JPH04242128A - 赤外測定装置 - Google Patents
赤外測定装置Info
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- JPH04242128A JPH04242128A JP3014013A JP1401391A JPH04242128A JP H04242128 A JPH04242128 A JP H04242128A JP 3014013 A JP3014013 A JP 3014013A JP 1401391 A JP1401391 A JP 1401391A JP H04242128 A JPH04242128 A JP H04242128A
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Landscapes
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は測定対象物の局部的放射
率の差異として表面変位部を識別する際に適用して好適
な赤外測定装置に関する。
率の差異として表面変位部を識別する際に適用して好適
な赤外測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近時、測定対象物から放射される赤外の
放射エネルギーを検知して、測定対象物の温度状態をＣ
ＲＴ上に二次元の温度画像として測定する赤外測定装置
、所謂、サーモグラフィ装置が多用されている。この赤
外測定装置は測定対象物の表面変位、例えば、材料の表
面の剥離あるいは粗さの表面欠陥部やエッチング部の深
さ等の局部的放射率の差異を温度画像における温度変化
として測定することができる。この赤外測定装置では、
測定対象物自体からの赤外の放射エネルギーと、周辺の
物体から測定対象物の表面に入射し、且つ反射した赤外
の放射エネルギーを加えた、所謂、射度（ｒａｄｉｏｓ
ｉｔｙ） を測定することになる。その結果、赤外測定
装置で表示される反射を考慮した見かけの放射温度と、
実際の測定対象物自体の表面温度とは異るものとなる。 また、測定対象物の周囲温度が一定化せず、さらに、そ
の赤外の放射エネルギー発生物体が高反射性面を有する
場合、その面の多重反射の影響によって、測定対象物の
表面の放射温度は、周囲温度、放射率および射出率等の
関数となり正確な温度を求めることができない。このよ
うな場合、測定対象物の温度を上昇あるいは低下させて
、測定対象物自体からの赤外の放射エネルギーと反射し
た赤外の放射エネルギーの差異を明確化して表面変位部
の識別限界を向上させている。
放射エネルギーを検知して、測定対象物の温度状態をＣ
ＲＴ上に二次元の温度画像として測定する赤外測定装置
、所謂、サーモグラフィ装置が多用されている。この赤
外測定装置は測定対象物の表面変位、例えば、材料の表
面の剥離あるいは粗さの表面欠陥部やエッチング部の深
さ等の局部的放射率の差異を温度画像における温度変化
として測定することができる。この赤外測定装置では、
測定対象物自体からの赤外の放射エネルギーと、周辺の
物体から測定対象物の表面に入射し、且つ反射した赤外
の放射エネルギーを加えた、所謂、射度（ｒａｄｉｏｓ
ｉｔｙ） を測定することになる。その結果、赤外測定
装置で表示される反射を考慮した見かけの放射温度と、
実際の測定対象物自体の表面温度とは異るものとなる。 また、測定対象物の周囲温度が一定化せず、さらに、そ
の赤外の放射エネルギー発生物体が高反射性面を有する
場合、その面の多重反射の影響によって、測定対象物の
表面の放射温度は、周囲温度、放射率および射出率等の
関数となり正確な温度を求めることができない。このよ
うな場合、測定対象物の温度を上昇あるいは低下させて
、測定対象物自体からの赤外の放射エネルギーと反射し
た赤外の放射エネルギーの差異を明確化して表面変位部
の識別限界を向上させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術のように測定対象物自体からの赤外の放射エネルギ
ーと反射した赤外の放射エネルギーの差異を明確化する
ため温度を上昇あるいは低下させる際には比較的複雑な
