JPH04261791A - ワーク搬送装置 - Google Patents
ワーク搬送装置Info
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- JPH04261791A JPH04261791A JP2334091A JP2334091A JPH04261791A JP H04261791 A JPH04261791 A JP H04261791A JP 2334091 A JP2334091 A JP 2334091A JP 2334091 A JP2334091 A JP 2334091A JP H04261791 A JPH04261791 A JP H04261791A
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Links
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- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 23
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】［発明の目的］
【０００２】
【産業上の利用分野】本発明は、ワーク搬送装置に関す
る。
る。
【０００３】
【従来の技術】従来から、円板状の半導体ウエーハの製
造工程では、表面の微小な傷などの欠陥を検査するため
の検査工程がある。このときには、載置台上に載置され
た半導体ウエーハは回転され、斜め上方からレーザ光が
照射され、その反射光から画像が再生され、片面を検査
後に反転されて他の片面が検査される。
造工程では、表面の微小な傷などの欠陥を検査するため
の検査工程がある。このときには、載置台上に載置され
た半導体ウエーハは回転され、斜め上方からレーザ光が
照射され、その反射光から画像が再生され、片面を検査
後に反転されて他の片面が検査される。
【０００４】ところで、従来の半導体ウエーハは、外径
が ３．５インチのものがほとんどであったので、搬送
装置も ３．５インチのものが多い。
が ３．５インチのものがほとんどであったので、搬送
装置も ３．５インチのものが多い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、最近の半導
体ウエーハでは小形の２．５インチの外径のものが主流
になってきた。そのため、搬送装置も ２．５インチの
外径の半導体ウエーハを搬送できるものが要求されてい
て、更に ３．５インチの外径の半導体ウエーハも搬送
できる兼用形が要請されている。
体ウエーハでは小形の２．５インチの外径のものが主流
になってきた。そのため、搬送装置も ２．５インチの
外径の半導体ウエーハを搬送できるものが要求されてい
て、更に ３．５インチの外径の半導体ウエーハも搬送
できる兼用形が要請されている。
【０００６】一方、半導体ウエーハの搬送装置は、当然
ながら搬送のため把持工程で半導体ウエーハの表面に傷
をつけないことが要求され、更に高速・高精度に所定の
場所に供給できるとともに、搬送のための移動部が小形
で、移動による気流の乱れが少ないことが要請される。
ながら搬送のため把持工程で半導体ウエーハの表面に傷
をつけないことが要求され、更に高速・高精度に所定の
場所に供給できるとともに、搬送のための移動部が小形
で、移動による気流の乱れが少ないことが要請される。
【０００７】そこで、本発明の目的は、簡単な構成で、
外形が異なるワークを高速・高精度に搬送することので
きるワーク搬送装置を得ることである。 ［発明の構成］
外形が異なるワークを高速・高精度に搬送することので
きるワーク搬送装置を得ることである。 ［発明の構成］
【０００８】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明は、載置
台に供給された円板状のワークを把持し、反転して載置
台に載置するワークの搬送装置において、架台に設けら
れたスライドガイド及びこのスライドガイドにロッドが
連結された第１の空圧シリンダと、スライドガイドに固
