JPH04282888A - 印刷配線板の製造方法 - Google Patents
印刷配線板の製造方法Info
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- JPH04282888A JPH04282888A JP4391591A JP4391591A JPH04282888A JP H04282888 A JPH04282888 A JP H04282888A JP 4391591 A JP4391591 A JP 4391591A JP 4391591 A JP4391591 A JP 4391591A JP H04282888 A JPH04282888 A JP H04282888A
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- dry film
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- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 17
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 12
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 9
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 238000007761 roller coating Methods 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、印刷配線板の製造方法
に関し、特に感光性ドライフィルムを用いた銅張積層板
の配線パターン形成方法に関する。
に関し、特に感光性ドライフィルムを用いた銅張積層板
の配線パターン形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、配線パターンの形成には感光性
ドライフィルムを銅箔表面に圧着する方法が多く用いら
れている。この方法によれば図3(a)に示すように、
銅張積層板1に穴を穿孔し、めっき工法などによりスル
ーホール1a及び導体層2を形成し、導体層2の表面に
図3(b)に示すように、感光性ドライフィルム3を熱
圧着した後、図3(c)の様にマスクフィルム4を当接
し配線回路のパターンを紫外線で焼付けし、図3(d)
の様に現像により未露光部分の感光性ドライフィルム3
を選択的に除去したのち、図3(e)の様に現像により
露出した導体層2をエッチングで除去し、更に図3(f
)に示すように露光した感光性ドライフィルム5を除去
することにより所望の配線パターンを有する印刷配線板
を得ることが出来る。
ドライフィルムを銅箔表面に圧着する方法が多く用いら
れている。この方法によれば図3(a)に示すように、
銅張積層板1に穴を穿孔し、めっき工法などによりスル
ーホール1a及び導体層2を形成し、導体層2の表面に
図3(b)に示すように、感光性ドライフィルム3を熱
圧着した後、図3(c)の様にマスクフィルム4を当接
し配線回路のパターンを紫外線で焼付けし、図3(d)
の様に現像により未露光部分の感光性ドライフィルム3
を選択的に除去したのち、図3(e)の様に現像により
露出した導体層2をエッチングで除去し、更に図3(f
)に示すように露光した感光性ドライフィルム5を除去
することにより所望の配線パターンを有する印刷配線板
を得ることが出来る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】近年は、印刷配線板の
高密度配線化が進んでおり、基材表面のわずかなキズ・
打痕などの凹凸に感光性ドライフィルムレジストが十分
充填されないと、その箇所が部分的密着不良となりエッ
チング工程でパターン断線等の不良を招いている。この
ため基材表面の凹凸部への充填性を高めるため、圧着時
に感光性ドライフィルム及び銅張積層板を50〜130
℃に加熱し流動性を高めることにより対策している。
高密度配線化が進んでおり、基材表面のわずかなキズ・
打痕などの凹凸に感光性ドライフィルムレジストが十分
充填されないと、その箇所が部分的密着不良となりエッ
チング工程でパターン断線等の不良を招いている。この
ため基材表面の凹凸部への充填性を高めるため、圧着時
に感光性ドライフィルム及び銅張積層板を50〜130
℃に加熱し流動性を高めることにより対策している。
【0004】しかし、圧着時に加熱された感光性ドライ
フィルム3及び銅張積層板1は、基材表面の凹凸部に充
填した後も高温状態を保つため過度に流動し、特にスル
ーホール1aの付近では内部に感光性ドライフィルムレ
ジストが流入し、スルーホールコーナー部分の膜厚が薄
くなり、ランド欠損・スルーホール断線等の不良が生じ
るという問題がある。
フィルム3及び銅張積層板1は、基材表面の凹凸部に充
填した後も高温状態を保つため過度に流動し、特にスル
ーホール1aの付近では内部に感光性ドライフィルムレ
ジストが流入し、スルーホールコーナー部分の膜厚が薄
くなり、ランド欠損・スルーホール断線等の不良が生じ
るという問題がある。
【0005】更に、高温状態の感光性ドライフィルム3
及び銅張積層板1にマスクフィルム4を当接した場合、
マスクフィルム4に寸法変化が生じるという問題も有し
ていた。この対策として、従来は自然冷却法により銅張
積層板1を室温まで冷却していたが、図4の特性図の如
く、15分以上を要するため、感光性ドライフィルムの
熱圧着後配線パターン焼付けを連続で行うことが困難で
