JPH04262172A - 高耐圧磁性流体シール装置用シールユニットの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明に係る高耐圧磁性流体シ
ール装置用シールユニットの製造方法は、真空機器のケ
ーシング内に設けた回転体を、このケーシング外に設け
たモータにより回転駆動する場合の様に、両側に大きな
圧力差が存在する壁面に設けた孔を貫通した回転軸の外
周面と上記孔の内周面との間の気密保持を図る為の、高
耐圧磁性流体シール装置用シールユニットを造る為に利
用する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等に組み込まれるハードデ
ィスクは、ケーシング内に設けた磁気記録素子である円
板を、ケーシング外に設けたモータにより回転駆動する
が、ハードディスク自体、塵等による汚れを極端に嫌う
為、上記モータの駆動軸がケーシングの壁面を貫通する
部分に、塵を通過させない様にする為の、シール装置を
設ける必要がある。

【０００３】この様な部分に設置し、塵等の通過を阻止
する為のシール装置として従来から、図１９に示す様な
磁性流体シール装置が、一般的に使用されている。

【０００４】この図１９に於いて１は、アルミニウム、
合成樹脂等の非磁性材により造られたハウジング、２は
鉄等の磁性材により造られた軸で、シールユニット３は
、上記ハウジング１の内周面４と軸２の外周面５との間
の、円筒状の空間６内に設置されている。

【０００５】上記シールユニット３は、軸方向（図１９
の左右方向）に亙って着磁された円輪状の永久磁石７を
、磁性材により円輪状に造られた１対のポールピース８
、９によりサンドイッチ状に挟持し、各ポールピース８
、９の内周縁と軸２の外周面５との間の隙間１０、１０
内に磁性流体１１を、上記永久磁石７の磁力によって保
持する事により、構成されている。上記永久磁石７と１
対のポールピース８、９との外径は、ハウジング１の内
径と同じか、僅かに大きくして、各部材７、８、９によ
り構成されるシールユニット３をハウジング１の内周面
に、内嵌固定したり、或は上記外径をハウジング１の内
径よりも僅かに小さくして、シールユニット３をハウジ
ング１の内周面に、接着剤により固定している。

【０００６】シールユニット３は、前述の様に構成され
、上述の様にハウジング１の内周面４と軸２の外周面５
との間に装着して、磁性流体１１と共に磁性流体シール
装置を構成する為、軸２の外周面５と各ポールピース８
、９の内周縁との間に保持された磁性流体１１により、
ハウジング１の内側での軸２の回転に拘らず、ハウジン
グ１の内周面４と軸２の外周面５との間のシール性保持
が図られる。

【０００７】尚、ポールピース８、９を軸２の外周面５
に固定すると共に、磁性流体１１、１１を、各ポールピ
ース８、９の外周縁とハウジング１の内周面４との間に
設ける構造のものもある。

【０００８】更に、真空機器のケーシング内に設けた回
転体を、このケーシング外に設けたモータにより回転駆
動する場合の様に、両側に大きな圧力差が存在する壁面
に設けた孔を貫通した回転軸の外周面と、上記孔の内周
面との間の気密保持を図るには、図２０に示す様な高耐
圧磁性流体シール装置が使用される。

【０００９】この図２０に於いて、１２は真空機器のケ
ーシングの壁面に固定されるホルダで、このホルダ１２
の内側には、磁性材製の回転軸１３が挿通されている。 そしてこの回転軸１３を上記ホルダ１２に、１対の軸受
１４、１４によって回転自在に支持している。又、ホル
ダ１２の内側で、上記１対の軸受１４、１４の間に位置
する中間部分には、非磁性材製のハウジング１５を内嵌
支持し、このハウジング１５の内周面と上記回転軸１３
の外周面との間に、高耐圧磁性流体シール装置を設けて
いる。

【００１０】高耐圧磁性流体シール装置は、それぞれが
１枚の円輪状永久磁石７を２枚のポールピース８、９で
挟持して成るシールユニット３、３を、軸方向（図２０
の左右方向）に亙って複数組重ね合わせ、各シールユニ
ット３、３を構成するポールピース８、９の内周縁と回
転軸１３の外周面との間に磁性流体１１（図１９参照。 図２０には省略。）を保持する事で構成されている。