定された回転シリンダと、この回転シリンダの出力軸に
継手を介して連結された把持部と、継手に固定されロッ
ドが把持部に連結された第２の空圧シリンダを設けるこ
とで、把持部と回転シリンダを第１の空圧シリンダで進
退させ、回転シリンダで把持部を回転し、第２の空圧シ
リンダで把持部を開閉させて、簡単な構成で外形の異な
るワークを高速・高精度に搬送することのできるワーク
搬送装置である。
台に供給された円板状のワークを把持し、反転して載置
台に載置するワークの搬送装置において、架台に設けら
れたスライドガイド及びこのスライドガイドにロッドが
連結された第１の空圧シリンダと、スライドガイドに固
定された回転シリンダと、この回転シリンダの出力軸に
継手を介して連結された把持部と、継手に固定されロッ
ドが把持部に連結された第２の空圧シリンダを設けるこ
とで、把持部と回転シリンダを第１の空圧シリンダで進
退させ、回転シリンダで把持部を回転し、第２の空圧シ
リンダで把持部を開閉させて、簡単な構成で外形の異な
るワークを高速・高精度に搬送することのできるワーク
搬送装置である。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の半導体ウエーハの搬送装置の
一実施例を図面を参照して説明する。図１は、本発明の
半導体ウエーハの搬送装置の平面図で、同図（ａ）は全
体図、同図（ｂ）は部分動作説明図、又、図２は図１の
正面図で、同図（ａ）は全体図、同図（ｂ）は同図（ａ
）の部分動作説明図である。
一実施例を図面を参照して説明する。図１は、本発明の
半導体ウエーハの搬送装置の平面図で、同図（ａ）は全
体図、同図（ｂ）は部分動作説明図、又、図２は図１の
正面図で、同図（ａ）は全体図、同図（ｂ）は同図（ａ
）の部分動作説明図である。
【００１０】図１（ａ）及び図２（ａ）において、図示
しない架台には、平面図では長方形の取付板１９が水平
に固定され、この取付板１９の下面には、左右中央にＬ
形の取付脚１９ａが対称的にボルトで固定され、これら
の取付脚１９ａには空圧複動シリンダ１６がロッドを左
側にして固定されている。
しない架台には、平面図では長方形の取付板１９が水平
に固定され、この取付板１９の下面には、左右中央にＬ
形の取付脚１９ａが対称的にボルトで固定され、これら
の取付脚１９ａには空圧複動シリンダ１６がロッドを左
側にして固定されている。
【００１１】一方、取付板１９の上面には、スライドガ
イド１５が固定され、このスライドガイド１５の上面に
は詳細省略した一対のレールが設けられ、各レールには
一対の摺動部１５ａがそれぞれ取り付けられている。こ
れらの摺動部１５ａの上面には、平面図では左右に長い
短冊状の取付板１３が固定され、この取付板１３の左端
下面には、空圧シリンダ１６のロッドとの間に継手１７
が取り付けられ、左右端上面にはゴム製のストッパ１４
が固定されている。
イド１５が固定され、このスライドガイド１５の上面に
は詳細省略した一対のレールが設けられ、各レールには
一対の摺動部１５ａがそれぞれ取り付けられている。こ
れらの摺動部１５ａの上面には、平面図では左右に長い
短冊状の取付板１３が固定され、この取付板１３の左端
下面には、空圧シリンダ１６のロッドとの間に継手１７
が取り付けられ、左右端上面にはゴム製のストッパ１４
が固定されている。
【００１２】更に、取付板１３の上面右端近傍には、Ｌ
字形の支え１２ａが立設され、この支え１２ａの右側面
には、中央部に丸穴が形成され、この穴には空圧回転シ
リンダ１２が出力軸を左側にして固定されている。
字形の支え１２ａが立設され、この支え１２ａの右側面
には、中央部に丸穴が形成され、この穴には空圧回転シ
リンダ１２が出力軸を左側にして固定されている。
【００１３】一方、取付板１３の上面中央には、図示し
ない側面図では凸字状の支え１０ａがボルトで固定され
、この支え１０ａの更に上面には、筒体８ａの右半分の
下面が固定され、この筒体８ａの左右端の内周には、フ
ランジ付軸受８が外側からそれぞれ挿入されている。こ
のフランジ付軸受８の軸心には、軸１０が貫通して軸受
８の外面に挿入された止め軸でスラスト方向を固定され
、軸１０の右端にはカップリング１１の出力軸が連結さ
