JPH1129205A - 自走式搬送設備およびその制御方法 - Google Patents
自走式搬送設備およびその制御方法Info
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- JPH1129205A JPH1129205A JP9186634A JP18663497A JPH1129205A JP H1129205 A JPH1129205 A JP H1129205A JP 9186634 A JP9186634 A JP 9186634A JP 18663497 A JP18663497 A JP 18663497A JP H1129205 A JPH1129205 A JP H1129205A
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の自走式搬送車による搬送作業を行う自
走式搬送設備において、自走式搬送車が競合を回避する
ための無駄な走行を無くす。 【解決手段】 入口ポートと出口ポートで構成される第
一および第二のポートを有した収納装置２と、搬送され
てきた被搬送物１に所定の処理を施す処理装置１０と、
搬送作業指示に従って収納装置１と処理装置１０の間を
搬送経路を経由して被搬送物を一方向に搬送する複数の
自走式搬送車５とを備え、この搬送経路は収納装置２と
処理装置１０の間を結ぶ閉ループ状の主線経路６ａと、
少なくとも第一および第二のポートの前の間の経路を主
線経路６ａと共有すると共に、共有された経路以外の部
分に自走式搬送車５の退避位置を設けたループ状の副線
経路６ｂとで構成する。
走式搬送設備において、自走式搬送車が競合を回避する
ための無駄な走行を無くす。 【解決手段】 入口ポートと出口ポートで構成される第
一および第二のポートを有した収納装置２と、搬送され
てきた被搬送物１に所定の処理を施す処理装置１０と、
搬送作業指示に従って収納装置１と処理装置１０の間を
搬送経路を経由して被搬送物を一方向に搬送する複数の
自走式搬送車５とを備え、この搬送経路は収納装置２と
処理装置１０の間を結ぶ閉ループ状の主線経路６ａと、
少なくとも第一および第二のポートの前の間の経路を主
線経路６ａと共有すると共に、共有された経路以外の部
分に自走式搬送車５の退避位置を設けたループ状の副線
経路６ｂとで構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば半導体工
場等において被搬送物（例えばウェハカセット）が収納
されている収納装置（ストッカ）と被搬送物に所定の処
理を施す処理装置との間に敷設されたループ状の搬送経
路を複数の自走式搬送車を用いて被搬送物を搬送する自
走式搬送設備およびこの設備の制御方法に関するもので
ある。
場等において被搬送物（例えばウェハカセット）が収納
されている収納装置（ストッカ）と被搬送物に所定の処
理を施す処理装置との間に敷設されたループ状の搬送経
路を複数の自走式搬送車を用いて被搬送物を搬送する自
走式搬送設備およびこの設備の制御方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】図７は、例えば半導体工場における従来
の自走式搬送設備の要部を示した斜視図である。図にお
いて、１は半導体ウェハを複数枚収納可能なウェハカセ
ット（以下、単にカセットと称す）、２はカセット１の
収納場所であるストッカ（収納装置とも称す）であり、
ストッカ（収納装置）２はレール上を走行しカセット１
を搬送するストッカ内ロボット２ａとその両側に配置さ
れたカセット１収納用の複数の棚を備えている。また、
３は工場内に複数個存在するストッカ２間のカセット１
の搬送を行うストッカ間搬送機であり、図に示すように
３−１と３−２の２台存在する。
の自走式搬送設備の要部を示した斜視図である。図にお
いて、１は半導体ウェハを複数枚収納可能なウェハカセ
ット（以下、単にカセットと称す）、２はカセット１の
収納場所であるストッカ（収納装置とも称す）であり、
ストッカ（収納装置）２はレール上を走行しカセット１
を搬送するストッカ内ロボット２ａとその両側に配置さ
れたカセット１収納用の複数の棚を備えている。また、
３は工場内に複数個存在するストッカ２間のカセット１
の搬送を行うストッカ間搬送機であり、図に示すように
３−１と３−２の２台存在する。
【０００３】４はストッカ間搬送機３とストッカ２の間
でカセット１の受け渡しを行う移載機であり、４−１と
４−２の２台存在する。５はアーム２０とカセット置き
場２１を備え、ストッカ２と後述する処理装置間でのカ
セット１の搬送を行うアーム付きの自走式搬送車（ Aut
omated GuidedVehicle 、以下、ＡＧＶと略す）、６は
ＡＧＶ５が走行できる搬送経路である。 ７はＡＧＶ５
とストッカ２間のカセット１の受け渡し場所であるポー
トであって、ＡＧＶ５がカセット１を取る出口ポート７
ａとＡＧＶ５がカセット１を置く入口ポート７ｂを備
え、図に示すように出口ポート７ａは７ａ−１と７ａ−
２の２つ存在する。尚、入口ポート７ｂも７ｂ−１と７
ｂ−２の２つ存在している。また、８はＡＧＶ５がポー
ト７とカセット１の受け渡しをするときに停止する停止
位置であり、８ａはＡＧＶ５が出口ポート７ａと入口ポ
ート７ｂの両方とカセット１の受け渡しをする時のスト
ッカ前停止位置であり、出口ポート７ａ−１および入口
ポート７ｂ−１に対応して８ａ−１、出口ポート７ａ−
２および入口ポート７ｂ−２に対応して８ａ−２の２つ
の停止位置が存在する。
でカセット１の受け渡しを行う移載機であり、４−１と
４−２の２台存在する。５はアーム２０とカセット置き
場２１を備え、ストッカ２と後述する処理装置間でのカ
セット１の搬送を行うアーム付きの自走式搬送車（ Aut
omated GuidedVehicle 、以下、ＡＧＶと略す）、６は
ＡＧＶ５が走行できる搬送経路である。 ７はＡＧＶ５
とストッカ２間のカセット１の受け渡し場所であるポー
トであって、ＡＧＶ５がカセット１を取る出口ポート７
ａとＡＧＶ５がカセット１を置く入口ポート７ｂを備
え、図に示すように出口ポート７ａは７ａ−１と７ａ−
２の２つ存在する。尚、入口ポート７ｂも７ｂ−１と７
ｂ−２の２つ存在している。また、８はＡＧＶ５がポー
ト７とカセット１の受け渡しをするときに停止する停止
位置であり、８ａはＡＧＶ５が出口ポート７ａと入口ポ
ート７ｂの両方とカセット１の受け渡しをする時のスト
ッカ前停止位置であり、出口ポート７ａ−１および入口
ポート７ｂ−１に対応して８ａ−１、出口ポート７ａ−
２および入口ポート７ｂ−２に対応して８ａ−２の２つ
の停止位置が存在する。
【０００４】図８は、従来の自走式搬送設備の全体構成
の概略を表した平面図である。図において、２はストッ
カ、３−１および３−２は走行中心を一点鎖線で表した
ストッカ間搬送機、４−１および４−２は移載機、５−
１、５−２および５−３はＡＧＶ、６は閉ループ状の搬
送経路、７ａ−１および７ａ−２は出口ポート、７ｂ−
１および７ｂ−２は入口ポート、８ａ−１および８ａ−
２はストッカ前停止位置である。９はＡＧＶ５が停止す
る事のできる退避位置であり、９−１から９−５の５カ
所存在する。１０は、搬送経路６上を通るＡＧＶ５によ
りカセット１を供給されそのウェハに処理を施す処理装
置であり１０−１から１０−４の４台存在する。尚、Ａ
ＧＶ５は搬送経路６において、例えば時計回りの一方向
にしか走行できない。
の概略を表した平面図である。図において、２はストッ
カ、３−１および３−２は走行中心を一点鎖線で表した
ストッカ間搬送機、４−１および４−２は移載機、５−
１、５−２および５−３はＡＧＶ、６は閉ループ状の搬
送経路、７ａ−１および７ａ−２は出口ポート、７ｂ−
１および７ｂ−２は入口ポート、８ａ−１および８ａ−
２はストッカ前停止位置である。９はＡＧＶ５が停止す
る事のできる退避位置であり、９−１から９−５の５カ
所存在する。１０は、搬送経路６上を通るＡＧＶ５によ
りカセット１を供給されそのウェハに処理を施す処理装
置であり１０−１から１０−４の４台存在する。尚、Ａ
ＧＶ５は搬送経路６において、例えば時計回りの一方向
にしか走行できない。
【０００５】１０ａはＡＧＶ５が搬送してきたカセット
１を処理装置１０上に置くために設けられたカセットス
テージであり、各処理装置１０−１から１０−４に対応
して１０ａ−１から１０ａ−４の４カ所存在する。８ｂ
は停止位置８の一種であって、ＡＧＶ５がカセットステ
ージ１０ａとカセット１の受け渡しをするときに停止す
る処理装置前停止位置であり、各カセットステージ１０
ａ−１から１０ａ−４に対応して８ｂ−１から８ｂ−４
の４カ所存在する。以下、これら各機器の複数のＡＧＶ
５の競合を考えない単純な動作について説明する。
１を処理装置１０上に置くために設けられたカセットス
テージであり、各処理装置１０−１から１０−４に対応
して１０ａ−１から１０ａ−４の４カ所存在する。８ｂ
は停止位置８の一種であって、ＡＧＶ５がカセットステ
ージ１０ａとカセット１の受け渡しをするときに停止す
る処理装置前停止位置であり、各カセットステージ１０
ａ−１から１０ａ−４に対応して８ｂ−１から８ｂ−４
の４カ所存在する。以下、これら各機器の複数のＡＧＶ
５の競合を考えない単純な動作について説明する。
【０００６】各カセット１のプロセスフロー上での進捗
状況を把握し各処理装置１０を制御し、カセット１のス
トッカ間搬送の制御等を行う上位計算機（図示せず）の
指示に基づいて、カセット１はストッカ間搬送機３によ
り所定のストッカ２に運ばれ、移載機４にてストッカ２
上に移されストッカ内ロボット２ａによりストッカ２内
の棚に収納される。その後、処理装置１０から処理カセ
ット要求コマンドを受信した上位計算機は、カセット１
をストッカ２内から出口ポート７ａへと搬送する作業指
示をストッカ２を管理するストッカコントローラ（図示
せず）に送信し、カセット１はストッカコントローラの
制御の下、ストッカ２内から出口ポート７ａへとストッ
カ内ロボット２ａにより運ばれる。
状況を把握し各処理装置１０を制御し、カセット１のス
トッカ間搬送の制御等を行う上位計算機（図示せず）の
指示に基づいて、カセット１はストッカ間搬送機３によ
り所定のストッカ２に運ばれ、移載機４にてストッカ２
上に移されストッカ内ロボット２ａによりストッカ２内
の棚に収納される。その後、処理装置１０から処理カセ
ット要求コマンドを受信した上位計算機は、カセット１
をストッカ２内から出口ポート７ａへと搬送する作業指
示をストッカ２を管理するストッカコントローラ（図示
せず）に送信し、カセット１はストッカコントローラの
制御の下、ストッカ２内から出口ポート７ａへとストッ
カ内ロボット２ａにより運ばれる。
【０００７】カセット１が出口ポート７ａに運ばれた
後、ストッカコントローラは搬送完了報告を上位計算機
に送信し、この搬送完了報告を受信した上位計算機はＡ
ＧＶ５を管理するＡＧＶコントローラ（図示せず）に出
口ポート７ａから処理装置１０へとカセット１を搬送す
る搬送作業指示を送信し、この搬送作業指示を受けたＡ
ＧＶコントローラは自身の管理するＡＧＶ５の一台にこ
のカセット１の搬送作業を割り当て、作業を割り当てら
れたＡＧＶ５は搬送経路６上を通って移動し、自身の持
つセンサーによって位置を検出することによりポート７
前のストッカ前停止位置８ａに正確に停止し、ＡＧＶ５
の持つアームにより出口ポート７ａからＡＧＶ５自身の
もつカセット置き場に取り込み、処理装置１０へと移動
し処理装置前停止位置８ｂに停止し、カセット１を自身
の持つアームにより処理装置１０上のカセットステージ
１０ａ上に置く。
後、ストッカコントローラは搬送完了報告を上位計算機
に送信し、この搬送完了報告を受信した上位計算機はＡ
ＧＶ５を管理するＡＧＶコントローラ（図示せず）に出
口ポート７ａから処理装置１０へとカセット１を搬送す
る搬送作業指示を送信し、この搬送作業指示を受けたＡ
ＧＶコントローラは自身の管理するＡＧＶ５の一台にこ
のカセット１の搬送作業を割り当て、作業を割り当てら
れたＡＧＶ５は搬送経路６上を通って移動し、自身の持
つセンサーによって位置を検出することによりポート７
前のストッカ前停止位置８ａに正確に停止し、ＡＧＶ５
の持つアームにより出口ポート７ａからＡＧＶ５自身の
もつカセット置き場に取り込み、処理装置１０へと移動
し処理装置前停止位置８ｂに停止し、カセット１を自身
の持つアームにより処理装置１０上のカセットステージ
１０ａ上に置く。
【０００８】ＡＧＶコントローラはＡＧＶ５がカセット
１を処理装置１０上のカセットステージ１０ａに置いて
後搬送作業完了報告を上位計算機に送信し、これを受信
した上位計算機は処理装置１０に対して処理開始指示を
送る。処理装置１０は処理が終了すると処理終了コマン
ドを上位計算機に送信し、これを受信した上位計算機は
処理装置１０から入口ポート７ｂへとカセット１を搬送
する搬送作業指示をＡＧＶコントローラに送信し、ＡＧ
Ｖコントローラは自身の管理するＡＧＶ５のうちの一台
にこの搬送作業を割り当て、作業を割り当てられたＡＧ
Ｖ５は、搬送経路６上を通り処理装置１０の前に移動し
処理装置前停止位置８ｂに停止し、処理装置１０での処
理を終えたカセット１を自身の持つアームにより処理装
置１０上のカセット置き場１０ａから自身の持つカセッ
ト置き場に取り込み、搬送経路６上を通りポート前のス
トッカ前停止位置８ａに移動し自身の持つアームにより
カセット１を入口ポート７ｂに置く。
１を処理装置１０上のカセットステージ１０ａに置いて
後搬送作業完了報告を上位計算機に送信し、これを受信
した上位計算機は処理装置１０に対して処理開始指示を
送る。処理装置１０は処理が終了すると処理終了コマン
ドを上位計算機に送信し、これを受信した上位計算機は
