JPH04281503A - インタロック制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、マルチタスク構成で動
作し互いに干渉する機構を有する複数の搬送装置をソフ
トウエア制御するにあたり、搬送装置同志の衝突を避け
るためにインタロック処理（例えば、現在進行中の他の
搬送装置の動作が、自身が行おうとしている動作と干渉
を来すおそれがなくなるまで、自身の動作を保留する処
理）を施すインタロック制御方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、例えば流通業界における物品の搬
送や、製造業界における物品や部品などの加工時、移動
時の搬送等は、めざましい技術の進歩と作業の高効率化
への要求との双方があいまって、自動化及びロボット化
されつつある。

【０００３】例えば半導体製造関連では、他の分野にお
とらず、産業用ロボット、自動倉庫、無人搬送車などを
導入してのファクトリーオートメーション化が展開され
ている。例えば、半導体素子製造プロセスでは、半導体
素子が形成される半導体ウエハを、単位として加工、搬
送することが多く、各半導体ウエハに対して各種処理装
置により種々の処理を施し、各半導体ウエハに多数の半
導体素子が形成され、後に半導体ウエハに形成された半
導体素子が切り出され、チップ化された単体の半導体素
子が製造されるが、これらのプロセスでは、製造物の性
質上（素子の精密度、防塵性の要求等）の理由により急
速にオートメーション化がなされている。このような半
導体素子製造プロセスにおいて、各半導体ウエハは、所
定数をまとめて一単位とし、例えばマガジンと呼ばれる
ケースに収納されて各処理装置間、各処理ブロック間あ
るいは倉庫間などを搬送される。

【０００４】従来、例えば半導体ウエハを収納したマガ
ジンを搬送する搬送装置（例えばウエハ洗浄機や、ウエ
ハキャリア移載機等）は、効率の向上等の面からマルチ
タスク構成で制御されるのが望ましく、その場合に各搬
送装置は、非同期並列的に動作してそれぞれの搬送処理
を行う。ところが、このような搬送装置では、搬送装置
システムの構成、搬送経路の設定及び搬送処理手順の設
定などによっては装置同志が干渉する位置を有するもの
があり、そのような場合に装置同志の衝突を引き起こし
てしまうおそれがある。

【０００５】従来、干渉するメカ機構の衝突を避けるた
めに、インタロック処理を施す機能を設定し、例えばウ
エハ洗浄機のホイスト（例えば、上下左右にしか動かな
いロボットのこと）やウエハキャリア移載機でのリフタ
とシフタ等の搬送装置において、各機構が停止した時に
、その停止位置（Ｎｏ）を所定のメモリ（例えば１バイ
トのエリア）に保持し、その情報を参照して、自身が動
作可能かどうかを判断させる方法が考えられる。ところ
が、この場合、干渉する相手側が、干渉しない位置に停
止していないと自身は動作できないなどの不都合が生じ
る。

【０００６】そこで、このような不都合が生じないよう
にするためには、各搬送装置を動作させる際に複雑なダ
イヤグラムを組んで対処するのが一般的である。このダ
イヤグラムを組む制御では、例えば万一装置駆動用モー
タが途中で止まったり、搬送装置または処理装置等に何
等かのエラーが生じたりして障害が発生し、それを復旧
させて動作を継続させる場合に、干渉の危険がある時に
は、それを障害扱いとして、オペレータの介入を促すよ
うにしていた。さらに、このダイヤグラムを組み込むプ
ロセス制御を行った場合、例えば処理工程の異なる処理
ロットの搬送処理を加える時には、搬送装置の動作をい
ったん停止させ、新たな処理ダイヤグラムを設定した後
に、再スタートさせていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
インタロック制御方法では、上述したように、干渉する
相手側が、干渉しない位置に停止していないと自身は動
作できないなどの不都合が生じ、十分な機能を果たさず
、また、インタロック制御の機能性を向上させるために
、例えば装置構成の複雑化、制御プロセスの高度化など
を来してしまい、簡単な装置構成でかつ容易にはインタ
ロック制御が行えなかった。

【０００８】また、機械制御を行うためにダイヤグラム
を組む場合には、例えば以下のような問題が発生するお
それがある。

【０００９】■　　各搬送装置の動作シーケンスの複雑
なダイヤグラムを考案しなければならず、多大な労力を
要し、コストの高騰を伴う。

【００１０】■　　上記ダイヤグラムの変更を行う場合
、制御を行うロジック部分を変更しなければならず、ダ
イヤグラム変更後はロジックを変更したために、全動作
の動作確認を行うという工程数の無駄があった。

