JPH0426402B2 - - Google Patents

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JPH0426402B2
JPH0426402B2 JP59035906A JP3590684A JPH0426402B2 JP H0426402 B2 JPH0426402 B2 JP H0426402B2 JP 59035906 A JP59035906 A JP 59035906A JP 3590684 A JP3590684 A JP 3590684A JP H0426402 B2 JPH0426402 B2 JP H0426402B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
length measurement
land
measurement sensor
pattern
center
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP59035906A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS60203803A (en
Inventor
Giichi Kakigi
Moritoshi Ando
Kikuo Mita
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Publication of JPS60203803A publication Critical patent/JPS60203803A/en
Publication of JPH0426402B2 publication Critical patent/JPH0426402B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明はプリント板の配線パターンの検査方法
に関し、特にそのランドパターンの検査方法に関
するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Technical Field of the Invention The present invention relates to a method for inspecting a wiring pattern on a printed board, and more particularly to a method for inspecting a land pattern thereof.

従来技術と問題点 最近、プリント板の配線パターンを光学的に検
知し、それを電気信号に変換し、シヨート、断線
などの欠陥を検出する自動検査装置が開発されて
いるが、ランドパターンの欠陥の検出はできなか
つた。このためランドパターンの欠陥が検出でき
る検査法の開発が要望されている。
Prior Art and Problems Recently, automatic inspection equipment has been developed that optically detects wiring patterns on printed circuit boards, converts them into electrical signals, and detects defects such as shorts and disconnections. could not be detected. Therefore, there is a need for the development of an inspection method that can detect defects in land patterns.

発明の目的 本発明は上記従来の要請に基いて、プリント板
のランドパターンの欠陥を検出できるパターン検
査法を提供することを目的とするものである。
OBJECTS OF THE INVENTION Based on the above-mentioned conventional requirements, an object of the present invention is to provide a pattern inspection method capable of detecting defects in land patterns of printed circuit boards.

発明の構成 そしてこの目的は本発明によれば、プリント板
の配線パターンを光学的に検知し、それを電気信
号に変換し2値化して記憶回路にたくわえた後、
その内容を読み出して検査を行なう装置におい
て、ランドパターンの縦の長さより長く、且つ横
の長さの範囲内に入る3本の平行な縦方向測長セ
ンサと、ランドパターンの横の長さより長く、且
つ縦の長さの範囲内に入る3本の平行な横方向測
長センサと、ランドパターンの斜方向の長さより
長く、且つ互いの中央で交差する2本の斜方向測
長センサを設け、且つ縦方向測長センサ及び横方
向測長センサの各中央の測長センサの各中心が斜
方向測長センサの交点に一致するように配置して
測長センサを構成し、先ず縦方向測長センサ及び
横方向測長センサの各中央の測長センサ及び斜方
向測長センサを用いてリード線より大きいパター
ン(ランドパターン)を検出し、次に縦方向の中
央の測長センサの中心からランド上端までと下端
までの長さが略等しくし、かつ横方向の中央の測
長センサの中心からランド左端までと右端までの
長さが略等しくなるようにして、該ランドパター
ンの中心を検出し、次に該ランドパターンの大き
さを前記縦方向及び横方向の各3本の測長センサ
により測定し、それらの値が正常な範囲にないと
きは欠陥であると判定することを特徴とするパタ
ーン検査法を提供することによつて達成される。
Structure of the Invention According to the present invention, this purpose is to optically detect the wiring pattern on the printed board, convert it into an electrical signal, binarize it, and store it in a memory circuit.
A device that reads and inspects the contents includes three parallel vertical length measurement sensors that are longer than the vertical length of the land pattern and within the horizontal length, and three parallel longitudinal length measurement sensors that are longer than the horizontal length of the land pattern , and three parallel horizontal length measurement sensors that fall within the range of the vertical length, and two diagonal length measurement sensors that are longer than the length of the land pattern in the diagonal direction and intersect with each other at the center. , and the length measurement sensor is constructed by arranging the longitudinal measurement sensor and the horizontal measurement sensor so that the center of each center measurement sensor coincides with the intersection of the diagonal measurement sensor. A pattern (land pattern) larger than the lead wire is detected using the length measurement sensor and diagonal length measurement sensor located at the center of the length measurement sensor and the horizontal direction measurement sensor, and then from the center of the length measurement sensor located at the center of the vertical direction. Detect the center of the land pattern by making sure that the lengths to the top and bottom ends of the land are approximately equal, and the lengths from the center of the horizontal center length measurement sensor to the left and right ends of the land are approximately equal. Then, the size of the land pattern is measured by each of the three length measuring sensors in the vertical direction and the horizontal direction, and when the values are not within a normal range, it is determined that the land pattern is defective. This is achieved by providing a pattern inspection method that

発明の実施例 以下、本発明実施例を図面によつて詳述する。Examples of the invention Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

