JPH042558B2 - - Google Patents
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- JPH042558B2 JPH042558B2 JP62109522A JP10952287A JPH042558B2 JP H042558 B2 JPH042558 B2 JP H042558B2 JP 62109522 A JP62109522 A JP 62109522A JP 10952287 A JP10952287 A JP 10952287A JP H042558 B2 JPH042558 B2 JP H042558B2
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はレーザ発振波長域での光吸収が格段に
低い波長可変レーザ用として有効な高品質チタン
サフアイヤ単結晶の製造方法に関する。
低い波長可変レーザ用として有効な高品質チタン
サフアイヤ単結晶の製造方法に関する。
本発明におけるチタンサフアイヤ単結晶とは、
少量の三二酸化チタン(Ti2O3)を含む酸化アル
ミニウム(Al2O3)の単結晶である。チタンサフ
アイヤ単結晶は広い波長可変域を持つ波長可変レ
ーザ用結晶として注目を集めている素材である。
少量の三二酸化チタン(Ti2O3)を含む酸化アル
ミニウム(Al2O3)の単結晶である。チタンサフ
アイヤ単結晶は広い波長可変域を持つ波長可変レ
ーザ用結晶として注目を集めている素材である。
従来技術
従来、チタンサフアイヤ単結晶は熱交換法、温
度勾配徐冷法、引上げ法、フローテイングゾーン
法により製造されている。雰囲気はチタンイオン
の価数が通常の酸化雰囲気中では4価であること
から、これを3価にする目的で、還元性のものを
用いている。しかし、得られた結晶には、最も効
率良くレーザ発振が起こる700〜900nmの波長域
を覆う幅広い吸収帯がある。特に高効率発振を期
待して高濃度のチタン導入を行つた結晶ではこの
吸収帯が顕著に現れる。この吸収帯は寄生吸収帯
と呼ばれ、その発生原因は明らかになつていな
く、これを防止する方法は知られていない。
度勾配徐冷法、引上げ法、フローテイングゾーン
法により製造されている。雰囲気はチタンイオン
の価数が通常の酸化雰囲気中では4価であること
から、これを3価にする目的で、還元性のものを
用いている。しかし、得られた結晶には、最も効
率良くレーザ発振が起こる700〜900nmの波長域
を覆う幅広い吸収帯がある。特に高効率発振を期
待して高濃度のチタン導入を行つた結晶ではこの
吸収帯が顕著に現れる。この吸収帯は寄生吸収帯
と呼ばれ、その発生原因は明らかになつていな
く、これを防止する方法は知られていない。
発明の目的
本発明の目的は寄生吸収帯の発生のないチタン
サフアイヤ単結晶の製造方法を提供するにある。
サフアイヤ単結晶の製造方法を提供するにある。
発明の構成
本発明者はこの寄生吸収帯の発生原因につい
て、数多くの実験的検討を加えた結果、寄生吸収
帯は3価のチタンイオン、2価のチタンイオン及
び空の酸素イオン格子の3者が結晶中で集合体を
作るため、あるいはこの集合体に類似したものよ
り結晶欠陥が生ずることにより起こることを知見
し得た。
て、数多くの実験的検討を加えた結果、寄生吸収
帯は3価のチタンイオン、2価のチタンイオン及
び空の酸素イオン格子の3者が結晶中で集合体を
作るため、あるいはこの集合体に類似したものよ
り結晶欠陥が生ずることにより起こることを知見
し得た。
このような集合体を除去するには、Ti2+を除
去することが効果的である。そのためには雰囲気
の酸素分圧を高くすればよいが、酸素分圧を高く
し過ぎると二酸化チタンの析出を誘発し、散乱に
よる光損失を増加させるので好ましくない。また
二酸化チタンの析出が起こる程酸素分圧が高くな
くとも、Ti4+が生じて寄生吸収帯に似た光吸収
が現れ光損失を増加する。従つて雰囲気条件には
適切な範囲がある。酸素分圧と光吸収係数との関
係を示すと第1図の通りである。このように、酸
素分圧を調整して単結晶中に3価以外のチタンイ
オンが残存しないようにすればよいことが分かつ
た。この知見に基づいて本発明を完成した。
去することが効果的である。そのためには雰囲気
の酸素分圧を高くすればよいが、酸素分圧を高く
し過ぎると二酸化チタンの析出を誘発し、散乱に
よる光損失を増加させるので好ましくない。また
二酸化チタンの析出が起こる程酸素分圧が高くな
くとも、Ti4+が生じて寄生吸収帯に似た光吸収
が現れ光損失を増加する。従つて雰囲気条件には
適切な範囲がある。酸素分圧と光吸収係数との関
係を示すと第1図の通りである。このように、酸
素分圧を調整して単結晶中に3価以外のチタンイ
オンが残存しないようにすればよいことが分かつ
た。この知見に基づいて本発明を完成した。
本発明の要旨は、
チタンサフアイヤ単結晶の成長およびまたは成
長後の焼鈍に際して、雰囲気中にCO2+H2、CO2
+CO、H2O+H2、H2O+COあるいはこれらの
不活性気体を混合したものを導入し、雰囲気中の
酸素分圧をlogPo2=T/200−22±3(ここで、
Po2:気圧単位で示した酸素分圧、T:摂氏で示
した温度)を用いて調整して、単結晶中に3価以
外のチタンイオンが無視できる程度まで少なくな
るように単結晶中のチタンイオンの価数制御を行
うことを特徴とする高品質チタンサフアイヤ単結
晶の製造方法にある。