温度上昇あるいは低下用の温度調整装置が必要となる。 さらに温度上昇あるいは低下を行うことのできない物性
の測定対象物も多く、また構築物等のように温度を上昇
させることが困難な所も多い。この場合、局部的放射率
の差異が明確に得られず測定対象物の表面変位部の識別
が困難となる欠点がある。
技術のように測定対象物自体からの赤外の放射エネルギ
ーと反射した赤外の放射エネルギーの差異を明確化する
ため温度を上昇あるいは低下させる際には比較的複雑な
温度上昇あるいは低下用の温度調整装置が必要となる。 さらに温度上昇あるいは低下を行うことのできない物性
の測定対象物も多く、また構築物等のように温度を上昇
させることが困難な所も多い。この場合、局部的放射率
の差異が明確に得られず測定対象物の表面変位部の識別
が困難となる欠点がある。
【０００４】本発明は上記の課題に鑑みてなされ、比較
的簡単な構成のもとに、測定対象物自体を温度変化させ
ることなく、測定対象物の局部的放射率の差異として表
面変位部の識別限界を向上させることができる優れた赤
外測定装置を提供することを目的とする。
的簡単な構成のもとに、測定対象物自体を温度変化させ
ることなく、測定対象物の局部的放射率の差異として表
面変位部の識別限界を向上させることができる優れた赤
外測定装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、例えば、図１
乃至図６に示す赤外測定装置のように測定対象物（２０
）から放射される赤外の放射エネルギーを検知して測定
対象物（２０）の温度状態を測定するための赤外温度測
定手段（５）と、測定対象物（２０）で反射して、検出
器に入射する赤外の放射エネルギーの経路の周辺環境物
体の温度を変化させるための温度可変手段（１０，１６
）とを備え、上記測定対象物（２０）と周辺環境物体と
の温度差を形成し、上記測定対象物（２０）の局部的放
射率の差異として上記測定対象物（２０）の表面変位部
を識別するようにしたものである。
乃至図６に示す赤外測定装置のように測定対象物（２０
）から放射される赤外の放射エネルギーを検知して測定
対象物（２０）の温度状態を測定するための赤外温度測
定手段（５）と、測定対象物（２０）で反射して、検出
器に入射する赤外の放射エネルギーの経路の周辺環境物
体の温度を変化させるための温度可変手段（１０，１６
）とを備え、上記測定対象物（２０）と周辺環境物体と
の温度差を形成し、上記測定対象物（２０）の局部的放
射率の差異として上記測定対象物（２０）の表面変位部
を識別するようにしたものである。
【０００６】
【作用】本発明の赤外測定装置では、測定対象物（２０
）で反射して、赤外温度測定手段（５）の検出器に入射
する赤外の放射エネルギーの経路の周辺環境物体の温度
を変化させて、測定対象物（２０）と、その周辺環境物
体との温度差を形成し、その測定対象物（２０）の局部
的放射率の差異から表面変位部が識別する。これによっ
て、測定対象物（２０）自体を直接温度変化させずに、
測定対象物（２０）の局部的放射率の差異として表面変
位部の識別限界を、より向上させることができる。
）で反射して、赤外温度測定手段（５）の検出器に入射
する赤外の放射エネルギーの経路の周辺環境物体の温度
を変化させて、測定対象物（２０）と、その周辺環境物
体との温度差を形成し、その測定対象物（２０）の局部
的放射率の差異から表面変位部が識別する。これによっ
て、測定対象物（２０）自体を直接温度変化させずに、
測定対象物（２０）の局部的放射率の差異として表面変
位部の識別限界を、より向上させることができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の赤外測定装置の一実施例を図
面を参照して詳細に説明する。図１は測定対象物の温度
が比較的低い場合に局部的放射率の差異として表面変位
部の識別限界を向上させるための実施例の構成を示した
ものである。図２は図１におけるＡーＡ線断面を示して
いる。図において、５は赤外温度測定手段としての周知
のサーモグラフィ装置であり、このサーモグラフィ装置
５は、図示しない赤外検知部と制御部とで概略構成され