【００１１】■　　異なる処理工程をもつロットの混入
処理は、ダイヤグラムのパターンが多すぎたりするため
、事実上ソフトウエアでは実現できなかった。

【００１２】■　　ダイヤグラムで処理シーケンスの制
御を行い、搬送装置を動作させるため、実際にロットが
ない場合でも搬送装置は動作してしまい、作業効率の低
下、消費電力のロス、装置の短寿命化などを招いてしま
う。

【００１３】本発明は、前記従来技術が持っていた課題
として、干渉する機構を有する搬送装置同志の衝突を有
効かつ効率的に回避できない点について解決したインタ
ロック制御方法を提供するものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために、マルチタスク構成で動作する複数の搬送
装置のうち待機状態にある所定の搬送装置が搬送のため
の移動動作を行う際、その移動動作が前記所定の搬送装
置と他の搬送装置とを干渉させる場合に、前記所定の搬
送装置に対してインタロック処理を行い、前記所定の搬
送装置と他の搬送装置との衝突を回避するインタロック
制御方法において、以下のような搬送前干渉判断処理、
搬送開始処理、搬送終了処理、退避移動判断処理、及び
退避移動処理を順に実行するようにしたものである。

【００１５】前記搬送前干渉判断処理は、前記待機状態
にある所定の搬送装置が特定の搬送先位置への搬送要求
を受けると、各搬送装置の停止位置、搬送先位置、移動
先位置及び所定の干渉位置のメモリ情報を共有資源とし
て該共有資源を排他制御に基づき占有し、前記特定の搬
送先位置が、前記所定の干渉位置において前記所定の搬
送装置が他の搬送装置と干渉する位置か否かを前記共有
資源を参照して判断し、干渉する位置の場合には前記共
有資源をいったん解放した後、所定のタイミングで再び
前記判断を行うものである。

【００１６】前記搬送開始処理は、前記搬送前干渉判断
処理で前記特定の搬送先位置が前記干渉する位置でない
と判断した場合に、前記占有した共有資源に前記特定の
搬送先位置を登録した後、前記所定の搬送装置に前記特
定の搬送先位置への移動動作を開始させかつ前記共有資
源を解放するものである。

【００１７】前記搬送終了処理は、前記搬送開始処理後
に、前記所定の搬送装置が移動動作を終了したかを該所
定の搬送装置の移動動作検出用センサの検出結果に基づ
き確認し、終了した場合に前記共有資源を排他制御に基
づき占有し、前記特定の搬送先位置を前記所定の搬送装
置の停止位置として前記共有資源に登録するものである
。

【００１８】前記退避移動判断処理は、前記搬送終了処
理後に、前記占有した共有資源を参照して前記所定の搬
送装置の停止位置が前記所定の干渉位置か否かを判断し
、前記所定の干渉位置でない場合には前記共有資源を解
放しかつ前記待機状態へ移行して処理を完了し、前記所
定の干渉位置である場合には前記共有資源に所定の移動
先位置を登録した後、前記所定の搬送装置に前記所定の
移動先位置への移動動作を開始させかつ前記共有資源を
解放するものである。

【００１９】前記退避移動処理は、前記退避移動判断処
理後に前記所定の搬送装置が移動動作を終了したか否か
を該所定の搬送装置の移動動作検出用センサの検出結果
に基づき確認し、終了した場合に前記共有資源を排他制
御に基づき占有して、前記所定の移動先位置を前記所定
の搬送装置の新たな停止位置として更新し、前記共有資
源を解放しかつ前記待機状態に移行して処理を完了する
ものである。

【００２０】

【作用】本発明によれば、以上のようにインタロック制
御方法を構成したので、前記待機状態にある所定の搬送
装置が特定の搬送先位置への搬送要求を受けると、前記
搬送前干渉判断処理では、各搬送装置の停止位置、搬送
先位置、移動先位置及び所定の干渉位置のメモリ情報を
共有資源とし、その共有資源の占有宣言を行って、他の
搬送装置が該共有資源を占有していない時にのみ占有が
可能である排他制御のもとで、前記共有資源を占有する
。そして、前記共有資源のメモリ情報を参照して、前記
特定の搬送先位置が、前記所定の干渉位置において前記
所定の搬送装置が他の搬送装置と干渉する位置か否かを
判断し、干渉する位置の場合には前記共有資源をいった
ん解放した後、所定のタイミングで再び前記判断を行い
、干渉する位置でないと判断するまでこれを繰り返す。

【００２１】前記搬送前干渉判断処理で前記特定の搬送
先位置が前記干渉する位置でないと判断した場合、前記
搬送開始処理により、前記占有した共有資源に前記特定
の搬送先位置を登録した後、前記所定の搬送装置に前記
特定の搬送先位置への移動動作を開始させかつ前記共有
資源を解放する。

