JPH04248163A - 原盤の異常装着検出方法及び検出装置 - Google Patents
原盤の異常装着検出方法及び検出装置Info
- Publication number
- JPH04248163A JPH04248163A JP2403291A JP2403291A JPH04248163A JP H04248163 A JPH04248163 A JP H04248163A JP 2403291 A JP2403291 A JP 2403291A JP 2403291 A JP2403291 A JP 2403291A JP H04248163 A JPH04248163 A JP H04248163A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- value
- master
- drive current
- circuit
- exposure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 title claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 32
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 4
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、原盤の異常装着検出方法及び検
出装置に関し、より詳細には、光ディスクの原盤露光機
におけるガラス原盤異常装着検出方法及び検出装置に関
する。
出装置に関し、より詳細には、光ディスクの原盤露光機
におけるガラス原盤異常装着検出方法及び検出装置に関
する。
【０００２】
【従来技術】原盤露光のフォーカス制御において、Ｈｅ
−Ｎｅレーザから出射された光はＭ（ミラー）により曲
げられＰＢＳ（偏向ビームスプリッタ）、λ／４板（λ
／４波長板）を通り、対物レンズ（露光用アクチュエー
タ内）で集束されてガラス原盤に出射される。ガラス原
盤で反射した光は、対物レンズ、λ／４板、ＰＢＳを経
て直角に曲げられ、フォーカスエラー検出光学系に入射
してフォーカスエラー信号が生成される。フォーカスエ
ラー信号は、フォーカス制御ループにある補償回路、ゲ
イン調整回路及びアクチュエータ駆動回路を経てアクチ
ュエータを上下移動させ、ガラス原盤の回転及び横方向
への移動時に起る上下方向の変動に追従してガラス原盤
と対物レンズの距離を一定に保つ様にフォーカスサーボ
がなされる。フォーカスサーボが開始されると、ガラス
原盤（ターンテーブル）が回転起動され露光が開始され
る。
−Ｎｅレーザから出射された光はＭ（ミラー）により曲
げられＰＢＳ（偏向ビームスプリッタ）、λ／４板（λ
／４波長板）を通り、対物レンズ（露光用アクチュエー
タ内）で集束されてガラス原盤に出射される。ガラス原
盤で反射した光は、対物レンズ、λ／４板、ＰＢＳを経
て直角に曲げられ、フォーカスエラー検出光学系に入射
してフォーカスエラー信号が生成される。フォーカスエ
ラー信号は、フォーカス制御ループにある補償回路、ゲ
イン調整回路及びアクチュエータ駆動回路を経てアクチ
ュエータを上下移動させ、ガラス原盤の回転及び横方向
への移動時に起る上下方向の変動に追従してガラス原盤
と対物レンズの距離を一定に保つ様にフォーカスサーボ
がなされる。フォーカスサーボが開始されると、ガラス
原盤（ターンテーブル）が回転起動され露光が開始され
る。
【０００３】ガラス原盤がターンテーブルに装着された
時にターンテーブル上のゴミ（異物）やガラス原盤に付
着したゴミ等でガラス原盤の傾斜が発生すると、見かけ
上、回転面振れ成分が大きくなった時と同等となる。こ
の場合、フォーカス制御がなされてもサーボループ利得
に対して回転面振れが大きいと制御偏差も大きくなり、
露光ムラ等の問題が生じて露光品質が満足されなくなる
。又、同様に露光中に於いても上記面振れが大きく発生
した場合、露光品質は満足されない。
時にターンテーブル上のゴミ（異物）やガラス原盤に付
着したゴミ等でガラス原盤の傾斜が発生すると、見かけ
上、回転面振れ成分が大きくなった時と同等となる。こ
の場合、フォーカス制御がなされてもサーボループ利得
に対して回転面振れが大きいと制御偏差も大きくなり、
露光ムラ等の問題が生じて露光品質が満足されなくなる
。又、同様に露光中に於いても上記面振れが大きく発生
した場合、露光品質は満足されない。
【０００４】
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、原盤露光前にガラス原盤の面振れ状態を検出す
ることにより、ガラス原盤の装着の異常の有無を検出す
る原盤の異常装着検出方法及び検出装置を提供すること
