JPH04251413A - 2つの磁性材料をもつ磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

2つの磁性材料をもつ磁気ヘッド及びその製造方法

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JPH04251413A JP3049249A JP4924991A JPH04251413A JP H04251413 A JPH04251413 A JP H04251413A JP 3049249 A JP3049249 A JP 3049249A JP 4924991 A JP4924991 A JP 4924991A JP H04251413 A JPH04251413 A JP H04251413A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明の目的は2つの磁性材料を
もつ磁気ヘッドの製造方法と、この方法によってつくら
れるヘッドを提供することである。本発明は2つの型の
磁気ヘッド、即ちディスク用のフライングヘッドやテー
プ用の接触型ヘッドに適用できる。
【0002】
【従来の技術】フランス国特許出願第604,021 
号に関する書類では、薄膜平面構造の磁気ヘッドの製造
方法について記載している。この方法によって作られた
ヘッドの断面図を図1に示す。このヘッドは電極14上
に電気分解により形成された第一の磁気フィルム16で
充填された第一のケーソン(caisson) を含む
基板10と、不導体フィルム18に埋め込まれた巻線2
0と、2つの磁気ブロック23、24と、2つの磁束コ
ンセントレータ30、31を形成する第二の磁気フィル
ムと、中心の不導体アイレット32と、二酸化けい素フ
ィルムのような不導体フィルム34とを有し、電気分解
的に形成されヘッドのギャップを構成する非磁性体スペ
ーサ42によって2つの部分46と48とに分けられた
別の磁気フィルムによって充填された別のケーソンと区
分される。
【0003】同様のヘッドは磁束コンセントレータ30
と31を抑圧することによって、また上方のフィルム4
6と48がブロック23、24に接して支えることを確
実にすることによってもつくられる。
【0004】この書類の残りの部分には、スペーサ42
の両側に配置された磁気部分が、”磁心”という語によ
って示されており、下方電極部分は磁気フィルム16に
相当する。
【0005】従来の技術においては、磁心はこのように
電気分解によるデポジットによって得られる。この技術
に適する磁性材料は鉄−ニッケル合金、即ち80/20
で配合された軟かい物質である。
【0006】しかし、この技術はある点では満足できる
ものであるが、多くの欠点がある。実際、電気分解によ
りデポジットされ得る磁性材料の選択は比較的限られて
おり、鉄−ニッケル合金は、つまるところ、適合するま
れな物質の一つである。ところが、この物質は必要とさ
れる全ての特性を提供せず、特に比較的、硬度の弱いも
の(ビッカース硬度約100)である。この欠点は事実
上、この技術がそれ故に発生する急速な摩損のために接
触型ヘッドを製造することができないということを示す
。更に、伝統的に使われ電解され得る磁性材料は、最適
の磁性的特性(飽和磁化、導磁率等)を示さない。
【0007】もちろん、より適切な硬度や磁性的特性を
提供する磁性材料は他にもあるが、これらの物質は電気
分解によるデポジットには適さず、例えば陰極蒸着を施
す必要がある。しかしながら、この場合にはギャップの
両側に、同質で、とりわけ厚みのある磁気フィルムを得
ることが非常に難しく、これは、電解技術を要するもの
である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、これ
らの欠点を克服することである。この目的の為に、電気
分解によるデポジットに適し、かなりの同質性を、特に
ギャップの近くで提供する軟らかい磁性材料の利点と、
他の手段、特に陰極蒸着によってデポジットされた他の
物質の利点とを結合する方法を利用するものであり、こ
れによって、最適な磁気的又は機械的特性を得ることが
可能になる。
【0009】特に本発明の目的は薄膜磁気ヘッドの製造
方法を提供することであり、それは不導体フィルムに刻
まれたケーソンの電気分解によるデポジットがケーソン
全体を充填せず、磁気的又は機械的特性が第一の磁性材
料よりも優れている第二の磁性材料をデポジットするこ
とによってこのケーソンが充填されることを特徴とする
前記の手段と、電気分解ではないこの第二のデポジット
とを含む。
【0010】ディスクに保存することを目的とするフラ
イングヘッドに相当する第一の実施例によると、磁心を
