JPH04276670A - 磁気センサー - Google Patents
磁気センサーInfo
- Publication number
- JPH04276670A JPH04276670A JP3038301A JP3830191A JPH04276670A JP H04276670 A JPH04276670 A JP H04276670A JP 3038301 A JP3038301 A JP 3038301A JP 3830191 A JP3830191 A JP 3830191A JP H04276670 A JPH04276670 A JP H04276670A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- magnetic sensor
- mark
- protective film
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- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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- 238000010330 laser marking Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は主にモータの回転速度，
回転角の検知等に利用される磁気センサーに関するもの
である。
回転角の検知等に利用される磁気センサーに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来の磁気センサー１８を図３，図４に
示す。図３に示すものは、センサーパターン１を有した
センサー基板２にリード端子８をつけ、その接続部を樹
脂塗料７で覆ってなるセンサー素子６の斜視図である。 図４に示すものは、ホルダー９にこのセンサー素子６を
組立，固着して完成させた磁気センサー１８の正面図で
ある。
示す。図３に示すものは、センサーパターン１を有した
センサー基板２にリード端子８をつけ、その接続部を樹
脂塗料７で覆ってなるセンサー素子６の斜視図である。 図４に示すものは、ホルダー９にこのセンサー素子６を
組立，固着して完成させた磁気センサー１８の正面図で
ある。
【０００３】このようなセンサー素子６は、図２のよう
な大版基板５を切断，分割して個々のセンサー基板２を
得ていた。このとき、センサー基板２のＡ辺３とＢ辺４
は、それぞれセンサーパターン１に水平，垂直となるよ
うに所定の基板寸法に切断，分割をしていた。これをさ
らに、図３に示すセンサー素子６に仕上げ、そして、ホ
ルダー９に組立，固着して、図４に示す磁気センサー１
８に完成させていたものである。
な大版基板５を切断，分割して個々のセンサー基板２を
得ていた。このとき、センサー基板２のＡ辺３とＢ辺４
は、それぞれセンサーパターン１に水平，垂直となるよ
うに所定の基板寸法に切断，分割をしていた。これをさ
らに、図３に示すセンサー素子６に仕上げ、そして、ホ
ルダー９に組立，固着して、図４に示す磁気センサー１
８に完成させていたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この組立時において、
図４に示すようにセンサーパターン１とホルダー９の基
準面１０とのなす角（以後、アジマス角度と表現する。 ）が９０度になるよう、組立，固着をしていた。このア
ジマス角が、９０度からはずれた場合、磁気センサー１
８からの出力は、小さくなる傾向になる。従って、アジ
マス角が常に９０度になるよう完成させる必要があった
。しかしながら、組立時には、センサー基板２の切断精
度や、ホルダー９の寸法精度、そして、固着時の接着剤
１１によるズレ等の影響があり、必ずしもアジマス角度
が９０度となるように組立，固着できてはいなかった。
図４に示すようにセンサーパターン１とホルダー９の基
準面１０とのなす角（以後、アジマス角度と表現する。 ）が９０度になるよう、組立，固着をしていた。このア
ジマス角が、９０度からはずれた場合、磁気センサー１
８からの出力は、小さくなる傾向になる。従って、アジ
マス角が常に９０度になるよう完成させる必要があった
。しかしながら、組立時には、センサー基板２の切断精
度や、ホルダー９の寸法精度、そして、固着時の接着剤
１１によるズレ等の影響があり、必ずしもアジマス角度
が９０度となるように組立，固着できてはいなかった。
【０００５】また、図に示すようにセンサー素子６には
保護膜１２が形成されているが、ＳｉＯ等のパッシベー
ション膜からなり、、図５（Ａ）に示すように厚みが薄
い（数μｍ以下）ものの場合は、透明度が高いためセン
サーパターン１が保護膜１２を通して見えアジマス角度
測定が可能であったが、図５（Ｂ）に示すように保護膜
１２が樹脂または、厚い（数μｍ以上）パッシベーショ
ン膜を用いたものでは、不透明なためにセンサーパター
ン１が保護膜１２を通して見えずアジマス角度測定は、
非常に困難であった。
保護膜１２が形成されているが、ＳｉＯ等のパッシベー
ション膜からなり、、図５（Ａ）に示すように厚みが薄
