JPH04274223A - 半導体微粒子分散ガラスの製造方法 - Google Patents

半導体微粒子分散ガラスの製造方法

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JPH04274223A
JPH04274223A JP5930891A JP5930891A JPH04274223A JP H04274223 A JPH04274223 A JP H04274223A JP 5930891 A JP5930891 A JP 5930891A JP 5930891 A JP5930891 A JP 5930891A JP H04274223 A JPH04274223 A JP H04274223A
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JP
Japan
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porous glass
glass
cds
semiconductor fine
dispersed
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Pending
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JP5930891A
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English (en)
Inventor
Ichiro Tanahashi
棚橋 一郎
Ayumi Tsujimura
歩 辻村
Tsuneo Mitsuyu
常男 三露
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は非線形光学効果を利用し
た光デバイス等の基礎をなす半導体微粒子分散ガラスの
製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、非線形光学材料は高速光スイッチ
、高調波発生素子などの光デバイスとしての用途が考え
られている。特にその中核をなす半導体微粒子や非線形
光学特性を有する有機化合物を用いた非線形光学材料に
ついては、より高性能な材料の開発あるいはより改良さ
れた材料の製造方法が注目されている。
【0003】この分野における従来の技術としては、例
えばジャ−ナル  オブ  ノンクリスタライン  ソ
リッド第122巻101ペ−ジ(J.Non−Crys
t.Solids,Vol.122,1990)に記載
されているようなゾル−ゲル法によるCdS含有シリカ
ガラスの作成法がある。
【0004】この方法はシリコンのアルコキシド(Si
(OC2 H5 )4 )を加水分解した後、メタノ−
ルに溶解させたCd(CH3 COO)2 ・2H2 
Oを加えて撹拌する。その後、水、エタノ−ル、アンモ
ニア水の混合溶液を加えて撹拌を続け、この溶液をシャ
−レに移行しゲル板を作成する。このゲル板を硫化水素
(H2 S)ガスを含んだ雰囲気中に置き、硫化反応に
よってCdS含有ガラスを作成するものである。
【0005】また、ジャ−ナル  オブ  オプティカ
ル  ソサエティ  オブ  アメリカ第73巻647
ペ−ジ(J.Opt.Soc.Am.,Vol.73,
1983)に記載されているように、CdSX Se1
−X をホウケイ酸ガラスに分散したカットオフフィル
タ−ガラスを非線形光学材料に用いるものがある。この
カットオフフィルタ−ガラスはCdSX Se1−X 
とをホウケイ酸ガラス材料を白金ルツボに入れ1000
℃程度の温度で溶融し作製している。
【0006】さらに、ジャ−ナル  オブ  アプライ
ド  フィジックス  第63巻957ペ−ジ(J.A
ppl.Phys. 63(3),957 1988)
に開示されているCdS微粒子ド−プ薄膜ガラスがある
【0007】この薄膜ガラスはタ−ゲットにコ−ニング
社製“7095ガラス”(Ba含有のホウケイ酸系ガラ
ス)とCdSとをタ−ゲットに用い高周波マグネトロン
スパッタリング法により、“7095ガラス”中にCd
Sを2〜4重量%分散させたものである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記方法の半導体微粒
子分散ガラスの製造方法では、次のような課題がある。
【0009】イ)ゾル−ゲル法の場合:ゲル体を硫化水
素雰囲気中に置き硫化反応によってCdS含有ガラスを
作成するため、ゲル体が厚い場合にはゲル体内部にまで
均一にCdSを分散させることが困難であり、表面と内
部とでCdSの粒径が異なり十分な粒径の制御ができな
い。
【0010】特に半導体微粒子分散ガラスを非線形光学
材料等に適用する場合には、ガラスマトリックス中に分
散された半導体微粒子の粒径の制御は重要であり、非線