長後の焼鈍に際して、雰囲気中にCO2+H2、CO2
+CO、H2O+H2、H2O+COあるいはこれらの
不活性気体を混合したものを導入し、雰囲気中の
酸素分圧をlogPo2=T/200−22±3(ここで、
Po2:気圧単位で示した酸素分圧、T:摂氏で示
した温度)を用いて調整して、単結晶中に3価以
外のチタンイオンが無視できる程度まで少なくな
るように単結晶中のチタンイオンの価数制御を行
うことを特徴とする高品質チタンサフアイヤ単結
晶の製造方法にある。
本発明における酸素分圧とは雰囲気中の酸素の
量を圧力の単位で表わしたものである。
量を圧力の単位で表わしたものである。
具体的な焼鈍における雰囲気条件としては、前
記したようにチタンの含有量にもよるが、 log Po2=T/200−22+3 で示される条件である。ただし、Tは摂氏で示し
た温度、Po2は気圧単位で示した酸素分圧であ
る。焼鈍温度は700〜2000℃、好ましくは1300〜
1950℃である。所定の酸素分圧を得るためには、
気体種を用いても、あるいは制御された真空を用
いてもよいが、CO2+H2、CO2+CO、H2O+
H2、H2O+CO、あるいはこれらに不活性気体
(ArやN2など)を混合したものを用いることが
好ましい。特に好ましくはCO2+H2、CO2+CO、
H2O+H2あるいはこれらに不活性気体を混合し
たものである。
記したようにチタンの含有量にもよるが、 log Po2=T/200−22+3 で示される条件である。ただし、Tは摂氏で示し
た温度、Po2は気圧単位で示した酸素分圧であ
る。焼鈍温度は700〜2000℃、好ましくは1300〜
1950℃である。所定の酸素分圧を得るためには、
気体種を用いても、あるいは制御された真空を用
いてもよいが、CO2+H2、CO2+CO、H2O+
H2、H2O+CO、あるいはこれらに不活性気体
(ArやN2など)を混合したものを用いることが
好ましい。特に好ましくはCO2+H2、CO2+CO、
H2O+H2あるいはこれらに不活性気体を混合し
たものである。
焼鈍時間は特に制限はないが、寄生吸収帯を十
分に低下させることができる範囲で、生産性を高
めるためにできるだけ短時間であることが望まし
い。適切な焼鈍条件における酸素分圧及び温度の
範囲は第2図の通りである。
分に低下させることができる範囲で、生産性を高
めるためにできるだけ短時間であることが望まし
い。適切な焼鈍条件における酸素分圧及び温度の
範囲は第2図の通りである。
このような焼鈍雰囲気は、結晶成長雰囲気とし
て用いると焼鈍を行わなくても寄生吸収帯が極め
て小さいチタンサフアイヤ単結晶を合成すること
ができる。
て用いると焼鈍を行わなくても寄生吸収帯が極め
て小さいチタンサフアイヤ単結晶を合成すること
ができる。
融極からの単結晶成長に際しては、融点が約
2000℃であるので、前記酸素分圧式で示す酸素分
圧範囲での10-9〜10-15気圧、更に好ましくは
10-10〜1014気圧であることがよい。
2000℃であるので、前記酸素分圧式で示す酸素分
圧範囲での10-9〜10-15気圧、更に好ましくは
10-10〜1014気圧であることがよい。
融点降下剤を添加して、サフアイヤよりも低い
融点を持つ溶液から単結晶を成長させる場合は第
2図に示される酸素分圧範囲を利用する。
融点を持つ溶液から単結晶を成長させる場合は第
2図に示される酸素分圧範囲を利用する。
チタンサフアイヤ単結晶を高品質性に確保する
ためには、結晶成長時及び焼鈍時の酸素分圧を前
記のように調整した雰囲気下で行うことが好まし
い。
ためには、結晶成長時及び焼鈍時の酸素分圧を前
記のように調整した雰囲気下で行うことが好まし
い。
実施例 1
Al2O3に混入させたチタン濃度がTi2O3のモル
%で表わして0.3%のチタンサフアイヤ単結晶
(7φ×6mm)を、0.02%CO2+99.98%H2(Po2=
10-13.5気圧)の酸素分圧に調整した雰囲気下、
1760℃で24時間焼鈍した。得られたチタンサフア
イヤ単結晶のC軸方向に透過する波長800nmの
光の吸収係数は0.01cm-1であつた。
%で表わして0.3%のチタンサフアイヤ単結晶
(7φ×6mm)を、0.02%CO2+99.98%H2(Po2=
10-13.5気圧)の酸素分圧に調整した雰囲気下、
1760℃で24時間焼鈍した。得られたチタンサフア
イヤ単結晶のC軸方向に透過する波長800nmの
光の吸収係数は0.01cm-1であつた。
比較例 1
実施例1における雰囲気を100H2(Po2=10-17
気圧)(不純物ガスに起因)として実施例1と同
条件の温度、時間焼鈍した。得られた波長800n
mの光の吸収係数は0.80cm-1であつた。
気圧)(不純物ガスに起因)として実施例1と同
条件の温度、時間焼鈍した。得られた波長800n
mの光の吸収係数は0.80cm-1であつた。
実施例 2
Al2O3に混入させたチタン濃度がTi2O3のモル
%で表わして0.2%のチタンサフアイヤ単結晶を、
集光式FZ法(フローテイングゾーン法)によつ
て、その雰囲気を95%Ar+5%H2に1.5×10-5気
圧のH2Oを加え、酸素分圧を10-12気圧とし、単
結晶を育成した。得られた単結晶のC軸方向に透
過する波長800nmの光の吸収係数は0.01cm-1以下
であつた。
%で表わして0.2%のチタンサフアイヤ単結晶を、
集光式FZ法(フローテイングゾーン法)によつ
て、その雰囲気を95%Ar+5%H2に1.5×10-5気
