JPH04259816A - 回転数検出器 - Google Patents

回転数検出器

Info

Publication number
JPH04259816A
JPH04259816A JP2101791A JP2101791A JPH04259816A JP H04259816 A JPH04259816 A JP H04259816A JP 2101791 A JP2101791 A JP 2101791A JP 2101791 A JP2101791 A JP 2101791A JP H04259816 A JPH04259816 A JP H04259816A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coil
magnetic
magnetic bubble
magnetic field
readout
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2101791A
Other languages
English (en)
Inventor
Fusao Kosaka
幸坂 扶佐夫
Toshio Iino
俊雄 飯野
Yoshiaki Kudo
工藤 良昭
Yasuhiro Sakamaki
康弘 坂巻
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP2101791A priority Critical patent/JPH04259816A/ja
Publication of JPH04259816A publication Critical patent/JPH04259816A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は回転数検出器に関し、更
に詳しくは、磁気バブルを用いた回転数検出器の組み立
て調整工数の改善に関する。
【0002】
【従来の技術】磁気バブルを用いた回転数検出器の原理
は広く知られているが、概略を説明する。図7は磁気バ
ブルを用いた回転数検出器の動作原理図、図8は図7の
磁気バブル素子上に形成された転送素子ループのパター
ン例図、図9は図8の転送素子ループのストレッチャー
部の拡大図である。
【0003】図7において、1は磁気バブル素子であり
、磁気バブルを発生する材料で構成される。説明を加え
ると、磁気バブルは、適当な強さの垂直磁界を加えるこ
とにより、GGG(ガドリニウム−ガリウム−ガーネッ
ト)上に数μmエピタキシャル成長させた垂直磁化膜の
中に筒状の形で発生する。この磁気バブル素子1には、
磁気バブル検出素子12,13及びアルミ配線パターン
14,15,16が形成されている(図9参照)。 磁気バブル検出素子12,13は、磁気抵抗素子(例え
ばパーマロイ)で構成される。更に磁気バブル素子1に
は、薄膜のパーマロイで構成された転送素子11がルー
プ状に形成され、これに沿って磁気バブルが転送される
(図8,図9参照)。図8では1つの転送素子ループを
示したが、実際の磁気バブル素子1上には複数の転送素
子ループが設けられる。各転送素子ループにはメモリホ
イールのビットパターンで磁気バブルが書き込まれてい
る。なお、磁気バブル素子1が配置されている平面を便
宜上x−y平面と呼ぶ。
【0004】2は2枚一組のバイアス磁石であり(図7
参照)、磁気バブル素子1に対し垂直な一定のバイアス
磁界を与え、バブル状の磁区を保持する作用を有するも
のである。
【0005】3,4は読出コイルであり、磁気バブル素
子1の周囲に図7の如く配置される。そして該読出コイ
ル3,4はリング磁石5が固定された回転軸の累積回転
数を読み出す時に使われるもので、交番電流を流すこと
により回転磁界を発生させ、磁気バブル17,18,1
9を転送する。
【0006】5はリング磁石であり、回転シャフト(図
示せず)に取り付けられた永久磁石である。該リング磁
石5は磁気バブル素子1に対して平行な面内磁界を与え
るもので、該面内磁界は回転シャフトが回転することに
より回転する。磁気バブルは、1転送素子/1回転磁界
で転送素子ループを巡回する。図7は8極に着磁された
リング磁石の例であり、この場合、回転シャフトが1回
転すると、磁気バブルは転送素子11の4個分を移動す
る。
【0007】図8に示す各転送素子ループには、『メモ
リホイールの原理』に基づいた特殊配列パターンの磁気
バブルが書き込まれている。該特殊配列パターンとは、
全ビットパターンの中のある位置から切り出した連続す
るビットパターンが他の位置から切り出した同ビット数
のパターンとも同じにならないという特徴を持ったパタ
ーンである。従って、ある決まった位置から連続する数
ビットのパターンを読み出すことでそのループの回転シ
フト量を知ることができる。
【0008】磁気バブルは、前記ある位置に配置された
磁気バブル検出器10で検出される。磁気バブル検出器
10は、図9に示す磁気バブル検出素子12,13で構
成される。該磁気バブル検出素子12,13には、アル
ミ配線パターン14,15,16を介して定電流が予め
流されている(アルミ配線パターン16はアース電位)
。そして磁気バブル検出素子12,13の部分に磁気バ
ブル17,18,19が移動してくると、該抵抗値が変
化するため、アルミ配線パターン14,15の電位が変
化する。該2つの配線パターン14,15の電位信号を
図示しない差動増幅器で差動演算することにより磁気バ
ブルの検出信号を得ている。
