JPH04252883A - 真空ポンプ及びその運転方法 - Google Patents
真空ポンプ及びその運転方法Info
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- JPH04252883A JPH04252883A JP15474191A JP15474191A JPH04252883A JP H04252883 A JPH04252883 A JP H04252883A JP 15474191 A JP15474191 A JP 15474191A JP 15474191 A JP15474191 A JP 15474191A JP H04252883 A JPH04252883 A JP H04252883A
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- Japan
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- pump
- memory
- vacuum pump
- power source
- power supply
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- Pending
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 5
- 238000013479 data entry Methods 0.000 claims description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
- G05B19/042—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers using digital processors
- G05B19/0428—Safety, monitoring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
- F04B49/06—Control using electricity
- F04B49/065—Control using electricity and making use of computers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は真空ポンプメンテナンス
リマインダシステムに係る。
リマインダシステムに係る。
【0002】
【従来の技術】二次真空ポンプのような真空ポンプはポ
ンプ駆動用モータに給電するために常にコンバータと係
合している。このコンバータはケーブルによりポンプに
接続されている。
ンプ駆動用モータに給電するために常にコンバータと係
合している。このコンバータはケーブルによりポンプに
接続されている。
【0003】コンバータは最後のメンテナンスサービス
から経過した運転時間をユーザに示すために、電気機械
的カウンタを組み込んでいる。したがって、ユーザはポ
ンプ、その運転条件(吸引されるガス、ポンプ温度等)
がわかれば、次のメンテナンスサービス(給油、ベアリ
ング交換等)までの時間を予測することができる。ポン
プがモータにより回転駆動される際、即ちコンバータの
パワー・ステージが動作中にしかカウンタは進まない。
から経過した運転時間をユーザに示すために、電気機械
的カウンタを組み込んでいる。したがって、ユーザはポ
ンプ、その運転条件(吸引されるガス、ポンプ温度等)
がわかれば、次のメンテナンスサービス(給油、ベアリ
ング交換等)までの時間を予測することができる。ポン
プがモータにより回転駆動される際、即ちコンバータの
パワー・ステージが動作中にしかカウンタは進まない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このシステムの欠点は
、コンバータがポンプから切り離されて別のポンプに接
続されると、情報は新しいポンプ又はコンバータにその
後接続される元のポンプに対してはもはや有効ではない
というところにある。元のポンプに接続され得る新しい
コンバータにより提供される情報に、その情報を加える
ことができるようにその情報は記録されなければならな
い。
、コンバータがポンプから切り離されて別のポンプに接
続されると、情報は新しいポンプ又はコンバータにその
後接続される元のポンプに対してはもはや有効ではない
というところにある。元のポンプに接続され得る新しい
コンバータにより提供される情報に、その情報を加える
ことができるようにその情報は記録されなければならな
い。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は上記問題
を解決することである。
を解決することである。
【0006】本発明の第1の目的は、ポンプ駆動用モー
タに給電するための電源ユニットと断路可能な接続線を
介して係合するように設計された真空ポンプを提供する
ことであり、このポンプにおいて、不揮発性メモリがポ
ンプ自体の必須の構成要素であり、このメモリは電源ユ
ニットの適当な回路により制御される。
タに給電するための電源ユニットと断路可能な接続線を
介して係合するように設計された真空ポンプを提供する
ことであり、このポンプにおいて、不揮発性メモリがポ
ンプ自体の必須の構成要素であり、このメモリは電源ユ
ニットの適当な回路により制御される。
【0007】本発明の別の特徴によると、前記回路はマ
イクロプロセッサ、データ入力キーパッド及び表示スク
リーンを含む。
イクロプロセッサ、データ入力キーパッド及び表示スク
リーンを含む。
【0008】本発明のさらに別の特徴によると、ポンプ
運転パラメータに応答するセンサが前記メモリに接続さ
れている。
運転パラメータに応答するセンサが前記メモリに接続さ
れている。
【0009】本発明の第2の目的は、ポンプ駆動用モー
タに給電するための電源ユニットに断路可能な接続線を
介して係合するように設計され、電源ユニットの適当な
回路により制御される不揮発性メモリが必須の構成要素
である真空ポンプの運転方法を提供することであり、こ
の方法では、電源のパワー・ステージが動作するや否や
ポンプ運転時間の計数を開始するようにマイクロプロセ
ッサがプログラムされ、前記パワー・ステージが停止す
るたびに前記運転時間は前記メモリに転送される。
タに給電するための電源ユニットに断路可能な接続線を
介して係合するように設計され、電源ユニットの適当な
回路により制御される不揮発性メモリが必須の構成要素
である真空ポンプの運転方法を提供することであり、こ
の方法では、電源のパワー・ステージが動作するや否や
ポンプ運転時間の計数を開始するようにマイクロプロセ
ッサがプログラムされ、前記パワー・ステージが停止す
るたびに前記運転時間は前記メモリに転送される。
【0010】
【実施例】以下、添付図面に関して本発明を説明する。