【００２２】前記搬送開始処理後、前記搬送終了処理は
、前記所定の搬送装置が移動動作を終了したかを該所定
の搬送装置の移動動作検出用センサの検出結果に基づき
確認し、終了した場合に前記共有資源を排他制御に基づ
き占有し、前記特定の搬送先位置を前記所定の搬送装置
の停止位置として前記共有資源に登録する。

【００２３】前記搬送終了処理後、前記退避移動判断処
理により、前記占有した共有資源を参照して前記所定の
搬送装置の停止位置が前記所定の干渉位置か否かを判断
し、前記所定の干渉位置でない場合には前記共有資源を
解放しかつ前記待機状態へ移行して処理を完了し、前記
所定の干渉位置である場合には前記共有資源に所定の移
動先位置を登録した後、前記所定の搬送装置に前記所定
の移動先位置への移動動作を開始させかつ前記共有資源
を解放する。

【００２４】前記退避移動判断処理後、前記退避移動処
理により、前記所定の搬送装置が移動動作を終了したか
を該所定の搬送装置の移動動作検出用センサの検出結果
に基づき確認し、終了した場合に前記共有資源を排他制
御に基づき占有して、前記移動先位置を前記所定の搬送
装置の新たな停止位置として更新し、前記共有資源を解
放しかつ前記待機状態に移行して処理を完了する。

【００２５】従って、前記課題を解決できるのである。

【００２６】

【実施例】図１は、本発明の第１の実施例を示すインタ
ロック制御方法のフローチャートであり、図２は、第１
の実施例のインタロック制御方法を実現する機械系及び
制御系の構成ブロック図であり、図３は、図２の機械系
の搬送装置及び処理装置部分の概略的な外観図である。

【００２７】本実施例の機械系は、例えばウエハ洗浄機
などの処理装置１〜７と、各処理装置間で半導体ウエハ
収納用マガジンの搬送を行う搬送装置であるホイスト１
１，１２とを主な構成要素としており、制御系は、例え
ばホストコンピュータ等に接続されるコントローラ２０
を主な構成要素としている。

【００２８】機械系において、処理装置１〜７は、例え
ば半導体ウエハの洗浄を行うための種々の装置であり、
例えば薬液を用いた洗浄処理、純水による洗浄処理、純
水による洗浄のなかでも温水洗浄、冷水洗浄、さらには
洗浄後の乾燥処理など、それぞれの処理に応じて処理装
置１〜７の機能設定が行われている。

【００２９】ホイスト１１及びホイスト１２は、それぞ
れ各処理装置１〜７間あるいは外部処理装置等との間で
マガジンの搬送を行うための搬送ロボットであり、例え
ばマガジンを保持して上下左右に移動させる機能を有し
ている。ホイスト１１の搬送範囲は、例えば処理装置１
〜５の間であり、ホイスト１２の搬送範囲は、例えば処
理装置５〜７となっている。処理装置５では、それぞれ
の搬送範囲が重複しており、ここで、ホイスト１１及び
ホイスト１２は、マガジンの受け渡しを行う。従って、
この機械系におけるホイスト１１及び１２では、処理装
置５のところが干渉位置Ａとなっている。

【００３０】一方、制御系において、コントローラ２０
は、例えば制御回路２１と、メモリ２２を主な構成要素
としている。制御回路２１は、例えばＣＰＵや機械制御
ソフトウエアのプログラム用メモリなどで構成されてい
る。メモリ２２には、主にホイスト１１及びホイスト１
２に関する移動情報が格納されている。ここで、ホイス
ト１１の移動情報としては、ホイスト１１の現在位置Ｎ
ｏ．と移動位置Ｎｏ．（搬送先位置または退避時の移動
先位置、以下同様）が設定され、ホイスト２の移動情報
としては、ホイスト１２の現在位置Ｎｏ．と移動位置Ｎ
ｏ．が設定されており、これらのメモリ情報は、共有資
源として、ホイスト１１及びホイスト１２について排他
制御に基づきアクセスされるものである。

【００３１】次に、本実施例のインタロック制御方法に
ついて、図１のフローチャートを参照しつつ具体的に説
明する。

【００３２】例えば外部のホストコンピュータから半導
体ウエハ洗浄処理の依頼があると、制御回路２１は、例
えばホイスト１１に対して半導体ウエハが収納されたマ
ガジン３１の搬送を依頼し、そのホイスト１１が依頼に
応じてマガジン３１を処理装置１〜４に投入する。各処
理装置１〜４の処理が完了すると、例えばホイスト１１
がコントローラ２０から次の工程の処理装置５への搬送
要求を受ける。すると、ホイスト１１は、以下のような
■搬送前干渉判断処理１００、■搬送開始処理１１０、
■搬送終了処理１２０、■退避移動判断処理１３０、■
退避移動処理１４０を順に経て搬送処理を行う。