ている。赤外検知部には液体窒素で冷却され、ＨｇＣｄ
Ｔｅよりなる光量子型の赤外センサーと対物レンズおよ
び走査機構等が設けられている。また制御部は信号処理
装置および表示装置（ＣＲＴ）等が設けられている。こ
のように構成されるサーモグラフィ装置５は赤外センサ
ーで遠赤外域での放射エネルギーを走査して検出し、こ
の値を周知の２次元の温度画像を表示装置上に表示する
ものである。このサーモグラフィ装置５の測定範囲（特
性）は、例えば、検出波長帯；８〜１３μｍ、測定温度
範囲；−５０〜２０００℃、最小検知温度差；０．１度
Ｃ、焦点距離；１５ｃｍ〜∞である。
面を参照して詳細に説明する。図１は測定対象物の温度
が比較的低い場合に局部的放射率の差異として表面変位
部の識別限界を向上させるための実施例の構成を示した
ものである。図２は図１におけるＡーＡ線断面を示して
いる。図において、５は赤外温度測定手段としての周知
のサーモグラフィ装置であり、このサーモグラフィ装置
５は、図示しない赤外検知部と制御部とで概略構成され
ている。赤外検知部には液体窒素で冷却され、ＨｇＣｄ
Ｔｅよりなる光量子型の赤外センサーと対物レンズおよ
び走査機構等が設けられている。また制御部は信号処理
装置および表示装置（ＣＲＴ）等が設けられている。こ
のように構成されるサーモグラフィ装置５は赤外センサ
ーで遠赤外域での放射エネルギーを走査して検出し、こ
の値を周知の２次元の温度画像を表示装置上に表示する
ものである。このサーモグラフィ装置５の測定範囲（特
性）は、例えば、検出波長帯；８〜１３μｍ、測定温度
範囲；−５０〜２０００℃、最小検知温度差；０．１度
Ｃ、焦点距離；１５ｃｍ〜∞である。
【０００８】さらに、このサーモグラフィ装置５の検知
部８には温度可変手段としてのヒータ１０が設けられて
いる。このヒータ１０は測定窓１１が内部に設けられる
検知部８の外側に、例えば、セラミックの環状絶縁体１
２が配設され、この環状絶縁体１２の中に発熱体１４が
巻回されている。この前面には熱放射拡散部材１５、例
えば、艶消し黒塗料を塗布した銅板を配設して、熱照射
が均一になるように工夫されている。また、環状絶縁体
１２の一部は前方に突出した管状のフード１３を形成し
、直接、発熱体１４からの赤外放射が赤外センサーの近
傍に入らないようになっている。発熱体１４は温度制御
部１６に接続されており、この温度制御部１６で発熱体
１４の発熱量の調整を行う。この場合、温度制御部１６
で発熱体１４への印加電圧を変化させている。さらに、
サーモグラフィ装置５に対向して、表面変位部を測定す
るための測定対象物２０が設けられている。この測定対
象物２０には、例えば、ステンレス板の表層部に表面変
位部である傷の表面欠陥部２０ａが存在する。
部８には温度可変手段としてのヒータ１０が設けられて
いる。このヒータ１０は測定窓１１が内部に設けられる
検知部８の外側に、例えば、セラミックの環状絶縁体１
２が配設され、この環状絶縁体１２の中に発熱体１４が
巻回されている。この前面には熱放射拡散部材１５、例
えば、艶消し黒塗料を塗布した銅板を配設して、熱照射
が均一になるように工夫されている。また、環状絶縁体
１２の一部は前方に突出した管状のフード１３を形成し
、直接、発熱体１４からの赤外放射が赤外センサーの近
傍に入らないようになっている。発熱体１４は温度制御
部１６に接続されており、この温度制御部１６で発熱体
１４の発熱量の調整を行う。この場合、温度制御部１６
で発熱体１４への印加電圧を変化させている。さらに、
サーモグラフィ装置５に対向して、表面変位部を測定す
るための測定対象物２０が設けられている。この測定対
象物２０には、例えば、ステンレス板の表層部に表面変
位部である傷の表面欠陥部２０ａが存在する。
【０００９】以下、この構成における動作について説明
する。ここでは測定対象物２０自体を加熱・冷却するこ
となく測定対象物２０の温度ＴＳ と測定範囲ｒの温度
Ｔａ の間に適当な差を形成して、すなわち、温度Ｔａ
を変えることにより、測定対象物２０の局部的放射率
の差異を明確化して、表面欠陥部２０ａの識別限界を向
上させるものである。
する。ここでは測定対象物２０自体を加熱・冷却するこ
