】図１の露光装置のＣＰＵ間接続を示すブロック
図である。
図である。
【図３】（ａ）（ｂ）（ｃ）は各々従来技術に係るＣＰ
Ｕ間配線方式の説明図である。
Ｕ間配線方式の説明図である。
１５ コンソール（ＣＰＵ）
１６ 照明制御ＣＰＵ
１７ レチクルステージ制御ＣＰＵ
１８ ウエハステージ制御ＣＰＵ
１９ ウエハハンドリングＣＰＵ
２０ 接続ケーブル
２１ 多対多通信インターフェイス
Claims (2)
- 【請求項１】 複数のＣＰＵを有する半導体露光装置
において、各ＣＰＵに２線式多対多通信インターフェイ
スを内蔵し、該インターフェイスを介して各ＣＰＵ同士
を接続したことを特徴とする半導体露光装置。 - 【請求項２】 前記ＣＰＵは、入力用コンソールＣＰ
Ｕ、照明制御ＣＰＵ、レチクルステージ制御ＣＰＵ、ウ
エハステージ制御ＣＰＵ、およびウエハハンドリングＣ
ＰＵの内複数のＣＰＵを含む請求項１の半導体露光装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3074204A JPH04286311A (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 半導体露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3074204A JPH04286311A (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 半導体露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04286311A true JPH04286311A (ja) | 1992-10-12 |
Family
ID=13540424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3074204A Pending JPH04286311A (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 半導体露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04286311A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6185474B1 (en) | 1997-03-04 | 2001-02-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure unit, exposure system and device manufacturing method |
-
1991
- 1991-03-15 JP JP3074204A patent/JPH04286311A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6185474B1 (en) | 1997-03-04 | 2001-02-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure unit, exposure system and device manufacturing method |
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