第1図は本発明によるパターン検査法に使用す
る測長センサを説明するための図である。本測長
センサは縦方向にLL′,YY′,RR′の3本、横方
向にUU′,XX′,DD′の3本、斜方向にFF′,
GG′の2本の合計8本の測長センサによつて構成
されている。但し本測長センサは直接プリント板
のパターンを光学的に見るものではなく、光学的
に見て記憶回路に蓄えたデータを電気的に処理す
るものである。
FIG. 1 is a diagram for explaining a length measurement sensor used in the pattern inspection method according to the present invention. This length measurement sensor has three sensors LL', YY', and RR' in the vertical direction, three sensors UU', XX', and DD' in the horizontal direction, and three sensors FF' and FF' in the diagonal direction.
It is composed of a total of eight length measurement sensors, two of which are GG'. However, this length measurement sensor does not directly view the pattern on the printed board optically, but rather electrically processes the data stored in the memory circuit after viewing the pattern optically.

次にこのような測長センサを用いた本発明法を
説明する。
Next, the method of the present invention using such a length measurement sensor will be explained.

先ずランドの欠陥を決定する検査論理とし、次
の3つの条件を設定する。またランドの測定位置
は第2図に示す。
First, the following three conditions are set as an inspection logic for determining land defects. The measurement positions of the lands are shown in Figure 2.

条件 (X+X′>l) ∧(Y+Y′>l) ∧(F+F′>l) ∧(G+G′>l) 但しX+X′とかY+Y′とは測長センサXX′の
中点からそれぞれX方向とX′方向の長さの和、
あるいは測長センサYY′の中点からそれぞれY方
向とY′方向の長さの和であり、lはリードの太
さの上限値である。
Conditions (X+X'>l) ∧(Y+Y'>l) ∧(F+F'>l) ∧(G+G'>l) However, X+X' and Y+Y' are respectively the X direction and the The sum of the lengths in the ′ direction,
Alternatively, it is the sum of the lengths in the Y direction and Y' direction from the midpoint of the length measurement sensor YY', and l is the upper limit value of the lead thickness.

条件 (M>X−X′)∧(M>X′−X) ∧(M>Y−Y′)∧(M>Y′−Y) 但しMは中心マージン 条件 (U+U′<ランド下限) ∨(X+X′<ランド下限)∨(X+X′>ラン
ド上限) ∨(D+D′<ランド下限)∨(D+D′>ラン
ド上限) ∨(L+L′<ランド下限)∨(L+L′>ランド
上限) ∨(Y+Y′<ランド下限)∨(Y+Y′>ラン
ド上限) ∨(R+R′<ランド下限)∨(R+R′>ラン
ド上限) 次にの条件によつて正常なリード線より大き
いパターンを検出する。次にの条件によつてラ
ンドの中心を検出する。次にの条件によつて
X,Y方向の測長を行ない、それらが正常な範囲
にないときは欠陥であると判定する。即ち、 欠陥=∧∧となる。
Conditions (M>X-X')∧(M>X'-X) ∧(M>Y-Y')∧(M>Y'-Y) where M is the center margin condition (U+U'<land lower limit) ∨ (X+X'<land lower limit)∨(X+X'>land upper limit) ∨(D+D'<land lower limit)∨(D+D'>land upper limit) ∨(L+L'<land lower limit)∨(L+L'>land upper limit) ∨(Y+Y '<Land lower limit) ∨(Y+Y'>Land upper limit) ∨(R+R'<Land lower limit)∨(R+R'>Land upper limit) A pattern larger than a normal lead wire is detected under the following conditions. The center of the land is detected according to the following conditions. Length measurements in the X and Y directions are performed under the following conditions, and if these are not within the normal range, it is determined that there is a defect. In other words, defect = ∧∧.

ただしU方向はリード線が引き出されるのでこ
の上限チエツクはしない。
However, since the lead wire is pulled out in the U direction, this upper limit check is not performed.

第3図は本実施例の検査論理を実現するための
回路構成を説明するための図であり、aは回路
図、bは回路記号説明図である。a図において鎖
線で囲つた回路1は条件を、回路2は条件
を、回路3は条件にそれぞれ対応する部分であ
る。本回路はこれら3つの回路1,2,3とこれ
らの回路からの信号のANDをとるAND回路4と
から構成され、検査したランドに欠陥があるとき
は最後のAND回路から欠陥信号が送出されるよ
うになつている。
FIG. 3 is a diagram for explaining the circuit configuration for realizing the test logic of this embodiment, in which a is a circuit diagram and b is an explanatory diagram of circuit symbols. In Figure a, circuit 1 surrounded by chain lines corresponds to the conditions, circuit 2 corresponds to the conditions, and circuit 3 corresponds to the conditions. This circuit consists of these three circuits 1, 2, and 3, and an AND circuit 4 that ANDs the signals from these circuits. If there is a defect in the inspected land, a defect signal is sent from the last AND circuit. It is becoming more and more like this.