を目的としてなされたものである。
もので、原盤露光前にガラス原盤の面振れ状態を検出す
ることにより、ガラス原盤の装着の異常の有無を検出す
る原盤の異常装着検出方法及び検出装置を提供すること
を目的としてなされたものである。
【０００５】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、（１）
光ディスク媒体の原盤作成用露光機において、原盤露光
の直前にフォーカスセット動作をおこなった後に、ガラ
ス原盤の回転のみを行い（横方向への移動は無）、アク
チュエータに通電される駆動電流（電圧変換後でも良い
）をローパスフィルタ（ＬＰＦ）を介して高域ノイズ成
分を除去し、回転周波数にならった面振れ変動に相当し
た駆動電流を取り出し、該駆動電流のピーク値及びボト
ム値を検出し、該ピーク値とボトム値の差より最大振幅
値を演算することにより、予め設定された面振れ許容値
と前記最大振幅値とを比較して、許容値を越えた場合に
露光を中止するようにしたこと、更には、（２）前記駆
動電流に対して、上限スライスレベル電圧及び下限スラ
イスレベル電圧と比較し、どちらか一方の電圧が検出レ
ベルを越えた場合に露光を中止するようにしたこと、或
いは、（３）光ディスク媒体の原盤作成用露光機におい
て、原盤露光の直前にフォーカスセット動作をおこない
、その後にガラス原盤の回転のみを行い面振れに比例し
たアクチュエータ電流を発生する駆動回路と、アクチュ
エータ電流の高域ノイズ成分を除去し、回転周波数にな
らった面振れ変動に相当する駆動電流として取り出すロ
ーパスフィルタと、該駆動電流のピーク値を検出する最
大値検出回路と、前記駆動電流のボトム値を検出する最
小値検出回路と、前記最大値検出回路のピーク値と前記
最小値検出回路のボトム値との差より最大振幅値を演算
するシステムコントローラとから成り、該システムコン
トローラ内に予め面振れ許容値を設定し、前記最大振幅
値と比較して許容値を越えた場合に露光を中止するよう
にしたこと、更には、（４）前記駆動電流に対して、上
限スライスレベル電圧と比較する上限リミッタ回路と、
下限スライスレベル電圧と比較する下限リミッタ回路と
、前記上限リミッタ回路あるいは下限リミッタ回路のど
ちらか一つ以上のリミッタ回路より検出レベルを越した
ことの信号が入力されるシステムコントローラとから成
ることを特徴としたものである。以下、本発明の実施例
に基づいて説明する。
光ディスク媒体の原盤作成用露光機において、原盤露光
の直前にフォーカスセット動作をおこなった後に、ガラ
ス原盤の回転のみを行い（横方向への移動は無）、アク
チュエータに通電される駆動電流（電圧変換後でも良い
）をローパスフィルタ（ＬＰＦ）を介して高域ノイズ成
分を除去し、回転周波数にならった面振れ変動に相当し
た駆動電流を取り出し、該駆動電流のピーク値及びボト
ム値を検出し、該ピーク値とボトム値の差より最大振幅
値を演算することにより、予め設定された面振れ許容値
と前記最大振幅値とを比較して、許容値を越えた場合に
露光を中止するようにしたこと、更には、（２）前記駆
動電流に対して、上限スライスレベル電圧及び下限スラ
イスレベル電圧と比較し、どちらか一方の電圧が検出レ
ベルを越えた場合に露光を中止するようにしたこと、或
いは、（３）光ディスク媒体の原盤作成用露光機におい
て、原盤露光の直前にフォーカスセット動作をおこない
、その後にガラス原盤の回転のみを行い面振れに比例し
たアクチュエータ電流を発生する駆動回路と、アクチュ
エータ電流の高域ノイズ成分を除去し、回転周波数にな
らった面振れ変動に相当する駆動電流として取り出すロ
ーパスフィルタと、該駆動電流のピーク値を検出する最
大値検出回路と、前記駆動電流のボトム値を検出する最
小値検出回路と、前記最大値検出回路のピーク値と前記
最小値検出回路のボトム値との差より最大振幅値を演算
するシステムコントローラとから成り、該システムコン
トローラ内に予め面振れ許容値を設定し、前記最大振幅
値と比較して許容値を越えた場合に露光を中止するよう
にしたこと、更には、（４）前記駆動電流に対して、上
限スライスレベル電圧と比較する上限リミッタ回路と、
下限スライスレベル電圧と比較する下限リミッタ回路と
、前記上限リミッタ回路あるいは下限リミッタ回路のど
ちらか一つ以上のリミッタ回路より検出レベルを越した
ことの信号が入力されるシステムコントローラとから成
ることを特徴としたものである。以下、本発明の実施例
に基づいて説明する。
【０００６】図１は、本発明による原盤の異常装着検出
方法及び検出装置の一実施例を説明するための構成図で
、図中、１はガラス原盤、２はアクチュエータ、３はλ
／４板、４は偏向ビームスプリッタ（ＰＢＳ）、５はＨ
ｅ−Ｎｅレーザ、６はミラー（Ｍ）、７はフォーカスエ