あるという問題もあった。
及び銅張積層板1にマスクフィルム4を当接した場合、
マスクフィルム4に寸法変化が生じるという問題も有し
ていた。この対策として、従来は自然冷却法により銅張
積層板1を室温まで冷却していたが、図4の特性図の如
く、15分以上を要するため、感光性ドライフィルムの
熱圧着後配線パターン焼付けを連続で行うことが困難で
あるという問題もあった。
【0006】本発明の目的は、このような問題を解決し
、ランド欠損・スルーホール断線などを防止すると共に
、作業工数を削減した印刷配線板の製造方法を提供する
ことにある。
、ランド欠損・スルーホール断線などを防止すると共に
、作業工数を削減した印刷配線板の製造方法を提供する
ことにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の構成は、スルー
ホールを設けた銅張積層板に感光性ドライフィルムを用
いた写真法により所望の配線パターンを形成する印刷配
線板の製造方法において、前記銅張積層板の銅箔表面に
感光性ドライフィルムを熱圧着する工程と、この感光性
ドライフィルムを熱圧着した銅張積層板に冷却媒体をか
け、この銅張積層板を急冷却する工程とを含むことを特
徴とする。
ホールを設けた銅張積層板に感光性ドライフィルムを用
いた写真法により所望の配線パターンを形成する印刷配
線板の製造方法において、前記銅張積層板の銅箔表面に
感光性ドライフィルムを熱圧着する工程と、この感光性
ドライフィルムを熱圧着した銅張積層板に冷却媒体をか
け、この銅張積層板を急冷却する工程とを含むことを特
徴とする。
【0008】
【実施例】図1(a)〜(g)は本発明の一実施例を示
す配線パターンの形成方法を示し、図1(a)は、銅張
積層板1に穴を穿孔した後、導体層2及びスルーホール
1aを形成した状態を示す。この銅張積層板1の材質と
して、ガラス布基材エポキシ樹脂板やガラス布基材ポリ
イミド樹脂板を使用できる。
す配線パターンの形成方法を示し、図1(a)は、銅張
積層板1に穴を穿孔した後、導体層2及びスルーホール
1aを形成した状態を示す。この銅張積層板1の材質と
して、ガラス布基材エポキシ樹脂板やガラス布基材ポリ
イミド樹脂板を使用できる。
【0009】次に、図1(b)のごとく導体層2の上に
感光性ドライフィルム3を90〜130℃で熱圧着する
。その後図1(c)のごとく5〜30℃の液体を冷却媒
体として用い、スプレー方式により、銅張積層板1の表
面温度を室温まで10〜30秒以内に冷却し、エアーナ
イフ又はローラーを用いて液体の除去を行う。この冷却
媒体として他に、気体も用いることができ、また冷却方
法としてディップ又はローラー・コーティング方式を用
いることができる。
感光性ドライフィルム3を90〜130℃で熱圧着する
。その後図1(c)のごとく5〜30℃の液体を冷却媒
体として用い、スプレー方式により、銅張積層板1の表
面温度を室温まで10〜30秒以内に冷却し、エアーナ
イフ又はローラーを用いて液体の除去を行う。この冷却
媒体として他に、気体も用いることができ、また冷却方
法としてディップ又はローラー・コーティング方式を用
いることができる。
【0010】なお、基板表面温度経時変化として、図2
(a)に示すように、室温に直接到達するような経時変
化、または図2(b)に示すように一旦室温以下となる
経時変化が得られるよう前述の冷却媒体及び冷却方法を
選択することができる。
(a)に示すように、室温に直接到達するような経時変
化、または図2(b)に示すように一旦室温以下となる
経時変化が得られるよう前述の冷却媒体及び冷却方法を
選択することができる。
【0011】次に、図1(d)の如く、マスクフィルム
4を介して所望の配線パターンを20〜200mJ/c
m2 の紫外線で焼付けする。さらに図1(e)の如く
炭酸ナトリウムなどの現像液で未露光部の感光性ドライ
フィルムレジスト3を除去してエッチングレジスト5を
形成し、図1(f)のごとく塩化第2銅溶液などのエッ
チング液により、導体層2のうち現像により露出した銅
部分をエッチング除去した後、水酸化ナトリウムなどの
薬品を用いてエッチングレジスト5を除去して、図1(
g)のごとく配線パターンを有する印刷配線板が得られ
る。
4を介して所望の配線パターンを20〜200mJ/c
m2 の紫外線で焼付けする。さらに図1(e)の如く
炭酸ナトリウムなどの現像液で未露光部の感光性ドライ
フィルムレジスト3を除去してエッチングレジスト5を
形成し、図1(f)のごとく塩化第2銅溶液などのエッ
チング液により、導体層2のうち現像により露出した銅
部分をエッチング除去した後、水酸化ナトリウムなどの
薬品を用いてエッチングレジスト5を除去して、図1(
g)のごとく配線パターンを有する印刷配線板が得られ
る。
【0012】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、感
光性ドライフィルムを銅張積層板表面に熱圧着した後、
10〜30秒以内に基板表面温度を室温まで冷却し、感
光性ドライフィルムレジストの流動性を静止させること
により、スルーホールコーナー部分の所望の感光性ドラ
イフィルムのレジスト膜厚が確保でき、ランド欠損また
はスルーホール断線等を防止することができる。更に、
マスクフィルムの寸法変化も生じないため、感光性ドラ
イフィルム熱圧着から配線回路パターン焼付けを連続で
行うことができる。
光性ドライフィルムを銅張積層板表面に熱圧着した後、
10〜30秒以内に基板表面温度を室温まで冷却し、感
光性ドライフィルムレジストの流動性を静止させること
により、スルーホールコーナー部分の所望の感光性ドラ