となく測定対象物２０の温度ＴＳ と測定範囲ｒの温度
Ｔａ の間に適当な差を形成して、すなわち、温度Ｔａ
を変えることにより、測定対象物２０の局部的放射率
の差異を明確化して、表面欠陥部２０ａの識別限界を向
上させるものである。
【００１０】先ず、測定範囲ｒの温度Ｔａ を変化させ
る。すなわち、温度制御部１６で発熱体１４への印加電
圧を変化させる。この場合の測定対象物２０の表面欠陥
部２０ａの放射温度ＴＣ ′と測定対象物２０の表面の
放射温度ＴＳ ′の差ΔＴＣ−Ｓ ′をサーモグラフィ
装置５で測定する。この測定はサーモグラフィ装置５で
の慣用的な測定方法を利用して行う。
る。すなわち、温度制御部１６で発熱体１４への印加電
圧を変化させる。この場合の測定対象物２０の表面欠陥
部２０ａの放射温度ＴＣ ′と測定対象物２０の表面の
放射温度ＴＳ ′の差ΔＴＣ−Ｓ ′をサーモグラフィ
装置５で測定する。この測定はサーモグラフィ装置５で
の慣用的な測定方法を利用して行う。
【００１１】図３は、この測定における射出率ａＳ す
なわち、反射を考慮に入れた放射率が測定対象物２０の
温度ＴＳ と測定対象物の垂直方向よりθ傾いた方向の
指向性放射率εＳ により、どのような値になるかを示
したものであり、測定範囲ｒの温度Ｔａ が２０℃の場
合である。一般に、射出率ａＳ は測定対象物２０の温
度ＴＳ が高くなると共に減少する。測定範囲ｒの温度
Ｔａ より測定対象物の温度ＴＳ が十分に大きいと、
射出率ａＳ は、実線に示すように放射率εに漸近する
曲線となる。また、測定対象物２０の温度ＴＳ が測定
範囲ｒの温度Ｔａ に等しくなると、ａＳ ＝１となる
。測定範囲ｒの温度Ｔａ が低くなると射出率ａＳ は
１より大きくなり、放射率εが大なる程、小さい値を示
す。一点鎖線は射出率ａＳ ／指向性放射率εＳ を一
定にした場合の曲線である。射出率ａＳ ／指向性放射
率εＳ の値は放射率εが小さくなる程、測定対象物２
０の温度Ｔｓ は高温側にずれることを示している。例
えば、射出率ａＳ ／指向性放射率εＳ ＝１．０２の
場合、射出率ａｓ と指向性放射率εＳ の差が２％生
ずるときの測定対象物２０の温度ＴＳ は指向性放射率
εＳ ＝０．２では８２０℃、指向性放射率εＳ ＝０
．８では３００℃である。
なわち、反射を考慮に入れた放射率が測定対象物２０の
温度ＴＳ と測定対象物の垂直方向よりθ傾いた方向の
指向性放射率εＳ により、どのような値になるかを示
したものであり、測定範囲ｒの温度Ｔａ が２０℃の場
合である。一般に、射出率ａＳ は測定対象物２０の温
度ＴＳ が高くなると共に減少する。測定範囲ｒの温度
Ｔａ より測定対象物の温度ＴＳ が十分に大きいと、
射出率ａＳ は、実線に示すように放射率εに漸近する
曲線となる。また、測定対象物２０の温度ＴＳ が測定
範囲ｒの温度Ｔａ に等しくなると、ａＳ ＝１となる
。測定範囲ｒの温度Ｔａ が低くなると射出率ａＳ は
１より大きくなり、放射率εが大なる程、小さい値を示
す。一点鎖線は射出率ａＳ ／指向性放射率εＳ を一
定にした場合の曲線である。射出率ａＳ ／指向性放射
率εＳ の値は放射率εが小さくなる程、測定対象物２
０の温度Ｔｓ は高温側にずれることを示している。例
えば、射出率ａＳ ／指向性放射率εＳ ＝１．０２の
場合、射出率ａｓ と指向性放射率εＳ の差が２％生
ずるときの測定対象物２０の温度ＴＳ は指向性放射率
εＳ ＝０．２では８２０℃、指向性放射率εＳ ＝０
．８では３００℃である。
【００１２】図４、図５は測定対象物２０の温度ＴＳ
が略２０℃であり、測定範囲ｒの温度Ｔａ を１０〜５
０℃変化させて、測定対象物２０の表面欠陥部２０ａの
放射温度ＴＣ ′と測定対象物２０の表面の放射温度Ｔ
Ｓ ′の差ΔＴＣ−Ｓ ′をサーモグラフィ装置５で測
定した結果を示すものである。図４に示す例は表面欠陥
部２０ａが帯状であり、欠陥の幅ｂと欠陥の深さｈが相
違する４種類の（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）の表面
欠陥部２０ａを測定対象物２０に形成し、それを測定し
た結果を示している。さらに、図５に示す例は図４に示