得るために: −上記磁性材料はケーソンの底部に電気分解によりデポ
ジットされる。 −アセンブリの表面は非磁性体スペーサが表面に露出す
るまで研磨される。テープに保存することを目的とする
接触型ヘッドに相当する第二の実施例によると、ケーソ
ンの中の磁心を得るために: −上記磁性材料は非磁性体スペーサの両側にデポジット
される。 −アセンブリの表面は非磁性体スペーサが表面に表われ
るまで研磨される。これら2つの実施例において、第二
の磁性材料は陰極蒸着によってデポジットされるのが好
ましい。
【0011】もう一つの本発明の目的は上記方法により
得られた磁気ヘッドを提供することである。このヘッド
は非磁性体スペーサの両側の不導体フィルムに刻まれた
ケーソンに配置された磁心を含み、この電極部分はケー
ソンの中で電気分解によってデポジットされるが、上記
ケーソンを完全には充填しない第一の磁性材料から成る
第一の部分と、第一の磁性材料よりも優れた磁気的又は
機械的特性をもつ第二の磁性材料から成る第二の部分と
を含むものであり、この第二の部分はケーソンの残りを
充填する。
【0012】フライングヘッドに相当する第一の実施例
において、第一の磁性材料はケーソンの底の部分を占め
る。テープへの保存を目的とする接触型ヘッドに相当す
る第二の実施例において、第一の磁性材料はスペーサの
両側に配置され、第二の磁性材料はケーソンの残りの部
分を占める。
【0013】第一の磁性材料は非磁性体スペーサの両側
に約1〜数ミクロンの幅を占めるのが好ましい。また、
第二の磁性材料は鉄−ニッケル合金であるのが好ましい
。更に、第二の物質は下記合金群から選択するのが好ま
しい: ニッケル/モリブデン/鉄、        鉄/アル
ミニウム、 鉄/シリコン/アルミニウム、      コバルト/
鉄/シリコン/ボロン、 コバルト/ジルコニウム/ニオビウム、  コバルト/
ジルコニウム。
【0014】
【第一の実施例】断面図2aは、前述のフランス国特許
出願第2,604,021 号に記載された製造方法の
中間工程であり、特にその図5の断面図1に示される工
程である。 この工程では、このヘッドは上方部分に非磁性体スペー
サ42と共に非電導層34に刻まれたケーソンを含み、
ケーソンの底部には、次の電気分解によるデポジットの
工程時に電極として使われるように、金属フィルム43
がデポジットされている。
【0015】断面図2bは、電気分解による第一の磁性
材料の形成が、磁気フィルム52、54がケーソンを充
填する前に中断されることを示す。例えば5ミクロンの
深さのケーソンでは、磁気フィルム52、54は4ミク
ロンの厚さで形成され、1ミクロンの空きスペースが残
ることになる。第二の磁性材料のフィルム56は、電気
分解以外の方法、特に、陰極蒸着によってアセンブリの
上にデポジットされる。
【0016】最後に、ヘッドの上方の面は非磁性体スペ
ーサ42(断面図2d)と先端が表面に露出し、ケーソ
ンの上方部にフィルム62、64を残すまで研磨される
。このようなヘッドの磁気特性は、第二の磁性材料であ
るフィルム62、64の特性であり、且つデポジットさ
れた物質の質を減少することなく電気分解によってデポ
ジットされたフィルム52、54の磁気特性よりも優れ
ている。
【0017】
【第二の実施例】図3a〜図3dは本発明の第二の実施
例であり接触型ヘッドに相当する。最初の構造(断面図
3a)は、次の電気分解によるデポジットに必要な電極
を形成するための導体フィルム66が、ケーソン36の
底部全体を占めるのではなく非磁性体スペーサ42の下
部の狭い部分を占めるという点以外は、断面図2aの構
造と同様である。この電極の幅は2ミクロンである。ス
ペーサの両側に、2つの磁気片72、74(断面図3b
)を形成するように、第一の磁性材料が電気分解により
形成される。これらの磁気片はおよそスペーサと同程度
の高さだが、ケーソンのわずかな部分を占めるに過ぎな
い。第二の磁性材料76(断面図3c)は陰極蒸着のよ
うな非電気分解手段によりアセンブリにデポジットされ
る。
【0018】最後にヘッドの上方部分(断面図3d)が
、スペーサ42の先端が表面に露出するまで4分の1サ
ークル80を作るように研磨される。第二の磁性材料は
、2つの部分82、84をもつ。ビッカース硬度数百の
これらの部分は、より軟らかい物質からできた72、7
4の部分を保護し、ギャップゾーンのヘッドの磨損を制
限する。
【0019】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によると、磁
気ヘッドの磁心に2つの磁性材料を用い、その2つの磁
性材料のそれぞれの利点を生かすことによって、電気分
解によるデポジットに適し、かなりの同質性を、特にギ
ャップの近くで提供する軟らかい磁性材料の利点と、他