れ、このカップリング１１の入力軸は回転シリンダ１２
の出力軸に連結されている。
ない側面図では凸字状の支え１０ａがボルトで固定され
、この支え１０ａの更に上面には、筒体８ａの右半分の
下面が固定され、この筒体８ａの左右端の内周には、フ
ランジ付軸受８が外側からそれぞれ挿入されている。こ
のフランジ付軸受８の軸心には、軸１０が貫通して軸受
８の外面に挿入された止め軸でスラスト方向を固定され
、軸１０の右端にはカップリング１１の出力軸が連結さ
れ、このカップリング１１の入力軸は回転シリンダ１２
の出力軸に連結されている。
【００１４】更に、軸１０の左端には、平面図では図１
でＴ字形の継手６の右端が嵌合して固定され、この継手
６の中間部には図１に示すようにピン６ａが前後に貫設
され、継手６の左端には把持機構のガイド４が固定され
、このガイド４の両側には左右方向に詳細省略したガイ
ド溝が設けられ、このガイド溝の右端には一対のピン４
ａ，４ｂがそれぞれ挿入されている。
でＴ字形の継手６の右端が嵌合して固定され、この継手
６の中間部には図１に示すようにピン６ａが前後に貫設
され、継手６の左端には把持機構のガイド４が固定され
、このガイド４の両側には左右方向に詳細省略したガイ
ド溝が設けられ、このガイド溝の右端には一対のピン４
ａ，４ｂがそれぞれ挿入されている。
【００１５】このうち、右側のピン４ａの右側と継手６
の左側面間には、ハンド開閉ストッパ２１が継手６の左
側面に固定され、中間外周には第２図の方向からみると
Ｌ形の継手２０の上端が嵌合し、下端には左右方向に長
い長円穴２０ａが形成され、この長円穴２０ａには詳細
省略したピンが挿入され、このピンには継手６の外周右
端に固定された小形の空圧シリンダ９の左端に突き出た
ロッドが固定されている。
の左側面間には、ハンド開閉ストッパ２１が継手６の左
側面に固定され、中間外周には第２図の方向からみると
Ｌ形の継手２０の上端が嵌合し、下端には左右方向に長
い長円穴２０ａが形成され、この長円穴２０ａには詳細
省略したピンが挿入され、このピンには継手６の外周右
端に固定された小形の空圧シリンダ９の左端に突き出た
ロッドが固定されている。
【００１６】又、継手６の左側には略角筒状のガイド１
８がボルトで固定され、このガイド１８は図２（ａ）に
示すように軸心方向が開口したＥ形となっていて、各溝
にはそれぞれピン７ａが挿入され、これらのピン７ａに
はアーム７が同図で示すようにＶ字状に取り付けられて
いる。各アーム７の交点にはそれぞれピン７ｂが連結さ
れ、これらのピン７ｂにはリンク２４の左端がそれぞれ
ピンを介して連結され、これらのリンク２４の中間には
段付きピン４ｂがそれぞれ固定され、これらの段付きピ
ン４ｂにはリンク２４の内側にカムフロア２３がそれぞ
れ取り付けられ、リンク２４の右端間には上述のピン４
ａが固定されている。
８がボルトで固定され、このガイド１８は図２（ａ）に
示すように軸心方向が開口したＥ形となっていて、各溝
にはそれぞれピン７ａが挿入され、これらのピン７ａに
はアーム７が同図で示すようにＶ字状に取り付けられて
いる。各アーム７の交点にはそれぞれピン７ｂが連結さ
れ、これらのピン７ｂにはリンク２４の左端がそれぞれ
ピンを介して連結され、これらのリンク２４の中間には
段付きピン４ｂがそれぞれ固定され、これらの段付きピ
ン４ｂにはリンク２４の内側にカムフロア２３がそれぞ
れ取り付けられ、リンク２４の右端間には上述のピン４
ａが固定されている。
【００１７】更に、ガイド１８の左端には一対のハンド
取付３がボルトで左側からそれぞれ固定され、これらの
ハンド取付３の内側には、先端がＵ字状のふっ素樹脂製
のハンド２がそれぞれ固定されている。又、ピン４ａの
両端とピン６ａの両端との間には、復帰ばね５がそれぞ
れ取り付けられている。
取付３がボルトで左側からそれぞれ固定され、これらの
ハンド取付３の内側には、先端がＵ字状のふっ素樹脂製
のハンド２がそれぞれ固定されている。又、ピン４ａの
両端とピン６ａの両端との間には、復帰ばね５がそれぞ
れ取り付けられている。
【００１８】次に、このように構成された半導体ウエー
ハ搬送装置の作用を説明する。図２（ａ）は、図示しな