す（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）の例と別に表面欠陥
部２０ａが円柱状の場合であり、欠陥の直径ｄと欠陥の
深さｈが相違する４種類の（ｆ），（ｇ），（ｈ），（
ｉ）の表面欠陥部２０ａを測定対象物２０に形成して、
それを測定した結果を示している。
が略２０℃であり、測定範囲ｒの温度Ｔａ を１０〜５
０℃変化させて、測定対象物２０の表面欠陥部２０ａの
放射温度ＴＣ ′と測定対象物２０の表面の放射温度Ｔ
Ｓ ′の差ΔＴＣ−Ｓ ′をサーモグラフィ装置５で測
定した結果を示すものである。図４に示す例は表面欠陥
部２０ａが帯状であり、欠陥の幅ｂと欠陥の深さｈが相
違する４種類の（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）の表面
欠陥部２０ａを測定対象物２０に形成し、それを測定し
た結果を示している。さらに、図５に示す例は図４に示
す（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）の例と別に表面欠陥
部２０ａが円柱状の場合であり、欠陥の直径ｄと欠陥の
深さｈが相違する４種類の（ｆ），（ｇ），（ｈ），（
ｉ）の表面欠陥部２０ａを測定対象物２０に形成して、
それを測定した結果を示している。
【００１３】この図４および図５から容易に理解される
ように、温度Ｔａ の値を変化させることにより、測定
範囲ｒの温度Ｔａ が２０℃に近い温度で放射温度ＴＣ
′と測定対象物２０の表面の放射温度ＴＳ ′の差Δ
ＴＣ−Ｓ ′はプラスからマイナスに変化し、測定対象
物２０の温度ＴＳ と測定範囲ｒの温度Ｔａ の温度差
が大きい程、この差ΔＴＣ−Ｓ ′の値が増大する。す
なわち、サーモグラフィ装置５の表示部における測定対
象物２０の表面欠陥部２０ａの映像は鮮明化することに
なり、表面欠陥部２０ａの識別限界が向上する。この場
合、測定範囲ｒの温度Ｔａ が２０℃附近になると、前
記の差ΔＴＣ−Ｓ ′は零になり、サーモグラフィ装置
５のＣＲＴでは表面欠陥部２０ａの映像は消えて一様な
温度画像となる。
ように、温度Ｔａ の値を変化させることにより、測定
範囲ｒの温度Ｔａ が２０℃に近い温度で放射温度ＴＣ
′と測定対象物２０の表面の放射温度ＴＳ ′の差Δ
ＴＣ−Ｓ ′はプラスからマイナスに変化し、測定対象
物２０の温度ＴＳ と測定範囲ｒの温度Ｔａ の温度差
が大きい程、この差ΔＴＣ−Ｓ ′の値が増大する。す
なわち、サーモグラフィ装置５の表示部における測定対
象物２０の表面欠陥部２０ａの映像は鮮明化することに
なり、表面欠陥部２０ａの識別限界が向上する。この場
合、測定範囲ｒの温度Ｔａ が２０℃附近になると、前
記の差ΔＴＣ−Ｓ ′は零になり、サーモグラフィ装置
５のＣＲＴでは表面欠陥部２０ａの映像は消えて一様な
温度画像となる。
【００１４】なお、この実施例では測定対象物２０の温
度ＴＳ が比較的低い場合を説明したが、測定対象物２
０の温度が高い場合には測定範囲ｒの温度Ｔａ を低下
させて測定対象物２０の表面欠陥部２０ａの放射温度Ｔ
Ｃ ′と測定対象物２０の表面の放射温度ＴＳ ′の差
ΔＴＣ−Ｓ ′を測定するようにしても良い。図６は測
定範囲ｒの温度Ｔａ を低下させる場合の他の実施例の
構成を示している。
度ＴＳ が比較的低い場合を説明したが、測定対象物２
０の温度が高い場合には測定範囲ｒの温度Ｔａ を低下
させて測定対象物２０の表面欠陥部２０ａの放射温度Ｔ
Ｃ ′と測定対象物２０の表面の放射温度ＴＳ ′の差
ΔＴＣ−Ｓ ′を測定するようにしても良い。図６は測
定範囲ｒの温度Ｔａ を低下させる場合の他の実施例の
構成を示している。
【００１５】この他の実施例では検知部８の先に順次直
径が大きくなる形状とともに、その内部を黒、すなわち
、放射率１の黒体を形成したフード３０の外側にパイプ
３２をスパイラル状に配設して、ここに冷却水ｍを循環
させている。これによって、測定範囲ｒの温度Ｔａ の
温度が低下する。この場合も前記の実施例と同様に測定
対象物２０自体を直接温度変化させることなく、測定対
象物２０の表面欠陥部２０ａの放射温度ＴＣ ′と測定
