JPH04276531A - 光ファイバ式温度分布測定装置 - Google Patents

光ファイバ式温度分布測定装置

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JPH04276531A
JPH04276531A JP3061232A JP6123291A JPH04276531A JP H04276531 A JPH04276531 A JP H04276531A JP 3061232 A JP3061232 A JP 3061232A JP 6123291 A JP6123291 A JP 6123291A JP H04276531 A JPH04276531 A JP H04276531A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光ファイバの一端に
パルス光を入射したときのラマン後方散乱光を検出して
その光強度の各時間ごとの値より光ファイバの長さ方向
各位置での温度を測定する光ファイバ式温度分布測定装
置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来よりＯＴＤＲ（Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｔ
ｉｍｅ−Ｄｏｍａｉｎ　Ｒｅｆｌｅｃｔｏｍｅｔｒｙ）
装置による光ファイバ式温度分布測定装置が知られてい
る。ＯＴＤＲ装置では、光源からパルス光を発生させて
これを被測定光ファイバの一端に入射し、この光ファイ
バで生じたレーリ散乱やラマン散乱により後方に戻って
きてその一端から出射した光を分離する。そして、受光
素子に導き電気信号に変換した上で後方散乱光の強度に
ついての各時間ごとのデータを得る。この時間ごとのデ
ータをパルス光発生タイミングを基準にして並べれば、
光ファイバの長さ方向での損失分布が得られる。後方散
乱光のうちラマン散乱光成分を検出すれば、ラマン散乱
光は入射光波長からシフトした波長の光で、短い波長に
シフトした反ストークス光と、長い波長にシフトしたス
トークス光とからなり、その強度は温度により敏感に変
化することから、光ファイバ長さ方向各位置での温度分
布の測定ができる。
【０００３】後方散乱光として検出されるラマン散乱光
は１億分の１ときわめて微弱であるため、光強度の強い
光源を使用する必要がある。半導体レーザ（ＬＤ）を光
源として使用した場合、ラマン後方散乱光強度が弱く、
十分な温度測定精度を得ることができない。そのため、
最近実用化された半導体レーザ（ＬＤ）励起固体レーザ
を使用して強い光を被測定光ファイバに入射し、強いラ
マン散乱光強度を得るようにしている。これは、従来の
固体レーザの励起用光源であるフラッシュランプをＬＤ
に置き換えたもので、効率が良く、小型化も可能である
。現在商品化されているものとして、レーザ発振用の固
体結晶がＮｄドープＹＡＧあるいはＹＬＦからなるもの
で、発振波長が１．０６μｍまたは１．３２μｍのもの
が知られているが、シングルモード光ファイバ用には波
長１．３２μｍのものが用いられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、波長１
．３２μｍの光源を使用すると反ストークス光の波長が
１．２５μｍ、スートクス光の波長が１．４０μｍとな
り、光ファイバの種類によっては反ストーク光がシング
ルモード光ファイバのカットオフ波長以下になる場合も
あるという問題がある。カットオフ波長以下の波長の光
はシングルモード条件を満たさないため、伝送損失が大
きく、かつ曲がりなどの外乱に対して不安定であり、精
度の高い温度分布測定を安定に行なうことができない。
【０００５】この問題を解決するため、カットオフ波長
以上の領域にあるストークス光のみを検出して温度計測
を行なうことも考えられるが、ストークス光は温度に対
する感度が反ストークス光の７分の１程度と低く、十分
な温度測定精度を得ることは難しい。
【０００６】この発明は、上記に鑑み、強度の大きな光
を発生するＬＤ励起固体レーザを用いながら、反ストー
クス光が光ファイバのカットオフ波長以下にならないよ
うな波長の光を被測定光ファイバに入射させることがで
きる、光ファイバ式温度分布測定装置を提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明による光ファイバ式温度分布測定装置では
、ＬＤ励起固体レーザから発生したパルス光を、光ファ
イバの一端に入射して誘導ラマン散乱を生じさせ、他端
から出射する誘導ラマン散乱光のなかから所望の波長成
分の光を取り出し、この取り出した光を、被測定光ファ
イバの一端に入射する光として使用することが特徴とな
っている。ＬＤ励起固体レーザから閾値以上の強いパル
ス光を入射すると、光ファイバ中に誘導ラマン散乱を生
じる。この誘導ラマン散乱光は１次、２次、３次、…、
高次のストークス光からなり、入射光波長より長波長域
に広い波長範囲で発生し、その強度は大きく、光ファイ
バ式温度分布測定装置の光源として必要な数百ｍＷ以上
の強度となる。したがって、この誘導ラマン散乱光のう
ちの所望の波長成分を取り出して被測定光ファイバに入
射することにより、被測定光ファイバ中に生じる反スト
ークス光がカットオフ波長以上になりシングルモード条
件を満たすようにすることができ、安定した温度測定が
可能となる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の一実施例にかかる光ファイ
バ式温度分布測定装置について図面を参照しながら詳細
に説明する。図１において、光源としてＬＤ励起固体レ
ーザ１１と光ファイバ１２とからなるファイバ・ラマン
レーザ装置１が用いられ、そこから発生したパルス光が
光減衰器２、光フィルタ４および分光デバイス３を経て
、被測定光ファイバ９に入射される。分光デバイス３は