【００１１】各シールユニット３、３を構成する永久磁
石７、７は、隣り合うシールユニット３、３の永久磁石
７、７が同極同士で対向する様に、交互に反対向きに配
置するか、或は、総てのシールユニット３、３の永久磁
石７、７を、総て同じ向きに配置する。又、隣り合うシ
ールユニット３、３同士の間には、非磁性材により円輪
状に形成されたスペーサ１６、１６を挟持している。

【００１２】高耐圧磁性流体シール装置は上述の様に、
磁性流体１１を軸方向に亙って多段に配置する為、ホル
ダ１２を設けた壁面の内外に大きな圧力差が存在した場
合でも、各段の磁性流体１１の両側に加わる圧力差は小
さなものとなる。この結果、磁性流体１１がその両側に
存在する圧力差により押し流される（バーストする）事
が防止されて、上記回転軸１３の回転を許容しつつ、大
きな圧力差を維持する事が出来る。尚、ハウジング１５
の外周面とホルダ１２の内周面との間の気密は、ハウジ
ング１５外周面の凹溝１７、１７に装着したＯリング１
８、１８により、保持している。

【００１３】ところで、上述の様に構成され作用する高
耐圧磁性流体シール装置を造る場合には、図２１に示す
様に、前記１枚の永久磁石７と２枚のポールピース８、
９とから成るシールユニット３、３及びスペーサ１６を
それぞれ複数重ね合わせて、図２２に示す様な、高耐圧
磁性流体シール装置用のシールユニット１９としなけれ
ばならない。

【００１４】実際の場合には、図２１〜２２に示す様に
、未接着の永久磁石７とポールピース８、９とスペーサ
１６、１６とを、所定の順番で円筒状のハウジング１５
内に挿入し、このハウジング１５内で重ね合わせると共
に、永久磁石７、ポールピース８、９、スペーサ１６、
１６等、隣り合う円輪状部品７、８、９、１６同士並び
に各円輪状部品７、８、９、１６の外周縁と上記ハウジ
ング１５の内周面とを接着し、一体のシールユニット１
９とすると同時に、隣り合う円輪状部品７、８、９、１
６同士の間、並びに各円輪状部品７、８、９、１６の外
周縁とハウジング１５の内周面との間の気密保持を図る
様にしている。

【００１５】この様に、ハウジング１５内に保持された
シールユニット１９を造る場合、先ず図２３に示す様に
、永久磁石７（及びポールピース８、９、スペーサ１６
）等、上記シールユニット１９を構成する円輪状部品７
、８、９、１６の片面外周寄り部分に、注射器２０等を
使用して、液状の接着剤２１を塗布する。但し、一端（
次述する図２４の上端）の円輪状部品（通常、ポールピ
ース）には接着剤を塗布しない。

【００１６】この様にして、一端に位置する円輪状部品
を除き、それぞれの片面に接着剤２１を塗布された円輪
状部品７、８、９、１６は、図２４に示す様に、所定の
順番に重ね合わせつつ、ハウジング１５内に挿入する。 そして、総ての円輪状部品７、８、９、１６をハウジン
グ１５内に挿入してから、各円輪状部品７、８、９、１
６を両側から押圧する。

【００１７】この押圧作業に伴なって、隣り合う円輪状
部品７、８、９、１６同士を接着すると同時に、これら
隣り合う円輪状部品７、８、９、１６同士の間から染み
出した接着剤２１を上記ハウジング１５の内周面に付着
させて、これら複数の円輪状部品７、８、９、１６によ
り構成されたシールユニット１９を、ハウジング１５の
内側に固定する。この固定作業と同時に、隣り合う円輪
状部品７、８、９、１６同士の間、並びに各円輪状部品
７、８、９、１６の外周縁とハウジング１５の内周面と
の間の気密保持が、各間部分に存在する接着剤２１によ
り図られる。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の様に
して高耐圧磁性流体シール装置用のシールユニットを造
る場合、次に述べる様な、解決すべき問題がある。

