JPH04242312A - 縦水晶振動子 - Google Patents
縦水晶振動子Info
- Publication number
- JPH04242312A JPH04242312A JP341591A JP341591A JPH04242312A JP H04242312 A JPH04242312 A JP H04242312A JP 341591 A JP341591 A JP 341591A JP 341591 A JP341591 A JP 341591A JP H04242312 A JPH04242312 A JP H04242312A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- vibrating
- arms
- crystal resonator
- vibrator
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 7
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
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- 238000005381 potential energy Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は振動部と支持部をエッチ
ング法によって、一体に形成した縦水晶振動子の形状に
関する。特に、小型化、低消費電力化の要求の強いＩＣ
カード、ポケットベルや移動無線等の携帯機器の基準信
号源として最適な新形状の縦水晶振動子に関する。
ング法によって、一体に形成した縦水晶振動子の形状に
関する。特に、小型化、低消費電力化の要求の強いＩＣ
カード、ポケットベルや移動無線等の携帯機器の基準信
号源として最適な新形状の縦水晶振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】振動部と支持部をエッチング法によって
、一体に形成された従来の縦水晶振動子は、振動腕が１
本であるために、等価直列抵抗Ｒ１ を小さくすること
ができなかった。
、一体に形成された従来の縦水晶振動子は、振動腕が１
本であるために、等価直列抵抗Ｒ１ を小さくすること
ができなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の縦水晶振動子は
、振動腕が１本であるために、質量が小さく、水晶の異
方性から生じるエッチング加工による形状の非対称性が
振動に悪影響を与えていた。そのために、振動子の支持
による振動漏れが大きく、Ｒ１ 上昇が生じるなど、極
めて重要な課題が残されていた。又、Ｒ１ が約３００
Ωと比較的大きく、低消費電力化を図るためには、さら
に小さいＲ１ が望まれていた。
、振動腕が１本であるために、質量が小さく、水晶の異
方性から生じるエッチング加工による形状の非対称性が
振動に悪影響を与えていた。そのために、振動子の支持
による振動漏れが大きく、Ｒ１ 上昇が生じるなど、極
めて重要な課題が残されていた。又、Ｒ１ が約３００
Ωと比較的大きく、低消費電力化を図るためには、さら
に小さいＲ１ が望まれていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】それ故、本発明は以下の
方法で従来の課題を解決するものである。すなわち、振
動部と支持部をエッチング法によって、一体に形成した
縦水晶振動子において、該振動部は２本の振動腕で先端
部あるいは先端部付近で囲むように形成し、さらにその
中央部に１本振動腕を設け、両側の振動腕の中央部をブ
リッジ部を介して支持部に接続されるように振動子を構
成することにより、本発明の目的を達成している。
方法で従来の課題を解決するものである。すなわち、振
動部と支持部をエッチング法によって、一体に形成した
縦水晶振動子において、該振動部は２本の振動腕で先端
部あるいは先端部付近で囲むように形成し、さらにその
中央部に１本振動腕を設け、両側の振動腕の中央部をブ
リッジ部を介して支持部に接続されるように振動子を構
成することにより、本発明の目的を達成している。
【０００５】
【作用】このように、本発明は３本の振動腕と支持部か
ら構成されている。振動腕３本は当然１本より重く、保
有するポテンシャルエネルギーも大きくなる。同時に、
支持部による振動腕への抵抗力は１本当たりに換算する
と小さくなる。それ故、等価直列抵抗Ｒ１ の小さい縦
水晶振動子が得られる。
ら構成されている。振動腕３本は当然１本より重く、保
有するポテンシャルエネルギーも大きくなる。同時に、
支持部による振動腕への抵抗力は１本当たりに換算する
と小さくなる。それ故、等価直列抵抗Ｒ１ の小さい縦
水晶振動子が得られる。
【０００６】
【実施例】次に、本発明を実施例に基づいて具体的に述
べる。図１は本発明の縦水晶振動子形状の一実施例を示
す平面図である。振動子１は振動部２とブリッジ部４を
介して接続されている支持部３から構成されている。更
に、振動部２は３本の振動腕２’をひずみのほとんど起
こらない位置、すなわち、振動腕２’の先端部で接続部
８によって接続され穴９を形成する構造を成している。 又、支持部は両側の振動腕２’のほぼ中央部に設けたブ
リッジ部４と接続され、ポアソン比により屈曲振動をす
る屈曲部５のフレーム６とマウント部７から構成されて
いる。更に、３本の振動腕２’は同方向に振動するよう
に、励振電極（図示されてない）は配置されている。そ
の結果、振動子の共振時には、１本の振動腕と比較して
、等価インダクタンスが約１／３倍、等価容量が約３倍
、そして、等価直列抵抗Ｒ１ は約１／３倍となる。
べる。図１は本発明の縦水晶振動子形状の一実施例を示
す平面図である。振動子１は振動部２とブリッジ部４を
介して接続されている支持部３から構成されている。更
に、振動部２は３本の振動腕２’をひずみのほとんど起
こらない位置、すなわち、振動腕２’の先端部で接続部