ラー検出光学系、８は補償回路、９はゲイン調整回路、
１０は駆動回路、１１は検出ブロック、１２はローパス
フィルタ（ＬＰＦ）、１３は最大値検出回路、１４は最
小値検出回路、１５はシステムコントローラ（μ−ｃｏ
ｎシステム）である。
方法及び検出装置の一実施例を説明するための構成図で
、図中、１はガラス原盤、２はアクチュエータ、３はλ
／４板、４は偏向ビームスプリッタ（ＰＢＳ）、５はＨ
ｅ−Ｎｅレーザ、６はミラー（Ｍ）、７はフォーカスエ
ラー検出光学系、８は補償回路、９はゲイン調整回路、
１０は駆動回路、１１は検出ブロック、１２はローパス
フィルタ（ＬＰＦ）、１３は最大値検出回路、１４は最
小値検出回路、１５はシステムコントローラ（μ−ｃｏ
ｎシステム）である。
【０００７】フォーカスセットがなされて回転が起動さ
れると、アクチュエータ電流（サーボ電流）が面振れに
比例して駆動回路１０に発生する。この時、サーボ駆動
電流をＬＰＦ（ローパスフィルタ）１２を介して高域成
分を除去した回転周波数成分相当の駆動電流として取り
出される（横送りは行なわない）。ＬＰＦ１２の出力は
、最大値検出回路１３と最小値検出回路１４に入力され
、図３のピーク値及びボトム値を検出する。検出された
それぞれの値はＡ／Ｄコンバータ等（図示していない）
によりシステムコントローラ１５に取り込み、減算する
ことによりＰ−Ｐ値（振幅値）が求められる。このＰ−
Ｐ値は面振れ量の最大値であり（アクチュエータの変位
感度より求められる）、ガラス原盤１のターンテーブル
装着状態としてあらかじめ設定された面振れ許容値と比
較される。比較されたＰ−Ｐ値が許容値を越した場合は
、ガラス原盤１の装着異常と見なされ、露光動作へ移行
しない。
れると、アクチュエータ電流（サーボ電流）が面振れに
比例して駆動回路１０に発生する。この時、サーボ駆動
電流をＬＰＦ（ローパスフィルタ）１２を介して高域成
分を除去した回転周波数成分相当の駆動電流として取り
出される（横送りは行なわない）。ＬＰＦ１２の出力は
、最大値検出回路１３と最小値検出回路１４に入力され
、図３のピーク値及びボトム値を検出する。検出された
それぞれの値はＡ／Ｄコンバータ等（図示していない）
によりシステムコントローラ１５に取り込み、減算する
ことによりＰ−Ｐ値（振幅値）が求められる。このＰ−
Ｐ値は面振れ量の最大値であり（アクチュエータの変位
感度より求められる）、ガラス原盤１のターンテーブル
装着状態としてあらかじめ設定された面振れ許容値と比
較される。比較されたＰ−Ｐ値が許容値を越した場合は
、ガラス原盤１の装着異常と見なされ、露光動作へ移行
しない。
【０００８】図２は、本発明の他の実施例を示す図で、
図中、１６は上限リミッタ回路、１７は下限りミッタ回
路で、その他、図１と同じ作用をする部分は同一の符号
を付してある。フォーカスセットがなされ、サーボ電流
をＬＰＦ１２を介して取り出すまでは図１と同様である
。ＬＰＦ１２の出力は上限リミッタ回路１６及び下限リ
ミッタ回路１７に入力される。
図中、１６は上限リミッタ回路、１７は下限りミッタ回
路で、その他、図１と同じ作用をする部分は同一の符号
を付してある。フォーカスセットがなされ、サーボ電流
をＬＰＦ１２を介して取り出すまでは図１と同様である
。ＬＰＦ１２の出力は上限リミッタ回路１６及び下限リ
ミッタ回路１７に入力される。
【０００９】上限リミッタ回路１６では、あらかじめ設
定された面振れ量の上方向成分（図３参照）に相当する
上限スライスレベル電圧と上記サーボ電流（電圧）とが
比較される。又、下限リミッタ回路１７では、あらかじ
め設定された面振れ量の下方向成分（図３参照）に相当
する下限スライスレベル電圧と上記サーボ電流（電圧）
とが比較される。各リミッタ回路で比較され、サーボ電
流（電圧）がスライスレベルを越する検出信号がシステ
ムコントローラ１５に出力される。システムコントロー
ラ１５は各リミッタ回路からの信号により（信号変化に
より）ガラス原盤の装着異常と見なし、露光動作へ移行
しない。又、駆動電流を露光中にモニターして、面振れ
許容値との比較を行い、それが越えた場合には異常とし
て露光をその時点で中止し、以後の露光を行わないよう
にすることも可能である。
定された面振れ量の上方向成分（図３参照）に相当する
上限スライスレベル電圧と上記サーボ電流（電圧）とが
比較される。又、下限リミッタ回路１７では、あらかじ
め設定された面振れ量の下方向成分（図３参照）に相当
する下限スライスレベル電圧と上記サーボ電流（電圧）
とが比較される。各リミッタ回路で比較され、サーボ電
流（電圧）がスライスレベルを越する検出信号がシステ
ムコントローラ１５に出力される。システムコントロー
ラ１５は各リミッタ回路からの信号により（信号変化に
より）ガラス原盤の装着異常と見なし、露光動作へ移行