【００１９】先ず第一の問題として、複数の円輪状部品
７、８、９、１６の片面外周寄り部分に接着剤２１を塗
布する作業が面倒で、高耐圧磁性流体シール装置用のシ
ールユニットの製作費を高くする原因となる。

【００２０】第二の問題として、接着部にピンホールが
発生し易く、発生した場合にはそのピンホールを通じて
気体の漏洩が生じる為、高耐圧磁性流体シール装置を設
けたケーシング内外の気密保持が不完全になってしまう
。

【００２１】本発明の高耐圧磁性流体シール装置用シー
ルユニットの製造方法は、上述の様な問題を何れも解消
するものである。

【００２２】

【課題を解決するための手段】本発明の高耐圧磁性流体
シール装置用シールユニットの製造方法は、それぞれが
磁性材により円輪状に形成された複数枚のポールピース
と、軸方向に亙って着磁された円輪状乃至は円筒状の永
久磁石とを、軸方向に重ね合わせてシールユニット素子
とした後、このシールユニット素子を容器内に貯溜した
液状接着剤中に浸漬し、上記容器内を真空にする事によ
り、軸方向に隣り合う部材同士の間に存在する微細隙間
内に上記接着剤を含浸させてから、この接着剤を各微細
隙間内で固化させて、隣り合う部材同士を結合固定する
と共に、隣り合う部材同士の間の気密保持を図る。

【００２３】

【作用】上述の様に構成される本発明の製造方法により
、高耐圧磁性流体シール装置用シールユニットを製造す
る場合、一々構成各部品に接着剤を塗布する必要がなく
なる為、上記シールユニットを製造する際の手間が軽減
し、このシールユニットの製作費の低廉化を図れる。

【００２４】又、隣り合う部品同士の間に存在する空気
が抜き取られる事で生じた空隙には、確実に接着剤が侵
入し、当該部分で固化するので、接着部にピンホールが
発生し難く、気密性に関して信頼性の高いシールユニッ
トを得られる。

【００２５】

【実施例】図１〜６は本発明の第一実施例を示している
。それぞれが円輪状に造られた永久磁石７とポールピー
ス８、９とスペーサ１６とは、図１に示す様に所定の順
番で、円筒状のハウジング１５内に挿入し、このハウジ
ング１５内で重ね合わせて、シールユニット素子２５と
する。但し、これら複数の円輪状部品７、８、９、１６
同士を重ね合わせるのは、ハウジング１５内に挿入する
以前でも、或は挿入した後でも良い。永久磁石７は、挿
入以前に於いて、軸方向に亙って着磁しておく。

【００２６】尚、上述の様にシールユニット素子２５を
構成する円輪状各部品７、８、９、１５、１６の内、ポ
ールピース８、９の外径精度はｈ７〜ｈ８（ＪＩＳ）と
し、ハウジング１５の内径精度はＨ７程度（ＪＩＳ）と
する。その他の部分の寸法精度は、これ以下で良い。 又、各円輪状部品７、８、９、１６（特にポールピース
８、９）の内径寸法ｒは、完成後のシールユニット１９
の内径寸法Ｒ（図５）よりも若干（０．２ｍｍ程度）小
さくし、ハウジング１５の外径寸法Ｄは、仕上後の外径
寸法ｄ（図５）よりも若干（０．２ｍｍ程度）大きくし
ている。

【００２７】上述の様にして、複数の円輪状部品７、８
、９、１６をハウジング１５内で重ね合わせてシールユ
ニット素子２５としたならば、次いで図２に示す様に、
それぞれが円輪状に形成された押圧部材２２とナット２
４とによって、このシールユニット素子２５を両側から
挟持する。そして、上記押圧部材２２を挿通してナット
２４に螺合したボルト２３を緊締する事により、上記複
数の円輪状部品７、８、９、１６を、ハウジング１５の
内側にしっかりと挟持する。