形光学特性の性能に及ぼす影響は大きい。
【0011】ロ)カットオフフィルタ−ガラスの場合:
CdSX Se1−X をホウケイ酸ガラスに2−4w
t%以上均一に分散させることが困難であり、また10
00℃以上の高温で溶融しなければ作製できないため構
成成分の一部が蒸発してしまい目的とする半導体の組成
が変化する等の問題がありガラス組成、半導体組成の制
御も極めて困難なものとなる。
【0012】ハ)スパッタリング法を用いた場合:装置
が高価であるとともにガラス薄膜の形成に時間かかり、
(特にスパッタリング速度の小さなSiO2ガラスの形
成の場合など、1μmの厚みにするのに4−5時間かか
る。)厚膜を形成するのが困難である。
【0013】本発明は、半導体微粒子を均一な細孔径と
大きな比表面積を有する多孔質ガラスに担持することに
より、簡便な方法で半導体微粒子を均一な粒子径に分散
することができ、より大きな3次の非線形光学特性を有
する半導体微粒子分散ガラスの製造方法を提供すること
を目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は次の構成を有する。
【0015】(1)カドミウム、亜鉛、または鉛を溶解
させた溶液に多孔質ガラスを浸漬し、前記金属および/
またはその酸化物を前記多孔質ガラスの細孔内に担持さ
せた後、さらに硫化水素あるいは硫化セレンガスと反応
させることによりCdS、CdSe,ZnS、ZnSe
、PbSまたはPbSeを前記多孔質ガラスに分散担持
させることを特徴とする半導体微粒子分散ガラスの製造
方法。
【0016】(2)カドミウム、亜鉛、または鉛を溶解
させたゾルとなる溶液に多孔質ガラスを浸漬し、前記多
孔質ガラスの細孔内に保持したゾルをゲル化させ、さら
に硫化水素あるいは硫化セレンガスと反応させることに
よりCdS、CdSe,ZnS、ZnSe、PbSまた
はPbSeを前記多孔質ガラスに分散担持させることを
特徴とする半導体微粒子分散ガラスの製造方法。
【0017】(3)多孔質ガラスの平均細孔径が10n
m以下である前記(1)もしくは(2)項のいずれかに
記載の半導体微粒子分散ガラスの製造方法。
【0018】
【作用】本発明の前記(1)項の半導体微粒子分散ガラ
スの製造方法では、多孔質ガラスに化合物半導体微粒子
を担持させた半導体微粒子分散ガラスを作製する過程に
おいて、カドミウム、亜鉛または鉛を溶解させた溶液に
多孔質ガラスを浸漬し、前記金属および/またはその酸
化物を担持させた後、さらに硫化水素あるいは硫化セレ
ンガスと反応させることにより容易にCdS、CdSe
,ZnS、ZnSe、PbSまたはPbSeを前記多孔
質ガラスに高濃度に、均一にそして強固に分散担持させ
ることが可能となる。
【0019】また、本発明の前記(2)項の半導体微粒
子分散ガラスの製造方法では、カドミウム、亜鉛、また
は鉛を溶解させたゾルとなる溶液に多孔質ガラスを浸漬
し、前記多孔質ガラスの細孔内に保持したゾルをゲル化
させ、さらに硫化水素あるいは硫化セレンガスと反応さ
せることにより容易にCdS、CdSe,ZnS、Zn
Se、PbSまたはPbSeを前記多孔質ガラスに高濃
度に、均一にそして強固に分散担持させることが可能と
なる。特に、析出する半導体微粒子の周囲にゲルが介在
するので、半導体微粒子同士が合体して粒子が粗大化す
るのをより防止しやすい。
【0020】更に、多孔質ガラスの平均細孔径が10n
m以下の多孔質ガラスを用いる本発明の好ましい態様に
よれば、析出する半導体微粒子の粒子径を量子サイズ効
果が現れる程度に小さくコントロールする事がより容易
になり、優れた非線形光学特性を有する半導体微粒子分
散ガラスの簡便な製造方法が提供できる。
【0021】
【実施例】本発明で担体として用いる多孔質ガラスは、
化学的に安定でありかつ光学的に広い波長範囲で透明な
SiO2 ガラスが好ましい。多孔質ガラスの平均細孔
径は10nm以下が好ましい。平均細孔径10nm以下
の多孔質ガラスを用いることにより、析出する半導体微
粒子の粒子径を量子サイズ効果が現れる程度に小さくコ
ントロールする事がより容易になり、好ましい。
【0022】多孔質ガラスの平均細孔径の下限について
は特に制限するものではないが、析出させる半導体のボ
ーア半径以上であることが好ましく、通常0.5nm程
度である。
【0023】カドミウム、亜鉛、または鉛を溶解させた
溶液は、溶液中にカドミウム、亜鉛、または鉛のイオン
が存在する溶液であればよく、かかる溶液の成分として
用いられるカドミウム化合物の具体例としては、例えば
CdCl2 、CdCO3 、Cd(NO3 )2 、
Cd(CH3 COO)2 、Cd(HCOO)2 等
があげられ、また、亜鉛化合物の具体例としては、例え
ばZnCl2 、Zn(CH3 COO)2 等が、ま
た鉛化合物の具体例としては、例えばPbCl2 、P
bCO3 、Pb(NO3 )2 、Pb(CH3 C
OO)2 等があげられ、通常これらの化合物を水ある