【0009】以上のような磁気バブル素子1において、
転送素子ループ上には、『メモリホイールの原理』によ
り定まる、例えば1ループ8ビットのビットパターン(
01110100)が磁気バブルの有無により形成され
ている。図8に示す実施例ではもっと多数のビット(例
えば49ビット前後)であるが、ここでは分り易くする
ために8ビットで説明する。該8ビットのビットパター
ンは、リング磁石5が回転すると、その回転に応じて転
送素子ループ上を巡回する。該巡回動作は、図7の装置
が停電状態であっても正常に行われる。
【0010】例えば、図7に示す回転数検出器の電源が
ストップして電子回路的にその動作を停止している時に
リング磁石5が10回転すると、該10回転に応じた位
置に前記8ビットパターンの磁気バブルは移動している
。電源が復帰すると、リング磁石が何回転したかを測定
するために読出コイル3,4を動作させて回転磁界を発
生させ、磁気バブルを例えば3個の転送素子分だけ順に
その位置を移動させる。従って、磁気バブル検出器10
からは、3個の時系列のビットパターンが読み出され、
該パターンから『メモリホイールの原理』によりリング
磁石5の累積回転数を知ることができる。検出後、読出
コイル3,4は、上述と逆方向の回転磁界を磁気バブル
素子1に加えて磁気バブルを3個の転送素子分だけ移動
させ、元の位置に戻す。
【0011】ここで、読出コイル3,4を動作させた場
合、読出コイル3,4により発生した磁界HMとリング
磁石5による磁界HRとが重畳して磁気バブル素子1の
磁気バブル検出素子12,13に加えられる。そして、
リング磁石5の磁界HRのベクトル方向と読出コイル3
,4の磁界HMのベクトル方向とが同じ方向へ向いた領
域では、パーマロイで構成された磁気バブル検出素子1
2,13が磁気飽和して磁気バブル17,18,19が
検出できなくなるという問題が発生する。
【0012】これらを図10と図11を参照して説明す
る。磁気バブル17,18,19を転送するためには、
面内磁界として例えば40ガウス以上を加える必要があ
る。リング磁石5が発生する磁界HRを40ガウスとす
ると、シャフトに取り付けたリング磁石5が回転するこ
とにより図10の小円のベクトル軌跡が得られる。ベク
トルOAの角度で該リング磁石5が停止し、読出コイル
3,4によりリング磁石5の累積回転数を測定する場合
、該読出コイル3,4による回転磁界(例えばHM=9
0ガウス)のベクトル軌跡は点Aを中心とする大円とな
る(図10参照)。すなわち、原点0から見ると、ベク
トル和OBは、50〜130ガウスの間で変化する。 このベクトルは、動作マージンを超えてしまい、バブル
情報を破壊するおそれがある。
【0013】一方、磁気バブル検出素子12,13の磁
界−抵抗値変化の特性は図11のようになり、抵抗値の
変化は60ガウス程度で飽和している。図10でベクト
ル和がOCに向いた時に磁気バブルを検出するように配
置すると、磁気バブル検出素子12,13の飽和により
(図10より60ガウス以上)、磁気バブル17,18
,19の磁束を検出できなくなる。
【0014】このような点に鑑み、本出願人は、実願昭
62−126991 号を出願してこの問題点を解決し
た。該先願は、2個のホール素子を用いてリング磁石に
よる磁界HRのx,y成分を測定し、該磁界HRを打ち
消す直流電流を読出コイル3,4に重畳するようにした
ものである。図12は該先願のリング磁石5とホール素
子20,21と磁気バブル素子1との位置関係を示す斜
視図である。ここで、磁気バブル素子1のX軸の磁界(
リング磁石5が発生する磁界)成分を測定するX軸ホー
ル素子20は座標軸X方向と一致するように配置し、Y
軸ホール素子21は座標軸Y方向と一致するように配置
する。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】図13に該先願の読出
コイルの駆動回路例を示す。演算増幅器22の非反転入
力端子には直流成分を含む三角波信号が入力され、反転
入力端子は読出コイル3(4)とセンス抵抗23の直列
接続点に接続され、出力端子は電流ブースター24を介
して読出コイル3(4)とセンス抵抗23の直列回路の
一端に接続されている。該読出コイル3(4)とセンス
抵抗23の直列回路の他端はアース点に接続されている
。なお、三角波信号の周波数fcは例えば40KHzと
し、読出コイル3(4)のインダクタンスLは16μH
〜18μHで抵抗値RLは2Ω程度とし、センス抵抗2
3の抵抗値RSは3Ω程度とする。
【0016】しかしながら、該方式は手軽ではあるがL
負荷駆動のために回路自身に不安定要素があり、発振や
リンギング等の原因となってコイルに入力と同形のコイ
ル電流を流すことは難しく、三角波信号の周波数fcが
高くなると更に歪んでしまう。そして、あまり歪みが大
きいと磁気バブル情報を破壊してしまう恐れがある。
【0017】図14も該先願と同様な読出コイルの駆動
例である。図14の場合には、読出コイル3(4)に三
角波信号の代わりに矩形電圧を入力する。ここで、抵抗
値RLが小さい場合には、コイル電流ILは、IL=V
・t/Lになる。
【0018】該方式は負荷Lや周波数fcによる電流波
形のリンギングは少なく、30μHのインダクタンスを
数100KHzの周波数で駆動してもリンギングは発生
しない。しかしながら、矩形波駆動でコイル電流に直流
成分を与えることはコイルの抵抗値RLを0にしない限
り困難である。
【0019】すなわち、いずれの方式も、インダクタン