処理装置１０から入口ポート７ｂへとカセット１を搬送
する搬送作業指示をＡＧＶコントローラに送信し、ＡＧ
Ｖコントローラは自身の管理するＡＧＶ５のうちの一台
にこの搬送作業を割り当て、作業を割り当てられたＡＧ
Ｖ５は、搬送経路６上を通り処理装置１０の前に移動し
処理装置前停止位置８ｂに停止し、処理装置１０での処
理を終えたカセット１を自身の持つアームにより処理装
置１０上のカセット置き場１０ａから自身の持つカセッ
ト置き場に取り込み、搬送経路６上を通りポート前のス
トッカ前停止位置８ａに移動し自身の持つアームにより
カセット１を入口ポート７ｂに置く。
【０００９】入口ポート７ｂにＡＧＶ５がカセットを置
き終えると、ＡＧＶコントローラは上位計算機に搬送作
業完了報告を送信し、これを受信した上位計算機はカセ
ット１を入口ポート７ｂからストッカ２内に収納する搬
送作業指示をストッカコントローラに送信し、これを受
信したストッカコントローラはカセット１をストッカ内
ロボット２ａにより入口ポート７ｂからストッカ２内に
収納し、カセット１がストッカ２内に収納されるとスト
ッカコントローラは上位計算機に搬送作業完了報告を送
信する。この搬送作業完了報告を受信した上位計算機は
カセット１をストッカ間搬送機を用いて次ストッカ２へ
と搬送させる。
き終えると、ＡＧＶコントローラは上位計算機に搬送作
業完了報告を送信し、これを受信した上位計算機はカセ
ット１を入口ポート７ｂからストッカ２内に収納する搬
送作業指示をストッカコントローラに送信し、これを受
信したストッカコントローラはカセット１をストッカ内
ロボット２ａにより入口ポート７ｂからストッカ２内に
収納し、カセット１がストッカ２内に収納されるとスト
ッカコントローラは上位計算機に搬送作業完了報告を送
信する。この搬送作業完了報告を受信した上位計算機は
カセット１をストッカ間搬送機を用いて次ストッカ２へ
と搬送させる。
【００１０】このようにＡＧＶ５が行う搬送作業におい
て搬送元がストッカ２の出口ポート７ａとなるものが半
数、搬送先がストッカ２の入口ポート７ｂとなるものが
半数あり、ストッカ２前は搬送作業の集中する場所であ
る。従って、処理装置１０よりカセット１を運んできた
ＡＧＶは作業完了後そこで待機し、新たなストッカから
処理装置１０への搬送作業が割り付けられるのが搬送作
業上効率が良い。しかし、ストッカ前停止位置８ａにて
待機状態にあるＡＧＶ５は搬送経路６を塞ぎ、他の搬送
作業を持つＡＧＶ５の走行の障害となる。
て搬送元がストッカ２の出口ポート７ａとなるものが半
数、搬送先がストッカ２の入口ポート７ｂとなるものが
半数あり、ストッカ２前は搬送作業の集中する場所であ
る。従って、処理装置１０よりカセット１を運んできた
ＡＧＶは作業完了後そこで待機し、新たなストッカから
処理装置１０への搬送作業が割り付けられるのが搬送作
業上効率が良い。しかし、ストッカ前停止位置８ａにて
待機状態にあるＡＧＶ５は搬送経路６を塞ぎ、他の搬送
作業を持つＡＧＶ５の走行の障害となる。
【００１１】次に、複数のＡＧＶ５がストッカ２前にて
競合する場合について、その動作を簡単に説明する。上
位計算機はＡＧＶコントローラに対して作業実行中にも
係わらず他の作業指示を出すことがある。例えば、第一
のＡＧＶ５が退避位置９−２、第二のＡＧＶ５が処理装
置前停止位置８ｂ−２に停止しているとする。この時
に、ＡＧＶコントローラが上位計算機より処理装置１０
−１上のカセットステージ１０ａ−１から入口ポート７
ｂ−１への搬送作業指示を受けると、ＡＧＶコントロー
ラはその搬送作業を第一のＡＧＶ５に割り当て、割り当
てられた第一のＡＧＶ５は、処理装置１０−１前に移動
し処理装置前停止位置８ｂ−１に停止しカセットステー
ジ１０ａ−１からカセット１を取り込み、搬送先である
入口ポート７ｂ−１前に移動しストッカ前停止位置８ａ
−１に停止し、カセット１を入口ポート７ｂ−１に置き
終えると、その搬送作業終了後新たな搬送作業を割り当
てられない場合はストッカ前停止位置８ａ−１に留ま
る。
競合する場合について、その動作を簡単に説明する。上
位計算機はＡＧＶコントローラに対して作業実行中にも
係わらず他の作業指示を出すことがある。例えば、第一
のＡＧＶ５が退避位置９−２、第二のＡＧＶ５が処理装
置前停止位置８ｂ−２に停止しているとする。この時
に、ＡＧＶコントローラが上位計算機より処理装置１０
−１上のカセットステージ１０ａ−１から入口ポート７
ｂ−１への搬送作業指示を受けると、ＡＧＶコントロー
ラはその搬送作業を第一のＡＧＶ５に割り当て、割り当
てられた第一のＡＧＶ５は、処理装置１０−１前に移動
し処理装置前停止位置８ｂ−１に停止しカセットステー
ジ１０ａ−１からカセット１を取り込み、搬送先である
入口ポート７ｂ−１前に移動しストッカ前停止位置８ａ
−１に停止し、カセット１を入口ポート７ｂ−１に置き
終えると、その搬送作業終了後新たな搬送作業を割り当
てられない場合はストッカ前停止位置８ａ−１に留ま
る。
【００１２】これに平行して出口ポート７ａ−１から処
理装置１０−１への搬送作業指示を上位計算機より受信
したＡＧＶコントローラは、この搬送作業を第一のＡＧ
Ｖ５は上記作業中のため、異なる第二のＡＧＶ５に割り
当て、作業を割り当てられた第二のＡＧＶ５は搬送元で
あるストッカ前停止位置８ａ−１に移動しようとする
が、第一のＡＧＶ５が前述の先行する作業のためストッ
カ前停止位置８ａ−１にて作業を行っている、または作
業完了後の待機状態にあり、ストッカ前停止位置８ａ−
１を占有している。そこでＡＧＶコントローラは第一の
ＡＧＶ５を作業中であれば作業完了後ストッカ前停止位
置８ａ−１から第二のＡＧＶ５と競合しないストッカ前
停止位置８ａ−２に移動させ退避させる。
理装置１０−１への搬送作業指示を上位計算機より受信
したＡＧＶコントローラは、この搬送作業を第一のＡＧ
Ｖ５は上記作業中のため、異なる第二のＡＧＶ５に割り
当て、作業を割り当てられた第二のＡＧＶ５は搬送元で
あるストッカ前停止位置８ａ−１に移動しようとする
が、第一のＡＧＶ５が前述の先行する作業のためストッ
カ前停止位置８ａ−１にて作業を行っている、または作
業完了後の待機状態にあり、ストッカ前停止位置８ａ−
１を占有している。そこでＡＧＶコントローラは第一の
ＡＧＶ５を作業中であれば作業完了後ストッカ前停止位
置８ａ−１から第二のＡＧＶ５と競合しないストッカ前
停止位置８ａ−２に移動させ退避させる。
【００１３】第一のＡＧＶ５の退避作業を完了させると
ＡＧＶコントローラは第二のＡＧＶ５をストッカ前停止
位置８ａ−１に移動させ、第二のＡＧＶ５は出口ポート
７ａ−１よりカセット１をとりこみ、処理装置１０−１
へと移動しようとするが、ストッカ前停止位置８ａ−２
に停止している第一のＡＧＶが第二のＡＧＶ５がストッ
カ前停止位置８ａ−１から処理装置１０−１前の処理装
置前停止位置８ｂ−１へと移動する走行経路上に存在す
ることになるので、ＡＧＶコントローラは第一のＡＧＶ
５を第二のＡＧＶ５とは競合しない退避位置９−１に移
動させ退避させる。第一のＡＧＶ５の退避作業を完了さ
せるとＡＧＶコントローラは第二のＡＧＶ５を処理装置
前停止位置８ｂ−１に移動させ、第二のＡＧＶ５は処理
装置１０−１上のカセットステージ１０ａ−１にカセッ
ト１を置き、搬送作業を終える。
ＡＧＶコントローラは第二のＡＧＶ５をストッカ前停止
位置８ａ−１に移動させ、第二のＡＧＶ５は出口ポート
７ａ−１よりカセット１をとりこみ、処理装置１０−１
へと移動しようとするが、ストッカ前停止位置８ａ−２
に停止している第一のＡＧＶが第二のＡＧＶ５がストッ
カ前停止位置８ａ−１から処理装置１０−１前の処理装
置前停止位置８ｂ−１へと移動する走行経路上に存在す
ることになるので、ＡＧＶコントローラは第一のＡＧＶ
５を第二のＡＧＶ５とは競合しない退避位置９−１に移
動させ退避させる。第一のＡＧＶ５の退避作業を完了さ
せるとＡＧＶコントローラは第二のＡＧＶ５を処理装置
前停止位置８ｂ−１に移動させ、第二のＡＧＶ５は処理
装置１０−１上のカセットステージ１０ａ−１にカセッ
ト１を置き、搬送作業を終える。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の自走
式搬送設備においては以下のような問題点がある。 （１）第一のＡＧＶが第二のＡＧＶによって停止位置８
ａ−２に退避していると、新たに停止位置８ａ−１への
移動を必要とする出口ポート７ａ−１から処理装置１０
への搬送作業が第一のＡＧＶ５に割り付けられると、第
一のＡＧＶ５は走行方向が一方向に固定されているため
搬送経路６上を一周してこなければならず、その搬送作
業における待機位置から搬送先である処理装置への移動
作業に時間がかかり、結果的に搬送作業時間が大幅にか
かってしまう。 （２）複数のＡＧＶ５がストッカ２前にて競合するよう
な動作における第一のＡＧＶ５は、出口ポート７ａ−１
から処理装置１０−１への搬送作業を行う第二のＡＧＶ
との競合をさけるためにストッカ前停止位置８ａ−１か
ら退避位置９−１まで搬送経路６を搬送作業なしにほぼ
一周無駄に移動することになる。 この発明は、上述のような問題点を解決するためになさ
れたもので、複数のＡＧＶの搬送作業において、ＡＧＶ
が互いに競合する場合にＡＧＶの無駄な走行を無くすこ
とによって被搬送物の搬送時間の短縮が図れる共に、作
業性の良い自走式搬送設備とその制御方法を提供するこ
とを目的とする。
式搬送設備においては以下のような問題点がある。 （１）第一のＡＧＶが第二のＡＧＶによって停止位置８
ａ−２に退避していると、新たに停止位置８ａ−１への
移動を必要とする出口ポート７ａ−１から処理装置１０
への搬送作業が第一のＡＧＶ５に割り付けられると、第
一のＡＧＶ５は走行方向が一方向に固定されているため
搬送経路６上を一周してこなければならず、その搬送作
業における待機位置から搬送先である処理装置への移動
作業に時間がかかり、結果的に搬送作業時間が大幅にか
かってしまう。 （２）複数のＡＧＶ５がストッカ２前にて競合するよう
な動作における第一のＡＧＶ５は、出口ポート７ａ−１
から処理装置１０−１への搬送作業を行う第二のＡＧＶ
との競合をさけるためにストッカ前停止位置８ａ−１か
ら退避位置９−１まで搬送経路６を搬送作業なしにほぼ
一周無駄に移動することになる。 この発明は、上述のような問題点を解決するためになさ
れたもので、複数のＡＧＶの搬送作業において、ＡＧＶ
が互いに競合する場合にＡＧＶの無駄な走行を無くすこ
とによって被搬送物の搬送時間の短縮が図れる共に、作
業性の良い自走式搬送設備とその制御方法を提供するこ
とを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】この発明に係る自走式搬
送設備は、搬送されてきた被搬送物を取り込む入口ポー
トと収納されていた被搬送物を取り出す出口ポートで構
成される第一および第二のポートを有した収納装置と、
収納装置から搬送されてきた被搬送物に所定の処理を施
す処理装置と、搬送作業指示の内容に従って収納装置と
処理装置の間を搬送経路を経由して被搬送物を一方向に
搬送する複数の自走式搬送車とを備え、搬送経路は、収
納装置と処理装置の間を結ぶ閉ループ状の主線経路と、
少なくとも第一のポートの前から第二のポートの前の間
の経路を主線経路と共有すると共に、この共有された経
路以外の部分に自走式搬送車の退避位置を設けたループ
状の副線経路とで構成されたものである。
送設備は、搬送されてきた被搬送物を取り込む入口ポー
トと収納されていた被搬送物を取り出す出口ポートで構
成される第一および第二のポートを有した収納装置と、
収納装置から搬送されてきた被搬送物に所定の処理を施
す処理装置と、搬送作業指示の内容に従って収納装置と
処理装置の間を搬送経路を経由して被搬送物を一方向に
搬送する複数の自走式搬送車とを備え、搬送経路は、収
納装置と処理装置の間を結ぶ閉ループ状の主線経路と、
少なくとも第一のポートの前から第二のポートの前の間
の経路を主線経路と共有すると共に、この共有された経
路以外の部分に自走式搬送車の退避位置を設けたループ
状の副線経路とで構成されたものである。
【００１６】また、この発明に係る自走式搬送設備は、
搬送されてきた被搬送物を取り込む入口ポートと収納さ
れていた被搬送物を取り出す出口ポートで構成される第
一および第二のポートを有した収納装置と、収納装置か
ら搬送されてきた被搬送物に所定の処理を施す処理装置
と、搬送作業指示の内容に従って収納装置と処理装置の
間を搬送経路を経由して被搬送物を一方向に搬送する複
数の自走式搬送車とを備え、搬送経路は、収納装置と処
理装置の間を結ぶ閉ループ状の主線経路と、少なくとも
第一のポートの前から第二のポートの前で主線経路と平
行に配置される共に、第一および第二のポートに対応す
る位置に自走式搬送車の退避位置を設けた退避経路と、
第一および第二のポートの位置に対応して主線経路と退
避経路を結ぶ支線経路とで構成されたものである。
搬送されてきた被搬送物を取り込む入口ポートと収納さ
れていた被搬送物を取り出す出口ポートで構成される第
一および第二のポートを有した収納装置と、収納装置か
ら搬送されてきた被搬送物に所定の処理を施す処理装置
と、搬送作業指示の内容に従って収納装置と処理装置の
間を搬送経路を経由して被搬送物を一方向に搬送する複
数の自走式搬送車とを備え、搬送経路は、収納装置と処
理装置の間を結ぶ閉ループ状の主線経路と、少なくとも
第一のポートの前から第二のポートの前で主線経路と平
行に配置される共に、第一および第二のポートに対応す
る位置に自走式搬送車の退避位置を設けた退避経路と、
第一および第二のポートの位置に対応して主線経路と退
避経路を結ぶ支線経路とで構成されたものである。
【００１７】また、この発明に係る自走式搬送設備の搬
送経路は、主線経路および副線経路の他に、第一のポー