【0011】図中、ターボ分子ポンプのような真空ポン
プ1は断路可能なケーブル2により電源ユニット3に接
続されており、したがって、電源はポンプ1から断路す
ることができる。
プ1は断路可能なケーブル2により電源ユニット3に接
続されており、したがって、電源はポンプ1から断路す
ることができる。
【0012】電源ユニット3はポンプ1を駆動するモー
タに給電する電気コンバータ4を含む。給電接続線は線
5により示す。
タに給電する電気コンバータ4を含む。給電接続線は線
5により示す。
【0013】ポンプ1はポンプ自身に必須の構成要素で
あるメモリ6を含む。メモリ6は不揮発性メモリ、即ち
電源が切断されると内容が自動的に保存されるような型
のメモリである。メモリは例えば電気的に消去可能なプ
ログラマブルリードオンリーメモリ(EEPROM)で
ある。したがって、ポンプ1に給電するために電源ユニ
ット3を別のユニットに交換してもメモリ中のデータは
失われない。メモリはコンバータ4への入出力接続を有
するマイクロプロセッサ(MPU)7を含む電源ユニッ
ト3により制御される。これらの接続は矢印8及び9に
より示す。マイクロプロセッサ7にはデータ入力用キー
パッド10が接続されている。更に、マイクロプロセッ
サには表示スクリーン(VDU)も接続されており、マ
イクロプロセッサはメモリ6への入出力接続を有してい
る。
あるメモリ6を含む。メモリ6は不揮発性メモリ、即ち
電源が切断されると内容が自動的に保存されるような型
のメモリである。メモリは例えば電気的に消去可能なプ
ログラマブルリードオンリーメモリ(EEPROM)で
ある。したがって、ポンプ1に給電するために電源ユニ
ット3を別のユニットに交換してもメモリ中のデータは
失われない。メモリはコンバータ4への入出力接続を有
するマイクロプロセッサ(MPU)7を含む電源ユニッ
ト3により制御される。これらの接続は矢印8及び9に
より示す。マイクロプロセッサ7にはデータ入力用キー
パッド10が接続されている。更に、マイクロプロセッ
サには表示スクリーン(VDU)も接続されており、マ
イクロプロセッサはメモリ6への入出力接続を有してい
る。
【0014】更に、ポンプの運転パラメータに応答する
運転パラメータセンサ(OPS)14,15がメモリ6
に接続されている。これらのパラメータはベアリング温
度、回転速度等を含む。
運転パラメータセンサ(OPS)14,15がメモリ6
に接続されている。これらのパラメータはベアリング温
度、回転速度等を含む。
【0015】ポンプの特性を示している静的(即ち不変
)データ(ポンプの型、番号、運転開始日等)をメモリ
に入力するためにキーパッド10が使用される。メモリ
6に記憶されたデータをスクリーン11に表示するため
にもキーパッドが使用される。
)データ(ポンプの型、番号、運転開始日等)をメモリ
に入力するためにキーパッド10が使用される。メモリ
6に記憶されたデータをスクリーン11に表示するため
にもキーパッドが使用される。
【0016】動的(即ち変動)データはマイクロプロセ
ッサ7を介してコンバータ4により又はメモリ6に直接
接続されたセンサ14,15により供給される。
ッサ7を介してコンバータ4により又はメモリ6に直接
接続されたセンサ14,15により供給される。
【0017】ポンプ運転時間を決定するためには、コン
バータの電源回路の始動時点からカウント・ダウンする
ようにマイクロプロセッサ7がプログラムされる。ポン
プの停止時即ち電源回路が運転を停止すると、この運転
時間はメモリに転送される。ポンプの運転中にオペレー
タがスクリーン11にポンプ運転時間を表示すると、ス
クリーンには、ポンプの合計運転時間、即ちメモリに既
に記憶されている運転時間とポンプが最後に始動してか
らの運転時間との和と、ポンプが最後に始動してからの
運転時間単独とが表示される。
バータの電源回路の始動時点からカウント・ダウンする
ようにマイクロプロセッサ7がプログラムされる。ポン
プの停止時即ち電源回路が運転を停止すると、この運転
時間はメモリに転送される。ポンプの運転中にオペレー
タがスクリーン11にポンプ運転時間を表示すると、ス
クリーンには、ポンプの合計運転時間、即ちメモリに既
に記憶されている運転時間とポンプが最後に始動してか
らの運転時間との和と、ポンプが最後に始動してからの
運転時間単独とが表示される。
【0018】このように、静的及び動的(運転中)の両
方のポンプの特性の全てが電源ユニット3でなくポンプ
自体の必須の構成要素であるメモリ6に記憶されるので
、ポンプのメンテナンスは著しく確実である。
方のポンプの特性の全てが電源ユニット3でなくポンプ
自体の必須の構成要素であるメモリ6に記憶されるので
、ポンプのメンテナンスは著しく確実である。
【図1】本発明によるポンプとその制御システムを示す
ブロック図である。
ブロック図である。
1 真空ポンプ
2 接続線
3 電源
6 メモリ
7 マイクロプロセッサ
10 キーパッド
14,15 センサ
Claims (4)
- 【請求項1】 ポンプ駆動用モータに給電するための
電源ユニットと断路可能な接続線を介して係合するよう
に設計された真空ポンプであって、不揮発性メモリが該
真空ポンプ自体の必須の構成要素でありかつ前記電源ユ
ニットの適当な回路によって制御されていることを特徴
とする真空ポンプ。 - 【請求項2】 前記回路がマイクロプロセッサ、デー
タ入力キーパッド及び表示スクリーンを備えていること
を特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 【請求項3】 ポンプ運転パラメータに応答するセン
サが前記メモリに接続されていることを特徴とする請求
項1に記載の真空ポンプ。 - 【請求項4】 ポンプ駆動用モータに給電するための
電源ユニットと断路可能な接続線を介して係合するよう
に設計され、不揮発性メモリがポンプ自体の必須の構成
要素でありかつ前記電源ユニットの適当な回路によって
制御されている真空ポンプの運転方法であって、電源の
パワー・ステージが動作するや否やポンプ運転時間の計
数を開始するようにマイクロプロセッサがプログラムさ
れ、前記パワー・ステージが停止するたびに前記運転時
間が前記メモリに転送されることを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9008018A FR2663690B1 (fr) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | Dispositif permettant d'assurer une gestion sure d'une pompe a vide. |
FR9008018 | 1990-06-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04252883A true JPH04252883A (ja) | 1992-09-08 |