スLの比較的大きなコイル負荷に直流電流を流すととも
に周波数の高い歪みの少ない交流波形を発生させること
は非常に難しい。
【0020】本発明の目的は、読出コイルに直流電流を
与えるとともに磁気バブル情報を破壊する恐れのない歪
みの小さな交流波形を発生させることにより、安定した
読取り動作が得られる回転数検出器を提供することにあ
る。
【0021】
【課題を解決するための手段】回転軸に取り付けた永久
磁石の磁界を磁気バブル素子へ加えて複数ビットパター
ンからなる磁気バブルを移動させると共に、読出コイル
に交流電流を流して回転磁界を発生させて前記磁気バブ
ルを強制的に移動させ、磁気バブルのビットパターンを
磁気バブル検出素子で検出することにより回転軸の累積
回転数を測定する回転数検出器において、前記読出コイ
ルとして2本のコイル線が巻かれたものを用い、一方の
コイル線に矩形波信号を加え、他方のコイル線に直流信
号を加えることを特徴とする。
【0022】
【作用】読出コイルを構成する一方のコイル線に加えら
れる矩形波信号により歪みのない磁界が生成されて磁気
バブル素子に加えられるので、磁気バブルは安定に転送
される。そして、読出コイルを構成する他方のコイル線
に加えられる直流信号により回転磁石の磁界を打ち消す
磁界が生成されるので、磁気バブルを安定に検出できる
【0023】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳
細に説明する。
【0024】図1は本発明に係る回転数検出器で用いる
読出コイルの一実施例の構成図、図2は駆動回路図、図
3は駆動波形図である。なお、読出コイルはX,Y方向
とも同一の形状に形成されるものであり、図では片方の
みを示す。図において、読出コイルは2本のコイル線2
5,26をペアにして形成されている。一方のコイル線
25には矩形波発生回路27から回転磁界検出信号に基
づいて(イ)のような矩形波信号Vacが加えられ、他
方のコイル線26には直流発生回路28から回転磁界検
出信号に基づいて(ロ)のような直流信号Vdcが加え
られる。(イ)のような矩形波信号Vacにより(ハ)
のような交流コイル電流Iacが流れて交流磁界が発生
し、(ロ)のような直流信号Vdcにより(ニ)のよう
な直流コイル電流Idcが流れて直流磁界が発生する。
【0025】図4は図2の回路構成における発生磁界の
説明図である。一方のコイル線25に(イ)のような交
流分の電圧ACを加え、他方のコイル線26に(ロ)の
ような直流分の電圧DCを加えることにより、該コイル
内には(ハ)のような直流磁界と交流磁界が合成された
磁界H(コイル電流IL)が発生する。
【0026】図5は直流分の磁界HDCの説明図である
。直流分の磁界は負荷がL負荷なので破線のような望ま
しい特性のように急には変化せず、実際には実線のよう
になる。そこで、上述図3の(イ)に示すように開始位
置(START)の部分に予め直流成分−VD1に対応
した直流成分VD1を付加して所望の磁界が得られるよ
うにしている。
【0027】このように読出コイルを2本のコイル線2
5,26で構成して一方に矩形波信号を加えて他方に直
流信号を加えることによって矩形波励磁の利点を生かし
ながら回転磁石の磁界を打ち消すための直流磁界成分を
与えることができ、リンギング等の歪みのない磁界によ
る磁気バブルの安定転送と安定検出が行える。
【0028】なお、上述の実施例では各読出コイルを2
本のコイル線25,26で構成しているが、AC系統の
コイルとDC系統のコイルが実質的に分離独立していれ
ばよいので、図6のようにAC分コイル29とDC分コ
イル30の2層コイル構成にしてもよい。
【0029】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、以下のような効果が得られる。
【0030】読出コイルを矩形波駆動するので、数10
0KHzのような高い周波数でも使用でき、コイルのL
の値が広く選べる。
【0031】AC系統のコイルとDC系統のコイルを実
質的に分離独立させているので、矩形波駆動であっても
回転磁石の直流磁界を打ち消すための直流磁界成分を簡
単に与えることができる。また、読出コイルの抵抗値が
2Ω程度の実用値であっても支障なく使用できる。そし
て、回路構成が簡単にできるので、回路の負担を軽減で
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る回転数検出器で用いる読出コイル
の一実施例の構成図である。
【図2】図1の駆動回路図である。
【図3】図2の駆動波形図である。
【図4】図2の回路構成における発生磁界の説明図であ
る。
【図5】直流分の磁界HDCの説明図である。
【図6】本発明に係る回転数検出器で用いる読出コイル
の他の実施例の構成図である。
【図7】磁気バブル素子を用いた回転数検出器の動作原
理図である。
【図8】図7の磁気バブル素子の転送素子ループのパタ
ーン例図である。
【図9】図8の転送素子ループのストレッチャ部の拡大
図である。
【図10】面内磁界の説明図である。
【図11】磁気バブル検出素子の磁界−抵抗値変化の特
性図である。
【図12】回転数検出器のリング磁石周辺の構成斜視図
である。
【図13】従来の読出コイルの駆動回路例である。
【図14】従来の読出コイルの駆動回路の他の例である
【符号の説明】
25,26    コイル線 27    矩形波発生回路 28    直流発生回路 29    AC分コイル 30    DC分コイル