トの前から第二のポートの前で主線経路と平行に配置さ
れる共に、上記第一および第二のポートに対応する位置
に自走式搬送車の退避位置を設けた退避経路と、上記第
一および第二のポートに対応する位置に上記主線経路と
上記退避経路を結ぶ支線経路とを備えたものである。
送経路は、主線経路および副線経路の他に、第一のポー
トの前から第二のポートの前で主線経路と平行に配置さ
れる共に、上記第一および第二のポートに対応する位置
に自走式搬送車の退避位置を設けた退避経路と、上記第
一および第二のポートに対応する位置に上記主線経路と
上記退避経路を結ぶ支線経路とを備えたものである。
【００１８】また、この発明に係る自走式搬送設備は、
収納装置の第一のポートは入口ポートのみで構成され、
第二のポートは出口ポートのみで構成されると共に、自
走式搬送車の走行方向に従って上記第一のポート、上記
第二のポートの順に配置されたものである。
収納装置の第一のポートは入口ポートのみで構成され、
第二のポートは出口ポートのみで構成されると共に、自
走式搬送車の走行方向に従って上記第一のポート、上記
第二のポートの順に配置されたものである。
【００１９】また、この発明に係る自走式搬送設備の制
御方法は、請求項１に記載の自走式搬送設備の制御方法
であって、収納装置前の主線経路上において第一の自走
式搬送車が第二の自走式搬送車と競合する場合あるいは
第一の自走式搬送車から被搬送物の上記収納装置への取
り込み作業が完了した場合に、第一の自走式搬送車を自
動的に副線経路に退避するように制御することを特徴と
するものである。
御方法は、請求項１に記載の自走式搬送設備の制御方法
であって、収納装置前の主線経路上において第一の自走
式搬送車が第二の自走式搬送車と競合する場合あるいは
第一の自走式搬送車から被搬送物の上記収納装置への取
り込み作業が完了した場合に、第一の自走式搬送車を自
動的に副線経路に退避するように制御することを特徴と
するものである。
【００２０】また、この発明に係る自走式搬送設備の制
御方法は、請求項２に記載の自走式搬送設備の制御方法
であって、収納装置前の主線経路上において第一の自走
式搬送車が第二の自走式搬送車と競合する場合あるいは
第一の自走式搬送車から被搬送物の収納装置への取り込
み作業が完了した場合に、第一の自走式搬送車を自動的
に支線経路を経由して退避経路に退避するように制御す
ることを特徴とするものである。
御方法は、請求項２に記載の自走式搬送設備の制御方法
であって、収納装置前の主線経路上において第一の自走
式搬送車が第二の自走式搬送車と競合する場合あるいは
第一の自走式搬送車から被搬送物の収納装置への取り込
み作業が完了した場合に、第一の自走式搬送車を自動的
に支線経路を経由して退避経路に退避するように制御す
ることを特徴とするものである。
【００２１】また、この発明に係る自走式搬送設備の制
御方法は、請求項３に記載の自走式搬送設備の制御方法
であって、収納装置前の主線経路上において第一の自走
式搬送車が第二の自走式搬送車と競合する場合あるいは
上記第一の自走式搬送車から被搬送物の収納装置への取
り込み作業が完了した場合に、まず上記第一の自走式搬
送車を自動的に支線経路を経由して退避経路に退避する
ように制御し、これが不可能な場合には自動的に副線経
路に退避するように制御ることを特徴とする自走式搬送
設備の制御方法。
御方法は、請求項３に記載の自走式搬送設備の制御方法
であって、収納装置前の主線経路上において第一の自走
式搬送車が第二の自走式搬送車と競合する場合あるいは
上記第一の自走式搬送車から被搬送物の収納装置への取
り込み作業が完了した場合に、まず上記第一の自走式搬
送車を自動的に支線経路を経由して退避経路に退避する
ように制御し、これが不可能な場合には自動的に副線経
路に退避するように制御ることを特徴とする自走式搬送
設備の制御方法。
【００２２】
実施の形態１．以下、本発明の一実施の形態を図面に基
づいて説明する。尚、図において従来と同一符号は従来
のものと同一あるいは相当のものを表す。図１は、実施
の形態１による自走式搬送設備の構成を示した平面図で
ある。図において、２はストッカ（収納装置）、３−１
および３−２はストッカ間搬送機、４−１および４−２
は移載機、５−１、５−２および５−３はＡＧＶ（自走
式搬送車）、７ａ−１および７ａ−２は出口ポート、７
ｂ−１および７ｂ−２は入口ポート、８ａ−１および８
ａ−２はストッカ前停止位置、８ｂ−１から８ｂ−４は
処理装置前停止位置、１０−１から１０−４は処理装
置、１０ａ−１から１０ａ−４は処理装置１０上のカセ
ットステージであであり、前述した従来設備のものと同
一である。９ａは後述する主線経路６ａ上に設置された
ＡＧＶ５の停止することのできる主線経路上退避位置で
あり９ａ−１から９ａ−５の５カ所存在する。
づいて説明する。尚、図において従来と同一符号は従来
のものと同一あるいは相当のものを表す。図１は、実施
の形態１による自走式搬送設備の構成を示した平面図で
ある。図において、２はストッカ（収納装置）、３−１
および３−２はストッカ間搬送機、４−１および４−２
は移載機、５−１、５−２および５−３はＡＧＶ（自走
式搬送車）、７ａ−１および７ａ−２は出口ポート、７
ｂ−１および７ｂ−２は入口ポート、８ａ−１および８
ａ−２はストッカ前停止位置、８ｂ−１から８ｂ−４は
処理装置前停止位置、１０−１から１０−４は処理装
置、１０ａ−１から１０ａ−４は処理装置１０上のカセ
ットステージであであり、前述した従来設備のものと同
一である。９ａは後述する主線経路６ａ上に設置された
ＡＧＶ５の停止することのできる主線経路上退避位置で
あり９ａ−１から９ａ−５の５カ所存在する。
【００２３】６ａは主線経路であって、ストッカ２と処
理装置１０を結ぶストッカ前停止位置８ａ−１、８ａ−
２、主線経路上退避位置９ａ−５、処理装置前停止位置
８ｂ−３、主線経路上退避位置９ａ−４、処理装置前停
止位置８ｂ−４、主線経路上退避位置９ａ−３、処理装
置前停止位置８ｂ−２、主線経路上退避位置９ａ−２、
処理装置前停止位置８ｂ−１および主線経路上退避位置
９ａ−１を通る時計回りにのみ走行可能なループ状の経
路である。また、６ｂは副線経路であって、主線経路６
ａとはストッカ２の前にて搬送経路を一部共有する時計
回りに走行可能なループ状の経路であり、副線経路６ｂ
は主線経路６ａとは共有しない部分の搬送経路に設置さ
れた退避位置９の一種である副線経路上退避位置９ｂを
通ると共に、ストッカ前停止位置８ａ−１、８ａ−２を
通る。
理装置１０を結ぶストッカ前停止位置８ａ−１、８ａ−
２、主線経路上退避位置９ａ−５、処理装置前停止位置
８ｂ−３、主線経路上退避位置９ａ−４、処理装置前停
止位置８ｂ−４、主線経路上退避位置９ａ−３、処理装
置前停止位置８ｂ−２、主線経路上退避位置９ａ−２、
処理装置前停止位置８ｂ−１および主線経路上退避位置
９ａ−１を通る時計回りにのみ走行可能なループ状の経
路である。また、６ｂは副線経路であって、主線経路６
ａとはストッカ２の前にて搬送経路を一部共有する時計
回りに走行可能なループ状の経路であり、副線経路６ｂ
は主線経路６ａとは共有しない部分の搬送経路に設置さ
れた退避位置９の一種である副線経路上退避位置９ｂを
通ると共に、ストッカ前停止位置８ａ−１、８ａ−２を
通る。
【００２４】このような副線経路６ｂを有した搬送経路
とすることにより、搬送作業を実行せず待機中の第一の
ＡＧＶ５は副線経路６ｂ上の主線経路６ａとは搬送経路
を共有しない部分に設置された副線経路上退避位置９ｂ
に停止することができ、ここに停止していれば、搬送作
業を行う第二のＡＧＶ５が搬送作業を行うときに通る主
線経路６ａ上に存在しないので、第一のＡＧＶ５は第二
のＡＧＶ５と競合するためにＡＧＶコントローラによっ
て退避させられることがない。また、副線経路６ｂはス
トッカ２の近辺に短い距離の小ループ状に設置されてお
り、搬送作業を実行せずストッカ前停止位置８ａ−２に
て待機中のＡＧＶ５がストッカの出口ポート７ａ−１か
ら処理装置１０への搬送作業を行うためにストッカ前停
止位置８ａ−１に移動する際には副線経路６ｂを一周し
て移動することができ、長い距離を有した主線経路６ａ
を一周してくる必要はない。
とすることにより、搬送作業を実行せず待機中の第一の
ＡＧＶ５は副線経路６ｂ上の主線経路６ａとは搬送経路
を共有しない部分に設置された副線経路上退避位置９ｂ
に停止することができ、ここに停止していれば、搬送作
業を行う第二のＡＧＶ５が搬送作業を行うときに通る主
線経路６ａ上に存在しないので、第一のＡＧＶ５は第二
のＡＧＶ５と競合するためにＡＧＶコントローラによっ
て退避させられることがない。また、副線経路６ｂはス
トッカ２の近辺に短い距離の小ループ状に設置されてお
り、搬送作業を実行せずストッカ前停止位置８ａ−２に
て待機中のＡＧＶ５がストッカの出口ポート７ａ−１か
ら処理装置１０への搬送作業を行うためにストッカ前停
止位置８ａ−１に移動する際には副線経路６ｂを一周し
て移動することができ、長い距離を有した主線経路６ａ
を一周してくる必要はない。
【００２５】次に、本実施の形態による自走式搬送設備
による搬送作業の具体的な制御方法について説明する。
いま、例えば第一のＡＧＶ５が主線経路上退避位置９ａ
−２、第二のＡＧＶ５が処理装置前停止位置８ｂ−２に
停止しているとする。この時に、ＡＧＶコントローラが
上位計算機より処理装置１０−１上のカセットステージ
１０ａ−１から入口ポート７ｂ−１への搬送作業指示を
受けると、ＡＧＶコントローラはその搬送作業を第一の
ＡＧＶ５に割り当て、割り当てられた第一のＡＧＶ５
は、処理装置１０−１前に移動して処理装置前停止位置
８ｂ−１に停止し、カセットステージ１０ａ−１からカ
セット１を取り込み、搬送先である入口ポート７ｂ−１
前に移動してストッカ前停止位置８ａ−１に停止し、カ
セット１を入口ポート７ｂ−１に置き終えると、その搬
送作業終了後に新たな搬送作業を割り当てられない場合
は停止位置８ａ−１に留まる。
による搬送作業の具体的な制御方法について説明する。
いま、例えば第一のＡＧＶ５が主線経路上退避位置９ａ
−２、第二のＡＧＶ５が処理装置前停止位置８ｂ−２に
停止しているとする。この時に、ＡＧＶコントローラが
上位計算機より処理装置１０−１上のカセットステージ
１０ａ−１から入口ポート７ｂ−１への搬送作業指示を
受けると、ＡＧＶコントローラはその搬送作業を第一の
ＡＧＶ５に割り当て、割り当てられた第一のＡＧＶ５
は、処理装置１０−１前に移動して処理装置前停止位置
８ｂ−１に停止し、カセットステージ１０ａ−１からカ
セット１を取り込み、搬送先である入口ポート７ｂ−１
前に移動してストッカ前停止位置８ａ−１に停止し、カ
セット１を入口ポート７ｂ−１に置き終えると、その搬
送作業終了後に新たな搬送作業を割り当てられない場合
は停止位置８ａ−１に留まる。
【００２６】これに平行して出口ポート７ａ−１から処
理装置１０−１への搬送作業指示を上位計算機より受信
したＡＧＶコントローラは、第一のＡＧＶ５は上記作業
中のため、この搬送作業を第一のＡＧＶ５とは異なる第
二のＡＧＶ５に割り当て、作業を割り当てられた第二の
ＡＧＶ５は搬送元であるストッカ前停止位置８ａ−１に
移動しようとするが、第一のＡＧＶ５が前述の先行する
作業のためストッカ前停止位置８ａ−１にて作業を行っ
ているまたは作業完了後の待機状態にあり、ストッカ前
停止位置８ａ−１を占有している。
理装置１０−１への搬送作業指示を上位計算機より受信
したＡＧＶコントローラは、第一のＡＧＶ５は上記作業
中のため、この搬送作業を第一のＡＧＶ５とは異なる第
二のＡＧＶ５に割り当て、作業を割り当てられた第二の
ＡＧＶ５は搬送元であるストッカ前停止位置８ａ−１に
移動しようとするが、第一のＡＧＶ５が前述の先行する
作業のためストッカ前停止位置８ａ−１にて作業を行っ
ているまたは作業完了後の待機状態にあり、ストッカ前
停止位置８ａ−１を占有している。
【００２７】そこでＡＧＶコントローラは第一のＡＧＶ
５をストッカ前停止位置８ａ−１から第二のＡＧＶ５と
競合しないストッカ前停止位置８ａ−２に移動させ退避
させる。第一のＡＧＶ５の退避作業を完了させるとＡＧ
Ｖコントローラは第二のＡＧＶ５を停止位置８ａ−１に
移動させ、第二のＡＧＶ５は出口ポート７ａ−１よりカ
セット１をとりこみ、処理装置１０−１へと移動しよう
とするが、ストッカ前停止位置８ａ−２に停止している
第一のＡＧＶが第二のＡＧＶ５がストッカ前停止位置８
ａ−１から処理装置１０−１前の処理装置前停止位置８
ｂ−１へと移動する走行経路上に存在することになるの
で、ＡＧＶコントローラは第一のＡＧＶ５を第二のＡＧ
Ｖ５とは競合しない位置に退避させる必要がある。
５をストッカ前停止位置８ａ−１から第二のＡＧＶ５と
競合しないストッカ前停止位置８ａ−２に移動させ退避
させる。第一のＡＧＶ５の退避作業を完了させるとＡＧ
Ｖコントローラは第二のＡＧＶ５を停止位置８ａ−１に
移動させ、第二のＡＧＶ５は出口ポート７ａ−１よりカ
セット１をとりこみ、処理装置１０−１へと移動しよう
とするが、ストッカ前停止位置８ａ−２に停止している
第一のＡＧＶが第二のＡＧＶ５がストッカ前停止位置８
ａ−１から処理装置１０−１前の処理装置前停止位置８
ｂ−１へと移動する走行経路上に存在することになるの
で、ＡＧＶコントローラは第一のＡＧＶ５を第二のＡＧ
Ｖ５とは競合しない位置に退避させる必要がある。
【００２８】そのため、ＡＧＶコントローラは第一のＡ
ＧＶ５を副線経路６ｂ上の副線経路上退避位置９ｂに退
避させる。第一のＡＧＶ５の退避作業を完了させるとＡ
ＧＶコントローラは第二のＡＧＶ５を処理装置前停止位
置８ｂ−１に移動させ、第二のＡＧＶ５は処理装置１０
−１上のカセットステージ１０ａ−１にカセット１を置