い半導体ウエーハ供給台で所定の高さに持ち上げられた
半導体ウエーハ１を把持した状態を示す。
ハ搬送装置の作用を説明する。図２（ａ）は、図示しな
い半導体ウエーハ供給台で所定の高さに持ち上げられた
半導体ウエーハ１を把持した状態を示す。
【００１９】この状態から半導体ウエーハ１を反転する
ときには、先づ、空圧シリンダ１６が作動して、図２の
二点鎖線で示す位置から実線に示す位置に移動する。す
ると、図示しないリミットスイッチの信号で回転シリン
ダ１２が回転して、カップリング１１，軸１０，継手６
，ガイド４を介してハンド２も １８０゜回転する。
ときには、先づ、空圧シリンダ１６が作動して、図２の
二点鎖線で示す位置から実線に示す位置に移動する。す
ると、図示しないリミットスイッチの信号で回転シリン
ダ１２が回転して、カップリング１１，軸１０，継手６
，ガイド４を介してハンド２も １８０゜回転する。
【００２０】次に、空圧シリンダ９が作動して、継手２
０、ピン４ａを介してアーム２４が図２（ｂ）のように
左に押されて、アーム７、ガイド１８などを介してハン
ド２が図２（ｂ）のように開く。同時にチューブ２０、
継手１９を介して供給された空気がハンド２と半導体ウ
エーハ１との間に吹き付けられて、半導体ウエーハ１は
ハンド２と完全離脱される。
０、ピン４ａを介してアーム２４が図２（ｂ）のように
左に押されて、アーム７、ガイド１８などを介してハン
ド２が図２（ｂ）のように開く。同時にチューブ２０、
継手１９を介して供給された空気がハンド２と半導体ウ
エーハ１との間に吹き付けられて、半導体ウエーハ１は
ハンド２と完全離脱される。
【００２１】次に、図示しない検査装置で検査するため
に、空圧シリンダ１６に接続された図示しない空圧弁が
開かれて、空圧シリンダ１６は右方向に動作してシリン
ダ継手１７を介して取付板１３は右方向に後退し、この
取付板１３に取り付けられた回転機構部や把持部は右方
向に後退する。
に、空圧シリンダ１６に接続された図示しない空圧弁が
開かれて、空圧シリンダ１６は右方向に動作してシリン
ダ継手１７を介して取付板１３は右方向に後退し、この
取付板１３に取り付けられた回転機構部や把持部は右方
向に後退する。
【００２２】又、次に供給された半導体ウエーハ１を反
転するときには、空圧シリンダ１６を作動させ、左方向
に回転機構部や把持部を突き出して、空圧シリンダ９を
作動して帰ばね５を介して半導体ウエーハ１を把持する
。
転するときには、空圧シリンダ１６を作動させ、左方向
に回転機構部や把持部を突き出して、空圧シリンダ９を
作動して帰ばね５を介して半導体ウエーハ１を把持する
。
【００２３】このように構成されたワーク搬送装置にお
いては、半導体ウエーハ１の把持を空圧シリンダ９の作
動によるハンド２の開閉で行い、ハンド２の把持機構の
前後動を空圧シリンダ１６で、又、把持機構で把持した
半導体ウエーハ１の反転を回転シリンダ１２で行うこと
で、短い移動距離で高速・高精度に半導体ウエーハ１の
把持・反転を行うことができる。
いては、半導体ウエーハ１の把持を空圧シリンダ９の作
動によるハンド２の開閉で行い、ハンド２の把持機構の
前後動を空圧シリンダ１６で、又、把持機構で把持した
半導体ウエーハ１の反転を回転シリンダ１２で行うこと
で、短い移動距離で高速・高精度に半導体ウエーハ１の
把持・反転を行うことができる。
【００２４】なお、上記実施例においては、ワークは半
導体ウエーハの例で説明したが、円板状のワークであれ
ば適用することができる。
導体ウエーハの例で説明したが、円板状のワークであれ
ば適用することができる。
【００２５】
【発明の効果】載置台に供給された円板状のワークを把
持し、反転して載置台に載置するワークの搬送装置にお
いて、架台に設けられたスライドガイド及びこのスライ
ドガイドにロッドが連結された第１の空圧シリンダと、
スライドガイドに固定された回転シリンダと、この回転
シリンダの出力軸に継手を介して連結された把持部と、
継手に固定されロッドが把持部に連結された第２の空圧
シリンダを設けることで、把持部と回転シリンダを第１
の空圧シリンダで進退させ、回転シリンダで把持部を回
転し、第２の空圧シリンダで把持部を開閉させたので、