対象物２０の表面の放射温度ＴＳ ′の差ΔＴＣ−Ｓ
′が明確化するものとなり、局部的放射率の差異として
表面欠陥部２０ａの識別が向上するものとなる。また、
この構成はパイプ３２に温水を循環させ、あるいはヒー
タを巻回して、測定範囲ｒの温度Ｔａ が上昇するよう
にして、測定対象物２０の温度が低い場合の測定にも、
そのまま適用できる。
径が大きくなる形状とともに、その内部を黒、すなわち
、放射率１の黒体を形成したフード３０の外側にパイプ
３２をスパイラル状に配設して、ここに冷却水ｍを循環
させている。これによって、測定範囲ｒの温度Ｔａ の
温度が低下する。この場合も前記の実施例と同様に測定
対象物２０自体を直接温度変化させることなく、測定対
象物２０の表面欠陥部２０ａの放射温度ＴＣ ′と測定
対象物２０の表面の放射温度ＴＳ ′の差ΔＴＣ−Ｓ
′が明確化するものとなり、局部的放射率の差異として
表面欠陥部２０ａの識別が向上するものとなる。また、
この構成はパイプ３２に温水を循環させ、あるいはヒー
タを巻回して、測定範囲ｒの温度Ｔａ が上昇するよう
にして、測定対象物２０の温度が低い場合の測定にも、
そのまま適用できる。
【００１６】このように、測定対象物２０自体を加熱・
冷却することなく測定対象物２０の温度ＴＳ と測定範
囲ｒの温度Ｔａ の間に適当な差を与えるようにしてい
る。 この際、測定対象物２０自体を温度変化させないため、
測定対象物２０の物性変化が生じず広範囲の材質の測定
対象物２０の局部的放射率の差異の測定が可能となる。 このため正確な表面欠陥部２０ａの識別ができるように
なり、さらに構築物等のように温度を上昇させることが
困難な場所の表示面欠陥部２０ａの測定ができるように
なる。また、従来のサーモグラフィ装置２０をそのまま
利用できるため容易、且つ廉価に測定対象物２０の表示
面変位、例えば、材料の表面の剥離あるいは粗さの表面
欠陥部を局部的放射率の差異として測定できる。なお、
この実施例では表面変位として、表面欠陥部２０ａを測
定する例を示したが、これに限るものではない。正常な
表面変位部、例えば、エッチングの深さ、あるいは積層
部の段差の確認等に利用して、前記同様の作用効果を得
ることも本発明に含まれる。
冷却することなく測定対象物２０の温度ＴＳ と測定範
囲ｒの温度Ｔａ の間に適当な差を与えるようにしてい
る。 この際、測定対象物２０自体を温度変化させないため、
測定対象物２０の物性変化が生じず広範囲の材質の測定
対象物２０の局部的放射率の差異の測定が可能となる。 このため正確な表面欠陥部２０ａの識別ができるように
なり、さらに構築物等のように温度を上昇させることが
困難な場所の表示面欠陥部２０ａの測定ができるように
なる。また、従来のサーモグラフィ装置２０をそのまま
利用できるため容易、且つ廉価に測定対象物２０の表示
面変位、例えば、材料の表面の剥離あるいは粗さの表面
欠陥部を局部的放射率の差異として測定できる。なお、
この実施例では表面変位として、表面欠陥部２０ａを測
定する例を示したが、これに限るものではない。正常な
表面変位部、例えば、エッチングの深さ、あるいは積層
部の段差の確認等に利用して、前記同様の作用効果を得
ることも本発明に含まれる。
【００１７】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように、本発
明の赤外測定装置では、測定対象物で反射して赤外温度
測定手段の検出器に入射する赤外の放射エネルギーの経
路の周辺環境物体の温度を変化させて、測定対象物と、
その周辺環境物体との温度差を形成し、これによって測
定対象物の局部的放射率の差異から測定対象物の表面変
位部が識別されるため、測定対象物自体を直接温度変化
させずに測定対象物の局部的放射率の差異として表面変
位部の識別限界を、より向上させることができるという
利点を有する。
明の赤外測定装置では、測定対象物で反射して赤外温度
測定手段の検出器に入射する赤外の放射エネルギーの経
路の周辺環境物体の温度を変化させて、測定対象物と、
その周辺環境物体との温度差を形成し、これによって測
定対象物の局部的放射率の差異から測定対象物の表面変
位部が識別されるため、測定対象物自体を直接温度変化