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  回転軸に取り付けた永久磁石の磁界を
    磁気バブル素子へ加えて複数ビットパターンからなる磁
    気バブルを移動させると共に、読出コイルに交流電流を
    流して回転磁界を発生させて前記磁気バブルを強制的に
    移動させ、磁気バブルのビットパターンを磁気バブル検
    出素子で検出することにより回転軸の累積回転数を測定
    する回転数検出器において、前記読出コイルとして2本
    のコイル線が巻かれたものを用い、一方のコイル線に矩
    形波信号を加え、他方のコイル線に直流信号を加えるこ
    とを特徴とする回転数検出器。
JP2101791A 1991-02-14 1991-02-14 回転数検出器 Pending JPH04259816A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2101791A JPH04259816A (ja) 1991-02-14 1991-02-14 回転数検出器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2101791A JPH04259816A (ja) 1991-02-14 1991-02-14 回転数検出器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04259816A true JPH04259816A (ja) 1992-09-16

Family

ID=12043275

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2101791A Pending JPH04259816A (ja) 1991-02-14 1991-02-14 回転数検出器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04259816A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010008359A (ja) * 2008-06-30 2010-01-14 Furukawa Electric Co Ltd:The 回転角検出装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010008359A (ja) * 2008-06-30 2010-01-14 Furukawa Electric Co Ltd:The 回転角検出装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3126642B2 (ja) 磁界センサ
JPH10221114A (ja) 検出装置
JPH10232242A (ja) 検出装置
JP2785839B2 (ja) 軟磁性膜バイアス式磁気抵抗センサ
JP2004069546A (ja) 磁気検出装置
JPH04259816A (ja) 回転数検出器
US6714389B1 (en) Digital magnetoresistive sensor with bias
JP2000055998A (ja) 磁気センサ装置および電流センサ装置
KR19990087016A (ko) 자기검출장치_
JPH06283344A (ja) 磁気インダクタンス素子
JP2000028695A (ja) 磁気測定方法及び装置
JP3399185B2 (ja) 磁気検知装置及び磁気検知方法
WO1999008263A1 (en) Magnetic flux processing apparatus and method
JP3680363B2 (ja) 磁気軸受制御装置
JP3746354B2 (ja) 磁界検出装置
West et al. Detection of Low‐Intensity Magnetic Fields by Means of Ferromagnetic Films
Kaplan et al. In-plane vector magnetometer employing a single unbiased magnetoresistor
JPH09218053A (ja) 磁気式エンコーダ装置
JPH0297290A (ja) モータの回転方向検出装置
JPH03252577A (ja) 磁界検出法および磁界センサ
JP2822681B2 (ja) 磁気バブル検出方法
JPH01233318A (ja) 位置検出器
JPS6370116A (ja) 磁気式正弦波エンコ−ダの出力回路
JPH0359462A (ja) 回転数検出器
JPS5845501A (ja) 運動する被検出体の運動位置検出装置