JPH04259233A - 電子部品観察用レーザ装置 - Google Patents
電子部品観察用レーザ装置Info
- Publication number
- JPH04259233A JPH04259233A JP3020761A JP2076191A JPH04259233A JP H04259233 A JPH04259233 A JP H04259233A JP 3020761 A JP3020761 A JP 3020761A JP 2076191 A JP2076191 A JP 2076191A JP H04259233 A JPH04259233 A JP H04259233A
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- Japan
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- lead
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- laser beam
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品観察用レーザ
装置に係り、レーザ発光部から照射されて電子部品に反
射されたレーザ光を、このレーザ発光部の周囲に配置さ
れた複数個のレーザ受光部により受光するようにしたも
のである。
装置に係り、レーザ発光部から照射されて電子部品に反
射されたレーザ光を、このレーザ発光部の周囲に配置さ
れた複数個のレーザ受光部により受光するようにしたも
のである。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣやＬＳＩのような電子部品を基板に
実装するにあたっては、モールド体から突出するリード
を観察して、リードのＸＹθ方向の位置ずれ、浮き、曲
り、リードの有無等を検出することが行われる。従来、
このようなリードの観察はＣＣＤカメラにより行われて
きたが、ＣＣＤカメラは解像力が小さいため、極細多ピ
ン化したリードを精密に計測できず、またＣＣＤカメラ
では高さ情報すなわちリードの浮きは検出できないこと
から、近年は、ＣＣＤカメラに替えて、レーザ装置が使
われるようになってきた。
実装するにあたっては、モールド体から突出するリード
を観察して、リードのＸＹθ方向の位置ずれ、浮き、曲
り、リードの有無等を検出することが行われる。従来、
このようなリードの観察はＣＣＤカメラにより行われて
きたが、ＣＣＤカメラは解像力が小さいため、極細多ピ
ン化したリードを精密に計測できず、またＣＣＤカメラ
では高さ情報すなわちリードの浮きは検出できないこと
から、近年は、ＣＣＤカメラに替えて、レーザ装置が使
われるようになってきた。
【０００３】図６は、レーザ光による従来の電子部品（
以下「チップ」という）の計測装置１００を示すもので
あって、本体部１０１に形成された凹入部の傾斜面に、
レーザ光の発光部１０２と受光部１０３が設けられてい
る。このものは、移載ヘッド１０４のノズル１０５に吸
着されたチップＰのリードＬに向って、下方からレーザ
光を掃引照射し、反射されたレーザ光を受光部１０３に
受光して、リードＬの位置ずれ、浮き、曲り、有無等を
計測するようになっている。
以下「チップ」という）の計測装置１００を示すもので
あって、本体部１０１に形成された凹入部の傾斜面に、
レーザ光の発光部１０２と受光部１０３が設けられてい
る。このものは、移載ヘッド１０４のノズル１０５に吸
着されたチップＰのリードＬに向って、下方からレーザ
光を掃引照射し、反射されたレーザ光を受光部１０３に
受光して、リードＬの位置ずれ、浮き、曲り、有無等を
計測するようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところがＱＦＰなどの
リードＬの先端部は若干傾斜しており（傾斜角α）、し
たがって実線にて示すように右側のリードＬ１にレーザ
光を掃引照射してその位置ずれ等を計測した後、鎖線に
て示すように左側のリードＬ３にレーザ光を照射すると
、リードＬ１，Ｌ３に反射された反射光の反射方向に方
向性があることから、鎖線矢印にて示すように、リード
Ｌ３に反射されたレーザ光は受光部１０３に十分に入射
せず、右側のリードＬ１と左側のリードＬ３の反射光の
受光量がばらついて、計測値に狂いを生じやすいもので
あった。
リードＬの先端部は若干傾斜しており（傾斜角α）、し
たがって実線にて示すように右側のリードＬ１にレーザ
光を掃引照射してその位置ずれ等を計測した後、鎖線に
て示すように左側のリードＬ３にレーザ光を照射すると
、リードＬ１，Ｌ３に反射された反射光の反射方向に方
向性があることから、鎖線矢印にて示すように、リード
Ｌ３に反射されたレーザ光は受光部１０３に十分に入射
せず、右側のリードＬ１と左側のリードＬ３の反射光の
受光量がばらついて、計測値に狂いを生じやすいもので
あった。
【０００５】またリードＬ３に反射されたレーザ光が受
光部１０３に入射しないと、リードＬ３は無と誤判断さ
れる問題点があった。
光部１０３に入射しないと、リードＬ３は無と誤判断さ
れる問題点があった。
【０００６】そこで本発明は、上記のような従来手段の
問題点、すなわちリードの傾斜に基づく反射光の反射方
向のばらつきによる計測不良を解消できる電子部品観察
用レーザ装置を提供することを目的とする。
問題点、すなわちリードの傾斜に基づく反射光の反射方
向のばらつきによる計測不良を解消できる電子部品観察
用レーザ装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ発光部