き、搬送作業を終える。また上記動作において、第一の
ＡＧＶ５は、処理装置１０−１前に移動し処理装置前停
止位置８ｂ−１に停止しカセットステージ１０ａ−１か
らカセット１を取り込み、搬送先である入口ポート７ｂ
−１前に移動しストッカ前停止位置８ａ−１に停止し、
カセット１を入口ポート７ｂ−１に置き終えると、その
搬送作業終了後新たな搬送作業を割り当てられない場合
は自発的に副線経路上退避位置９ｂに移動してもよい。
ＧＶ５を副線経路６ｂ上の副線経路上退避位置９ｂに退
避させる。第一のＡＧＶ５の退避作業を完了させるとＡ
ＧＶコントローラは第二のＡＧＶ５を処理装置前停止位
置８ｂ−１に移動させ、第二のＡＧＶ５は処理装置１０
−１上のカセットステージ１０ａ−１にカセット１を置
き、搬送作業を終える。また上記動作において、第一の
ＡＧＶ５は、処理装置１０−１前に移動し処理装置前停
止位置８ｂ−１に停止しカセットステージ１０ａ−１か
らカセット１を取り込み、搬送先である入口ポート７ｂ
−１前に移動しストッカ前停止位置８ａ−１に停止し、
カセット１を入口ポート７ｂ−１に置き終えると、その
搬送作業終了後新たな搬送作業を割り当てられない場合
は自発的に副線経路上退避位置９ｂに移動してもよい。
【００２９】このように制御することにより、上記動作
中入口ポート７ｂ−１への搬送作業を終えストッカ前停
止位置８ａ−１に停止し待機している第一のＡＧＶ５
が、出口ポート７ａ−１から処理装置１０−１への搬送
作業を行う第二のＡＧＶ５と競合しないように、ＡＧＶ
コントローラによりストッカ前停止位置８ａ−２に移動
した時に出口ポート７ａ−１からの搬送作業を行う場
合、第一のＡＧＶ５は短い搬送距離の副線経路６ｂ上を
通り、副線経路上退避位置９ｂを経て、ストッカ前停止
位置８ａ−１に移動することができるので、その移動距
離は少なくなり、速やかに搬送作業に着手できる。ま
た、上記動作において副線経路上退避位置９ｂに移動し
退避した第一のＡＧＶ５は、副線経路上退避位置９ｂに
て停止していれば、第二のＡＧＶ５と競合することがな
く、他のＡＧＶ５により退避させられ無駄な走行をする
ことがなくなる。以上のように、本実施の形態による自
走式搬送設備あるいはその制御方法によれば、収納装置
前において複数の自走式搬送車が競合するのを回避する
ために、主線経路を自走式搬送車がほぼ一周するような
無駄な走行を無くすことが可能となり、搬送時間の短縮
と作業性の改善が図れるという効果がある。
中入口ポート７ｂ−１への搬送作業を終えストッカ前停
止位置８ａ−１に停止し待機している第一のＡＧＶ５
が、出口ポート７ａ−１から処理装置１０−１への搬送
作業を行う第二のＡＧＶ５と競合しないように、ＡＧＶ
コントローラによりストッカ前停止位置８ａ−２に移動
した時に出口ポート７ａ−１からの搬送作業を行う場
合、第一のＡＧＶ５は短い搬送距離の副線経路６ｂ上を
通り、副線経路上退避位置９ｂを経て、ストッカ前停止
位置８ａ−１に移動することができるので、その移動距
離は少なくなり、速やかに搬送作業に着手できる。ま
た、上記動作において副線経路上退避位置９ｂに移動し
退避した第一のＡＧＶ５は、副線経路上退避位置９ｂに
て停止していれば、第二のＡＧＶ５と競合することがな
く、他のＡＧＶ５により退避させられ無駄な走行をする
ことがなくなる。以上のように、本実施の形態による自
走式搬送設備あるいはその制御方法によれば、収納装置
前において複数の自走式搬送車が競合するのを回避する
ために、主線経路を自走式搬送車がほぼ一周するような
無駄な走行を無くすことが可能となり、搬送時間の短縮
と作業性の改善が図れるという効果がある。
【００３０】実施の形態２．実施の形態１では搬送作業
を実行せずストッカ前停止位置８ａ−２にて待機中のＡ
ＧＶ５がストッカの出口ポート７ａ−１から処理装置１
０への搬送作業を行うためにストッカ前停止位置８ａ−
１に移動する際には副線経路６ｂを一周して移動するこ
とができ、従来の搬送設備に比べると大幅に改善されて
いるが、副線経路６ｂを一周するのに時間がかかる。そ
こで本実施の形態は、このような問題を改善するもので
ある。
を実行せずストッカ前停止位置８ａ−２にて待機中のＡ
ＧＶ５がストッカの出口ポート７ａ−１から処理装置１
０への搬送作業を行うためにストッカ前停止位置８ａ−
１に移動する際には副線経路６ｂを一周して移動するこ
とができ、従来の搬送設備に比べると大幅に改善されて
いるが、副線経路６ｂを一周するのに時間がかかる。そ
こで本実施の形態は、このような問題を改善するもので
ある。
【００３１】図２は、実施の形態２による自走式搬送設
備の構成を示した平面図である。図において、２はスト
ッカ（収納装置）、３−１および３−２はストッカ間搬
送機、４−１および４−２は移載機、５−１５−２およ
び５−３はＡＧＶ（自走式搬送車）、６ａは時計回りに
のみ走行可能なループ状の主線経路、６ｂは時計回りに
のみ走行可能なループ状の副線経路、７ａ−１および７
ａ−２は出口ポート、７ｂ−１および７ｂ−２は入口ポ
ート、８ｂ−１から８ｂ−４は処理装置前停止位置、９
ａは主線経路上退避位置であって、９ａ−１から９ａ−
５の５カ所存在している。また、９ｂは副線経路上退避
位置、１０−１から１０−４は処理装置、１０ａ−１か
ら１０ａ−４は処理装置１０上のカセットステージであ
り、これらは実施の形態１と基本的には同一の構成であ
る。但し、実施の形態１では出口ポート７ａと入口ポー
ト７ｂが一組になって設置されていたが、本実施の形態
では入口ポート７ｂ−１と７ｂ−２が一組となつて入口
ポート７ｂが構成され、また、出口ポート７ａ−１およ
び７ａ−２が一組となって出口ポート７ａが構成されて
おり、ＡＧＶ５がストッカ前にて入口ポート７ｂ、出口
ポート７ａの順番で通過するように設置されている。
備の構成を示した平面図である。図において、２はスト
ッカ（収納装置）、３−１および３−２はストッカ間搬
送機、４−１および４−２は移載機、５−１５−２およ
び５−３はＡＧＶ（自走式搬送車）、６ａは時計回りに
のみ走行可能なループ状の主線経路、６ｂは時計回りに
のみ走行可能なループ状の副線経路、７ａ−１および７
ａ−２は出口ポート、７ｂ−１および７ｂ−２は入口ポ
ート、８ｂ−１から８ｂ−４は処理装置前停止位置、９
ａは主線経路上退避位置であって、９ａ−１から９ａ−
５の５カ所存在している。また、９ｂは副線経路上退避
位置、１０−１から１０−４は処理装置、１０ａ−１か
ら１０ａ−４は処理装置１０上のカセットステージであ
り、これらは実施の形態１と基本的には同一の構成であ
る。但し、実施の形態１では出口ポート７ａと入口ポー
ト７ｂが一組になって設置されていたが、本実施の形態
では入口ポート７ｂ−１と７ｂ−２が一組となつて入口
ポート７ｂが構成され、また、出口ポート７ａ−１およ
び７ａ−２が一組となって出口ポート７ａが構成されて
おり、ＡＧＶ５がストッカ前にて入口ポート７ｂ、出口
ポート７ａの順番で通過するように設置されている。
【００３２】８ｃは停止位置８の一種であり出口ポート
７ａからＡＧＶ５がカセット１を取り込むときに停止す
る出口ポート前停止位置であり、８ｄは停止位置８の一
種であり入口ポート７ｂにＡＧＶ５がカセット１を載置
するときに停止する入口ポート前停止位置である。スト
ッカ２の入口ポート７ｂおよび出口ポート７ａをこのよ
うな配置構成にし、それぞれのポートの前の搬送経路に
入口ポート前停止位置８ｄおよび出口ポート前停止位置
８ｃを設けることにより、ストッカ２前の出口ポート前
停止位置８ｃに停止しているＡＧＶ５はすべての出口ポ
ート７ａから処理装置１０への搬送作業を直ちに実行で
きる。以上のように、本実施の形態による自走式搬送設
備あるいはその制御方法によれば、入口ポートへの搬送
作業を終え、入口ポート前停止位置に停止し待機してい
る自走式搬送車が出口ポートからの搬送作業を行う場合
には、入口ポートから出口ポートまでの短い距離を移動
するだけで次の搬送作業に着手でき、搬送作業時におけ
る自走式搬送車の無駄な走行を少なくすることが可能と
なり、搬送時間の短縮が更に図れる。
７ａからＡＧＶ５がカセット１を取り込むときに停止す
る出口ポート前停止位置であり、８ｄは停止位置８の一
種であり入口ポート７ｂにＡＧＶ５がカセット１を載置
するときに停止する入口ポート前停止位置である。スト
ッカ２の入口ポート７ｂおよび出口ポート７ａをこのよ
うな配置構成にし、それぞれのポートの前の搬送経路に
入口ポート前停止位置８ｄおよび出口ポート前停止位置
８ｃを設けることにより、ストッカ２前の出口ポート前
停止位置８ｃに停止しているＡＧＶ５はすべての出口ポ
ート７ａから処理装置１０への搬送作業を直ちに実行で
きる。以上のように、本実施の形態による自走式搬送設
備あるいはその制御方法によれば、入口ポートへの搬送
作業を終え、入口ポート前停止位置に停止し待機してい
る自走式搬送車が出口ポートからの搬送作業を行う場合
には、入口ポートから出口ポートまでの短い距離を移動
するだけで次の搬送作業に着手でき、搬送作業時におけ
る自走式搬送車の無駄な走行を少なくすることが可能と
なり、搬送時間の短縮が更に図れる。
【００３３】実施の形態３．図３は、実施の形態３によ
る自走式搬送設備の構成を示した平面図である。図にお
いて、２はストッカ（収納装置）、３−１および３−２
はストッカ間搬送機、４−１および４−２は移載機、５
−１、５−２および５−３はＡＧＶ（自走式搬送車）、
７ａ−１および７ａ−２は出口ポート、７ｂ−１および
７ｂ−２は入口ポート、８ａ−１および８ａ−２はスト
ッカ前停止位置、８ｂ−１から８ｂ−４は処理装置前停
止位置、１０−１から１０−４は処理装置、１０ａ−１
から１０ａ−４は処理装置１０上のカセットステージで
あり、これらは前述の実施の形態１あるいは２によるも
のと同一である。９ａは、後述する主線経路上に設置さ
れたＡＧＶ５の停止することのできる主線経路上退避位
置であり９ａ−１から９ａ−５の５カ所存在する。
る自走式搬送設備の構成を示した平面図である。図にお
いて、２はストッカ（収納装置）、３−１および３−２
はストッカ間搬送機、４−１および４−２は移載機、５
−１、５−２および５−３はＡＧＶ（自走式搬送車）、
７ａ−１および７ａ−２は出口ポート、７ｂ−１および
７ｂ−２は入口ポート、８ａ−１および８ａ−２はスト
ッカ前停止位置、８ｂ−１から８ｂ−４は処理装置前停
止位置、１０−１から１０−４は処理装置、１０ａ−１
から１０ａ−４は処理装置１０上のカセットステージで
あり、これらは前述の実施の形態１あるいは２によるも
のと同一である。９ａは、後述する主線経路上に設置さ
れたＡＧＶ５の停止することのできる主線経路上退避位
置であり９ａ−１から９ａ−５の５カ所存在する。
【００３４】６ａはストッカ２と処理装置１０を結ぶス
トッカ前停止位置８ａ−１、８ａ−２、主線経路上退避
位置９ａ−５、処理装置前停止位置８ｂ−３、主線経路
上退避位置９ａ−４、処理装置前停止位置８ｂ−４、主
線経路上退避位置９ａ−３、処理装置前停止位置８ｂ−
２、主線経路上退避位置９ａ−２、処理装置前停止位置
８ｂ−１および主線経路上退避位置９ａ−１を通る時計
回りにのみ走行可能なループ状の主線経路である。ま
た、６ｃは主線経路６ａのストッカ前部分にストッカと
は反対の位置関係で主線経路６ａと平行に配置され、か
つ主線経路６ａと同方向にのみＡＧＶ５の走行が可能な
退避経路、６ｄは主線経路６ａと退避経路６ｃを複数の
箇所で結びつける支線経路であり、６ｄ−１と６ｄ−２
の２本存在する。さらに、９ｃは退避位置９の一種であ
る退避経路６ｃ上に設置された退避経路上退避位置であ
り、支線経路６ｄ−１と退避経路６ｃの交点に退避経路
上退避位置９ｃー１が、また支線経路６ｄ−２と退避経
路６ｃの交点に退避経路上退避位置９ｃー２が設置され
ている。
トッカ前停止位置８ａ−１、８ａ−２、主線経路上退避
位置９ａ−５、処理装置前停止位置８ｂ−３、主線経路
上退避位置９ａ−４、処理装置前停止位置８ｂ−４、主
線経路上退避位置９ａ−３、処理装置前停止位置８ｂ−
２、主線経路上退避位置９ａ−２、処理装置前停止位置
８ｂ−１および主線経路上退避位置９ａ−１を通る時計
回りにのみ走行可能なループ状の主線経路である。ま
た、６ｃは主線経路６ａのストッカ前部分にストッカと
は反対の位置関係で主線経路６ａと平行に配置され、か
つ主線経路６ａと同方向にのみＡＧＶ５の走行が可能な
退避経路、６ｄは主線経路６ａと退避経路６ｃを複数の
箇所で結びつける支線経路であり、６ｄ−１と６ｄ−２
の２本存在する。さらに、９ｃは退避位置９の一種であ
る退避経路６ｃ上に設置された退避経路上退避位置であ
り、支線経路６ｄ−１と退避経路６ｃの交点に退避経路
上退避位置９ｃー１が、また支線経路６ｄ−２と退避経
路６ｃの交点に退避経路上退避位置９ｃー２が設置され
ている。
【００３５】このような搬送経路にすることにより、搬
送作業を実行せず待機中の第一のＡＧＶ５は退避経路６
ｃ上の退避経路上退避位置９ｃー１あるいは９ｃー２に
停止することができ、ここに停止していれば、搬送作業
を行う第二のＡＧＶ５が搬送作業を行うときに通る主線
経路６ａ上に存在しないので、第二のＡＧＶ５と競合す
るためにＡＧＶコントローラによって退避させられるこ
とがなく、ＡＧＶ５は無駄に走行することがない。
送作業を実行せず待機中の第一のＡＧＶ５は退避経路６
ｃ上の退避経路上退避位置９ｃー１あるいは９ｃー２に
停止することができ、ここに停止していれば、搬送作業
を行う第二のＡＧＶ５が搬送作業を行うときに通る主線
経路６ａ上に存在しないので、第二のＡＧＶ５と競合す
るためにＡＧＶコントローラによって退避させられるこ
とがなく、ＡＧＶ５は無駄に走行することがない。
【００３６】次に、本実施の形態による自走式搬送設備
による搬送作業の具体的な制御方法について説明する。
いま、例えば第一のＡＧＶ５が主線経路上退避位置９ａ