たとえば回折格子や、誘電体多層膜を使用した光学フィ
ルタ膜などからなる。この被測定光ファイバ９で発生し
たラマン後方散乱光の波長成分は分光デバイス３で分離
される。分光デバイス３より分離されたストークス光と
反ストークス光の２つの波長成分の光は、それぞれ受光
素子５およびアンプ６を経てデジタル平均化回路７に送
られる。このデジタル平均化回路７はコンピュータ８に
接続されており、相互にデータの送受を行なっている。 デジタル平均化回路７では、ＬＤ励起固体レーザ１１に
送ったパルス光発生のためのトリガ信号を起点にして入
力信号のサンプリングおよびＡ／Ｄ変換を行ない、後方
散乱光の強度についてのデータを、被測定光ファイバ９
にパルス光を入射した時点からの各単位時間ごとに得て
おり、さらにパルス光入射を繰り返したときのデータを
加算して加算平均化処理を行なってＳ／Ｎ比を上げるよ
うにしている。こうして得られたデータはコンピュータ
８に送られ、たとえば横軸をデータサンプリング時間、
縦軸をデータの大きさとして表示することにより、被測
定光ファイバ９の長さ方向各位置の測定温度が表わされ
ることになる。
【０００９】ファイバ・ラマンレーザ装置１の光ファイ
バ１２には誘導ラマン散乱が発生する閾値以上の大きさ
の高出力パルス光が入力されている。そのため数Ｗ以上
の高出力のパルス光が必要であるので、ＬＤ励起固体レ
ーザ１１を使用し、波長１．３２１μｍのパルス光を得
ている。一般に光ファイバ中に光を入射させると入射波
長と同じ波長のレーリ散乱光と波長のシフトしたラマン
散乱光とが発生し、これらの散乱光強度は入射光強度に
比例して増加するが、ある閾値を越えたときから非線形
効果が発生し、急激にラマン散乱光強度が増大する。そ
して線形領域では観測できないほど微弱であった高次の
ストークス光も非常に大きくなる。逆にレーリ光と反ス
トークス光は、ストークス光にエネルギを奪われて強度
が大幅に低下する。
【００１０】この誘導ラマン散乱光は、入射光波長より
長波長側に１次、２次、３次、…、高次ストークス光と
して発生する。入射光の波長は上記のように１．３２１
μｍであり、１次、２次、３次、４次のストークス光の
波長はそれぞれ１．４０３μｍ、１．４９５μｍ、１．
６００μｍ、１．７２１μｍとなる。この誘導ラマン散
乱光は強度が大きく、ラマン後方散乱光を観測するのに
必要な数百ｍＷ以上の強度の光が幅広い波長域で得られ
る。
【００１１】こうして光ファイバ１２から出射されるパ
ルス光は、光フィルタ４により１次ストークス光の波長
（１．４０３μｍ）成分のみが取り出され、ＬＤ励起固
体レーザ１１の発光波長成分、誘導ラマン散乱によって
光ファイバ１２で発生したレーリ散乱光、２次、３次、
４次、…、高次のストークス光の波長成分はカットされ
る。また、光減衰器２によってその強度を調整され、被
測定光ファイバ９中で誘導ラマン散乱を生じる閾値以下
の大きさにされる。
【００１２】被測定光ファイバ９では、波長１．４０３
μｍのパルス光が入射させられることによりラマン散乱
が生じ、波長１．４９５μｍのストークス光と波長１．
３２１μｍの反ストークス光とが後方散乱光として入射
端側に戻ってきて、これらの波長成分の光が分光デバイ
ス３によって分離される。ストークス光および反ストー
クス光の波長がこのようなものであるならば、被測定光
ファイバ９におけるシングルモード条件が満たされ、伝
送損失は小さく、外乱に対して安定であるため、安定し
た精度の高い温度測定が可能となる。
【００１３】
【発明の効果】以上、実施例について説明したように、
この発明の光ファイバ式温度分布測定装置によれば、シ
ングルモード光ファイバのラマン散乱によるストークス
光および反ストークス光がカットオフ波長以下にならな
いような、１．４μｍ以上という波長の光を被測定光フ
ァイバに入射させることができ、精度の高い温度分布測
定を安定に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例のブロック図。
【符号の説明】
１　　　　ファイバ・ラマンレーザ装置１１　　ＬＤ励
起固体レーザ １２　　光ファイバ ２　　　　光減衰器 ３　　　　分光デバイス ４　　　　光フィルタ ５　　　　受光素子 ６　　　　アンプ ７　　　　デジタル平均化回路 ８　　　　コンピュータ ９　　　　被測定光ファイバ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　高出力のパルス光を発生するＬＤ励起
    固体レーザと、該パルス光が一端に入射されて誘導ラマ
    ン散乱を生じる光ファイバと、上記の光ファイバの他端
    から出射する誘導ラマン散乱光より所望の波長成分を取
    り出す光フィルタと、この光フィルタの出力光を被測定
    光ファイバの一端に入射するとともにその一端から出射
    する被測定光ファイバのラマン後方散乱光を取り出す光
    学装置と、この取り出されたラマン後方散乱光を電気信
    号に変換する受光素子と、該電気信号をＡ／Ｄ変換して
    平均化処理するデジタル平均化回路とを備えることを特
    徴とする光ファイバ式温度分布測定装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007240174A (ja) * 2006-03-06 2007-09-20 Yokogawa Electric Corp 光ファイバ分布型温度測定装置
JP2009198423A (ja) * 2008-02-25 2009-09-03 Fujikura Ltd 光ファイバ分布型センサ装置
CN104501995A (zh) * 2014-11-27 2015-04-08 珠海拓普智能电气股份有限公司 一种基于fpga采集卡的光纤测温系统
CN107615028A (zh) * 2015-05-13 2018-01-19 富士通株式会社 温度测量装置、温度测量方法和温度测量程序