【００２８】次いで、図３に示す様に、上記シールユニ
ット素子２５を容器２６内に貯溜した液状接着剤２７中
に浸漬する。この液状接着剤２７としては、従来から知
られた各種のものを利用出来るが、例えば一液性エポキ
シ接着剤で、２０℃に於ける粘度が４００〜５０，００
０ｃｐ、硬化温度が６０〜２００℃のものが、好ましく
利用出来る。本発明者は、この内で、粘度が５００ｃｐ
、硬化温度が８０℃以上のものを使用して実験を行なっ
た所、良好な結果を得られた。

【００２９】上述の様にして、ハウジング１５内に納め
られたシールユニット素子２５を、ハウジング１５ごと
液状接着剤２７中に浸漬したならば、この液状接着剤２
７を貯溜した容器２６を真空槽内に入れて、この容器２
６を内を真空にする。

【００３０】容器２６内が真空になる結果、上記シール
ユニット素子２５を構成する円輪状部品７、８、９、１
６で、軸方向に隣り合う部材同士の微細隙間内に存在す
る空気が排出され、代わりにこの微細隙間内に上記液状
接着剤２７が進入する。例えば、容器２６内に上述の様
な性質の一液性エポキシ接着剤を貯溜した場合、１４０
ｍｍＨｇの真空度で、１〜１２時間（粘度が高い程、時
間を長くする。）放置する事により、総ての微細隙間内
に液状接着剤２７を、万遍なく含浸させる事が出来る。

【００３１】この様にして、各微細隙間内に液状接着剤
２７を含浸させたならば、上記ハウジング１５内に納め
られたシールユニット素子２５を容器２６中より取り出
してから、この液状接着剤２７を各微細隙間内で固化さ
せて、隣り合う円輪状部品７、８、９、１６同士、並び
に各円輪状部品７、８、９、１６の外周縁とハウジング
１５の内周面とを結合固定すると共に、隣り合う円輪状
部品７、８、９、１６同士の間、並びに各円輪状部品７
、８、９、１６の外周縁とハウジング１５の内周面との
間の気密保持を図る。

【００３２】この様に、液状接着剤２７を固化させる作
業は、上記シールユニット素子２５とハウジング１５と
を、上記抑え治具２８と共に恒温槽中に入れて、所定時
間加温する事で行なう。例えば前述の様な、粘度が５０
０ｃｐで硬化温度が８０℃以上の一液性エポキシ接着剤
を使用した場合に於いては、１００℃で２時間行なう。

【００３３】尚、上記抑え治具２８の構成各部品２２、
２３、２４の表面には、四弗化エチレンの焼付塗装或は
コーティング、ボロンナイトライドのコーティング等、
液状接着剤２７を弾く皮膜を形成している為、これら構
成各部品２２、２３、２４同士が接着したり、これら構
成各部品２２、２３、２４とハウジング１５或はシール
ユニット素子２５とが接着する事はない。

【００３４】各微細隙間内に進入した液状接着剤２７が
完全に硬化したならば、上記恒温槽からシールユニット
素子２５とハウジング１５とを取り出し、ボルト２３と
ナット２４とを弛めて、上記シールユニット素子２５か
ら抑え治具２８を取り外す。次いで、機械研削によって
ハウジング１５の外周部分を、図４の鎖線ａで示す様に
仕上げ、同じく機械研削によってシールユニット素子２
５の内周部分を、同図の鎖線ｂで示す様に仕上げる。

【００３５】この結果、図５に示す様に、所定の内径寸
法Ｒに仕上げられた状態で、所定の外径寸法ｄを有する
ハウジング１５に納められたシールユニット１９が得ら
れる。ハウジング１５の外周面には、必要に応じてＯリ
ング１８、１８を保持する為の凹溝１７、１７（図２０
）を形成する。

【００３６】尚、従来方法により造られたシールユニッ
トの場合、図６（ｂ）に示す様に、ポールピース８、９
の内周縁が、永久磁石７及びスペーサ１６の内周縁より
も内方に突出しているのに対し、本発明の製造方法によ
り造られたシールユニット１９の場合、図６（ａ）に示
す様に、各円輪状部品７、８、９、１６の内周縁が単一
の円筒面を成す。

【００３７】この様に、ポールピース８、９の内周縁が
内方に突出しているか否かは、高耐圧磁性流体シール装
置の性能に影響を及ぼさない。但し、本実施例の様に、
シールユニット１９を構成するポールピース８、９の内
径寸法を正確に仕上げると、磁性流体１１を保持する隙
間１０（図１９）の寸法を正確に仕上げる事が出来て、
安定したシール性能を得られる。

【００３８】上述の様にして造られたシールユニット１
９は、前述した従来例の場合と同様に、ハウジング１５
と共にホルダ１２内に装着して、高耐圧磁性流体シール
装置を構成する。この場合に於いて、磁性流体１１とし
て低蒸気圧（例えば、２５℃に於ける蒸気圧が１×１０
−９ｔｏｒｒ以下）のものを使用すれば、耐圧力差が１
気圧以上の、真空用シールスピンドルを得られる。永久
磁石７、７の磁極は、隣り合う永久磁石７、７同士で逆
でも、或は総ての永久磁石７、７の磁極が同じ向きでも
良い。

【００３９】次に、図７〜８に示した第二実施例に就い
て説明する。本実施例の場合、複数の円輪状部品７、８
、９、１６を重ね合わせたシールユニット素子２５をハ
ウジング１５内に挿入した後、リボン２９によって、こ
のシールユニット素子２５をハウジング１５内に仮固定
している。このリボン２９は、重ね合わせたシールユニ
ット素子２５とハウジング１５とを仮固定するだけのも
ので、特に材質は問わない。例えば、線径が０．５ｍｍ
程度の針金でも良い。実験では、図８に示す様な、ＰＴ
ＦＥ製のテープを使用した所、良好な結果を得た。

【００４０】上述の様に、リボン２９によって仮固定さ
れたシールユニット素子２５及びハウジング１５は、前
記第一実施例の場合と同様に、容器２６内に貯溜した液
状接着剤２７（図３）中に浸漬し、真空槽中で上記液状
接着剤２７の真空含浸を行なう。

【００４１】リボン２９により仮固定されたシールユニ
ット素子２５に於いては、このシールユニット素子２５
を構成する各円輪状部品７、８、９、１６同士の間に（
前記抑え治具２８により抑えた場合に比較して）大きな
隙間が存在する為、この隙間内への液状接着剤２７の含
浸が比較的迅速に行なわれ、真空含浸作業に要する時間
の短縮を図れる。

【００４２】真空含浸作業の完了後、ハウジング１５と
シールユニット素子２５とを容器２６内から取り出し、
リボン２９を取り外したならば、前記抑え治具２８（図
２）によって、上記シールユニット素子２５を軸方向に
亙って抑え付け、このシールユニット素子２５の軸方向
に亙る長さ寸法を所定値にする。次いで、前記第一実施
例の場合と同様にして、上記液状接着剤を固化させた後
、各部を所定寸法に仕上げる。

【００４３】次に、図９は本発明の第三実施例を示して
いる。本実施例の場合、ハウジング１５の外径寸法は、
始めから所定寸法にして、シールユニット素子２５との
結合後にこのハウジング１５の外周を仕上げる作業を、
省略している。そして、シールユニット素子２５の内径
寸法ｒを、所定寸法Ｒよりも小さくして、ハウジング１
５との結合後機械研削によって、シールユニット素子２
５の内周部分を、図９の鎖線ｂで示す様に仕上げる。そ
の他の構成は、前述の第一実施例、或は上述の第二実施
例の場合と同様である。

【００４４】次に、図１０は本発明の第四実施例を示し
ている。本実施例の場合、ハウジング１５の外径寸法及
びシールユニット素子２５の内径寸法を、始めから所定
寸法にして、シールユニット素子２５との結合後にこの
ハウジング１５の外周及びシールユニット素子２５の内
周を仕上げる作業を、省略している。その他の構成は、
上述の第三実施例の場合と同様である。