しない。又、駆動電流を露光中にモニターして、面振れ
許容値との比較を行い、それが越えた場合には異常とし
て露光をその時点で中止し、以後の露光を行わないよう
にすることも可能である。
【００１０】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のような効果がある。 （１）原盤露光前にガラス原盤の面振れ状態を検出する
ことにより、そのガラス盤の装着の異常の有無を検知す
ることができる。したがって、露光動作へ移動する判定
ができ、ガラス原盤の装着異常による露光ムラ等の品質
の悪化が防止でき、かつ、次工程でのムダ作業の短縮が
できる。 （２）露光中での異常な面振れ発生が検出でき、露光を
中止することにより次工程でのムダ作業の短縮ができる
。
と、以下のような効果がある。 （１）原盤露光前にガラス原盤の面振れ状態を検出する
ことにより、そのガラス盤の装着の異常の有無を検知す
ることができる。したがって、露光動作へ移動する判定
ができ、ガラス原盤の装着異常による露光ムラ等の品質
の悪化が防止でき、かつ、次工程でのムダ作業の短縮が
できる。 （２）露光中での異常な面振れ発生が検出でき、露光を
中止することにより次工程でのムダ作業の短縮ができる
。
【図１】本発明による原盤の異常装着検出方法及び検出
装置の一実施例を説明するための構成図である。
装置の一実施例を説明するための構成図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す図である。
【図３】フォーカスアクチュエータ電流を示す図である
。
。
１ ガラス原盤
２ アクチュエータ
３ λ／４板
４ 偏向ビームスプリッタ（ＰＢＳ）５ Ｈｅ−Ｎ
ｅレーザ ６ ミラー（Ｍ） ７ フォーカスエラー検出光学系 ８ 補償回路 ９ ゲイン調整回路 １０ 駆動回路 １１ 検出ブロック １２ ローパスフィルタ（ＬＰＦ） １３ 最大値検出回路 １４ 最小値検出回路 １５ システムコントローラ（μ−ｃｏｎシステム）
１６ 上限リミッタ回路 １７ 下限リミッタ回路
ｅレーザ ６ ミラー（Ｍ） ７ フォーカスエラー検出光学系 ８ 補償回路 ９ ゲイン調整回路 １０ 駆動回路 １１ 検出ブロック １２ ローパスフィルタ（ＬＰＦ） １３ 最大値検出回路 １４ 最小値検出回路 １５ システムコントローラ（μ−ｃｏｎシステム）
１６ 上限リミッタ回路 １７ 下限リミッタ回路
Claims (4)
- 【請求項１】 光ディスク媒体の原盤作成用露光機に
おいて、原盤露光の直前にフォーカスセット動作をおこ
なった後に、ガラス原盤の回転のみを行い、アクチュエ
ータに通電される駆動電流をローパスフィルタを介して
高域ノイズ成分を除去し、回転周波数にならった面振れ
変動に相当した駆動電流を取り出し、該駆動電流のピー
ク値及びボトム値を検出し、該ピーク値とボトム値の差
より最大振幅値を演算することにより、予め設定された
面振れ許容値と前記最大振幅値とを比較して、許容値を
越えた場合に露光を中止するようにしたことを特徴とす
る原盤の異常装着検出方法。 - 【請求項２】 前記駆動電流に対して、上限スライス
レベル電圧及び下限スライスレベル電圧と比較し、どち
らか一方の電圧が検出レベルを越えた場合に露光を中止
するようにしたことを特徴とする請求項１記載の原盤の
異常装着検出方法。 - 【請求項３】 光ディスク媒体の原盤作成用露光機に
おいて、原盤露光の直前にフォーカスセット動作をおこ
ない、その後にガラス原盤の回転のみを行い面振れに比
例したアクチュエータ電流を発生する駆動回路と、該ア
クチュエータ電流の高域ノイズ成分を除去し、回転周波
数にならった面振れ変動に相当する駆動電流として取り
出すローパスフィルタと、該駆動電流のピーク値を検出
する最大値検出回路と、前記駆動電流のボトム値を検出
する最小値検出回路と、前記最大値検出回路のピーク値
と前記最小値検出回路のボトム値との差より最大振幅値
を演算するシステムコントローラとから成り、該システ
ムコントローラ内に予め面振れ許容値を設定し、前記最
大振幅値と比較して許容値を越えた場合に露光を中止す
るようにしたことを特徴とする原盤の異常装着検出装置
。 - 【請求項４】 前記駆動電流に対して、上限スライス
レベル電圧と比較する上限リミッタ回路と、下限スライ
スレベル電圧と比較する下限リミッタ回路と、前記上限
リミッタ回路あるいは下限リミッタ回路のどちらか一つ
以上のリミッタ回路より検出レベルを越したことの信号
が入力されるシステムコントローラとから成ることを特