させずに測定対象物の局部的放射率の差異として表面変
位部の識別限界を、より向上させることができるという
利点を有する。
【図１】本発明の赤外測定装置の実施例を示す構成図で
ある。
ある。
【図２】図１におけるＡーＡ線の断面図である。
【図３】実施例の説明に供され、射出率の値を示す図で
ある。
ある。
【図４】実施例の説明に供され、測定対象物の表面の放
射温度の差の測定結果を示す図である。
射温度の差の測定結果を示す図である。
【図５】実施例の説明に供され、他の例の表面欠陥部が
存在する測定対象物の表面の放射温度の差の測定結果を
示す図である。
存在する測定対象物の表面の放射温度の差の測定結果を
示す図である。
【図６】本発明の赤外測定装置の他の実施例を示す構成
図である。
図である。
５ サーモグラフィ装置
８ 検知部
１０ ヒータ
１２ 環状絶縁体
１３ フード
１４ 発熱体
１５ 熱放射拡散部材
１６ 温度制御部
２０ 測定対象物
２０ａ 表面欠陥部
３０ フード
３２ パイプ
ｍ 冷却水
Claims (1)
- 【請求項１】 測定対象物から放射される赤外の放射
エネルギーを検知して測定対象物の温度状態を測定する
ための赤外温度測定手段と、上記測定対象物で反射して
、検出器に入射する赤外の放射エネルギーの経路の周辺
環境物体の温度を変化させるための温度可変手段とを備
え、上記測定対象物と上記周辺環境物体との温度差を形
成し、上記測定対象物の局部的放射率の差異として上記
測定対象物の表面変位部を識別するようにしたことを特
徴とする赤外測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3014013A JPH04242128A (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | 赤外測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3014013A JPH04242128A (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | 赤外測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04242128A true JPH04242128A (ja) | 1992-08-28 |
Family
ID=11849315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3014013A Pending JPH04242128A (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | 赤外測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04242128A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012132442A (ja) * | 2010-12-17 | 2012-07-12 | General Electric Co <Ge> | タービンエンジン内の破砕を検出するシステム及び方法 |
-
1991
- 1991-01-11 JP JP3014013A patent/JPH04242128A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012132442A (ja) * | 2010-12-17 | 2012-07-12 | General Electric Co <Ge> | タービンエンジン内の破砕を検出するシステム及び方法 |
| US10132688B2 (en) | 2010-12-17 | 2018-11-20 | General Electric Company | System and method for detecting spall within a turbine engine |
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