【００４５】次に、図１１〜１２は本発明の第五実施例
を示している。本実施例の場合、ハウジング１５の内側
に固定されたシールユニット素子の内周側を、図１１に
誇張して示す様に、円錐凹面状に機械研削する事により
、シールユニット１９の内径を、一端（図１１の左端）
から他端（同右端）に向けて漸増させている。

【００４６】この様な内周形状を有するシールユニット
１９は、図１２に示す様に、内径の小さくなった側を低
圧側（図１２の左側）に位置させて、高耐圧磁性流体シ
ール装置を構成する。シールユニット１９の内側に挿通
する回転軸１３の外径は、軸方向に亙って同じである。

【００４７】本実施例の場合、磁性流体１１、１１が保
持される隙間１０、１０の寸法が、低圧側で小さく、高
圧側で大きくなる。隙間１０の寸法が小さい事は、耐圧
性の向上に繋り、回転軸１３が回転する際に、上記隙間
１０に保持された磁性流体１１がバーストしにくくなる
。又、隙間寸法１０の寸法が大きい事は、この隙間１０
に保持される磁性流体１１の量が多くなる事に繋り、磁
性流体シール装置の耐久性向上を図れる。

【００４８】この結果、本実施例の場合、シール性と耐
久性とに優れた高耐圧磁性流体シール装置を得られる。

【００４９】次に、図１３は本発明の第六実施例を示し
ている。本実施例の場合、低圧側（図１３の左側）端部
のポールピース８ａ、９ａの内径を小さく、それ以外の
ポールピース８ｂ、９ｂの内径を大きくする事で、磁性
流体１１、１１を保持する隙間１０、１０の寸法を、低
圧側で小さく、高圧側で大きくしている。その他の構成
及び作用は、上述の第五実施例の場合と同様である。

【００５０】次に、図１４は本発明の第七実施例を示し
ている。本実施例の場合、円筒状のハウジング１５を省
略し、ホルダ１２の内側に直接シールユニット１９を装
着している。これに伴ない、複数の永久磁石７、７ａの
内、軸方向両端の永久磁石７ａ、７ａの外径を、各永久
磁石７ａ、７ａを挟むポールピース８、９の外径よりも
小さくし、各永久磁石７ａ、７ａの外周に凹溝３０、３
０を形成している。

【００５１】そして、各凹溝３０、３０に係止したＯリ
ング１８、１８により、シールユニット１９の外周面と
ホルダ１２の内周面との間の気密保持を図っている。そ
の他の構成は、前述した第一〜第二実施例と同様である
。

【００５２】次に、図１５〜１６は本発明の第八実施例
を示している。本実施例の場合、中間部に設けた円筒状
の永久磁石３１を挟んで、１対のポールブロック３２、
３２を設けている。各ポールブロック３２、３２は、内
径の小さなポールピース３３、３３と内径の大きなポー
ルピース３４、３４とを、交互に重ね合わせる事で構成
している。

【００５３】そして、各ポールブロック３２、３２を構
成するポールピース３３、３４同士の接着と、各ポール
ブロック３２、３２と永久磁石３１との接着を、本発明
の方法により行なって、シールユニット３５を構成して
いる。

【００５４】この様なシールユニット３５は、図１６に
示す様に、ホルダ１２の内側に装着するが、各ポールブ
ロック３２、３２の外周面に形成した凹溝３６、３６に
はＯリング１８、１８を装着して、シールユニット３５
の外周面とホルダ１２の内周面との間の気密保持を図っ
ている。その他の構成は、上述の第七実施例と同様であ
る。

【００５５】次に、図１７〜１８は本発明の第九実施例
を示している。本実施例の場合、内周縁を二股状に形成
したポールピース３７、３７と永久磁石７、７とを交互
に重ね合わせ、両部材３７、７同士を本発明の方法によ
り接着して、シールユニット３８を構成している。

【００５６】両端に位置するポールピース３７、３７の
外周縁には、必要に応じて図１８に示す様に凹溝３９、
３９を形成すると共に、各凹溝３９、３９に装着したＯ
リング１８、１８により、シールユニット３８の外周面
とホルダ１２の内周面との間の気密保持を図っている。 その他の構成は、上述の第八実施例と同様である。