徴とする請求項３記載の原盤の異常装着検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2403291A JPH04248163A (ja) | 1991-01-23 | 1991-01-23 | 原盤の異常装着検出方法及び検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2403291A JPH04248163A (ja) | 1991-01-23 | 1991-01-23 | 原盤の異常装着検出方法及び検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04248163A true JPH04248163A (ja) | 1992-09-03 |
Family
ID=12127177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2403291A Pending JPH04248163A (ja) | 1991-01-23 | 1991-01-23 | 原盤の異常装着検出方法及び検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04248163A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100617204B1 (ko) * | 1999-05-18 | 2006-08-31 | 엘지전자 주식회사 | 광 기록 매체의 기록재생방법 및 장치 |
-
1991
- 1991-01-23 JP JP2403291A patent/JPH04248163A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100617204B1 (ko) * | 1999-05-18 | 2006-08-31 | 엘지전자 주식회사 | 광 기록 매체의 기록재생방법 및 장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0044072B1 (en) | Apparatus and method for controlling focus in a recording system | |
| JPH11195228A (ja) | 光ピックアップの位置制御装置 | |
| US5142517A (en) | Focus adjustment system for optical disk apparatus | |
| JPH0430093B2 (ja) | ||
| KR850001654B1 (ko) | 기록시스템에서의 촛점 조절장치 | |
| US5559772A (en) | Information recording and/or reproducing apparatus and method for adjusting an offset amount of a focusing servo circuit | |
| JPH04248163A (ja) | 原盤の異常装着検出方法及び検出装置 | |
| JPS63858B2 (ja) | ||
| JPH11120680A (ja) | 光ディスク記録及び／又は再生装置、及び方法 | |
| JP2860791B2 (ja) | フォーカスサーボ回路 | |
| US5268885A (en) | Method and means for detecting and stablizing control loop parameters of apparatus for scanning a record carrier | |
| JP2001195762A (ja) | 光ディスク再生装置 | |
| JPH058498B2 (ja) | ||
| JP3014132B2 (ja) | データ担体の走査を制御するためにディジタル的に制御できる処理回路のパラメータを検出する方法及び装置 | |
| JPH05298755A (ja) | 光ディスク原盤露光装置のフォーカス制御方法及び同制御装置 | |
| JPH0714202A (ja) | 光ディスク装置 | |
| JP3381655B2 (ja) | 光ディスクドライブ装置 | |
| KR100521939B1 (ko) | 광디스크 장치에서의 포커스 제어방법 | |
| JPH04315836A (ja) | 光ディスクの原盤露光方法及び露光装置 | |
| JP2815366B2 (ja) | 光ディスクの記録及び／又は再生装置 | |
| JPS61139934A (ja) | 光学式ピツクアツプのサ−ボゲイン制御装置 | |
| JPH0583968B2 (ja) | ||
| JPH0773490A (ja) | 焦点制御装置及び焦点制御装置の安定化方法 | |
| JPH0935283A (ja) | 制御装置 | |
| JPS63121134A (ja) | 光デイスクの焦点位置制御装置 |