【００３３】■　　搬送前干渉判断処理１００ホイスト
１１が特定の搬送先位置への搬送要求を受けると（ステ
ップ１０１）、ホイスト１２の動作状態を知るために、
ホイスト１２の位置情報を参照する。この時、ホイスト
１２の位置情報を参照するにあたり、メモリ２２内のメ
モリ情報を共有資源としてその共有資源を排他制御に基
づき占有する必要があるため、先ず、ホイスト１２の移
動情報の資源占有宣言を行う（ステップ１０２）。ホイ
スト１２の移動情報のために共有資源を占有した後、ホ
イスト１２の移動情報を参照して、前記特定の搬送先位
置は、ホイスト１１とホイスト１２とが干渉する位置か
否か、即ち例えばホイスト１２が干渉位置Ａへ移動して
いるなどして干渉するおそれがあるか否かを判断する（
ステップ１０３）。

【００３４】ステップ１０３で、例えばホイスト１２が
干渉位置Ａへ移動中と判断した場合には、占有した共有
資源をいったん解放し（ステップ１０４）、その後に所
定のタイミングで再びステップ１０２，ステップ１０３
を繰り返す。

【００３５】ステップ１０３で、例えばホイスト１２が
干渉位置Ａになくかつそこへ移動していないと判断した
場合、ホイスト１２の移動情報の資源解放を行う（ステ
ップ１０５）。

【００３６】■　　搬送開始処理１１０搬送前干渉判断
処理１００のステップ１０５でホイスト１２の移動情報
の資源解放を行った後、ホイスト１１の移動情報の資源
占有宣言を行って（ステップ１１１）、占有したホイス
ト１１の移動情報において、移動位置Ｎｏ．をセットす
る（ステップ１１２）。即ち、ホイスト１１の移動位置
Ｎｏ．として搬送要求の示す特定の搬送先位置を登録す
る。この時、ホイスト１１の現在位置Ｎｏ．は現在停止
している位置のものとなっており、移動位置Ｎｏ．が特
定の搬送先位置となるので、現在位置Ｎｏ．と移動位置
Ｎｏ．とが異なり、ホイスト１１が移動動作を行うある
いは行っていることがそこに示される。 その後、例えば本実施例では、ホイスト１１が移動を開
始し（ステップ１１３）、さらにホイスト１１の移動情
報の資源解放も行われる（ステップ１１４）。これによ
り、ホイスト１１は、マガジン３１を保持して受け渡し
箇所を兼務した処理装置５のところへ搬送する。もし、
この搬送中、例えばホイスト１１と非同期平行的に動作
しているホイスト１２が、自身の搬送要求に基づいて干
渉位置Ａである処理装置５のところへ搬送を行おうとし
ても、その前に共有資源を排他制御に基づき参照するこ
とにより、ホイスト１１が干渉位置Ａへ向かっているこ
とを知るため、ホイスト１２は、ホイスト１１が干渉位
置Ａから逃げるまで、インタロック処理により搬送動作
を保留される。

【００３７】■　　搬送終了処理１２０搬送開始処理１
１０により、ホイスト１１がマガジン３１を処理装置５
へ搬送するために干渉位置Ａに向かって移動動作してい
る時、例えばホイスト１１の移動動作を検出するセンサ
の働きにより、ホイスト１１が停止したかの確認が行わ
れる（ステップ１２１）。ステップ１２１で、まだホイ
スト１１が動作中の場合には、さらに停止確認を行い、
ホイスト１１の停止が確認された場合、ホイスト１１の
移動情報の資源占有宣言を行い（ステップ１２２）、排
他制御に基づき共有資源を占有して、ホイスト１１の移
動情報において、移動位置Ｎｏ．を現在位置Ｎｏ．へコ
ピーする（ステップ１２３）。即ち、搬送要求により指
示されそこまで移動してきた特定の搬送先位置を、現在
位置Ｎｏ．として登録する。その後、ホイスト１１の移
動情報の資源解放を行う（ステップ１２４）。