次に本発明の他の実施例を説明する。 Next, another embodiment of the present invention will be described.

本実施例は前実施例で用いた測長センサ(第1
図参照)を用いる。検査論理は、次の条件から成
る。
This example uses the length measurement sensor (first
(see figure). The inspection logic consists of the following conditions.

条件 (X+X′>l) ∧(Y+Y′>l) ∧(F+F′>l) ∧(G+G′>l) 条件 {(X+X′<ランド下限)∧(X,X′≠OVF)} ∨{(Y+Y′<ランド下限)∧(Y,Y′≠
OVF)} 但しOVFはオーバフロー 条件 {(X+X′>ランド上限)∧(U+U′>ランド
上限)} ∨{(X+X′>ランド上限)∧(D+D′>ラン
ド上限)} 条件 (Y+Y′>ランド上限) 欠陥=∧(∨∨) 本実施例は上の条件を用い、先ず条件によつ
て正常なリード線より大きいパターンを検出す
る。次に条件によつてX方向あるいはY方向が
正常なランドより小さい時欠陥とする。但しセン
サがオーバフロー(オールパターン)している
時、測長値は実際より小さくなるので検査を禁止
する。次に条件によつて、X方向が2本以上の
センサの測長値が正常なランドより大きいとき、
欠陥とする。2本以上とするのはリード線がひき
だされるためである。次に条件によつてY方向
が正常なランドより大きいとき欠陥とする。
Condition (X+X'>l) ∧(Y+Y'>l) ∧(F+F'>l) ∧(G+G'>l) Condition {(X+X'<Land lower limit)∧(X,X'≠OVF)} ∨{( Y+Y′<Land lower limit)∧(Y, Y′≠
OVF)} However, OVF is an overflow condition {(X+X'>land upper limit)∧(U+U'>land upper limit)} ∨{(X+X'>land upper limit)∧(D+D'>land upper limit)} Condition (Y+Y'>land upper limit) ) Defect=∧(∨∨) This embodiment uses the above conditions and first detects a pattern larger than a normal lead wire according to the conditions. Next, depending on the conditions, if the land is smaller in the X direction or the Y direction than a normal land, it is determined to be a defect. However, when the sensor overflows (all patterns), the measured length value will be smaller than the actual value, so inspection is prohibited. Next, depending on the conditions, when the length measurement value of two or more sensors in the X direction is larger than the normal land,
Defective. The reason why there are two or more wires is because the lead wires are drawn out. Next, depending on the conditions, if the Y direction is larger than a normal land, it is determined to be a defect.

以上より、正常なリード線より大きく、且つX
方向あるいはY方向が正常なランドより小さく、
又はX方向のセンサの2本以上又はY方向が正常
なランドより大きいときは欠陥と判定する。即ち
∧(∨∨)となる。
From the above, it is larger than the normal lead wire, and
direction or Y direction is smaller than normal land,
Or, if two or more of the sensors in the X direction or the land in the Y direction is larger than a normal land, it is determined to be defective. That is, ∧ (∨∨).

第4図は本実施例の検査論理を実現するための
回路構成を説明するための図である。同図におい
て回路記号は前実施例と同様である。本回路は、
鎖線で囲つた10〜13の部分と、該10〜13
の回路の出力を入力とするOR回路14と、該
OR回路の出力と回路10の出力を入力とする
AND回路15とから構成されており、回路10
は前記条件に、回路11は前記条件に、回路
12は前記条件に、回路13は前記条件にそ
れぞれ対応する回路であり、検査したランドに欠
陥があるときはAND回路15から欠陥信号が送
出される。なお回路11においてOVはオーバフ
ローのときは“0”、オーバフローしないときは
“1”とする。
FIG. 4 is a diagram for explaining the circuit configuration for realizing the test logic of this embodiment. In the figure, circuit symbols are the same as those in the previous embodiment. This circuit is
The part 10 to 13 surrounded by the chain line and the part 10 to 13
An OR circuit 14 whose input is the output of the circuit of
Input the output of the OR circuit and the output of circuit 10
It is composed of an AND circuit 15 and a circuit 10.
corresponds to the above conditions, circuit 11 corresponds to the above conditions, circuit 12 corresponds to the above conditions, and circuit 13 corresponds to the above conditions, and when the inspected land has a defect, a defect signal is sent from the AND circuit 15. Ru. In the circuit 11, OV is set to "0" when there is an overflow, and set to "1" when there is no overflow.