簡単な構成で外形の異なるワークを高速・高精度に搬送
することのできるワーク搬送装置を得ることができる。
持し、反転して載置台に載置するワークの搬送装置にお
いて、架台に設けられたスライドガイド及びこのスライ
ドガイドにロッドが連結された第１の空圧シリンダと、
スライドガイドに固定された回転シリンダと、この回転
シリンダの出力軸に継手を介して連結された把持部と、
継手に固定されロッドが把持部に連結された第２の空圧
シリンダを設けることで、把持部と回転シリンダを第１
の空圧シリンダで進退させ、回転シリンダで把持部を回
転し、第２の空圧シリンダで把持部を開閉させたので、
簡単な構成で外形の異なるワークを高速・高精度に搬送
することのできるワーク搬送装置を得ることができる。
【図１】本発明のワーク搬送装置の一実施例を示す平面
図。
図。
【図２】本発明のワーク搬送装置の一実施例を示す側面
図。
図。
２…ハンド、６…継手、９，１６…空圧シリンダ、１２
…回転シリンダ、１５…スライドガイド。
…回転シリンダ、１５…スライドガイド。
Claims (1)
- 【請求項１】 載置台に供給された円板状のワークを
把持し、反転して前記載置台に載置するワークの搬送装
置において、架台にスライドガイド及びこのスライドガ
イドにロッドが連結された第１の空圧シリンダを設け、
前記スライドガイドに回転シリンダを設け、この回転シ
リンダの出力軸に継手を介して把持部を設け、前記継手
にロッドが把持部に連結された第２の空圧シリンダを設
けたことを特徴とするワーク搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2334091A JPH04261791A (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | ワーク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2334091A JPH04261791A (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | ワーク搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04261791A true JPH04261791A (ja) | 1992-09-17 |
Family
ID=12107865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2334091A Pending JPH04261791A (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | ワーク搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04261791A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015523221A (ja) * | 2012-06-01 | 2015-08-13 | アルデバラン ロボティクス | ヒューマノイドロボット用脊柱 |
| US10576530B2 (en) | 2016-05-26 | 2020-03-03 | Daido Steel Co., Ltd. | Holding mechanism |
-
1991
- 1991-02-18 JP JP2334091A patent/JPH04261791A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015523221A (ja) * | 2012-06-01 | 2015-08-13 | アルデバラン ロボティクス | ヒューマノイドロボット用脊柱 |
| US10576530B2 (en) | 2016-05-26 | 2020-03-03 | Daido Steel Co., Ltd. | Holding mechanism |
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