８によって接続され穴９を形成する構造を成している。 又、支持部は両側の振動腕２’のほぼ中央部に設けたブ
リッジ部４と接続され、ポアソン比により屈曲振動をす
る屈曲部５のフレーム６とマウント部７から構成されて
いる。更に、３本の振動腕２’は同方向に振動するよう
に、励振電極（図示されてない）は配置されている。そ
の結果、振動子の共振時には、１本の振動腕と比較して
、等価インダクタンスが約１／３倍、等価容量が約３倍
、そして、等価直列抵抗Ｒ１ は約１／３倍となる。
【０００７】図２は本発明の縦水晶振動子形状の他の実
施例を示す平面図である。振動子１は振動部２と支持部
３から構成されていて、振動部２は図１の振動子と同様
に、３本の振動腕２’と接続部８からなる構造をしてい
る。又、支持部３は振動部２の振動エネルギーを振動部
内部に更に閉じ込める構造をなし、ブリッジ部４と接続
される屈曲部５と穴９を作るようにその両端を介して接
続されるフレーム６とマウント部７から構成されている
。このような構成により、Ｒ１の低減が図れるとともに
、振動エネルギーを振動部内部に閉じ込めることがさら
にできるので、振動漏れのない、優れた縦水晶振動子が
得られる。又、本発明の振動子は複雑な形状をしている
が、化学的エッチング法によって、容易に、かつ、１枚
の水晶ウエハから多数個の縦水晶振動子が同時に形成で
きる。
施例を示す平面図である。振動子１は振動部２と支持部
３から構成されていて、振動部２は図１の振動子と同様
に、３本の振動腕２’と接続部８からなる構造をしてい
る。又、支持部３は振動部２の振動エネルギーを振動部
内部に更に閉じ込める構造をなし、ブリッジ部４と接続
される屈曲部５と穴９を作るようにその両端を介して接
続されるフレーム６とマウント部７から構成されている
。このような構成により、Ｒ１の低減が図れるとともに
、振動エネルギーを振動部内部に閉じ込めることがさら
にできるので、振動漏れのない、優れた縦水晶振動子が
得られる。又、本発明の振動子は複雑な形状をしている
が、化学的エッチング法によって、容易に、かつ、１枚
の水晶ウエハから多数個の縦水晶振動子が同時に形成で
きる。
【０００８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の振動子は振
動部と支持部から成り、かつ、エッチング法によって一
体に形成される新形状の縦水晶振動子を提案することに
より、次の著しい効果を有する。■ 振動腕を３本設
けることにより、等価インダクタンスが１本の時の約１
／３倍となり、発振時の起動時間を短くすることができ
る。■ 振動腕を３本設けることにより、等価直列抵
抗Ｒ１ が１本の時の約１／３倍と小さくなる。■
本振動子は振動部と支持部をエッチング法によって、一
体に形成されるので、小型化、薄型化ができる。■
支持部の形状を改善することにより、振動漏れのない縦
水晶振動子が得られる。それ故、マウント部でリード線
等に支持、固定してもＲ１ の小さい振動子が得られる
。■ 片側でリード線等にマウントするので、製造が
容易、安価にできる。
動部と支持部から成り、かつ、エッチング法によって一
体に形成される新形状の縦水晶振動子を提案することに
より、次の著しい効果を有する。■ 振動腕を３本設
けることにより、等価インダクタンスが１本の時の約１
／３倍となり、発振時の起動時間を短くすることができ
る。■ 振動腕を３本設けることにより、等価直列抵
抗Ｒ１ が１本の時の約１／３倍と小さくなる。■
本振動子は振動部と支持部をエッチング法によって、一
体に形成されるので、小型化、薄型化ができる。■
支持部の形状を改善することにより、振動漏れのない縦
水晶振動子が得られる。それ故、マウント部でリード線
等に支持、固定してもＲ１ の小さい振動子が得られる
。■ 片側でリード線等にマウントするので、製造が
容易、安価にできる。
【図１】本発明の縦水晶振動子形状の一実施例の平面図
である。
である。
【図２】本発明の縦水晶振動子形状の他の実施例の平面
図である。
図である。
１ 振動子
２ 振動部
２’ 振動腕
３ 支持部
４ ブリッジ部
５ 屈曲部
６ フレーム
７ マウント部
８ 接続部
９ 穴
Claims (1)
- 【請求項１】 振動部と支持部をエッチング法によっ
て、一体に形成した縦水晶振動子において、該振動部は
２本の振動腕で先端部あるいは先端部付近で囲むように
形成し、さらにその中央部に１本振動腕を設け、両側の
振動腕の中央部をブリッジ部を介して支持部に接続され
ていることを特徴とする縦水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP341591A JPH04242312A (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 縦水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP341591A JPH04242312A (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 縦水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04242312A true JPH04242312A (ja) | 1992-08-31 |
Family
ID=11556755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP341591A Pending JPH04242312A (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 縦水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04242312A (ja) |
-
1991
- 1991-01-16 JP JP341591A patent/JPH04242312A/ja active Pending
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