圧のH2Oを加え、酸素分圧を10-12気圧とし、単
結晶を育成した。得られた単結晶のC軸方向に透
過する波長800nmの光の吸収係数は0.01cm-1以下
であつた。
比較例 2
実施例2における雰囲気を95%Ar+5%H2の
みで単結晶を育成した。得られた単結晶のC軸方
向に透過する波長800nmの光の吸収係数は0.30cm
-1であつた。
みで単結晶を育成した。得られた単結晶のC軸方
向に透過する波長800nmの光の吸収係数は0.30cm
-1であつた。
第1図はチタンサフアイヤ単結晶の焼鈍雰囲気
中の酸素分圧による波長800nmの光の吸収係数
の変化図、第2図は高品質チタンサフアイヤ単結
晶の焼鈍又は成長における適切な雰囲気条件の範
囲図を示す。
中の酸素分圧による波長800nmの光の吸収係数
の変化図、第2図は高品質チタンサフアイヤ単結
晶の焼鈍又は成長における適切な雰囲気条件の範
囲図を示す。
Claims (1)
- 1 チタンサフアイヤ単結晶の成長および/また
は成長後の焼鈍に際して、雰囲気中にCO2+H2、
CO2+CO、H2O+H2、H2O+COあるいはこれら
に不活性気体を混合したものを導入し、雰囲気中
の酸素分圧をlogPo2=T/200−22±3(ここで、
Po2:気圧単位で示した酸素分圧、T:摂氏で示
した温度)を用いて調整して、単結晶中に3価以
外のチタンイオンが無視できる程度まで少なくな
るように単結晶中のチタンイオンの価数制御を行
うことを特徴とする高品質チタンサフアイヤ単結
晶の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10952287A JPS63274694A (ja) | 1987-05-01 | 1987-05-01 | 高品質チタンサフアイヤ単結晶の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10952287A JPS63274694A (ja) | 1987-05-01 | 1987-05-01 | 高品質チタンサフアイヤ単結晶の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63274694A JPS63274694A (ja) | 1988-11-11 |
JPH042558B2 true JPH042558B2 (ja) | 1992-01-20 |
Family
ID=14512389
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10952287A Granted JPS63274694A (ja) | 1987-05-01 | 1987-05-01 | 高品質チタンサフアイヤ単結晶の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63274694A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6641939B1 (en) | 1998-07-01 | 2003-11-04 | The Morgan Crucible Company Plc | Transition metal oxide doped alumina and methods of making and using |
JP3921520B2 (ja) * | 2003-02-20 | 2007-05-30 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 酸素分圧制御による試料作成方法および試料作成装置 |
JP5729569B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2015-06-03 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 金属化合物結晶の製造方法および装飾品の製造方法 |
JP6502286B2 (ja) * | 2016-04-28 | 2019-04-17 | 日本電信電話株式会社 | 単結晶ファイバの製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61266394A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-26 | ユニオン・カ−バイド・コ−ポレ−シヨン | アニ−リングによつてTi:A1↓2O↓3同調可能レ−ザ−結晶の螢光度を高める方法 |
-
1987
- 1987-05-01 JP JP10952287A patent/JPS63274694A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61266394A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-26 | ユニオン・カ−バイド・コ−ポレ−シヨン | アニ−リングによつてTi:A1↓2O↓3同調可能レ−ザ−結晶の螢光度を高める方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63274694A (ja) | 1988-11-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |