JPH04276672A - レーザ共振器 - Google Patents
レーザ共振器Info
- Publication number
- JPH04276672A JPH04276672A JP3826391A JP3826391A JPH04276672A JP H04276672 A JPH04276672 A JP H04276672A JP 3826391 A JP3826391 A JP 3826391A JP 3826391 A JP3826391 A JP 3826391A JP H04276672 A JPH04276672 A JP H04276672A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- mounting
- laser
- face
- rear mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 29
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ共振器に関し、特
にレーザ共振器を構成するフロントミラー，リアミラー
のうち少なくとも一方が所定の形状特性を有する凹面ミ
ラーとして構成され、取付部に対向面を圧着した状態で
固定されるレーザ共振器に関する。
にレーザ共振器を構成するフロントミラー，リアミラー
のうち少なくとも一方が所定の形状特性を有する凹面ミ
ラーとして構成され、取付部に対向面を圧着した状態で
固定されるレーザ共振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種のレーザ共振器を図３およ
び図４に示す。図３はレーザ共振器の縦断面図、図４は
、図３のリアミラー１０の取付部分を拡大して示す縦断
面図である。
び図４に示す。図３はレーザ共振器の縦断面図、図４は
、図３のリアミラー１０の取付部分を拡大して示す縦断
面図である。
【０００３】図３，４の従来例はリアミラーが凹面ミラ
ーとして構成され、ベース１は、レーザ共振器を構成す
る光学部品を取り付ける基盤部品である。フロントミラ
ー取付金具２は、Ｏリング３を介してネジ１１による緊
締でフロントミラー４にレーザ光軸５と平行な力を加え
ベース１の取付部１２ａにフロントミラー４の対向面で
ある取付光学面１３を圧着し固定している。レーザ光軸
５は、レーザ発振時におけるレーザビーム束の中心軸で
ある。レーザロッド６は、レーザ発振媒質で、その中心
軸はレーザ光軸５と一致している。
ーとして構成され、ベース１は、レーザ共振器を構成す
る光学部品を取り付ける基盤部品である。フロントミラ
ー取付金具２は、Ｏリング３を介してネジ１１による緊
締でフロントミラー４にレーザ光軸５と平行な力を加え
ベース１の取付部１２ａにフロントミラー４の対向面で
ある取付光学面１３を圧着し固定している。レーザ光軸
５は、レーザ発振時におけるレーザビーム束の中心軸で
ある。レーザロッド６は、レーザ発振媒質で、その中心
軸はレーザ光軸５と一致している。
【０００４】フロントミラー４と対向するリアミラー１
０は対向面に曲率を有する所定の形状特性の凹面ミラー
で、Ｏリング８を介してリアミラー取付金具９とネジ１
１によってフロントミラー４との対向面である取付光学
面１４をベース１の取付部１２ｂに圧着され、対向する
一対のフロントミラー４とリアミラー１０はレーザロッ
ド６に対するレーザ共振系を構成している。
０は対向面に曲率を有する所定の形状特性の凹面ミラー
で、Ｏリング８を介してリアミラー取付金具９とネジ１
１によってフロントミラー４との対向面である取付光学
面１４をベース１の取付部１２ｂに圧着され、対向する
一対のフロントミラー４とリアミラー１０はレーザロッ
ド６に対するレーザ共振系を構成している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のレーザ
共振器においては、安定したレーザ光を得るためにはレ
ーザ光軸に対してフロントミラー，リアミラーの傾きを
極力小さくしてレーザ共振系を正しい状態に保持するこ
とによって最高状態に近づかせることができる。
共振器においては、安定したレーザ光を得るためにはレ
ーザ光軸に対してフロントミラー，リアミラーの傾きを
極力小さくしてレーザ共振系を正しい状態に保持するこ
とによって最高状態に近づかせることができる。
【０００６】たとえば、温度，振動等の環境変化のもと
でレーザ出力の低下を５０％以下にとどめるとしても、
フロントミラー，リアミラーのレーザ光軸に対する傾き
を最適の状態から角度にして約１０秒に抑えることが必
要となる。
でレーザ出力の低下を５０％以下にとどめるとしても、
フロントミラー，リアミラーのレーザ光軸に対する傾き
を最適の状態から角度にして約１０秒に抑えることが必
要となる。
【０００７】しかし、上述した従来のレーザ共振器にお
いては、曲率を有する凹面ミラーのリアミラーとベース
の取付部との接触部分が図３，４からも明らかなように
、リアミラーのエッジのみとなってリアミラーと取付部
との接触面積が小さく、接触面のベースのバリ，粗さ，
付着ゴミ等が温度や振動等の環境状態の変化により変形
し、レーザ光軸に対するリアミラーの傾きが最適状態か
ら大きくずれてしまった安定したレーザ光が得られなく
なってしまうという欠点がある。
いては、曲率を有する凹面ミラーのリアミラーとベース
の取付部との接触部分が図３，４からも明らかなように
、リアミラーのエッジのみとなってリアミラーと取付部
との接触面積が小さく、接触面のベースのバリ，粗さ，
付着ゴミ等が温度や振動等の環境状態の変化により変形
し、レーザ光軸に対するリアミラーの傾きが最適状態か
ら大きくずれてしまった安定したレーザ光が得られなく
なってしまうという欠点がある。
【０００８】本発明の目的は上述した欠点を除去し、曲
率を有する凹面ミラーとして構成されたフロントミラー
もしくはリアミラーのレーザ光軸に対する傾きの最適状
態からの変化を著しく抑圧しうるレーザ共振器を提供す
ることにある。
率を有する凹面ミラーとして構成されたフロントミラー
もしくはリアミラーのレーザ光軸に対する傾きの最適状
態からの変化を著しく抑圧しうるレーザ共振器を提供す
ることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のレーザ共振器は
、レーザ光軸を中心軸として対向配置されレーザ共振器
を構成する一対のフロントミラーとリアミラーのうち少
なくとも一方のミラーを所定の形状特性を有する凹面ミ
ラーとし、かつ前記フロントミラーとリアミラーの取付
が取付部に対向面を圧着した状態で固定したレーザ共振
器において、前記凹面ミラーとして構成する前記フロン
トミラーもしくはリアミラーの対向面のうち少なくとも
前記取付部との取付面を平面とした構成を有する。
、レーザ光軸を中心軸として対向配置されレーザ共振器
を構成する一対のフロントミラーとリアミラーのうち少
なくとも一方のミラーを所定の形状特性を有する凹面ミ
ラーとし、かつ前記フロントミラーとリアミラーの取付
が取付部に対向面を圧着した状態で固定したレーザ共振
器において、前記凹面ミラーとして構成する前記フロン
トミラーもしくはリアミラーの対向面のうち少なくとも
前記取付部との取付面を平面とした構成を有する。
【００１０】また本発明のレーザ共振器は、前記フロン
トミラーとリアミリーの前記取付部に対する圧着は、Ｏ
リングを介してレーザ光軸に平行な力を前記フロントミ
ラーとリアミラーに加えて行なう構成を有する。
トミラーとリアミリーの前記取付部に対する圧着は、Ｏ
リングを介してレーザ光軸に平行な力を前記フロントミ
ラーとリアミラーに加えて行なう構成を有する。
【００１１】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１２】図１は本発明の一実施例の縦断面図、図２
は図１のリアミラー７の取付部分を拡大して示す縦断面
図である。
は図１のリアミラー７の取付部分を拡大して示す縦断面
図である。
【００１３】本実施例のレーザ共振器は以下のように構
成されている。
成されている。
【００１４】ベース１はレーザ共振器を構成する光学部
品を取り付ける基盤部品で左右に取付部１２ａと１２ｂ
を有する。フロントミラー取付金具２は、Ｏリング３を
介してフロントミラー４をベース１の取付部１２ａにネ
ジ１１で圧着し固定している。レーザ光軸５は、レーザ
発振時のレーザビーム束の中心軸であり、レーザロッド
６はその中心軸のレーザ光軸５とが一致する。
品を取り付ける基盤部品で左右に取付部１２ａと１２ｂ
を有する。フロントミラー取付金具２は、Ｏリング３を
介してフロントミラー４をベース１の取付部１２ａにネ
ジ１１で圧着し固定している。レーザ光軸５は、レーザ
発振時のレーザビーム束の中心軸であり、レーザロッド
６はその中心軸のレーザ光軸５とが一致する。
【００１５】本実施例においてはリアミラー７が所定の
形状特性を有する凹面ミラーとして構成され、その光学
面１５は曲率を有する凹面ミラーで全反射コーティング
が施され、フロントミラー４の取付光学面１３と対向す
る取付光学１５は平面として構成されて無反射コーティ
ングが施されている。
形状特性を有する凹面ミラーとして構成され、その光学
面１５は曲率を有する凹面ミラーで全反射コーティング
が施され、フロントミラー４の取付光学面１３と対向す
る取付光学１５は平面として構成されて無反射コーティ
ングが施されている。