【００５７】

【発明の効果】本発明の高耐圧磁性流体シール装置用シ
ールユニットの製造方法は、以上に述べた通り構成され
作用する為、上記シールユニットを製造する際の手間が
軽減し、このシールユニットの製作費の低廉化を図れる
だけでなく、隣り合う部品同士の間に存在する空気が抜
き取られる事で生じた空隙に確実に接着剤を進入させら
れるので、接着部にピンホールが発生し難く、気密性に
関して信頼性の高いシールユニットを得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第一実施例の第一行程を示す斜視図。

【図２】同第二行程を示す斜視図。

【図３】同第三行程を示す縦断面図。

【図４】同第四行程を示す断面図。

【図５】完成したシールユニットの断面図。

【図６】本発明の方法により造られたシールユニットの
形状と、従来方法により造られたシールユニットの形状
とを示す、図５のＡ部に相当する拡大断面図。

【図７】第二実施例を示す斜視図。

【図８】第二実施例に使用するリボンの斜視図。

【図９】第三実施例を示す半部断面図。

【図１０】第四実施例を示す半部断面図。

【図１１】第五実施例を示す断面図。

【図１２】図１１のシールユニットの使用状態を示す断
面図。

【図１３】第六実施例を示す半部断面図。

【図１４】第七実施例を示す半部断面図。

【図１５】第八実施例を示す断面図。

【図１６】図１５のシールユニットの使用状態を示す半
部断面図。

【図１７】第九実施例を示す断面図。

【図１８】図１７のシールユニットの使用状態を示す半
部断面図。

【図１９】磁性流体シール装置の基本構成を示す断面図
。

【図２０】高耐圧磁性流体シール装置の１例を示す断面
図。

【図２１】従来方法によりシールユニットを造る場合の
中間行程を示す斜視図。

【図２２】従来方法により造られたシールユニットの半
部断面図。

【図２３】従来方法の第一行程を示す斜視図。

【図２４】同第二行程を示す斜視図。

【符号の説明】

１　　　　ハウジング ２　　　　軸 ３　　　　シールユニット ４　　　　内周面 ５　　　　外周面 ６　　　　空間 ７　　　　永久磁石 ７ａ　　永久磁石 ８　　　　ポールピース ８ａ　　ポールピース ８ｂ　　ポールピース ９　　　　ポールピース ９ａ　　ポールピース ９ｂ　　ポールピース １０　　　　隙間 １１　　　　磁性流体 １２　　　　ホルダ １３　　　　回転軸 １４　　　　軸受 １５　　　　ハウジング １６　　　　スペーサ １７　　　　凹溝 １８　　　　Ｏリング １９　　　　シールユニット ２０　　　　注射器 ２１　　　　接着剤 ２２　　　　押圧部材 ２３　　　　ボルト ２４　　　　ナット ２５　　　　シールユニット素子 ２６　　　　容器 ２７　　　　液状接着剤 ２８　　　　抑え治具 ２９　　　　リボン ３０　　　　凹溝 ３１　　　　永久磁石 ３２　　　　ポールブロック ３３　　　　ポールピース ３４　　　　ポールピース ３５　　　　シールユニット ３６　　　　凹溝 ３７　　　　ポールピース ３８　　　　シールユニット ３９　　　　凹溝

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　それぞれが磁性材により円輪状に形成
   された複数枚のポールピースと、軸方向に亙って着磁さ
   れた円輪状乃至は円筒状の永久磁石とを、軸方向に重ね
   合わせてシールユニット素子とした後、このシールユニ
   ット素子を容器内に貯溜した液状接着剤中に浸漬し、上
   記容器内を真空にする事により、軸方向に隣り合う部材
   同士の間に存在する微細隙間内に上記接着剤を含浸させ
   てから、この接着剤を各微細隙間内で固化させて、隣り
   合う部材同士を結合固定すると共に、隣り合う部材同士
   の間の気密保持を図る高耐圧磁性流体シール装置用シー
   ルユニットの製造方法。