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5356220A (en) * 1992-05-29 1994-10-18 Kawasaki Steel Corporation Method and apparatus for monitoring temperature of blast furnace and temperature control system using temperature monitoring apparatus
US5449233A (en) * 1992-06-16 1995-09-12 Kabushiki Kaisha Toshiba Temperature distribution measuring apparatus using an optical fiber
KR0133488B1 (en) * 1993-01-06 1998-04-23 Toshiba Kk Temperature distribution detector using optical fiber
GB9315231D0 (en) * 1993-07-22 1993-09-08 York Ltd Optical time domain reflextometry
US5839830A (en) * 1994-09-19 1998-11-24 Martin Marietta Energy Systems, Inc. Passivated diamond film temperature sensing probe and measuring system employing same
JPH08247858A (ja) * 1995-03-07 1996-09-27 Toshiba Corp 光温度分布センサ及び温度分布測定方法
GB9508427D0 (en) * 1995-04-26 1995-06-14 Electrotech Equipments Ltd Temperature sensing methods and apparatus
USH2002H1 (en) 1995-12-19 2001-11-06 The Dow Chemical Company Apparatus for conducting Raman spectroscopy using fiber optics
WO1998059225A1 (en) 1997-06-20 1998-12-30 Plasma Tec, Inc. Dispersive atomic vapor raman filter
US6127937A (en) * 1999-05-07 2000-10-03 Arr-Maz Products, L.P. System and method for monitoring environmental conditions inside a granulated pile
US6997603B2 (en) * 2001-03-20 2006-02-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Instrumented fiber optic tow cable
TW542908B (en) * 2001-11-30 2003-07-21 Univ Nat Chiao Tung Signal processing method to improve spatial resolution in the temperature distribution measurement
US20030234921A1 (en) * 2002-06-21 2003-12-25 Tsutomu Yamate Method for measuring and calibrating measurements using optical fiber distributed sensor
US6811307B2 (en) * 2002-07-10 2004-11-02 Kenneth J. Crowe DTS measurement of HV cable temperature profile
JP2004045306A (ja) * 2002-07-15 2004-02-12 Noritake Co Ltd 放射率分布測定方法および装置
AU2002951705A0 (en) * 2002-09-27 2002-10-17 Crc For Intelligent Manufacturing Systems And Technologies Ltd Reflectometry
GB2400906B (en) * 2003-04-24 2006-09-20 Sensor Highway Ltd Distributed optical fibre measurements
US20050244116A1 (en) * 2004-04-28 2005-11-03 Evans Alan F Cables and cable installations
US7919325B2 (en) * 2004-05-24 2011-04-05 Authentix, Inc. Method and apparatus for monitoring liquid for the presence of an additive
WO2006045340A1 (en) * 2004-10-27 2006-05-04 Agilent Technologies, Inc. Optical time domain reflectometry for determining distributed physical properties
DE602005019991D1 (de) * 2005-06-09 2010-04-29 Ap Sensing Gmbh Detektion verschiedener Spektralkomponenten eines optischen Signals mittels eines optischen Verschlusses
WO2007085301A1 (en) * 2006-01-27 2007-08-02 Agilent Technologies, Inc Spectral components detection with a switchable filter
WO2009011766A1 (en) * 2007-07-18 2009-01-22 Sensortran, Inc. Dual source auto-correction in distributed temperature systems
US20100312512A1 (en) * 2009-06-08 2010-12-09 Ajgaonkar Mahesh U Single light source automatic calibration in distributed temperature sensing
RU2458325C1 (ru) * 2011-04-28 2012-08-10 Общество с ограниченной ответственностью "ПетроФайбер" Способ измерения температурного распределения и устройство для его осуществления
CN103575314B (zh) * 2012-07-26 2016-03-30 苏州光格设备有限公司 分布式光纤传感系统
JP5742861B2 (ja) 2013-02-28 2015-07-01 横河電機株式会社 光ファイバ温度分布測定装置
JP5761235B2 (ja) * 2013-03-06 2015-08-12 横河電機株式会社 光ファイバ温度分布測定装置
RU2583060C1 (ru) * 2015-02-09 2016-05-10 Общество с ограниченной ответственностью "ПетроФайбер" Способ измерения температурного распределения в объекте и устройство для его осуществления
EP3370307B1 (en) * 2015-10-30 2021-09-22 Fujikura Ltd. Fiber laser system, reflection resistance evaluation method and reflection resistance improvement method for same, and fiber laser
US10852202B2 (en) * 2016-11-11 2020-12-01 Kidde Technologies, Inc. High sensitivity fiber optic based detection
US10775246B2 (en) 2018-03-09 2020-09-15 Viavi Solutions Inc. Single-band distributed temperature sensing
RU2701182C1 (ru) * 2019-03-18 2019-09-25 Общество С Ограниченной Ответственностью "Киплайн" Устройство опроса чувствительного элемента
RU192122U1 (ru) * 2019-03-28 2019-09-04 Общество С Ограниченной Ответственностью "Киплайн" Устройство опроса чувствительного элемента
RU192121U1 (ru) * 2019-03-28 2019-09-04 Общество С Ограниченной Ответственностью "Киплайн" Устройство опроса чувствительного элемента
US11598678B1 (en) * 2019-12-17 2023-03-07 Intelligent Fiber Optic Systems, Inc. Distributed temperature sensor with shortened sensing regions