【００１６】このリアミラー７は、Ｏリング８を介して
リアミラー取付金具９とネジ１１で取付部１２ｂに圧着
されて固定される。この場合の圧着を受ける部分は接触
面１７となって、図３，４に示す従来のエッジ圧着時よ
りもはるかに接触面積が増大し、これによって運用環境
による接触ベース面のバリ，粗さ，付着ゴミの変形のも
たらすリアミラー７の傾きの増大を大幅に抑止すること
ができる。
リアミラー取付金具９とネジ１１で取付部１２ｂに圧着
されて固定される。この場合の圧着を受ける部分は接触
面１７となって、図３，４に示す従来のエッジ圧着時よ
りもはるかに接触面積が増大し、これによって運用環境
による接触ベース面のバリ，粗さ，付着ゴミの変形のも
たらすリアミラー７の傾きの増大を大幅に抑止すること
ができる。
【００１７】なお、上述した実施例では取付光学面１４
全体を平面としているが、リアミラー７の取付光学面１
５のうち、すくなくともマウントとの接触面１７のみを
平面として形成しても同様に実施しうることは明らかで
ある。
全体を平面としているが、リアミラー７の取付光学面１
５のうち、すくなくともマウントとの接触面１７のみを
平面として形成しても同様に実施しうることは明らかで
ある。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、フロント
ミラーとリアミラーの少なくとも一方が曲率を有する凹
面ミラーとして構成される場合に、圧着固定のための取
付光学を平面とすることにより、接触面積が大きくなり
、接触面のバリ，粗さ，ゴミ等の温度及び振動による環
境変化による変形がレーザ光軸に対する傾きに及ぼす影
響を著しく抑圧することができ、安定したレーザ発振を
確保することができる。
ミラーとリアミラーの少なくとも一方が曲率を有する凹
面ミラーとして構成される場合に、圧着固定のための取
付光学を平面とすることにより、接触面積が大きくなり
、接触面のバリ，粗さ，ゴミ等の温度及び振動による環
境変化による変形がレーザ光軸に対する傾きに及ぼす影
響を著しく抑圧することができ、安定したレーザ発振を
確保することができる。
【図１】本発明のレーザ共振器の一実施例の縦断面図で
ある。
ある。
【図２】図１のリアミラー７の取付部分を拡大して示す
縦断面図である。
縦断面図である。
【図３】従来のレーザ共振器の縦断面図である。
【図４】図３のリアミラー１０の取付部分を拡大して示
す縦断面図である。
す縦断面図である。
１ ベース
２ フロントミラー取付金具
３ Ｏリング
４ フロントミラー
５ レーザ光軸
６ レーザロッド
７ リアミラー
８ リアミラー取付金具
９ Ｏリング
１０ リアミラー
１１ ネジ
１２ａ，１２ｂ 取付部
１３，１４，１５ 取付光学面
１６ 光学面
１７ 接触面
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ光軸を中心軸として対向配置さ
れレーザ共振器を構成する一対のフロントミラーとリア
ミラーのうち少なくとも一方のミラーを所定の形状特性
を有する凹面ミラーとし、かつ前記フロントミラーとリ
アミラーの取付が取付部に対向面を圧着した状態で固定
したレーザ共振器において、前記凹面ミラーとして構成
する前記フロントミラーもしくはリアミラーの対向面の
うち少なくとも前記取付部との取付面を平面としたこと
を特徴とするレーザ共振器。 - 【請求項２】 前記フロントミラーとリアミリーの前
記取付部に対する圧着は、Ｏリングを介してレーザ光軸
に平行な力を前記フロントミラーとリアミラーに加えて
行なうものであることを特徴とする請求項１記載のレー
ザ共振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3826391A JPH04276672A (ja) | 1991-03-05 | 1991-03-05 | レーザ共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3826391A JPH04276672A (ja) | 1991-03-05 | 1991-03-05 | レーザ共振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04276672A true JPH04276672A (ja) | 1992-10-01 |
Family
ID=12520438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3826391A Pending JPH04276672A (ja) | 1991-03-05 | 1991-03-05 | レーザ共振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04276672A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62159484A (ja) * | 1986-01-08 | 1987-07-15 | Nec Corp | ガスレ−ザ管 |