【００３８】■　　退避移動判断処理１３０搬送終了処
理１２０後、停止した位置がホイスト１２と干渉する位
置か否か、即ちこの場合停止位置が干渉位置Ａか否かを
判断し（ステップ１３１）、干渉位置Ａでないと判断す
れば、待機状態に移行して処理を完了するが、この場合
には、現時点でホイスト１１は、干渉位置Ａにあるので
、停止した位置はホイスト１２と干渉する位置と判断し
て、ホイスト１１の移動情報の資源占有宣言を行い（ス
テップ１３２）、ホイスト１１の移動情報の資源占有を
行った後、ホイスト１１の移動情報において、移動位置
Ｎｏ．を定位置Ｎｏ．にセットする（ステップ１３３）
。この定位置Ｎｏ．は、干渉位置Ａから退避するために
設定された本実施例での移動先位置を示すものである。 この際、ホイスト１１の移動情報において、現在位置Ｎ
ｏ．は干渉位置Ａのものであり、移動位置Ｎｏ．は干渉
位置Ａ以外の定位置Ｎｏ．であることから、ホイスト１
１が干渉位置Ａから退避することがそこに示される。そ
の後、本実施例の場合には、ホイスト１１が定位置Ｎｏ
．で示された移動先位置へ向けて移動を開始し（ステッ
プ１３４）、ホイスト１１の移動情報の資源解放を行う
（ステップ１３５）。

【００３９】■　　退避移動処理１４０退避移動判断処
理１３０により、ホイスト１１が干渉位置Ａから退避し
ている時、ホイスト１１の移動動作を検出するセンサの
働きにより、ホイスト１１が移動動作を終了して停止し
たかを確認する（ステップ１４１）。まだ移動中の場合
には、停止の確認を続行し、停止した場合には、ホイス
ト１１の移動情報の資源占有宣言を行い（ステップ１４
２）、共有資源を占有した後に、ホイスト１１の移動情
報において、移動位置Ｎｏ．を現在位置Ｎｏ．へコピー
し（ステップ１４３）、ホイスト１１の移動情報の資源
解放を行って（ステップ１４４）、待機状態に移行し、
処理を完了する（ステップ１５０）。

【００４０】以上のような各処理■〜■を経てホイスト
１１の搬送処理が終了するが、インタロック処理が施さ
れていたホイスト１２は、排他制御により共有資源にア
クセスして、例えば退避移動処理１４０によって、ホイ
スト１１が干渉位置Ａから逃げた時点でインタロックが
解除され、今度はホイスト１２側が、以上のような各処
理■〜■を経て搬送動作を開始する。

【００４１】あるいは、ホイスト１２は、例えばホイス
ト１１の退避移動判断処理１３０においてホイスト１１
が退避を行うことを確認した時点で、お互いの移動速度
等を考慮した上で、搬送動作を開始するようにしてもよ
く、この場合にはホイスト１１が干渉する位置（干渉位
置Ａ）にいても、そこから逃げる時にホイスト１２は動
作を開始するため、目的地への搬送効率も向上する効果
を持つこととなる。

【００４２】図１のフローチャートは、ホイスト１１を
対象として説明してあるが、これはホイスト１２にも同
様にあてはまることで、処理フローは同様のものである
。

【００４３】本実施例では、次のような利点を有してい
る。

【００４４】（Ａ）　　本実施例では、ホイスト１１，
１２の移動情報についてのメモリ情報を共有資源とし、
排他制御に基づきその共有資源にアクセスする構成にし
た。そのため、マルチタスク構成により非同期平行的に
動作するホイスト１１，１２ではあるが、干渉位置Ａで
の干渉を避けるために行われるインタロック操作に関し
ては、一種の同期をとって動作することとなり、マクチ
タスク構成による各処理装置１〜７及びホイスト１１，
１２の処理効率及び搬送効率を向上させることができ、
かつ干渉位置Ａにおいての衝突を的確に回避することが
可能となる。しかも、これにより、メカの制御ソフトを
作成する際、複雑なダイヤグラムを作成する必要が無く
なる。また、機械系及び制御系は、簡単な構成のままで
容易に衝突回避効果を実現できる。

【００４５】（Ｂ）　　図１のフローチャート上、目的
地への搬送後、例えばホイスト１１は、干渉位置Ａに停
止した時のみ定位置移動を行って干渉位置Ａから退避す
るため、ホイスト１１，１２が干渉位置Ａに停止したま
まの状態になることはない。よって、一方のホイスト１
１（または１２）が干渉位置Ａへ移動する前に、他方の
ホイスト１２（または１１）が干渉位置Ａにいる場合、
あるいは干渉位置Ａを移動中でも、そのホイスト１１ま
たは１２は、必ず干渉位置Ａから退避するので、それを
待って移動することにより、あえて障害として扱う必要
がなくなる。

【００４６】（Ｃ）　　本実施例のインタロック制御方
法によれば、ホイスト１１，１２がどの停止位置で干渉
するかをコントローラ２０のメモリ２２に記憶させてお
き、干渉する場合にコントローラ２０側で、干渉する相
手が逃げるのを待って動作を開始するため、衝突の危険
等を考慮せずに、処理ロットの処理工程を記憶すること
により各処理ロットの処理シーケンスを組めるので、プ
ログラミングの工数軽減の効果が得られる。

【００４７】（Ｄ）　　処理ロットの処理シーケンスは
、動作するメカのダイヤグラムを作成するのではなく、
各処理ロットがどこの処理装置でどの位の時間処理され
るかをコントローラ２０側に通知することにより、時間
の加減算で組むことができるようになるため、処理シー
ケンスの変更が楽になり、かつ異なる処理工程を持つ処
理ロットの混入も可能となる。

【００４８】（Ｅ）　　本実施例のインタロック制御方
法では、マガジンを投入した処理装置の処理の完了を待
って取りだし動作及び次の処理装置への投入を行うため
、実際の処理ロット（マガジン）が無い場合は、各ホイ
スト１１，１２は、休止状態（待機状態）となり、無駄
な動作がなくなる。

【００４９】（Ｆ）　　異なる処理工程を持つ処理ロッ
トも、各ホイスト１１，１２の衝突を考慮する必要がな
いため、メカを停止せずに混入可能となり、メカを停止
せずにすむので、生産効率が向上する。

【００５０】図４は、本発明の第２の実施例を示すイン
タロック制御方法を適用する機械系であるウエハキャリ
ア移載機の模式的な構成図であり、図５は、図４のウエ
ハキャリア移載機の一構成例を示す外観図である。

【００５１】このウエハキャリア移載機は、リフタ本体
２０１に上下方向へ移動自在に取り付けられたリフタ２
０２と、リフタ２０２の軌道中に設けられ、リフタ２０
２と交差してリフタ２０２からのマガジンを載置する荷
台２０３と、荷台２０３の側方に配置された荷台２０４
〜２０６等と、荷台２０３〜２０６の配列方向に並列に
配置されたレール上に該配列方向に移動自在に取り付け
られたシフタ本体２０７と、シフタ本体２０７に取り付
けられ、シリンダによって上下し、各荷台２０３〜２０
５等のマガジンをその上に載置するシフタ２０８とを有
している。

【００５２】ここで、荷台２０５については、他の荷台
と形状が異なり、荷台２０５上にシフタ２０８によって
置かれたマガジンをシフタ２０８と反対側に配置された
外部のハンドリングアーム２０９によって他へ移動でき
るようにするために、両方向からアーム、シフタがそれ
ぞれマガジンの授受を行えるような構造となっている。 さらに、リフタ本体２０１の上部付近には、例えば処理
ブロック間のマガジンの搬送を行い、他からのマガジン
をリフタ２０２に受け渡すための有軌道式搬送装置２１
０が設けられている。なお、図５中、有軌道式搬送装置
２１０ではマガジン２１１が搬送中であり、リフタ２０
２にはマガジン２１２が、荷台２０６上にはマガジン２
１３が、ハンドリングアーム２０９上にはマガジン２１
４がそれぞれ載置された状態となっている。

【００５３】以上のようなウエハキャリア移載機では、
例えばシフタ２０８がシリンダの働きによりマガジン２
１３を荷台２０６からすくい上げ、そのままマガジン２
１３を保持した状態で、横方向にシフトしてリフタ２０
２の軌道上を通過して搬送し、そのマガジン２１３を荷
台２０５に置くような搬送動作を行うが、その場合、リ
フタ２０２の軌道上の位置には、少なくともリフタ２１
２とシフタ２０８の干渉位置Ｂが設定される。そのため
、この干渉位置Ｂで衝突が起きる危険があり、その衝突
を回避するために本実施例のインタロック制御方法が適
用される。

【００５４】本実施例のインタロック制御方法では、装
置構成が移動中のみ干渉点を持つ機構であるため、第１
の実施例において、ホイスト１１，１２に代えて、リフ
タ２０２とシフタ２０８を設定し、かつ図１のフローチ
ャートにおいて、ステップ１０３の部分の判断を、シフ
タ２０８からみた場合には、リフタ２０２が干渉位置Ｂ
を通過中かどうかの判断となり、リフタ２０２からみた
場合には、シフタ２０８が干渉位置Ｂを通過中かどうか
の判断となる。

【００５５】その際の判断の方法として、例えばリフタ
２０２がマガジン２１２を荷台２０３へ搬送する場合、
シフタ２０８の移動情報を排他制御に基づき参照し、シ
フタ２０８の移動情報における移動位置Ｎｏ．と現在位
置Ｎｏ．とが異なる時、シフタ２０８が移動中と判断し
、移動する範囲内に干渉位置Ｂが含まれているかをチェ
ックし、含まれている場合、インタロック処理を施して
シフタ２０８が干渉位置Ｂを通過するのを待ち、通過し
た後に、第１の実施例の場合とほぼ同様にしてインタロ
ックを解除して、リフタ２０２を移動させて干渉位置Ｂ
を介して例えば図５中に点線で示すような位置（または
それより下の位置）へリフタ２０２を移動させる。これ
により、マガジン２１２は荷台２０３に載置される。 よって、この時、例えばシフタ２０８がシリンダの働き
により位置を下げて荷台２０３のフレームの下方をくぐ
って荷台２０３の下にシフトし、その後シリンダの働き
により荷台２０３上のマガジン２０２を持ち上げ、さら
に水平方向にシフトすれば、例えばマガジン２０２を荷
台２０５へ搬送できる。この時、例えばリフタ２０２が
次のマガジン２１１の搬送要求を受けると、再びシフタ
２０８の移動情報に対して排他制御に基づきアクセスし
て、シフタ２０８が移動中かを判断し、かつ移動範囲に
干渉位置Ｂを含んでいるかを判断した後、干渉のおそれ
がない場合には、リフタ２０２は上昇して次のマガジン
２１１の受取り動作へ移行する。

【００５６】本実施例では、第１の実施例と同様の効果
が得られ、互いに干渉するリフタ２０２とシフタ２０８
の衝突を有効にかつ効率的に回避することができる。

【００５７】なお、本発明は、図示の実施例に限定され
ず、種々の変形が可能である。その変形例としては、例
えば次のようなものがある。

【００５８】（Ｉ）　　第１、第２の実施例では、例え
ば干渉位置Ａ，Ｂを、異なる設定にすることが可能であ
る。例えば、第１の実施例では、マガジンの受け渡し箇
所を兼務した処理装置５の前のところを干渉位置Ａに設
定したが、例えばホイスト１１，１２の搬送範囲が、あ
る領域（例えば複数の処理装置）にわたって重複してい
るような場合には、その重複箇所を干渉位置に設定でき
るし、第２の実施例においても、例えばリフタ２０２の
停止位置の設定等によっては複数の干渉位置を設定する
などできる。

【００５９】（ＩＩ）　　　上記実施例では、搬送装置
として基本的に直線移動するホイスト１１，１２及びリ
フタ２０２、シフタ２０８を取り上げたが、これは一例
であり、また搬送装置の数等についても変更が可能であ
る。 また、複数の搬送装置が、特定の組み合わせで特定の干
渉位置を持っているような場合、即ち例えば第１の実施
例において第３のホイストを導入して例えばホイスト１
２と一部搬送範囲を重複させかつそこに干渉位置を新た
に１つ付加したような場合でも本発明の適用が可能であ
る。

【００６０】（ＩＩＩ）　　上記実施例の搬送装置は、
マガジンを運ぶものとしたが、これは搬送物一般を設定
できる。さらに、本発明は、搬送装置と他の装置、例え
ば処理装置等と一体化された搬送装置に対しても適用が
可能である。例えば搬送物を移動させながら、その搬送
物に各種処理を施していくような装置構成にも適用が可
能である。

【００６１】（ＩＶ）　　上記第１、第２の実施例のイ
ンタロック制御方法は、一例を概略的に示したものであ
り、本発明の趣旨に反しない範囲で様々な変形が可能で
ある。

【００６２】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、マルチタスク構成で動作し互いに干渉する機構を
有する搬送装置を制御するにあたり、前記搬送前干渉判
断処理では、互いに干渉する搬送装置の位置情報を共有
資源とし、その共有資源を排他制御に基づき参照するこ
とで、インタロック処理またはその解除を行なうように
したので、簡単な装置構成で、かつ複雑なダイヤグラム
等も要することなく、的確に搬送装置間の衝突を回避す
ることができる。また、前記搬送開始処理、搬送終了処
理、退避移動判断処理、及び退避移動処理により、前記
共有資源に対して排他制御に基づきアクセスし、その共
有資源に対して常に各搬送装置の最新の位置情報、移動
情報を登録し、更新するようにしたので、前記搬送前干
渉判断処理のための最適な判断材料を前記共有資源に提
供する。さらに、前記退避移動判断処理及び退避移動処
理では、干渉位置での搬送装置の定常的な停止を回避す
る効果をもたらす。

【００６３】特に、本発明のインタロック制御方法を、
例えば搬送物に対して他の処理装置により処理を施すよ
うなシステムに適用したような場合に、予め干渉位置を
共有資源として登録しておき、干渉する場合にインタロ
ックが施され、干渉の危険が回避された時点でインタロ
ックが解除されるため、衝突の危険を考慮せずに、各処
理ロットの処理シーケンスを組むことができるので、プ
ログラミングの工数軽減の効果が期待できる。

【００６４】また、処理ロットの処理シーケンスは、動
作するメカのダイヤグラムを作成するのではなく、各処
理ロットがどこの処理装置でどの位の時間処理されるか
をインプットすることにより時間の加減算で組むことが
でき、そのため、処理シーケンスの変更が容易になり、
かつ異なる処理工程を持つ処理ロットの混入も可能とな
る。しかも、その混入は、メカを停止させずに行え、作
業効率の向上を期待できる。

【００６５】さらには、処理ロットを投入した処理装置
の処理の完了を待って取りだし動作及び次の処理工程へ
の投入を行うため、実際の処理ロットが無い場合に、各
搬送装置は待機状態となり、無駄な動作がなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示すインタロック制御
方法のフローチャートである。

【図２】第１の実施例のインタロック制御方法を実現す
る機械系及び制御系の構成ブロック図である。

【図３】図２の機械系の搬送装置及び処理装置部分の概
略的な外観図である。

【図４】本発明の第２の実施例を示すインタロック制御
方法を適用する機械系であるウエハキャリア移載機の模
式的な構成図である。

【図５】図４のウエハキャリア移載機の一構成例を示す
外観図である。

【符号の説明】

１１，１２　　ホイスト ２０２　　リフタ ２０８　　シフタ Ａ，Ｂ　　干渉位置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　マルチタスク構成で動作する複数の搬
   送装置のうち待機状態にある所定の搬送装置が搬送のた
   めの移動動作を行う際、その移動動作が前記所定の搬送
   装置と他の搬送装置とを干渉させる場合に、前記所定の
   搬送装置に対してインタロック処理を行い、前記所定の
   搬送装置と他の搬送装置との衝突を回避するインタロッ
   ク制御方法において、前記待機状態にある所定の搬送装
   置が特定の搬送先位置への搬送要求を受けると、各搬送
   装置の停止位置、搬送先位置、移動先位置及び所定の干
   渉位置のメモリ情報を共有資源として該共有資源を排他
   制御に基づき占有し、前記特定の搬送先位置が、前記所
   定の干渉位置において前記所定の搬送装置が他の搬送装
   置と干渉する位置か否かを前記共有資源を参照して判断
   し、干渉する位置の場合には前記共有資源をいったん解
   放した後、所定のタイミングで再び前記判断を行う搬送
   前干渉判断処理と、前記搬送前干渉判断処理で前記特定
   の搬送先位置が前記干渉する位置でないと判断した場合
   に、前記占有した共有資源に前記特定の搬送先位置を登
   録した後、前記所定の搬送装置に前記特定の搬送先位置
   への移動動作を開始させかつ前記共有資源を解放する搬
   送開始処理と、前記搬送開始処理後に、前記所定の搬送
   装置が移動動作を終了したかを該所定の搬送装置の移動
   動作検出用センサの検出結果に基づき確認し、終了した
   場合に前記共有資源を排他制御に基づき占有し、前記特
   定の搬送先位置を前記所定の搬送装置の停止位置として
   前記共有資源に登録する搬送終了処理と、前記搬送終了
   処理後に、前記占有した共有資源を参照して前記所定の
   搬送装置の停止位置が前記所定の干渉位置か否かを判断
   し、前記所定の干渉位置でない場合には前記共有資源を
   解放しかつ前記待機状態へ移行して処理を完了し、前記
   所定の干渉位置である場合には前記共有資源に所定の移
   動先位置を登録した後、前記所定の搬送装置に前記所定
   の移動先位置への移動動作を開始させかつ前記共有資源
   を解放する退避移動判断処理と、前記退避移動判断処理
   後に、前記所定の搬送装置が移動動作を終了したかを該
   所定の搬送装置の移動動作検出用センサの検出結果に基
   づき確認し、終了した場合に前記共有資源を排他制御に
   基づき占有して、前記所定の移動先位置を前記所定の搬
   送装置の新たな停止位置として更新し、前記共有資源を
   解放しかつ前記待機状態に移行して処理を完了する退避
   移動処理とを、順に実行することを特徴とするインタロ
   ック制御方法。