とレーザ受光部を備えたレーザ装置において、レーザ発
光部の周囲に複数個のレーザ受光部を設けたものである
。
とレーザ受光部を備えたレーザ装置において、レーザ発
光部の周囲に複数個のレーザ受光部を設けたものである
。
【０００８】
【作用】上記構成において、レーザ発光部から照射され
て、電子部品に反射された反射光に、反射方向の方向性
があっても、この反射光は何れかのレーザ受光部に入射
する。そこで、複数個のレーザ受光部の受光量を平均し
たり、あるいは複数個の受光部のうち、最も受光量の多
いものを採用するなどして、電子部品の位置ずれ、浮き
、有無などを計測する。
て、電子部品に反射された反射光に、反射方向の方向性
があっても、この反射光は何れかのレーザ受光部に入射
する。そこで、複数個のレーザ受光部の受光量を平均し
たり、あるいは複数個の受光部のうち、最も受光量の多
いものを採用するなどして、電子部品の位置ずれ、浮き
、有無などを計測する。
【０００９】
【実施例】（実施例１）次に、図面を参照しながら発明
の実施例を説明する。
の実施例を説明する。
【００１０】図１において、Ｐはモールド体Ｍから４方
向に突出するリードＬを有するＱＦＰのようなチップで
あり、移載ヘッド１のノズル２に吸着されて、基板（図
外）に移送搭載される。
向に突出するリードＬを有するＱＦＰのようなチップで
あり、移載ヘッド１のノズル２に吸着されて、基板（図
外）に移送搭載される。
【００１１】３はレーザ装置であって、十字形の本体部
４の中心部５にレーザ発光部６が設けられている。また
この中心部５から四方に延出する上り斜面部７に、レー
ザ受光部８ａ〜８ｄが配置されている。図２に示すよう
に、受光部８ａ〜８ｄは、発光部６の周囲に、この発光
部６を中心とする同心円Ａ上に対称に位置している。
４の中心部５にレーザ発光部６が設けられている。また
この中心部５から四方に延出する上り斜面部７に、レー
ザ受光部８ａ〜８ｄが配置されている。図２に示すよう
に、受光部８ａ〜８ｄは、発光部６の周囲に、この発光
部６を中心とする同心円Ａ上に対称に位置している。
【００１２】このレーザ装置３は、ＸＹテーブル１１、
１２に載置されており、ＸＹ方向に移動する。ＭＸはＸ
モータ、ＭＹはＹモータである。
１２に載置されており、ＸＹ方向に移動する。ＭＸはＸ
モータ、ＭＹはＹモータである。
【００１３】本装置は上記のような構成より成り、次に
動作を説明する。移動ヘッド１は、電子部品Ｐを吸着し
て基板（図外）に移送搭載する途中において、レーザ装
置３の上方に到来し、リードＬ１を発光部６の上方に位
置させる（図３実線参照）。
動作を説明する。移動ヘッド１は、電子部品Ｐを吸着し
て基板（図外）に移送搭載する途中において、レーザ装
置３の上方に到来し、リードＬ１を発光部６の上方に位
置させる（図３実線参照）。
【００１４】次いで、発光部６からレーザ光が発光され
、レーザ光はリードＬ１に反射される。この場合、リー
ドＬ１は傾斜角αを有するので、レーザ光は、図中ａに
示す指向性で反射される。したがって、レーザ光は一方
の受光部８ａに多量に入射し、他方の受光部８ｃには少
量入射する。そこで受光部８ａ、８ｃの受光量の平均値
を算出して、その平均値を基にリードＬ１の位置ずれや
浮きを計算する。勿論、４個の受光部８ａ〜８ｄの受光
量の平均値から、位置ずれや浮きを計算してもよい。 あるいは受光量の多い受光部８ａの受光量を基に、上記
計算を行ってもよい。また、複数個の受光部８ａ〜８ｄ
のうち、何れか１つが受光すれば、リードＬは有と判断
される。
、レーザ光はリードＬ１に反射される。この場合、リー
ドＬ１は傾斜角αを有するので、レーザ光は、図中ａに
示す指向性で反射される。したがって、レーザ光は一方
の受光部８ａに多量に入射し、他方の受光部８ｃには少
量入射する。そこで受光部８ａ、８ｃの受光量の平均値
を算出して、その平均値を基にリードＬ１の位置ずれや
浮きを計算する。勿論、４個の受光部８ａ〜８ｄの受光
量の平均値から、位置ずれや浮きを計算してもよい。 あるいは受光量の多い受光部８ａの受光量を基に、上記
計算を行ってもよい。また、複数個の受光部８ａ〜８ｄ
のうち、何れか１つが受光すれば、リードＬは有と判断
される。
【００１５】次いで、レーザ装置３を左方へ移動させる
。次いで発光部６からレーザ光を照射し、リードＬ２を
計測する（図３鎖線参照）。この場合、反射光は図中ｂ
で示す指向性となるので、受光部８ａよりも受光部８ｃ
により多量のレーザ光が入射する。したがって、この場
合も、上記の場合と同様にして、リードＬ２の位置ずれ
や浮きを計算する。
。次いで発光部６からレーザ光を照射し、リードＬ２を
計測する（図３鎖線参照）。この場合、反射光は図中ｂ
で示す指向性となるので、受光部８ａよりも受光部８ｃ
により多量のレーザ光が入射する。したがって、この場
合も、上記の場合と同様にして、リードＬ２の位置ずれ
や浮きを計算する。
【００１６】このようにこのレーザ装置３によれば、反
射光の反射方向に方向性があっても、リードＬを正確に
計測できる。
射光の反射方向に方向性があっても、リードＬを正確に
計測できる。
【００１７】また、図４に示すように、受光部８ａと受
光部８ｂは直交方向に位置しているので、一方の受光部
８ａにより、一方の辺から延出するリードＬａを計測し
、他方の受光部８ｂにより、他方の辺から延出するリー
ドＬｂを計測することもできる。
光部８ｂは直交方向に位置しているので、一方の受光部
８ａにより、一方の辺から延出するリードＬａを計測し
、他方の受光部８ｂにより、他方の辺から延出するリー