い（数μｍ以下）ものの場合は、透明度が高いためセン
サーパターン１が保護膜１２を通して見えアジマス角度
測定が可能であったが、図５（Ｂ）に示すように保護膜
１２が樹脂または、厚い（数μｍ以上）パッシベーショ
ン膜を用いたものでは、不透明なためにセンサーパター
ン１が保護膜１２を通して見えずアジマス角度測定は、
非常に困難であった。
【０００６】本発明は上記課題を解決するために、アジ
マス角が容易に測定できる磁気センサーを目的とする。
マス角が容易に測定できる磁気センサーを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、基板上に形成されたセンサーパターンと、
このセンサーパターンを覆うように形成された保護膜と
、この保護膜の表面上にセンサーパターンの垂直方向及
び水平方向を示すマークとを備えた磁気センサーを提供
するものである。
に本発明は、基板上に形成されたセンサーパターンと、
このセンサーパターンを覆うように形成された保護膜と
、この保護膜の表面上にセンサーパターンの垂直方向及
び水平方向を示すマークとを備えた磁気センサーを提供
するものである。
【０００８】
【作用】本発明によれば、保護膜上にマークを形成する
ことによって、センサーパターンの垂直方向及び水平方
向を判断することができ、アジマス角度の測定が容易に
かつ正確に行うことができる。
ことによって、センサーパターンの垂直方向及び水平方
向を判断することができ、アジマス角度の測定が容易に
かつ正確に行うことができる。
【０００９】
【実施例】以下本発明の一実施例の磁気センサーについ
て図面を用いて説明する。図１（Ａ）は、本実施例によ
る磁気センサーの斜視図、図１（Ｂ）は、大版基板５に
本実施例のＩマークを形成した平面図、図１（Ｃ）は、
他の実施例のＬマークを形成した平面図である。
て図面を用いて説明する。図１（Ａ）は、本実施例によ
る磁気センサーの斜視図、図１（Ｂ）は、大版基板５に
本実施例のＩマークを形成した平面図、図１（Ｃ）は、
他の実施例のＬマークを形成した平面図である。
【００１０】本実施例においては、図２のようなセンサ
ー基板２が複数個配列された大版基板５にセンサーパタ
ーン１を形成と同時に、従来無かった合わせマーク１５
を大版基板５の４角に形成する。そして、各センサー基
板２の上にＳｉＯ等の保護膜１２を形成し、さらに、そ
の上に樹脂保護膜を形成する。この後、大版基板５の合
わせマーク１５と対応する位置に合わせマークをもつ印
刷マスクを重ね合わせて各センサー基板２上にＩ形のＩ
マーク１３を樹脂印刷により形成する。このＩマーク１
３はセンサーパターン１の水平方向及び垂直方向を示す
ものである。このようにして出来上がった大版基板５を
切断，分割し、従来と同様にリード端子８を取り付けて
これをセンサー素子６に仕上げ、そしてホルダー９には
め込み図１（Ａ）に示すような磁気センサーを完成する
ものである。
ー基板２が複数個配列された大版基板５にセンサーパタ
ーン１を形成と同時に、従来無かった合わせマーク１５
を大版基板５の４角に形成する。そして、各センサー基
板２の上にＳｉＯ等の保護膜１２を形成し、さらに、そ
の上に樹脂保護膜を形成する。この後、大版基板５の合
わせマーク１５と対応する位置に合わせマークをもつ印
刷マスクを重ね合わせて各センサー基板２上にＩ形のＩ
マーク１３を樹脂印刷により形成する。このＩマーク１
３はセンサーパターン１の水平方向及び垂直方向を示す
ものである。このようにして出来上がった大版基板５を
切断，分割し、従来と同様にリード端子８を取り付けて
これをセンサー素子６に仕上げ、そしてホルダー９には
め込み図１（Ａ）に示すような磁気センサーを完成する
ものである。
【００１１】本実施例によれば保護膜１２上にＩマーク
１３を形成することにより、センサーパターン１の垂直
方向及び水平方向を判断することができ、ホルダー９に
取り付けた後のアジマス角の測定が容易にかつ正確に行
うことができる。これにより、磁気センサーの出力が小
さくなってしまうものは少なくすることができ、歩留り
が向上する。
１３を形成することにより、センサーパターン１の垂直
方向及び水平方向を判断することができ、ホルダー９に
取り付けた後のアジマス角の測定が容易にかつ正確に行
うことができる。これにより、磁気センサーの出力が小
さくなってしまうものは少なくすることができ、歩留り
が向上する。
【００１２】なお、マークはＩマークに限らず、センサ
ーパターン１の垂直方向及び水平方向を示すことができ
るならどのようなマークであっても構わない。例えば図
１（Ｃ）のようなＬ形のＬマーク１４も好ましいマーク
の１つである。
ーパターン１の垂直方向及び水平方向を示すことができ
るならどのようなマークであっても構わない。例えば図
１（Ｃ）のようなＬ形のＬマーク１４も好ましいマーク
の１つである。
【００１３】さらに、マークの形成手段は、レーザーマ
ーキングによるものでもよい。なお、図６は、キャプス
タンモータのロータ１７に、磁気センサー１８を接触し
た状態で取付けした側面図を示すものであるが、このよ
うな取付状態で連続運転をし、不具合が生じた場合に磁
気センサー１８側に不具合の原因があったのか、それと