いはアルコ−ルに溶解させて溶液を調整する。
【0024】アルコールとしては低級アルコールが好ま
しく、メタノール、エタノール等が好ましい。
【0025】また、ゾルとなる溶液としてはゲル化して
SiO2 となるような溶液を用いることが好ましく、
代表的な例を挙げると、Si(OC2 H5 )4 な
どのシリコンのアルコキシド類をC2 H5 OHなど
の低級アルコール類、H2 OおよびHClの混合溶液
に加えて、部分的に加水分解したものが用いられ、これ
に前述したカドミウム、亜鉛、または鉛の化合物のアル
コール溶液などを添加して調整する。
【0026】これらのゾルのゲル化は、前記ゾルを多孔
質ガラスの細孔内に導入した後ゲル化させるが、ゲル化
は真空乾燥で行ってもよいし、室温下で放置して水分を
蒸発させた後、例えば60〜80℃で長時間放置するな
どの方法などが採用できる。
【0027】このようにして調整したカドミウム、亜鉛
、または鉛を溶解させた溶液に多孔質ガラスを浸漬し、
用いたカドミウム、亜鉛、または鉛化合物の種類によっ
ても異なるが、通常300〜600℃で10分〜10時
間程度加熱処理することによって、多孔質ガラスの細孔
内に前記金属および/またはその酸化物を担持させる事
ができる。
【0028】前記金属および/またはその酸化物を前記
多孔質ガラスの細孔内に担持させた後、さらに硫化水素
あるいは硫化セレンガスと反応させてCdS、CdSe
,ZnS、ZnSe、PbSまたはPbSeを前記多孔
質ガラスに析出させるには、例えば、前記ガスの雰囲気
中で、通常、室温〜500℃で1分〜2時間程度反応さ
せる方法が採用できる。
【0029】以下本発明の具体的実施例を挙げて本発明
を更に詳細に説明する。
【0030】実施例1 厚さ0.5mm の多孔質ガラス(平均細孔径4nm、
比表面積200m2 /g)(以下多孔質ガラスをPV
Gと略称する。)に以下に示す方法によりCdS微粒子
を分散担持させた。
【0031】1)0.5mol%Cd(NO3 )2 
水溶液に多孔質ガラスを50時間浸漬、真空乾燥後、4
00 ℃の温度で1時間加熱してCdまたはその酸化物
を担持する。 2)上記多孔質ガラスを硫化水素雰囲気中150 ℃で
10分間反応させ、CdSを担持した多孔質ガラス(C
dS/PVG) を作製する。CdSの担持量は8wt
%であった。得られたCdS/PVG 中のCdSの粒
径は3〜4nmであった。このCdS/PVG の吸収
スペクトルから求めたバンドギャップはバルクCdSの
バンドギャップと比べ0.7eV ブルーシフトが見ら
れCdSが量子ドットとなっていることが示唆される。
【0032】上記工程において硫化水素の代わりにセレ
ン化水素を用いるとCdSe/PVGが合成できこの試
料においてもCdSeの量子サイズ効果が確認できた。
【0033】実施例2 厚さ0.5mm の多孔質ガラス(平均細孔径4nm、
比表面積200m2 /g)に以下に示す方法によりZ
nS微粒子を分散担持させた。
【0034】1)0.5mol%Zn(CH3 COO
)2 水溶液に多孔質ガラスを50時間浸漬、真空乾燥
後、400 ℃の温度で1時間加熱してZnまたはその
酸化物を担持する。 2)上記多孔質ガラスを硫化水素雰囲気中150 ℃で
10分間反応させ、ZnSを担持した多孔質ガラス(Z
nS/PVG) を作製する。得られたZnS/PVG
 中のZnSの粒径は3〜4nmであった。ZnSの担
持量は7.6wt%であった。このZnS/PVG の
吸収スペクトルから求めたバンドギャップはバルクZn
Sのバンドギャップと比べ0.6eV ブルーシフトが
見られZnSが量子ドットとなっていることが示唆され
る。
【0035】上記工程において硫化水素の代わりにセレ
ン化水素を用いるとZnSe/PVGが合成できこの試
料においてもZnSeの量子サイズ効果が確認できた。
【0036】実施例3 厚さ0.5mm の多孔質ガラス(平均細孔径4nm、
比表面積200m2 /g)に以下に示す方法によりP
bS微粒子を分散担持させた。 1)0.5mol%Pb(NO3 )2 水溶液に多孔
質ガラスを50時間浸漬、真空乾燥後、400 ℃の温
度で1時間加熱してPbまたはその酸化物を担持する。 2)上記多孔質ガラスを硫化水素雰囲気中150 ℃で
10分間反応させ、PbSを担持した多孔質ガラス(P
bS/PVG) を作製する。得られたPbS/PVG
 中のPbSの粒径は3〜4nmであった。PbSの担
持量は6.5wt%であった。このPbS/PVG の
吸収スペクトルから求めたバンドギャップはバルクPb
Sのバンドギャップと比べ0.83eVブルーシフトが
見られPbSが量子ドットとなっていることが示唆され
る。
【0037】上記工程において硫化水素の代わりにセレ
ン化水素を用いるとPbSe/PVGが合成できこの試
料においてもPbSeの量子サイズ効果が確認できた。
【0038】実施例4 厚さ0.5mm の多孔質ガラス(平均細孔径4nm、