ドＬｂを計測することもできる。
【００１８】（実施例２）図５において、レーザ装置１
３の本体部１６は円柱形であり、その上面は摺鉢状の凹
入部１４となっている。この凹入部１４の底部１５には
レーザ発光部６が設けられている。またその周囲の斜面
部１７には、レーザ受光部８ａ〜８ｎが多数個同心円Ａ
上に設けられている。
３の本体部１６は円柱形であり、その上面は摺鉢状の凹
入部１４となっている。この凹入部１４の底部１５には
レーザ発光部６が設けられている。またその周囲の斜面
部１７には、レーザ受光部８ａ〜８ｎが多数個同心円Ａ
上に設けられている。
【００１９】したがってこのものも、反射光の反射方向
に方向性があっても、上記第１実施例と同様に、リード
Ｌの位置ずれや浮きを正確に計測できる。
に方向性があっても、上記第１実施例と同様に、リード
Ｌの位置ずれや浮きを正確に計測できる。
【００２０】なお、上記実施例は、電子部品としてＱＦ
Ｐを例にとって説明したが、ＳＯＰやＴＡＢ法により作
られた電子部品の計測も同様に行える。
Ｐを例にとって説明したが、ＳＯＰやＴＡＢ法により作
られた電子部品の計測も同様に行える。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るレーザ
装置は、レーザ発光部と、このレーザ発光部の周囲に配
置された複数個のレーザ受光部を備えているので、リー
ドに照射されたレーザ光の反射光に反射方向の方向性が
あっても、リードを正確に計測することができる。
装置は、レーザ発光部と、このレーザ発光部の周囲に配
置された複数個のレーザ受光部を備えているので、リー
ドに照射されたレーザ光の反射光に反射方向の方向性が
あっても、リードを正確に計測することができる。
【図１】本発明のレーザ装置の斜視図
【図２】同レーザ装置の平面図
【図３】同装置による計測中の正面図
【図４】同装置による計測中の部分平面図
【図５】本発
明の他の実施例のレーザ装置の斜視図
明の他の実施例のレーザ装置の斜視図
【図６】従来のレ
ーザ装置の側面図
ーザ装置の側面図
３ レーザ装置
６ レーザ発光部
８ レーザ受光部
１３ レーザ装置
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ発光部と、このレーザ発光部の
周囲に配置された複数個のレーザ受光部を備えているこ
とを特徴とする電子部品観察用レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3020761A JP2969986B2 (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 電子部品観察用レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3020761A JP2969986B2 (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 電子部品観察用レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04259233A true JPH04259233A (ja) | 1992-09-14 |
| JP2969986B2 JP2969986B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=12036174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3020761A Expired - Fee Related JP2969986B2 (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 電子部品観察用レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2969986B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100479904B1 (ko) * | 2002-06-29 | 2005-03-30 | 삼성테크윈 주식회사 | 부품 검사 장치 |
-
1991
- 1991-02-14 JP JP3020761A patent/JP2969986B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100479904B1 (ko) * | 2002-06-29 | 2005-03-30 | 삼성테크윈 주식회사 | 부품 검사 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2969986B2 (ja) | 1999-11-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070827 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080827 Year of fee payment: 9 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080827 Year of fee payment: 9 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090827 Year of fee payment: 10 |
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