もロータ１７との取付状態が悪かったのか、はっきりわ
からなかった。ところが本実施例のＩマーク１３表示を
施すことによって、ロータ１７との取付状態が適当な場
合、Ｉマーク１３には、外傷を受けず、ロータ１７との
取付状態が不具合の場合は、Ｉマーク１３表示が削り去
られるため、不具合の発生原因を明確にすることができ
る。
ーキングによるものでもよい。なお、図６は、キャプス
タンモータのロータ１７に、磁気センサー１８を接触し
た状態で取付けした側面図を示すものであるが、このよ
うな取付状態で連続運転をし、不具合が生じた場合に磁
気センサー１８側に不具合の原因があったのか、それと
もロータ１７との取付状態が悪かったのか、はっきりわ
からなかった。ところが本実施例のＩマーク１３表示を
施すことによって、ロータ１７との取付状態が適当な場
合、Ｉマーク１３には、外傷を受けず、ロータ１７との
取付状態が不具合の場合は、Ｉマーク１３表示が削り去
られるため、不具合の発生原因を明確にすることができ
る。
【００１４】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、保護膜
上にマークを形成することにより、センサーパターンの
垂直方向及び水平方向を判断することができ、アジマス
角度の測定が容易にかつ正確に行うことができる。
上にマークを形成することにより、センサーパターンの
垂直方向及び水平方向を判断することができ、アジマス
角度の測定が容易にかつ正確に行うことができる。
【図１】（Ａ）は本発明の一実施例の磁気センサーの斜
視図 （Ｂ）はＩマークを形成した大版のセンサー基板の平面
図 （Ｃ）はＬマークを形成した大版のセンサー基板の平面
図
視図 （Ｂ）はＩマークを形成した大版のセンサー基板の平面
図 （Ｃ）はＬマークを形成した大版のセンサー基板の平面
図
【図２】従来の大版のセンサー基板の平面図
【図３】従
来のセンサー素子を示す斜視図
来のセンサー素子を示す斜視図
【図４】従来の磁気セン
サーの正面図
サーの正面図
【図５】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ従来のセンサー素子
の断面図
の断面図
【図６】キャプスタンモータのロータに磁気センサーを
接触させて取付けた状態の側面図
接触させて取付けた状態の側面図
１ センサーパターン
２ センサー基板
３ センサー基板のＡ辺
４ センサー基板のＢ辺
５ 大版基板
６ センサー素子
７ 樹脂塗料
８ リード端子
９ ホルダー
１０ 基準面
１１ 接着剤
１２ 保護膜
１３ Ｉマーク
１４ Ｌマーク
１５ 合わせマーク
１６ 上部
１７ ロータ
１８ 磁気センサー
Claims (1)
- 【請求項１】基板上に形成されたセンサーパターンと、
このセンサーパターンを覆うように形成された保護膜と
、この保護膜の表面上にセンサーパターンの垂直方向及
び水平方向を示すマークとを備えた磁気センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3038301A JPH04276670A (ja) | 1991-03-05 | 1991-03-05 | 磁気センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3038301A JPH04276670A (ja) | 1991-03-05 | 1991-03-05 | 磁気センサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04276670A true JPH04276670A (ja) | 1992-10-01 |
Family
ID=12521485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3038301A Pending JPH04276670A (ja) | 1991-03-05 | 1991-03-05 | 磁気センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04276670A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001159542A (ja) * | 1999-12-03 | 2001-06-12 | Hitachi Metals Ltd | 回転角度センサー及び回転角度センサーユニット |
-
1991
- 1991-03-05 JP JP3038301A patent/JPH04276670A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001159542A (ja) * | 1999-12-03 | 2001-06-12 | Hitachi Metals Ltd | 回転角度センサー及び回転角度センサーユニット |
| JP4543350B2 (ja) * | 1999-12-03 | 2010-09-15 | 日立金属株式会社 | 回転角度センサー及び回転角度センサーユニット |
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