−２、第二のＡＧＶ５が処理装置前停止位置８ｂ−２に
停止しているとする。この時に、ＡＧＶコントローラが
上位計算機より処理装置１０−１上のカセットステージ
１０ａ−１から入口ポート７ｂ−１への搬送作業指示を
受けると、ＡＧＶコントローラはその搬送作業を第一の
ＡＧＶ５に割り当て、割り当てられた第一のＡＧＶ５
は、処理装置１０−１前に移動し処理装置前停止位置８
ｂ−１に停止しカセットステージ１０ａ−１からカセッ
ト１を取り込み、搬送先である入口ポート７ｂ−１前に
移動しストッカ前停止位置８ａ−１に停止し、カセット
１を入口ポート７ｂ−１に置き終えると、その搬送作業
終了後新たな搬送作業を割り当てられない場合は停止位
置８ａ−１に留まる。
による搬送作業の具体的な制御方法について説明する。
いま、例えば第一のＡＧＶ５が主線経路上退避位置９ａ
−２、第二のＡＧＶ５が処理装置前停止位置８ｂ−２に
停止しているとする。この時に、ＡＧＶコントローラが
上位計算機より処理装置１０−１上のカセットステージ
１０ａ−１から入口ポート７ｂ−１への搬送作業指示を
受けると、ＡＧＶコントローラはその搬送作業を第一の
ＡＧＶ５に割り当て、割り当てられた第一のＡＧＶ５
は、処理装置１０−１前に移動し処理装置前停止位置８
ｂ−１に停止しカセットステージ１０ａ−１からカセッ
ト１を取り込み、搬送先である入口ポート７ｂ−１前に
移動しストッカ前停止位置８ａ−１に停止し、カセット
１を入口ポート７ｂ−１に置き終えると、その搬送作業
終了後新たな搬送作業を割り当てられない場合は停止位
置８ａ−１に留まる。
【００３７】これに平行して出口ポート７ａ−１から処
理装置１０−１への搬送作業指示を上位計算機より受信
したＡＧＶコントローラは、第一のＡＧＶ５は上記作業
中のため、この搬送作業を異なる第二のＡＧＶ５に割り
当て、作業を割り当てられた第二のＡＧＶ５は搬送元で
あるストッカ前停止位置８ａ−１に移動するが、第一の
ＡＧＶ５が前述の先行する作業のためストッカ前停止位
置８ａ−１にて作業を行っている、または作業完了後の
待機状態にあり、ストッカ前停止位置８ａ−１を占有し
ている。そこでＡＧＶコントローラは第一のＡＧＶ５を
ストッカ前停止位置８ａ−１から第二のＡＧＶ５と競合
しない退避経路上退避位置９ｃー１に移動させ退避させ
る。第一のＡＧＶ５の退避作業を完了させるとＡＧＶコ
ントローラは第二のＡＧＶ５を停止位置８ａ−１に移動
させ、第二のＡＧＶ５は出口ポート７ａ−１よりカセッ
ト１をとりこみ、処理装置１０−１前の処理装置前停止
位置８ｂ−１に移動し、処理装置１０−１上のカセット
ステージ１０ａ−１にカセット１を置き、搬送作業を終
える。
理装置１０−１への搬送作業指示を上位計算機より受信
したＡＧＶコントローラは、第一のＡＧＶ５は上記作業
中のため、この搬送作業を異なる第二のＡＧＶ５に割り
当て、作業を割り当てられた第二のＡＧＶ５は搬送元で
あるストッカ前停止位置８ａ−１に移動するが、第一の
ＡＧＶ５が前述の先行する作業のためストッカ前停止位
置８ａ−１にて作業を行っている、または作業完了後の
待機状態にあり、ストッカ前停止位置８ａ−１を占有し
ている。そこでＡＧＶコントローラは第一のＡＧＶ５を
ストッカ前停止位置８ａ−１から第二のＡＧＶ５と競合
しない退避経路上退避位置９ｃー１に移動させ退避させ
る。第一のＡＧＶ５の退避作業を完了させるとＡＧＶコ
ントローラは第二のＡＧＶ５を停止位置８ａ−１に移動
させ、第二のＡＧＶ５は出口ポート７ａ−１よりカセッ
ト１をとりこみ、処理装置１０−１前の処理装置前停止
位置８ｂ−１に移動し、処理装置１０−１上のカセット
ステージ１０ａ−１にカセット１を置き、搬送作業を終
える。
【００３８】また上記動作において、第一のＡＧＶ５
は、処理装置１０−１前に移動し処理装置前停止位置８
ｂ−１に停止してカセットステージ１０ａ−１からカセ
ット１を取り込み、搬送先である入口ポート７ｂ−１前
に移動してストッカ前停止位置８ａ−１に停止し、カセ
ット１を入口ポート７ｂ−１に置き終えると、その搬送
作業終了後に新たな搬送作業が割り当てられない場合に
は自発的に退避経路上退避位置９ｃー１に移動してもよ
い。このように制御することにより、上記動作中に入口
ポート７ｂ−１への搬送作業を終えストッカ前停止位置
８ａ−１に停止し待機している第一のＡＧＶ５が、出口
ポート７ａ−１から処理装置１０−１への搬送作業を行
う第二のＡＧＶ５と競合しないように、ＡＧＶコントロ
ーラの指示により支線経路６ｄ―１を経由して退避経路
上退避位置９ｃー１へと移動した後に改めて出口ポート
７ａ−１からの搬送作業を行う場合には、第一のＡＧＶ
５は再度支線経路６ｄ―１を通り、ストッカ前停止位置
８ａ−１に移動することができ、その移動距離が少なく
速やかに搬送作業に着手できる。
は、処理装置１０−１前に移動し処理装置前停止位置８
ｂ−１に停止してカセットステージ１０ａ−１からカセ
ット１を取り込み、搬送先である入口ポート７ｂ−１前
に移動してストッカ前停止位置８ａ−１に停止し、カセ
ット１を入口ポート７ｂ−１に置き終えると、その搬送
作業終了後に新たな搬送作業が割り当てられない場合に
は自発的に退避経路上退避位置９ｃー１に移動してもよ
い。このように制御することにより、上記動作中に入口
ポート７ｂ−１への搬送作業を終えストッカ前停止位置
８ａ−１に停止し待機している第一のＡＧＶ５が、出口
ポート７ａ−１から処理装置１０−１への搬送作業を行
う第二のＡＧＶ５と競合しないように、ＡＧＶコントロ
ーラの指示により支線経路６ｄ―１を経由して退避経路
上退避位置９ｃー１へと移動した後に改めて出口ポート
７ａ−１からの搬送作業を行う場合には、第一のＡＧＶ
５は再度支線経路６ｄ―１を通り、ストッカ前停止位置
８ａ−１に移動することができ、その移動距離が少なく
速やかに搬送作業に着手できる。
【００３９】また、上記動作において退避経路上退避位
置９ｃー１あるいは９ｃー２に移動して退避した第一の
ＡＧＶ５は、退避経路上退避位置９ｃー１あるいは９ｃ
ー２にて停止しておれば、第二のＡＧＶ５と競合するこ
とがなく、他のＡＧＶ５により退避させられ無駄な走行
をすることがなくなる。以上のように、本実施の形態に
よる自走式搬送設備あるいはその制御方法によれば、入
口ポートへの搬送作業を終え収納装置前に停止し待機し
ている第一の自走式搬送車が出口ポートから処理装置へ
の搬送作業を行う第二の自走式搬送車と競合する場合に
は、第一の自走式搬送車はコントローラの指示により短
距離の支線経路を経由して退避経路へ速やかに移動し、
退避後に改めて出口ポートからの搬送作業を行う場合に
は再度支線経路を通り収納装置前に速やかに移動して搬
送作業に着手し、搬送作業時における自走式搬送車の無
駄な走行を更に少なくすることが可能となり、搬送時間
の短縮と作業性の改善が更に図れる。
置９ｃー１あるいは９ｃー２に移動して退避した第一の
ＡＧＶ５は、退避経路上退避位置９ｃー１あるいは９ｃ
ー２にて停止しておれば、第二のＡＧＶ５と競合するこ
とがなく、他のＡＧＶ５により退避させられ無駄な走行
をすることがなくなる。以上のように、本実施の形態に
よる自走式搬送設備あるいはその制御方法によれば、入
口ポートへの搬送作業を終え収納装置前に停止し待機し
ている第一の自走式搬送車が出口ポートから処理装置へ
の搬送作業を行う第二の自走式搬送車と競合する場合に
は、第一の自走式搬送車はコントローラの指示により短
距離の支線経路を経由して退避経路へ速やかに移動し、
退避後に改めて出口ポートからの搬送作業を行う場合に
は再度支線経路を通り収納装置前に速やかに移動して搬
送作業に着手し、搬送作業時における自走式搬送車の無
駄な走行を更に少なくすることが可能となり、搬送時間
の短縮と作業性の改善が更に図れる。
【００４０】実施の形態４．実施の形態３では搬送作業
を実行せずストッカ前停止位置８ａ−２にて待機中のＡ
ＧＶ５がストッカの出口ポート７ａ−１から処理装置１
０への搬送作業を行うためにストッカ前停止位置８ａ−
１に移動する際には従来例と同様に主線経路６ａを一周
して移動しなければならず、大変時間がかかる。そこで
本実施の形態は、このような問題点を改善するものであ
る。
を実行せずストッカ前停止位置８ａ−２にて待機中のＡ
ＧＶ５がストッカの出口ポート７ａ−１から処理装置１
０への搬送作業を行うためにストッカ前停止位置８ａ−
１に移動する際には従来例と同様に主線経路６ａを一周
して移動しなければならず、大変時間がかかる。そこで
本実施の形態は、このような問題点を改善するものであ
る。
【００４１】図４は、実施の形態４による自走式搬送設
備の構成を示した平面図である。図において、２はスト
ッカ（収納装置）、３−１および３−２はストッカ間搬
送機、４−１および４−２は移載機、５−１５−２およ
び５−３はＡＧＶ（自走式搬送車）である。また、６ａ
は時計回りにのみ走行可能なループ状の主線経路、６ｃ
は主線経路６ａと同方向にのみ走行可能な退避経路、６
ｄ−１および６ｄ−２は支線経路、７ａ−１および７ａ
−２は出口ポート、７ｂ−１および７ｂ−２は入口ポー
ト、８ｂ−１から８ｂ−４は処理装置前停止位置、９ａ
は主線経路上退避位置であり９ａ−１から９ａ−５の５
カ所存在し、９ｃは退避経路上退避位置であり９ｃー１
と９ｃー２の２カ所存在する。１０−１から１０−４は
処理装置、１０ａ−１から１０ａ−４は処理装置１０上
のカセットステージであり、これらは実施の形態３と基
本的には同一の構成であるが、実施の形態３では出口ポ
ート７ａと入口ポート７ｂが一組となって構成された２
つのポートが設置されていたが、本実施の形態では入口
ポート７ｂ−１と７ｂ−２が一組となって構成された第
一のポートと、出口ポート７ａ−１および７ａ−２が一
組となって構成された第二のボートがあり、ＡＧＶ５が
ストッカ前にて第一のポート、第二のポートの順番で通
過するように配置されている。
備の構成を示した平面図である。図において、２はスト
ッカ（収納装置）、３−１および３−２はストッカ間搬
送機、４−１および４−２は移載機、５−１５−２およ
び５−３はＡＧＶ（自走式搬送車）である。また、６ａ
は時計回りにのみ走行可能なループ状の主線経路、６ｃ
は主線経路６ａと同方向にのみ走行可能な退避経路、６
ｄ−１および６ｄ−２は支線経路、７ａ−１および７ａ
−２は出口ポート、７ｂ−１および７ｂ−２は入口ポー
ト、８ｂ−１から８ｂ−４は処理装置前停止位置、９ａ
は主線経路上退避位置であり９ａ−１から９ａ−５の５
カ所存在し、９ｃは退避経路上退避位置であり９ｃー１
と９ｃー２の２カ所存在する。１０−１から１０−４は
処理装置、１０ａ−１から１０ａ−４は処理装置１０上
のカセットステージであり、これらは実施の形態３と基
本的には同一の構成であるが、実施の形態３では出口ポ
ート７ａと入口ポート７ｂが一組となって構成された２
つのポートが設置されていたが、本実施の形態では入口
ポート７ｂ−１と７ｂ−２が一組となって構成された第
一のポートと、出口ポート７ａ−１および７ａ−２が一
組となって構成された第二のボートがあり、ＡＧＶ５が
ストッカ前にて第一のポート、第二のポートの順番で通
過するように配置されている。
【００４２】８ｃは停止位置８の一種であり出口ポート
７ａからＡＧＶ５がカセット１を取り込むときに停止す
る出口ポート前停止位置であり、８ｄは停止位置８の一
種であり入口ポート７ｂにＡＧＶ５がカセット１を載置
するときに停止する入口ポート前停止位置である。出口
のみの第一ポートおよび入口のみの第二のポートをスト
ッカ２にこのような順番で配置するすることにより、ス
トッカ２前の出口ポート前停止位置８ｃに停止している
ＡＧＶ５はすべての出口ポート７ａから処理装置１０へ
の搬送作業を直ちに実行でき、ＡＧＶ５の無駄な走行の
防止と搬送時間の短縮が図れる。
７ａからＡＧＶ５がカセット１を取り込むときに停止す
る出口ポート前停止位置であり、８ｄは停止位置８の一
種であり入口ポート７ｂにＡＧＶ５がカセット１を載置
するときに停止する入口ポート前停止位置である。出口
のみの第一ポートおよび入口のみの第二のポートをスト
ッカ２にこのような順番で配置するすることにより、ス
トッカ２前の出口ポート前停止位置８ｃに停止している
ＡＧＶ５はすべての出口ポート７ａから処理装置１０へ
の搬送作業を直ちに実行でき、ＡＧＶ５の無駄な走行の
防止と搬送時間の短縮が図れる。
【００４３】実施の形態５．図５は、実施の形態５によ
る自走式搬送設備の構成を示す平面図である。図におい
て、２はストッカ（収納装置）、３−１および３−２は
ストッカ間搬送機、４−１および４−２は移載機、５−
１、５−２および５−３はＡＧＶ（自走式搬送車）であ
る。また、６ａは主線経路、６ｂは副線経路、７ａ−１
および７ａ−２は出口ポート、７ｂ−１および７ｂ−２
は入口ポート、８ａ−１および８ａ−２はストッカ前停
止位置、８ｂ−１から８ｂ−４は処理装置前停止位置、
９ａは主線経路上の主線経路上退避位置であり９ａ−１
から９ａ−５の５カ所存在する。また、９ｂは副線経路
上退避位置、１０−１から１０−４は処理装置、１０ａ
−１から１０ａ−４は処理装置１０上のカセットステー
ジである。
る自走式搬送設備の構成を示す平面図である。図におい
て、２はストッカ（収納装置）、３−１および３−２は
ストッカ間搬送機、４−１および４−２は移載機、５−
１、５−２および５−３はＡＧＶ（自走式搬送車）であ
る。また、６ａは主線経路、６ｂは副線経路、７ａ−１
および７ａ−２は出口ポート、７ｂ−１および７ｂ−２
は入口ポート、８ａ−１および８ａ−２はストッカ前停
止位置、８ｂ−１から８ｂ−４は処理装置前停止位置、
９ａは主線経路上の主線経路上退避位置であり９ａ−１
から９ａ−５の５カ所存在する。また、９ｂは副線経路
上退避位置、１０−１から１０−４は処理装置、１０ａ