| JPS63253682A (ja) * | 1987-04-10 | 1988-10-20 | Fanuc Ltd | レ−ザ発振器の光学部品保持構造 |
| JPH02501691A (ja) * | 1986-12-15 | 1990-06-07 | ピー・アール・シー・コーポレーション | レーザの光学要素装着構造および方法 |
| JPH02203310A (ja) * | 1988-09-20 | 1990-08-13 | Olympus Optical Co Ltd | レンズの保持装置 |
-
1991
- 1991-03-05 JP JP3826391A patent/JPH04276672A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62159484A (ja) * | 1986-01-08 | 1987-07-15 | Nec Corp | ガスレ−ザ管 |
| JPH02501691A (ja) * | 1986-12-15 | 1990-06-07 | ピー・アール・シー・コーポレーション | レーザの光学要素装着構造および方法 |
| JPS63253682A (ja) * | 1987-04-10 | 1988-10-20 | Fanuc Ltd | レ−ザ発振器の光学部品保持構造 |
| JPH02203310A (ja) * | 1988-09-20 | 1990-08-13 | Olympus Optical Co Ltd | レンズの保持装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3277573B2 (ja) | 半導体レーザモジュール | |
| US8827468B2 (en) | Mount for an optical structure and methods of mounting an optical structure using such mount | |
| EP0660150A2 (en) | Lens mounting structure | |
| EP0495865A1 (en) | Mounting optical components | |
| JP2016508626A (ja) | 一体化されたフレクシャを有するモノリシック光学構成要素 | |
| JP3288873B2 (ja) | 走査光学装置のミラー固定構造 | |
| JP2565279B2 (ja) | 光結合構造 | |
| JPH05243660A (ja) | 短波長レーザ光源および短波長レーザ光源の製造方法 | |
| JPH04276672A (ja) | レーザ共振器 | |
| JPH03233423A (ja) | 走査光学系のレンズ支持構造 | |
| US5381430A (en) | Optical wavelength converting apparatus | |
| US4831632A (en) | Method and apparatus for optically aligning a laser cavity | |
| US20040223524A1 (en) | Mode-locked fiber laser | |
| JPH1068902A (ja) | 光走査装置における光学レンズの固定構造 | |
| JP4613272B2 (ja) | レーザー共振器およびその調整方法 | |
| JP3707920B2 (ja) | 光学部材の固定構造 | |
| JP2590814B2 (ja) | 光学素子固定構造 | |
| EP0986148A3 (en) | Laser | |
| JP2001015837A (ja) | 固体レーザ発振器 | |
| JP2927977B2 (ja) | 光半導体素子モジュール | |
| JPS5829446Y2 (ja) | カメラ用鏡筒 | |
| JP3333881B2 (ja) | 狹帯域化レーザ発振器 | |
| JP3157630B2 (ja) | 画像露光装置 | |
| JPH0667104A (ja) | 光学系のハウジング用金型 | |
| JP2000277835A (ja) | 固体レーザ装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970930 |