の手段、特に陰極蒸着によってデポジットされた他の物
質の利点とを結合する方法を利用するものであり、これ
によって、最適な磁気的又は機械的特性を得ることが可
能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の技術による磁気ヘッドの断面図を示す図
である。
【図2】第一の実施例における本発明の製造方法の各工
程を示す図である。
【図3】第二の実施例における本発明の製造方法の各工
程を示す図である。
【符号の説明】
10  基板 14  電極 16  第一の磁気フィルム 18  不導体フィルム 20  巻線 23,24  磁気ブロック 30,31  磁束コンセントレータ 32  不導体アイレット 34  不導体フィルム 42  非磁性体スペーサ 43  金属フィルム 46,48  磁気フィルム 36  ケーソン 52,54  磁気フィルム 56  磁性材料フィルム 62,64  第二のフィルム 66  導体フィルム 72,74  第一の磁性材料 76  第二の磁性材料 80  4分の1サークル 82,84  第二の磁性材料

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  不導体フィルムに刻んだケーソンに電
    気分解デポジットにより形成する磁心(上部ポールピー
    ス)と、非磁性体スペーサの両側に第一の磁性材料の膜
    を形成することを含む薄膜磁気ヘッドの製造方法におい
    て、電気分解によるデポジットがケーソン全体を充填せ
    ず、上記ケーソンが磁気的又は機械的特性において第一
    の磁性材料よりも優れた、第二の磁性材料によって充填
    され、第二のデポジットが電気分解によるデポジットで
    ないことを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。
  2. 【請求項2】  磁心が下記の特徴を有する請求項1記
    載の方法;上記第一の磁性材料はケーソンの高さまで底
    部の一部に電気分解によりデポジットされ、上記磁性材
    料はアセンブリにデポジットされ、アセンブリの表面は
    非磁性体スペーサが表面に露出するまで研磨される。
  3. 【請求項3】  ケーソン中の磁心を得るような請求項
    1記載の方法;上記第一の磁性材料は電気分解により非
    磁性体スペーサの両側にデポジットされ、上記第二の磁
    性材料はアセンブリにデポジットされ、アセンブリの表
    面は非磁性体スペーサが表面に露出するまで研磨される
  4. 【請求項4】  第二の磁性材料が陰極蒸着によってデ
    ポジットされる請求項1から3のいずれか1項に記載の
    方法。
  5. 【請求項5】  請求項1記載の方法により得られた磁
    気ヘッドであり、非磁性体スペーサの両側の不導体フィ
    ルムに刻まれたケーソンにデポジットされた磁心を含み
    、そこには磁心がケーソンの中で電気分解によって得ら
    れるがケーソンを完全には満たさない第一の磁性材料か
    ら成る第一の部分と、第一の磁性材料よりも磁気的又は
    機械的特性において優れケーソンの残りの部分を満たす
    第二の磁性材料から成る第二の部分とを含む磁気ヘッド
  6. 【請求項6】  第一の磁性材料がケーソンの底部を占
    め、第二の磁性材料がケーソンの上部を占める、請求項
    5記載の磁気ヘッド。
  7. 【請求項7】  第一の磁性材料がスペーサの両側に配
    置され、第二の磁性材料がケーソンの残りを占める請求
    項5記載の磁気ヘッド。
  8. 【請求項8】  第一の磁性材料が非磁性体スペーサの
    両側に約1〜数ミクロンの幅を占める、請求項7記載の
    磁気ヘッド。
  9. 【請求項9】  第一の磁性材料が鉄/ニッケル合金で
    ある、請求項1〜5のいずれか1項に記載の磁気ヘッド
  10. 【請求項10】  第二の磁性材料が以下の合金群から
    選択されたものである、請求項5〜8のいずれか1項に
    記載の磁気ヘッド。 ニッケル/モリブデン/鉄、        鉄/アル
    ミニウム、 鉄/シリコン/アルミニウム、      コバルト/
    鉄/シリコン/ボロン、 コバルト/ジルコニウム/ニオビウム、    コバル
    ト/ジルコニウム。
JP3049249A 1990-02-21 1991-02-21 2つの磁性材料をもつ磁気ヘッド及びその製造方法 Expired - Lifetime JP3000693B2 (ja)

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