イフィルムのレジスト膜厚が確保でき、ランド欠損また
はスルーホール断線等を防止することができる。更に、
マスクフィルムの寸法変化も生じないため、感光性ドラ
イフィルム熱圧着から配線回路パターン焼付けを連続で
行うことができる。
【図1】本発明の一実施例を印刷配線板の製造工程に示
した断面図。
した断面図。
【図2】本実施例による急冷却時の基板表面温度経時変
化を示す特性図。
化を示す特性図。
【図3】従来の製造方法を印刷配線板の製造工程順に示
した断面図。
した断面図。
【図4】従来例の自然冷却による基板表面温度経時変化
を示す特性図。
を示す特性図。
1 銅張積層板
1a スルーホール
2 導体層
3 感光性ドライフィルム
4 マスクフィルム
5 エッチングレジスト
Claims (1)
- 【請求項1】 スルーホールを設けた銅張積層板に感
光性ドライフィルムを用いた写真法により所望の配線パ
ターンを形成する印刷配線板の製造方法において、前記
銅張積層板の銅箔表面に感光性ドライフィルムを熱圧着
する工程と、この感光性ドライフィルムを熱圧着した銅
張積層板に冷却媒体をかけ、この銅張積層板を急冷却す
る工程とを含むことを特徴とする印刷配線板の製造方法
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4391591A JPH04282888A (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | 印刷配線板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4391591A JPH04282888A (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | 印刷配線板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04282888A true JPH04282888A (ja) | 1992-10-07 |
Family
ID=12677015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4391591A Pending JPH04282888A (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | 印刷配線板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04282888A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007003661A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Fujifilm Holdings Corp | パターン形成方法 |
CN114760771A (zh) * | 2022-05-18 | 2022-07-15 | 福莱盈电子股份有限公司 | 线路板上导通孔的保护方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58173742A (ja) * | 1982-04-06 | 1983-10-12 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性フイルム用ラミネ−ト装置 |
JPS6351481B2 (ja) * | 1981-10-31 | 1988-10-14 | Matsushita Electric Works Ltd | |
JPH0486827A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-19 | Toppan Printing Co Ltd | 露光用基板の製造装置 |
-
1991
- 1991-03-11 JP JP4391591A patent/JPH04282888A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6351481B2 (ja) * | 1981-10-31 | 1988-10-14 | Matsushita Electric Works Ltd | |
JPS58173742A (ja) * | 1982-04-06 | 1983-10-12 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性フイルム用ラミネ−ト装置 |
JPH0486827A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-19 | Toppan Printing Co Ltd | 露光用基板の製造装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007003661A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Fujifilm Holdings Corp | パターン形成方法 |
CN114760771A (zh) * | 2022-05-18 | 2022-07-15 | 福莱盈电子股份有限公司 | 线路板上导通孔的保护方法 |
CN114760771B (zh) * | 2022-05-18 | 2023-11-07 | 福莱盈电子股份有限公司 | 线路板上导通孔的保护方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19961210 |