−１から１０ａ−４は処理装置１０上のカセットステー
ジである。
【００４４】６ｃは主線経路６ａのストッカ前部分にス
トッカとは反対の位置関係で平行に走る主線経路と同方
向にのみ走行可能な退避経路、６ｄは主線経路６ａと退
避経路６ｃを複数の点で結びつける支線経路であり６ｄ
−１と６ｄ−２の２本存在する。さらに、９ｃは退避位
置９の一種である退避経路６ｃ上に設置された退避経路
上退避位置であり、支線経路６ｄ−１と退避経路６ｃの
交点に退避経路上退避位置９ｃー１が、また支線経路６
ｄ−２と退避経路６ｃの交点に退避経路上退避位置９ｃ
ー２が設置されている。
トッカとは反対の位置関係で平行に走る主線経路と同方
向にのみ走行可能な退避経路、６ｄは主線経路６ａと退
避経路６ｃを複数の点で結びつける支線経路であり６ｄ
−１と６ｄ−２の２本存在する。さらに、９ｃは退避位
置９の一種である退避経路６ｃ上に設置された退避経路
上退避位置であり、支線経路６ｄ−１と退避経路６ｃの
交点に退避経路上退避位置９ｃー１が、また支線経路６
ｄ−２と退避経路６ｃの交点に退避経路上退避位置９ｃ
ー２が設置されている。
【００４５】このような搬送経路にすることにより、搬
送作業を実行せず待機中の第一のＡＧＶ５は副線経路６
ｂ上の主線経路６ａとは搬送経路を共有しない部分に設
置された副線経路上退避位置９ｂに停止することができ
るのに加え、退避経路６ｃ上の退避経路上退避位置９ｃ
ー１あるいは９ｃー２に停止することもでき、副線経路
上退避位置９ｂあるいは退避経路上退避位置９ｃに停止
しておれば、搬送作業を行う第二のＡＧＶ５が搬送作業
を行うときに通る主線経路６ａ上に存在しないので、第
二のＡＧＶ５と競合するためにＡＧＶコントローラによ
って退避させられることがない。また副線経路６ｂはス
トッカ２近辺に設置されており、搬送作業を実行せずス
トッカ前停止位置８ａ−２にて待機中のＡＧＶ５がスト
ッカの出口ポート７ａ−１から処理装置１０への搬送作
業を行うためにストッカ前停止位置８ａ−１に移動する
際には副線経路６ｂを一周して移動することができ、主
線経路６ａを一周してくる必要はない。
送作業を実行せず待機中の第一のＡＧＶ５は副線経路６
ｂ上の主線経路６ａとは搬送経路を共有しない部分に設
置された副線経路上退避位置９ｂに停止することができ
るのに加え、退避経路６ｃ上の退避経路上退避位置９ｃ
ー１あるいは９ｃー２に停止することもでき、副線経路
上退避位置９ｂあるいは退避経路上退避位置９ｃに停止
しておれば、搬送作業を行う第二のＡＧＶ５が搬送作業
を行うときに通る主線経路６ａ上に存在しないので、第
二のＡＧＶ５と競合するためにＡＧＶコントローラによ
って退避させられることがない。また副線経路６ｂはス
トッカ２近辺に設置されており、搬送作業を実行せずス
トッカ前停止位置８ａ−２にて待機中のＡＧＶ５がスト
ッカの出口ポート７ａ−１から処理装置１０への搬送作
業を行うためにストッカ前停止位置８ａ−１に移動する
際には副線経路６ｂを一周して移動することができ、主
線経路６ａを一周してくる必要はない。
【００４６】次に、本実施の形態による自走式搬送設備
による搬送作業の具体的な制御方法について説明する。
いま、例えば第一のＡＧＶ５が主線経路上退避位置９ａ
−２、第二のＡＧＶ５が処理装置前停止位置８ｂ−２に
停止しているとする。この時に、ＡＧＶコントローラが
上位計算機より処理装置１０−１上のカセットステージ
１０ａ−１から入口ポート７ｂ−１への搬送作業指示を
受けると、ＡＧＶコントローラはその搬送作業を第一の
ＡＧＶ５に割り当て、割り当てられた第一のＡＧＶ５
は、処理装置１０−１前に移動し処理装置前停止位置８
ｂ−１に停止しカセットステージ１０ａ−１からカセッ
ト１を取り込み、搬送先である入口ポート７ｂ−１前に
移動しストッカ前停止位置８ａ−１に停止し、カセット
１を入口ポート７ｂ−１に置き終えると、その搬送作業
終了後新たな搬送作業を割り当てられない場合は停止位
置８ａ−１に留まる。
による搬送作業の具体的な制御方法について説明する。
いま、例えば第一のＡＧＶ５が主線経路上退避位置９ａ
−２、第二のＡＧＶ５が処理装置前停止位置８ｂ−２に
停止しているとする。この時に、ＡＧＶコントローラが
上位計算機より処理装置１０−１上のカセットステージ
１０ａ−１から入口ポート７ｂ−１への搬送作業指示を
受けると、ＡＧＶコントローラはその搬送作業を第一の
ＡＧＶ５に割り当て、割り当てられた第一のＡＧＶ５
は、処理装置１０−１前に移動し処理装置前停止位置８
ｂ−１に停止しカセットステージ１０ａ−１からカセッ
ト１を取り込み、搬送先である入口ポート７ｂ−１前に
移動しストッカ前停止位置８ａ−１に停止し、カセット
１を入口ポート７ｂ−１に置き終えると、その搬送作業
終了後新たな搬送作業を割り当てられない場合は停止位
置８ａ−１に留まる。
【００４７】これに平行して出口ポート７ａ−１から処
理装置１０−１への搬送作業指示を上位計算機より受信
したＡＧＶコントローラは、第一のＡＧＶ５は上記作業
中のため、この搬送作業を異なる第二のＡＧＶ５に割り
当て、作業を割り当てられた第二のＡＧＶ５は搬送元で
あるストッカ前停止位置８ａ−１に移動するが、第一の
ＡＧＶ５が前述の先行する作業のためストッカ前停止位
置８ａ−１にて作業を行っている、または作業完了後の
待機状態にあり、ストッカ前停止位置８ａ−１を占有し
ている。そこでＡＧＶコントローラは第一のＡＧＶ５を
ストッカ前停止位置８ａ−１から第二のＡＧＶ５と競合
しない退避経路上退避位置９ｃに移動させ退避させる
が、このとき更に異なる第三のＡＧＶ５が退避経路上退
避位置９ｃー１に停止しており、退避経路上退避位置９
ｃが占有されている場合には、ＡＧＶコントローラは第
一のＡＧＶ５を副線経路上の副線経路上退避位置９ｂへ
と退避させる。
理装置１０−１への搬送作業指示を上位計算機より受信
したＡＧＶコントローラは、第一のＡＧＶ５は上記作業
中のため、この搬送作業を異なる第二のＡＧＶ５に割り
当て、作業を割り当てられた第二のＡＧＶ５は搬送元で
あるストッカ前停止位置８ａ−１に移動するが、第一の
ＡＧＶ５が前述の先行する作業のためストッカ前停止位
置８ａ−１にて作業を行っている、または作業完了後の
待機状態にあり、ストッカ前停止位置８ａ−１を占有し
ている。そこでＡＧＶコントローラは第一のＡＧＶ５を
ストッカ前停止位置８ａ−１から第二のＡＧＶ５と競合
しない退避経路上退避位置９ｃに移動させ退避させる
が、このとき更に異なる第三のＡＧＶ５が退避経路上退
避位置９ｃー１に停止しており、退避経路上退避位置９
ｃが占有されている場合には、ＡＧＶコントローラは第
一のＡＧＶ５を副線経路上の副線経路上退避位置９ｂへ
と退避させる。
【００４８】第一のＡＧＶ５の退避作業を完了させると
ＡＧＶコントローラは第二のＡＧＶ５を停止位置８ａ−
１に移動させ、第二のＡＧＶ５は出口ポート７ａ−１よ
りカセット１をとりこみ、処理装置１０−１前の処理装
置前停止位置８ｂ−１に移動し、処理装置１０−１上の
カセットステージ１０ａ−１にカセット１を置き、搬送
作業を終える。また、上記動作において、第一のＡＧＶ
５は、処理装置１０−１前に移動し処理装置前停止位置
８ｂ−１に停止しカセットステージ１０ａ−１からカセ
ット１を取り込み、搬送先である入口ポート７ｂ−１前
に移動しストッカ前停止位置８ａ−１に停止し、カセッ
ト１を入口ポート７ｂ−１に置き終えると、その搬送作
業終了後新たな搬送作業を割り当てられない場合は自発
的に退避経路上退避位置９ｃー１あるいは退避経路上退
避位置９ｃー１が第三のＡＧＶにより占有されている場
合には副線経路上退避位置９ｂに移動してもよい。
ＡＧＶコントローラは第二のＡＧＶ５を停止位置８ａ−
１に移動させ、第二のＡＧＶ５は出口ポート７ａ−１よ
りカセット１をとりこみ、処理装置１０−１前の処理装
置前停止位置８ｂ−１に移動し、処理装置１０−１上の
カセットステージ１０ａ−１にカセット１を置き、搬送
作業を終える。また、上記動作において、第一のＡＧＶ
５は、処理装置１０−１前に移動し処理装置前停止位置
８ｂ−１に停止しカセットステージ１０ａ−１からカセ
ット１を取り込み、搬送先である入口ポート７ｂ−１前
に移動しストッカ前停止位置８ａ−１に停止し、カセッ
ト１を入口ポート７ｂ−１に置き終えると、その搬送作
業終了後新たな搬送作業を割り当てられない場合は自発
的に退避経路上退避位置９ｃー１あるいは退避経路上退
避位置９ｃー１が第三のＡＧＶにより占有されている場
合には副線経路上退避位置９ｂに移動してもよい。
【００４９】このように制御することにより、上記動作
中入口ポート７ｂ−１への搬送作業を終えストッカ前停
止位置８ａ−１に停止し待機している第一のＡＧＶ５
が、出口ポート７ａ−１から処理装置１０−１への搬送
作業を行う第二のＡＧＶ５と競合しないように、ＡＧＶ
コントローラの指示により退避経路上退避位置９ｃへと
移動した時に出口ポート７ａ−１からの搬送作業を行う
場合、第一のＡＧＶ５は支線経路６ｄ―１を通り、スト
ッカ前停止位置８ａ−１に移動することができ、その移
動距離が大変少なく速やかに搬送作業に着手でき、また
退避経路上退避位置９ｃが第三のＡＧＶにより占有され
ており副線経路上退避位置９ｂに移動した時に出口ポー
ト７ａ−１からの搬送作業を行う場合、副線経路６ｂを
通り、ストッカ前停止位置８ａ−１に移動することがで
きる。また、上記動作において退避経路上退避位置９ｃ
あるいは副線経路上退避位置９ｂに移動し退避した第一
のＡＧＶ５は、退避経路上退避位置９ｃあるいは副線経
路上退避位置９ｂにて停止していれば、第二のＡＧＶ５
と競合することがなく、他のＡＧＶ５により退避させら
れ無駄な走行をすることがなくなる。
中入口ポート７ｂ−１への搬送作業を終えストッカ前停
止位置８ａ−１に停止し待機している第一のＡＧＶ５
が、出口ポート７ａ−１から処理装置１０−１への搬送
作業を行う第二のＡＧＶ５と競合しないように、ＡＧＶ
コントローラの指示により退避経路上退避位置９ｃへと
移動した時に出口ポート７ａ−１からの搬送作業を行う
場合、第一のＡＧＶ５は支線経路６ｄ―１を通り、スト
ッカ前停止位置８ａ−１に移動することができ、その移
動距離が大変少なく速やかに搬送作業に着手でき、また
退避経路上退避位置９ｃが第三のＡＧＶにより占有され
ており副線経路上退避位置９ｂに移動した時に出口ポー
ト７ａ−１からの搬送作業を行う場合、副線経路６ｂを
通り、ストッカ前停止位置８ａ−１に移動することがで
きる。また、上記動作において退避経路上退避位置９ｃ
あるいは副線経路上退避位置９ｂに移動し退避した第一
のＡＧＶ５は、退避経路上退避位置９ｃあるいは副線経
路上退避位置９ｂにて停止していれば、第二のＡＧＶ５
と競合することがなく、他のＡＧＶ５により退避させら
れ無駄な走行をすることがなくなる。
【００５０】以上のように、本実施の形態による自走式
搬送設備あるいはその制御方法によれば、入口ポートへ
の搬送作業を終え収納装置前に停止し待機している第一
の自走式搬送車が出口ポートから処理装置への搬送作業
を行う第二の自走式搬送車と競合する場合には、第一の
自走式搬送車はコントローラの指示により短距離の支線
経路を経由して退避経路へ速やかに移動し、退避後に改
めて出口ポートからの搬送作業を行う場合には再度支線
経路を通り収納装置前に速やかに移動して搬送作業に着
手することが可能となる共に、退避経路上の停止位置を
第三の自走式搬送車が占有している場合は副線経路に退
避させることも可能となり、多数の自走式搬送車が競合
する複雑な設備であっても、搬送時間の短縮と作業性の
改善を容易に図れるという効果がある。
搬送設備あるいはその制御方法によれば、入口ポートへ
の搬送作業を終え収納装置前に停止し待機している第一
の自走式搬送車が出口ポートから処理装置への搬送作業
を行う第二の自走式搬送車と競合する場合には、第一の
自走式搬送車はコントローラの指示により短距離の支線
経路を経由して退避経路へ速やかに移動し、退避後に改
めて出口ポートからの搬送作業を行う場合には再度支線
経路を通り収納装置前に速やかに移動して搬送作業に着
手することが可能となる共に、退避経路上の停止位置を
第三の自走式搬送車が占有している場合は副線経路に退
避させることも可能となり、多数の自走式搬送車が競合
する複雑な設備であっても、搬送時間の短縮と作業性の
改善を容易に図れるという効果がある。
【００５１】実施の形態６．実施の形態５では搬送作業
を実行せずストッカ前停止位置８ａ−２にて待機中のＡ
ＧＶ５がストッカの出口ポート７ａ−１から処理装置１
０への搬送作業を行うためにストッカ前停止位置８ａ−
１に移動する際には副線経路６ｂを一周して移動するこ
とができ従来例にくらべると良くなっているが、やはり
副線経路６ｂを一周するのに時間がかかる。そこで本実
施の形態は、このような問題点を改善するものである。
第６図はこの実施例の搬送設備を表した平面図である。
図において、２はストッカ、３−１および３−２はスト
ッカ間搬送機、４−１および４−２は移載機、５−１５
−２および５−３はＡＧＶ、６ａは時計回りにのみ走行
可能なループ状の主線経路、６ｂは時計回りにのみ走行
可能な副線経路、６ｃは主線経路６ａと同方向にのみ走
行可能な退避経路である。また、６ｄ−１および６ｄ−
２は支線経路、７ａ−１および７ａ−２は出口ポート、
７ｂ−１および７ｂ−２は入口ポート、８ｂ−１から８
ｂ−４は処理装置前停止位置、９ａは主線経路上退避位
置であり９ａ−１から９ａ−５の５カ所存在し、９ｂは
副線経路上退避位置である。
を実行せずストッカ前停止位置８ａ−２にて待機中のＡ
ＧＶ５がストッカの出口ポート７ａ−１から処理装置１
０への搬送作業を行うためにストッカ前停止位置８ａ−
１に移動する際には副線経路６ｂを一周して移動するこ
とができ従来例にくらべると良くなっているが、やはり