発明の効果 以上、詳細に説明したように本発明のパターン
検査法は縦・横方向各3本及び斜方向2本の計8
本の測長センサを構成し、それらの測長値の組合
わせによつてランドパターンの検査を行なうこと
により、従来検査できなかつたランドの検査が可
能になるといつた効果大なるものである。
Effects of the Invention As explained above in detail, the pattern inspection method of the present invention has a total of 8 patterns, 3 each in the vertical and horizontal directions, and 2 in the diagonal direction.
By configuring a book length measuring sensor and inspecting a land pattern using a combination of the measured length values, the present invention has a great effect in that it becomes possible to inspect lands that could not be inspected conventionally.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明のパターン検査法に用いる測長
センサを説明するための図、第2図はランドパタ
ーンの測長方法を示す図、第3図は本発明のパタ
ーン検査法の検査論理を実現する回路構成を説明
するための図、第4図は本発明の他の実施例の検
査論理を実現する回路構成を説明するための図で
ある。 図面において、1,2,3はそれぞれ検査論理
の条件、、に対応する回路、4はAND回
路、10,11,12,13は他の実施例の検査
論理の条件にそれぞれ対応する回路、1
4はOR回路、15はAND回路をそれぞれ示す。
Fig. 1 is a diagram for explaining the length measurement sensor used in the pattern inspection method of the present invention, Fig. 2 is a diagram showing the length measurement method of a land pattern, and Fig. 3 is a diagram illustrating the inspection logic of the pattern inspection method of the present invention. FIG. 4 is a diagram for explaining the circuit configuration for realizing the test logic of another embodiment of the present invention. In the drawings, 1, 2, and 3 are circuits corresponding to the test logic conditions, respectively, 4 is an AND circuit, and 10, 11, 12, and 13 are circuits corresponding to the test logic conditions of other embodiments, respectively.
4 represents an OR circuit, and 15 represents an AND circuit.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 プリント板の配線パターンを光学的に検知
し、それを電気信号に変換し2値化して記憶回路
にたくわえた後、その内容を読み出して検査を行
う装置において、ランドパターンの縦の長さより
長く、且つ横の長さの範囲内に入る3本の平行な
縦方向測長センサと、ランドパターンの横の長さ
より長く、且つ縦の長さの範囲内に入る3本の平
行な横方向測長センサと、ランドパターンの斜方
向の長さより長く、且つ互いの中央で交差する2
本の斜方向測長センサを設け、且つ縦方向測長セ
ンサ及び横方向測長センサの各中央の測長センサ
の各中心が斜方向測長センサの交点に一致するよ
うに配置して測長センサを構成し、先ず縦方向測
長センサ及び横方向測長センサの各中央の測長セ
ンサ及び斜方向測長センサを用いてリード線より
大きいパターン(ランドパターン)を検出し、次
に縦方向の中央の測長センサの中心からランド上
端までと下端までの長さが略等しくし、かつ横方
向の中央の測長センサの中心からランド左端まで
と右端までの長さが略等しくなるようにして、該
ランドパターンの中心を検出し、次に該ランドパ
ターンの大きさを前記縦方向及び横方向の各3本
の測長センサにより測定し、それらの値が正常な
範囲にないときは欠陥であると判定することを特
徴とするパターン検査法。
1. In a device that optically detects the wiring pattern on a printed board, converts it into an electrical signal, converts it into a binary value, stores it in a memory circuit, and then reads and inspects the contents, the wiring pattern is longer than the vertical length of the land pattern. , and three parallel longitudinal length measuring sensors that fall within the horizontal length range, and three parallel horizontal length measuring sensors that are longer than the horizontal length of the land pattern and fall within the vertical length range. A long sensor and two sensors that are longer than the length of the land pattern in the diagonal direction and that intersect at the center of each other.
A book diagonal length measurement sensor is provided, and the length measurement sensor is arranged so that the center of each center length measurement sensor of the vertical length measurement sensor and the horizontal length measurement sensor coincides with the intersection of the diagonal length measurement sensors. The sensor is configured to first detect a pattern (land pattern) larger than the lead wire using the central length measurement sensor and diagonal length measurement sensor of the vertical length measurement sensor and the horizontal length measurement sensor, and then detect a pattern (land pattern) larger than the lead wire. The lengths from the center of the center length measurement sensor to the top and bottom edges of the land should be approximately equal, and the lengths from the center of the center length measurement sensor in the horizontal direction to the left and right ends of the land should be approximately equal. The center of the land pattern is detected, and the size of the land pattern is then measured using the three longitudinal and horizontal length measurement sensors, and if these values are not within the normal range, it is determined to be a defect. A pattern inspection method characterized by determining that .
JP3590684A 1984-02-29 1984-02-29 Inspection of pattern Granted JPS60203803A (en)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6256442A (en) * 1985-09-05 1987-03-12 Sumikin Coke Co Ltd Purification of naphthalene

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6256442A (en) * 1985-09-05 1987-03-12 Sumikin Coke Co Ltd Purification of naphthalene

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