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2122337B (en) * 1982-05-18 1985-11-13 Nat Res Dev Fibre optic sensing device
GB2156513B (en) * 1984-03-28 1988-05-25 Plessey Co Plc Temperature measuring arrangements
GB2170593B (en) * 1985-02-01 1988-09-14 Central Electr Generat Board Temperature measurement
GB8520827D0 (en) * 1985-08-20 1985-09-25 York Ventures & Special Optica Fibre-optic sensing devices
GB8708148D0 (en) * 1987-04-06 1987-05-13 British Telecomm Radiation pulse generation
JPS6469925A (en) * 1987-09-11 1989-03-15 Hitachi Cable Optical fiber type temperature distribution measuring apparatus
GB8730061D0 (en) * 1987-12-23 1988-02-03 Plessey Co Plc Improvements relating to optical sensing systems
JPH0769223B2 (ja) * 1989-06-08 1995-07-26 旭硝子株式会社 温度測定方法および分布型光ファイバー温度センサー

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007240174A (ja) * 2006-03-06 2007-09-20 Yokogawa Electric Corp 光ファイバ分布型温度測定装置
JP2009198423A (ja) * 2008-02-25 2009-09-03 Fujikura Ltd 光ファイバ分布型センサ装置
CN104501995A (zh) * 2014-11-27 2015-04-08 珠海拓普智能电气股份有限公司 一种基于fpga采集卡的光纤测温系统
CN107615028A (zh) * 2015-05-13 2018-01-19 富士通株式会社 温度测量装置、温度测量方法和温度测量程序
CN107615028B (zh) * 2015-05-13 2019-12-10 富士通株式会社 温度测量装置、温度测量方法和存储介质

Also Published As

Publication number Publication date
EP0502283B1 (en) 1996-04-24
US5217306A (en) 1993-06-08
DE69119056D1 (de) 1996-05-30
DE69119056T2 (de) 1996-10-24
EP0502283A1 (en) 1992-09-09
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