副線経路６ｂを一周するのに時間がかかる。そこで本実
施の形態は、このような問題点を改善するものである。
第６図はこの実施例の搬送設備を表した平面図である。
図において、２はストッカ、３−１および３−２はスト
ッカ間搬送機、４−１および４−２は移載機、５−１５
−２および５−３はＡＧＶ、６ａは時計回りにのみ走行
可能なループ状の主線経路、６ｂは時計回りにのみ走行
可能な副線経路、６ｃは主線経路６ａと同方向にのみ走
行可能な退避経路である。また、６ｄ−１および６ｄ−
２は支線経路、７ａ−１および７ａ−２は出口ポート、
７ｂ−１および７ｂ−２は入口ポート、８ｂ−１から８
ｂ−４は処理装置前停止位置、９ａは主線経路上退避位
置であり９ａ−１から９ａ−５の５カ所存在し、９ｂは
副線経路上退避位置である。
【００５２】さらに、９ｃは退避位置９の一種である退
避経路６ｃ上に設置された退避経路上退避位置であり、
支線経路６ｄ−１と退避経路６ｃの交点に退避経路上退
避位置９ｃー１が、また支線経路６ｄ−２と退避経路６
ｃの交点に退避経路上退避位置９ｃー２が設置されてい
る。また、１０−１から１０−４は処理装置、１０ａ−
１から１０ａ−４は処理装置１０上のカセットステージ
であり、これらは実施の形態５と基本的には同一である
が、実施の形態５では出口ポート７ａと入口ポート７ｂ
が一組になって設置されていたが本実施の形態では入口
ポート７ｂ−１と７ｂ−２が一組、出口ポート７ａ−１
および７ａ−２が一組となり、ＡＧＶ５がストッカ前に
て入口ポート７ｂ、出口ポート７ａの順番で通過するよ
うに設置されている。
避経路６ｃ上に設置された退避経路上退避位置であり、
支線経路６ｄ−１と退避経路６ｃの交点に退避経路上退
避位置９ｃー１が、また支線経路６ｄ−２と退避経路６
ｃの交点に退避経路上退避位置９ｃー２が設置されてい
る。また、１０−１から１０−４は処理装置、１０ａ−
１から１０ａ−４は処理装置１０上のカセットステージ
であり、これらは実施の形態５と基本的には同一である
が、実施の形態５では出口ポート７ａと入口ポート７ｂ
が一組になって設置されていたが本実施の形態では入口
ポート７ｂ−１と７ｂ−２が一組、出口ポート７ａ−１
および７ａ−２が一組となり、ＡＧＶ５がストッカ前に
て入口ポート７ｂ、出口ポート７ａの順番で通過するよ
うに設置されている。
【００５３】８ｃは停止位置８の一種であり出口ポート
７ａからＡＧＶ５がカセット１を取り込むときに停止す
る出口ポート前停止位置であり、８ｄは停止位置８の一
種であり入口ポート７ｂにＡＧＶ５がカセット１を載置
するときに停止する入口ポート前停止位置である。この
ような搬送経路にすることによりストッカ２前の出口ポ
ート前停止位置８ｃに停止しているＡＧＶ５はすべての
出口ポート７ａから処理装置１０への搬送作業を直ちに
実行でき、ＡＧＶ５の無駄な走行の防止と搬送時間のよ
りいつそうの短縮が図れる。
７ａからＡＧＶ５がカセット１を取り込むときに停止す
る出口ポート前停止位置であり、８ｄは停止位置８の一
種であり入口ポート７ｂにＡＧＶ５がカセット１を載置
するときに停止する入口ポート前停止位置である。この
ような搬送経路にすることによりストッカ２前の出口ポ
ート前停止位置８ｃに停止しているＡＧＶ５はすべての
出口ポート７ａから処理装置１０への搬送作業を直ちに
実行でき、ＡＧＶ５の無駄な走行の防止と搬送時間のよ
りいつそうの短縮が図れる。
【００５４】
【発明の効果】以上のように、この発明に係る自走式搬
送設備は、搬送されてきた被搬送物を取り込む入口ポー
トと収納されていた被搬送物を取り出す出口ポートで構
成される第一および第二のポートを有した収納装置と、
収納装置から搬送されてきた被搬送物に所定の処理を施
す処理装置と、搬送作業指示の内容に従って収納装置と
処理装置の間を搬送経路を経由して被搬送物を一方向に
搬送する複数の自走式搬送車とを備え、搬送経路は、収
納装置と処理装置の間を結ぶ閉ループ状の主線経路と、
少なくとも第一のポートの前から第二のポートの前の間
の経路を主線経路と共有すると共に、この共有された経
路以外の部分に自走式搬送車の退避位置を設けたループ
状の副線経路とで構成されたので、収納装置前において
複数の自走式搬送車が競合するのを回避するために、主
線経路を自走式搬送車がほぼ一周するような無駄な走行
を無くすことが可能となり、搬送時間の短縮と作業性の
改善が図れるという効果がある。
送設備は、搬送されてきた被搬送物を取り込む入口ポー
トと収納されていた被搬送物を取り出す出口ポートで構
成される第一および第二のポートを有した収納装置と、
収納装置から搬送されてきた被搬送物に所定の処理を施
す処理装置と、搬送作業指示の内容に従って収納装置と
処理装置の間を搬送経路を経由して被搬送物を一方向に
搬送する複数の自走式搬送車とを備え、搬送経路は、収
納装置と処理装置の間を結ぶ閉ループ状の主線経路と、
少なくとも第一のポートの前から第二のポートの前の間
の経路を主線経路と共有すると共に、この共有された経
路以外の部分に自走式搬送車の退避位置を設けたループ
状の副線経路とで構成されたので、収納装置前において
複数の自走式搬送車が競合するのを回避するために、主
線経路を自走式搬送車がほぼ一周するような無駄な走行
を無くすことが可能となり、搬送時間の短縮と作業性の
改善が図れるという効果がある。
【００５５】また、この発明に係る自走式搬送設備は、
搬送されてきた被搬送物を取り込む入口ポートと収納さ
れていた被搬送物を取り出す出口ポートで構成される第
一および第二のポートを有した収納装置と、収納装置か
ら搬送されてきた被搬送物に所定の処理を施す処理装置
と、搬送作業指示の内容に従って収納装置と処理装置の
間を搬送経路を経由して被搬送物を一方向に搬送する複
数の自走式搬送車とを備え、搬送経路は、収納装置と処
理装置の間を結ぶ閉ループ状の主線経路と、少なくとも
第一のポートの前から第二のポートの前で主線経路と平
行に配置される共に、第一および第二のポートに対応す
る位置に自走式搬送車の退避位置を設けた退避経路と、
第一および第二のポートの位置に対応して主線経路と退
避経路を結ぶ支線経路とで構成されたので、入口ポート
への搬送作業を終え収納装置前に停止し待機している第
一の自走式搬送車が出口ポートから処理装置への搬送作
業を行う第二の自走式搬送車と競合する場合には、第一
の自走式搬送車はコントローラの指示により短距離の支
線経路を経由して退避経路へ速やかに移動し、退避後に
改めて出口ポートからの搬送作業を行う場合には再度支
線経路を通り収納装置前に速やかに移動して搬送作業に
着手することが可能となり、搬送時間の短縮と作業性の
改善が更に図れるという効果がある。
搬送されてきた被搬送物を取り込む入口ポートと収納さ
れていた被搬送物を取り出す出口ポートで構成される第
一および第二のポートを有した収納装置と、収納装置か
ら搬送されてきた被搬送物に所定の処理を施す処理装置
と、搬送作業指示の内容に従って収納装置と処理装置の
間を搬送経路を経由して被搬送物を一方向に搬送する複
数の自走式搬送車とを備え、搬送経路は、収納装置と処
理装置の間を結ぶ閉ループ状の主線経路と、少なくとも
第一のポートの前から第二のポートの前で主線経路と平
行に配置される共に、第一および第二のポートに対応す
る位置に自走式搬送車の退避位置を設けた退避経路と、
第一および第二のポートの位置に対応して主線経路と退
避経路を結ぶ支線経路とで構成されたので、入口ポート
への搬送作業を終え収納装置前に停止し待機している第
一の自走式搬送車が出口ポートから処理装置への搬送作
業を行う第二の自走式搬送車と競合する場合には、第一
の自走式搬送車はコントローラの指示により短距離の支
線経路を経由して退避経路へ速やかに移動し、退避後に
改めて出口ポートからの搬送作業を行う場合には再度支
線経路を通り収納装置前に速やかに移動して搬送作業に
着手することが可能となり、搬送時間の短縮と作業性の
改善が更に図れるという効果がある。
【００５６】また、この発明に係る自走式搬送設備の搬
送経路は、主線経路と副線経路の他に、第一のポートの
前から第二のポートの前で主線経路と平行に配置される
共に、上記第一および第二のポートに対応する位置に自
走式搬送車の退避位置を設けた退避経路と、上記第一お
よび第二のポートに対応する位置に上記主線経路と上記
退避経路を結ぶ支線経路とを備えたので、入口ポートへ
の搬送作業を終え収納装置前に停止し待機している第一
の自走式搬送車が出口ポートから処理装置への搬送作業
を行う第二の自走式搬送車と競合する場合には、第一の
自走式搬送車はコントローラの指示により短距離の支線
経路を経由して退避経路へ速やかに移動し、退避後に改
めて出口ポートからの搬送作業を行う場合には再度支線
経路を通り収納装置前に速やかに移動して搬送作業に着
手することが可能となる共に、退避経路上の停止位置を
第三の自走式搬送車が占有している場合は副線経路に退
避させることも可能となり、多数の自走式搬送車が競合
する複雑な設備であっても、搬送時間の短縮と作業性の
改善を容易に図れるという効果がある。
送経路は、主線経路と副線経路の他に、第一のポートの
前から第二のポートの前で主線経路と平行に配置される
共に、上記第一および第二のポートに対応する位置に自
走式搬送車の退避位置を設けた退避経路と、上記第一お
よび第二のポートに対応する位置に上記主線経路と上記
退避経路を結ぶ支線経路とを備えたので、入口ポートへ
の搬送作業を終え収納装置前に停止し待機している第一
の自走式搬送車が出口ポートから処理装置への搬送作業
を行う第二の自走式搬送車と競合する場合には、第一の
自走式搬送車はコントローラの指示により短距離の支線
経路を経由して退避経路へ速やかに移動し、退避後に改
めて出口ポートからの搬送作業を行う場合には再度支線
経路を通り収納装置前に速やかに移動して搬送作業に着
手することが可能となる共に、退避経路上の停止位置を
第三の自走式搬送車が占有している場合は副線経路に退
避させることも可能となり、多数の自走式搬送車が競合
する複雑な設備であっても、搬送時間の短縮と作業性の
改善を容易に図れるという効果がある。
【００５７】また、この発明に係る自走式搬送設備は、
収納装置の第一のポートは入口ポートのみで構成され、
第二のポートは出口ポートのみで構成されると共に、自
走式搬送車の走行方向に従って上記第一のポート、上記
第二のポートの順に配置されているので、収納装置前の
第二のポート（即ち、出口ポート）の前の停止位置に停
止している自走式搬送車は第二のポートでの作業が終了
すれば処理装置１０への搬送作業を直ちに実行すること
が可能となり、搬送時間の短縮と作業性の改善が更に図
れるという効果がある。
収納装置の第一のポートは入口ポートのみで構成され、
第二のポートは出口ポートのみで構成されると共に、自
走式搬送車の走行方向に従って上記第一のポート、上記
第二のポートの順に配置されているので、収納装置前の
第二のポート（即ち、出口ポート）の前の停止位置に停
止している自走式搬送車は第二のポートでの作業が終了
すれば処理装置１０への搬送作業を直ちに実行すること
が可能となり、搬送時間の短縮と作業性の改善が更に図
れるという効果がある。
【００５８】また、この発明に係る自走式搬送設備の制
御方法は、請求項１に記載の自走式搬送設備の制御方法
であって、収納装置前の主線経路上において第一の自走
式搬送車が第二の自走式搬送車と競合する場合あるいは
第一の自走式搬送車から被搬送物の上記収納装置への取
り込み作業が完了した場合に、第一の自走式搬送車を自
動的に副線経路に退避するように制御するので、収納装
置前において複数の自走式搬送車が競合するのを回避す
るために、主線経路を自走式搬送車がほぼ一周するよう
な無駄な走行を無くすことが可能となり、搬送時間の短
縮と作業性の改善が図れる制御方法を提供できるという
効果がある。
御方法は、請求項１に記載の自走式搬送設備の制御方法
であって、収納装置前の主線経路上において第一の自走
式搬送車が第二の自走式搬送車と競合する場合あるいは
第一の自走式搬送車から被搬送物の上記収納装置への取
り込み作業が完了した場合に、第一の自走式搬送車を自
動的に副線経路に退避するように制御するので、収納装
置前において複数の自走式搬送車が競合するのを回避す
るために、主線経路を自走式搬送車がほぼ一周するよう
な無駄な走行を無くすことが可能となり、搬送時間の短
縮と作業性の改善が図れる制御方法を提供できるという
効果がある。
【００５９】また、この発明に係る自走式搬送設備の制
御方法は、請求項２に記載の自走式搬送設備の制御方法
であって、収納装置前の主線経路上において第一の自走
式搬送車が第二の自走式搬送車と競合する場合あるいは
第一の自走式搬送車から被搬送物の収納装置への取り込
み作業が完了した場合に、第一の自走式搬送車を自動的
に支線経路を経由して退避経路に退避するように制御す
るので、入口ポートへの搬送作業を終え収納装置前に停
止し待機している第一の自走式搬送車が出口ポートから
処理装置への搬送作業を行う第二の自走式搬送車と競合
する場合には、第一の自走式搬送車はコントローラの指
示により短距離の支線経路を経由して退避経路へ速やか
に移動し、退避後に改めて出口ポートからの搬送作業を
行う場合には再度支線経路を通り収納装置前に速やかに
移動して搬送作業に着手することが可能となり、搬送時
間の短縮と作業性の改善が更に図れる制御方法を提供で
きるという効果がある。
御方法は、請求項２に記載の自走式搬送設備の制御方法
であって、収納装置前の主線経路上において第一の自走
式搬送車が第二の自走式搬送車と競合する場合あるいは
第一の自走式搬送車から被搬送物の収納装置への取り込
み作業が完了した場合に、第一の自走式搬送車を自動的
に支線経路を経由して退避経路に退避するように制御す
るので、入口ポートへの搬送作業を終え収納装置前に停