Family
ID=9398018
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15474191A Pending JPH04252883A (ja) | 1990-06-26 | 1991-06-26 | 真空ポンプ及びその運転方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0464571A1 (ja) |
JP (1) | JPH04252883A (ja) |
FR (1) | FR2663690B1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1994028315A1 (fr) * | 1993-06-02 | 1994-12-08 | Kabushiki-Kaisha Yaskawa Denki | Source hydraulique et machine hydraulique |
US6215218B1 (en) | 1998-04-09 | 2001-04-10 | Koyo Seiko Co., Ltd. | Control magnetic bearing |
US6435847B2 (en) | 1997-07-22 | 2002-08-20 | Koyo Seiko Co., Ltd. | Turbo-molecular pump |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4237971B4 (de) * | 1992-11-11 | 2004-05-06 | Unaxis Deutschland Holding Gmbh | Vakuumpumpe mit Wandler |
DE4315165A1 (de) * | 1993-05-07 | 1994-11-10 | Leybold Ag | Vakuumpumpe |
GB9616457D0 (en) * | 1996-08-05 | 1996-09-25 | Boc Group Plc | Improvements in vacuum pump systems |
DE20118185U1 (de) | 2001-11-09 | 2003-03-20 | Leybold Vakuum GmbH, 50968 Köln | Vakuumpumpe |
GB2609962A (en) * | 2021-08-19 | 2023-02-22 | Atlas Copco Airpower Nv | Leak detection of vacuum systems |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3213155A1 (de) * | 1982-04-08 | 1983-10-13 | VIA Gesellschaft für Verfahrenstechnik mbH, 4000 Düsseldorf | Verfahren zur ueberwachung einer drucklufterzeugungsanlage und einrichtung zur ausfuehrung des verfahrens |
US4584654A (en) * | 1982-10-21 | 1986-04-22 | Ultra Products Systems, Inc. | Method and system for monitoring operating efficiency of pipeline system |
DE3340198A1 (de) * | 1983-11-07 | 1985-05-15 | Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Oelgedichtete drehschiebervakuumpumpe mit antriebsmotor in einem gehaeuse |
JP2567617B2 (ja) * | 1987-08-04 | 1996-12-25 | 三菱電機株式会社 | 空気調和機の制御装置 |
US4918585A (en) * | 1988-01-11 | 1990-04-17 | Spectra Physics, Inc. | Maintenance reminder system for a pump |
DE3807999A1 (de) * | 1988-03-10 | 1989-09-21 | Voest Alpine Automotive | Elektronischer regler fuer kraftfahrzeuge mit brennkraftmaschinen |
JPH0826857B2 (ja) * | 1988-10-22 | 1996-03-21 | 富士電機株式会社 | 真空ポンプ保護方法 |
-
1990
- 1990-06-26 FR FR9008018A patent/FR2663690B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-06-24 EP EP91110398A patent/EP0464571A1/fr not_active Withdrawn
- 1991-06-26 JP JP15474191A patent/JPH04252883A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1994028315A1 (fr) * | 1993-06-02 | 1994-12-08 | Kabushiki-Kaisha Yaskawa Denki | Source hydraulique et machine hydraulique |
US5887430A (en) * | 1993-06-02 | 1999-03-30 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Hydraulic source and hydraulic machine |
US6435847B2 (en) | 1997-07-22 | 2002-08-20 | Koyo Seiko Co., Ltd. | Turbo-molecular pump |
US6215218B1 (en) | 1998-04-09 | 2001-04-10 | Koyo Seiko Co., Ltd. | Control magnetic bearing |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2663690B1 (fr) | 1994-04-01 |
FR2663690A1 (fr) | 1991-12-27 |
EP0464571A1 (fr) | 1992-01-08 |
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