比表面積200m2 /g)に以下に示す方法によりC
dS微粒子を分散担持させた。 1)0.5mol%Cd(NO3 )2 を溶解した表
1に示した組成のCd分散SiO2 となるゾルを調製
した。このゾルに多孔質ガラスを5時間浸漬、真空乾燥
して前記ゾルをゲル化した後、400 ℃の温度で1時
間加熱してCdまたはその酸化物を担持する。2)上記
多孔質ガラスを硫化水素雰囲気中150 ℃で10分間
反応させ、CdSを担持した多孔質ガラス(CdS/P
VG) を作製する。得られたCdS/PVG 中のC
dSの粒径は3〜3.5nmであった。CdSの担持量
は7wt%であった。このCdS/PVG の吸収スペ
クトルから求めたバンドギャップはバルクCdSのバン
ドギャップと比べ0.9eV ブルーシフトが見られC
dSが量子ドットとなっていることが示唆される。
【0039】上記工程において硫化水素の代わりにセレ
ン化水素を用いるとCdSe/PVGが合成できこの試
料においてもCdSeの量子サイズ効果が確認できた。
【0040】
【0041】
【表1】 実施例5 実施例4に示した薄膜を用いて光双安定素子を作製した
【0042】この素子に波長380nmのレ−ザ光をス
ポット径5μmで入射し、入射光の強度と出射光の強度
の関係を室温(25℃)にて測定したところ双安定特性
を示した。
【0043】
【発明の効果】本発明の、カドミウム、亜鉛または鉛を
溶解させた溶液に多孔質ガラスを浸漬し、前記金属を担
持させた後、さらに硫化水素あるいは硫化セレンガスと
反応させることによりCdS、CdSe,ZnS、Zn
Se、PbSまたはPbSeを前記多孔質ガラスに分散
担持させる半導体微粒子分散ガラスの製造方法によれば
、簡便な方法で高担持率の均一な粒径の半導体を担持し
た優れた非線形光学特性を有する半導体微粒子分散ガラ
スを得ることが可能となる。
【0044】また、本発明のカドミウム、亜鉛、または
鉛を溶解させたゾルとなる溶液に多孔質ガラスを浸漬し
、前記多孔質ガラスの細孔内に保持したゾルをゲル化さ
せ、さらに硫化水素あるいは硫化セレンガスと反応させ
る方法によれば、前述の効果のほか、析出する半導体微
粒子同士が合体して粒子が粗大化するのをより防止しや
すいという効果を達成できる。。
【0045】更に、多孔質ガラスの平均細孔径が10n
m以下の多孔質ガラスを用いる本発明の好ましい態様に
よれば、析出する半導体微粒子の粒子径を量子サイズ効
果が現れる程度に小さくコントロールする事がより容易
になり、優れた非線形光学特性を有する半導体微粒子分
散ガラスの簡便な製造方法が提供できる。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  カドミウム、亜鉛、または鉛を溶解さ
    せた溶液に多孔質ガラスを浸漬し、前記金属および/ま
    たはその酸化物を前記多孔質ガラスの細孔内に担持させ
    た後、さらに硫化水素あるいは硫化セレンガスと反応さ
    せることによりCdS、CdSe,ZnS、ZnSe、
    PbSまたはPbSeを前記多孔質ガラスに分散担持さ
    せることを特徴とする半導体微粒子分散ガラスの製造方
    法。
  2. 【請求項2】  カドミウム、亜鉛、または鉛を溶解さ
    せたゾルとなる溶液に多孔質ガラスを浸漬し、前記多孔
    質ガラスの細孔内に保持したゾルをゲル化させ、さらに
    硫化水素あるいは硫化セレンガスと反応させることによ
    りCdS、CdSe,ZnS、ZnSe、PbSまたは
    PbSeを前記多孔質ガラスに分散担持させることを特
    徴とする半導体微粒子分散ガラスの製造方法。
  3. 【請求項3】多孔質ガラスの平均細孔径が10nm以下
    である請求項1もしくは2のいずれかに記載の半導体微
    粒子分散ガラスの製造方法。
JP5930891A 1991-02-28 1991-02-28 半導体微粒子分散ガラスの製造方法 Pending JPH04274223A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5955528A (en) * 1996-07-04 1999-09-21 Fuji Xerox Co., Ltd. Polymeric composite material and process for manufacturing the same

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US5955528A (en) * 1996-07-04 1999-09-21 Fuji Xerox Co., Ltd. Polymeric composite material and process for manufacturing the same

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