止し待機している第一の自走式搬送車が出口ポートから
処理装置への搬送作業を行う第二の自走式搬送車と競合
する場合には、第一の自走式搬送車はコントローラの指
示により短距離の支線経路を経由して退避経路へ速やか
に移動し、退避後に改めて出口ポートからの搬送作業を
行う場合には再度支線経路を通り収納装置前に速やかに
移動して搬送作業に着手することが可能となり、搬送時
間の短縮と作業性の改善が更に図れる制御方法を提供で
きるという効果がある。
【００６０】また、この発明に係る自走式搬送設備の制
御方法は、請求項３に記載の自走式搬送装置の制御方法
であって、収納装置前の主線経路上において第一の自走
式搬送車が第二の自走式搬送車と競合する場合あるいは
上記第一の自走式搬送車から被搬送物の収納装置への取
り込み作業が完了した場合に、まず上記第一の自走式搬
送車を自動的に支線経路を経由して退避経路に退避する
ように制御し、これが不可能な場合には自動的に副線経
路に退避するように制御するので、入口ポートへの搬送
作業を終え収納装置前に停止し待機している第一の自走
式搬送車が出口ポートから処理装置への搬送作業を行う
第二の自走式搬送車と競合する場合には、第一の自走式
搬送車はコントローラの指示により短距離の支線経路を
経由して退避経路へ速やかに移動し、退避後に改めて出
口ポートからの搬送作業を行う場合には再度支線経路を
通り収納装置前に速やかに移動して搬送作業に着手する
ことが可能となる共に、退避経路上の停止位置を第三の
自走式搬送車が占有している場合は副線経路に退避させ
ることも可能となり、多数の自走式搬送車が競合する複
雑な設備であっても、搬送時間の短縮と作業性の改善を
容易に図れる制御方法を提供できるという効果がある。
御方法は、請求項３に記載の自走式搬送装置の制御方法
であって、収納装置前の主線経路上において第一の自走
式搬送車が第二の自走式搬送車と競合する場合あるいは
上記第一の自走式搬送車から被搬送物の収納装置への取
り込み作業が完了した場合に、まず上記第一の自走式搬
送車を自動的に支線経路を経由して退避経路に退避する
ように制御し、これが不可能な場合には自動的に副線経
路に退避するように制御するので、入口ポートへの搬送
作業を終え収納装置前に停止し待機している第一の自走
式搬送車が出口ポートから処理装置への搬送作業を行う
第二の自走式搬送車と競合する場合には、第一の自走式
搬送車はコントローラの指示により短距離の支線経路を
経由して退避経路へ速やかに移動し、退避後に改めて出
口ポートからの搬送作業を行う場合には再度支線経路を
通り収納装置前に速やかに移動して搬送作業に着手する
ことが可能となる共に、退避経路上の停止位置を第三の
自走式搬送車が占有している場合は副線経路に退避させ
ることも可能となり、多数の自走式搬送車が競合する複
雑な設備であっても、搬送時間の短縮と作業性の改善を
容易に図れる制御方法を提供できるという効果がある。
【図１】 実施の形態１による自走式搬送設備の構成を
示す図である。
示す図である。
【図２】 実施の形態２による自走式搬送設備の構成を
示す図である。
示す図である。
【図３】 実施の形態３による自走式搬送設備の構成を
示す図である。
示す図である。
【図４】 実施の形態４による自走式搬送設備の構成を
示す図である。
示す図である。
【図５】 実施の形態５による自走式搬送設備の構成を
示す図である。
示す図である。
【図６】 実施の形態６による自走式搬送設備の構成を
示す図である。
示す図である。
【図７】 自走式搬送設備の要部の構成を示す斜視図で
ある。
ある。
【図８】 従来の自走式搬送設備の構成を示す図であ
る。
る。
１ ウェハカセット（被搬送物） ２ ストッカ（収納装置） ２ａ スト
ッカ内ロボット ３ ストッカ間搬送機 ４ 移載機 ５ 自走式搬送車（ＡＧＶ） ６ 搬送経路 ６ａ 主線経路 ６ｂ 副線経路 ６ｃ 退避経路
６ｄ 支線経路 ７ ポート ７ａ 出口ポート ７ｂ 入口ポー
ト ８ 停止位置 ８ａ ストッカ前停止位置 ８ｂ 処理装置前
停止位置 ８ｃ 出口ポート前停止位置 ８ｄ 入口ポート
前停止位置 ９ｃ 退避経路上退避位置 １０ 処理装置 ２０ アーム
ッカ内ロボット ３ ストッカ間搬送機 ４ 移載機 ５ 自走式搬送車（ＡＧＶ） ６ 搬送経路 ６ａ 主線経路 ６ｂ 副線経路 ６ｃ 退避経路
６ｄ 支線経路 ７ ポート ７ａ 出口ポート ７ｂ 入口ポー
ト ８ 停止位置 ８ａ ストッカ前停止位置 ８ｂ 処理装置前
停止位置 ８ｃ 出口ポート前停止位置 ８ｄ 入口ポート
前停止位置 ９ｃ 退避経路上退避位置 １０ 処理装置 ２０ アーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ
Claims (7)
- 【請求項１】 搬送されてきた被搬送物を取り込む入口
ポートと収納されていた被搬送物を取り出す出口ポート
で構成される第一および第二のポートを有した収納装置
と、 上記収納装置から搬送されてきた被搬送物に所定の処理
を施す処理装置と、 搬送作業指示の内容に従って上記収納装置と上記処理装
置の間を搬送経路を経由して被搬送物を一方向に搬送す
る複数の自走式搬送車とを備え、 上記搬送経路は、上記収納装置と上記処理装置の間を結
ぶ閉ループ状の主線経路と、少なくとも上記第一のポー
トの前から上記第二のポートの前の間の経路を上記主線
経路と共有すると共に、この共有された経路以外の部分
に上記自走式搬送車の退避位置を設けたループ状の副線
経路とで構成されたことを特徴とする自走式搬送設備。 - 【請求項２】 搬送されてきた被搬送物を取り込む入口
ポートと収納されていた被搬送物を取り出す出口ポート
で構成される第一および第二のポートを有した収納装置
と、 上記収納装置から搬送されてきた被搬送物に所定の処理
を施す処理装置と、 搬送作業指示の内容に従って上記収納装置と上記処理装
置の間を搬送経路を経由して被搬送物を一方向に搬送す
る複数の自走式搬送車とを備え、 上記搬送経路は、上記収納装置と上記処理装置の間を結
ぶ閉ループ状の主線経路と、少なくとも上記第一のポー
トの前から上記第二のポートの前で上記主線経路と平行
に配置される共に、上記第一および第二のポートに対応
する位置に自走式搬送車の退避位置を設けた退避経路
と、上記第一および第二のポートの位置に対応して上記
主線経路と上記退避経路を結ぶ支線経路とで構成された
ことを特徴とする自走式搬送設備。 - 【請求項３】 搬送経路は、主線経路および副線経路の
他に、第一のポートの前から第二のポートの前で主線経
路と平行に配置される共に、上記第一および第二のポー
トに対応する位置に自走式搬送車の退避位置を設けた退
避経路と、上記第一および第二のポートに対応する位置
に上記主線経路と上記退避経路を結ぶ支線経路とを備え
たことを特徴とする請求項１に記載の自走式搬送設備。 - 【請求項４】 収納装置の第一のポートは入口ポートの
みで構成され、第二のポートは出口ポートのみで構成さ
れると共に、自走式搬送車の走行方向に従って上記第一
のポート、上記第二のポートの順に配置されたことを特
徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の自走式搬送
設備。 - 【請求項５】 請求項１に記載の自走式搬送設備の制御
方法であって、収納装置前の主線経路上において第一の
自走式搬送車が第二の自走式搬送車と競合する場合ある
いは上記第一の自走式搬送車から被搬送物の上記収納装
置への取り込み作業が完了した場合に、上記第一の自走
式搬送車を自動的に副線経路に退避するように制御する
ことを特徴とする自走式搬送設備の制御方法。 - 【請求項６】 請求項２に記載の自走式搬送設備の制御
方法であって、収納装置前の主線経路上において第一の
自走式搬送車が第二の自走式搬送車と競合する場合ある
いは上記第一の自走式搬送車から被搬送物の上記収納装
置への取り込み作業が完了した場合に、上記第一の自走
式搬送車を自動的に支線経路を経由して退避経路に退避
するように制御することを特徴とする自走式搬送設備の
制御方法。 - 【請求項７】 請求項３に記載の自走式搬送設備の制御
方法であって、収納装置前の主線経路上において第一の
自走式搬送車が第二の自走式搬送車と競合する場合ある
いは上記第一の自走式搬送車から被搬送物の上記収納装
置への取り込み作業が完了した場合に、まず上記第一の
自走式搬送車を自動的に支線経路を経由して退避経路に
退避するように制御し、これが不可能な場合には自動的
に副線経路に退避するように制御することを特徴とする
自走式搬送設備の制御方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9186634A JPH1129205A (ja) | 1997-07-11 | 1997-07-11 | 自走式搬送設備およびその制御方法 |
| TW086114509A TW342379B (en) | 1997-07-11 | 1997-10-04 | Self propelling transporter and control method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9186634A JPH1129205A (ja) | 1997-07-11 | 1997-07-11 | 自走式搬送設備およびその制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1129205A true JPH1129205A (ja) | 1999-02-02 |
Family
ID=16192024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9186634A Pending JPH1129205A (ja) | 1997-07-11 | 1997-07-11 | 自走式搬送設備およびその制御方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1129205A (ja) |
| TW (1) | TW342379B (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003140747A (ja) * | 2001-11-01 | 2003-05-16 | Matsushita Electric Works Ltd | 自律移動装置及び自律移動装置運用システム |
| US6721627B2 (en) | 2002-02-06 | 2004-04-13 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Track conveyance system |
| JP2005202978A (ja) * | 2005-03-14 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Works Ltd | 自律移動装置 |
| JP2005209225A (ja) * | 2005-03-14 | 2005-08-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 自律移動装置 |
| JP2005222560A (ja) * | 2005-03-14 | 2005-08-18 | Matsushita Electric Works Ltd | 自律移動装置及び自律移動装置運用システム |
| JP2014036143A (ja) * | 2012-08-09 | 2014-02-24 | Lintec Corp | 搬送装置および搬送方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108987318B (zh) * | 2017-05-31 | 2020-10-16 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 搬运装置及其搬运方法 |
-
1997
- 1997-07-11 JP JP9186634A patent/JPH1129205A/ja active Pending
- 1997-10-04 TW TW086114509A patent/TW342379B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003140747A (ja) * | 2001-11-01 | 2003-05-16 | Matsushita Electric Works Ltd | 自律移動装置及び自律移動装置運用システム |
| US6721627B2 (en) | 2002-02-06 | 2004-04-13 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Track conveyance system |
| JP2005202978A (ja) * | 2005-03-14 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Works Ltd | 自律移動装置 |
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| JP2014036143A (ja) * | 2012-08-09 | 2014-02-24 | Lintec Corp | 搬送装置および搬送方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW342379B (en) | 1998-10-11 |
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