JPH04230820A - トランスデューサ - Google Patents
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- JPH04230820A JPH04230820A JP3100909A JP10090991A JPH04230820A JP H04230820 A JPH04230820 A JP H04230820A JP 3100909 A JP3100909 A JP 3100909A JP 10090991 A JP10090991 A JP 10090991A JP H04230820 A JPH04230820 A JP H04230820A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
-
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- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0076—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means
-
- G—PHYSICS
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- G01L9/0077—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means for measuring reflected light
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49007—Indicating transducer
Landscapes
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧力トランスデューサに
関し、特に光学手段により圧力を感知するようになった
圧力トランスデューサに関する。
関し、特に光学手段により圧力を感知するようになった
圧力トランスデューサに関する。
【０００２】
【従来の技術】溶融圧力トランスデューサは米国特許第
３，３４９，６２３号、同第３，６７８，７５３号、同
第４，６８０，９７２号、同第４，６７９，４３８号、
同第４，７０２，１１３号、同第４，７１２，４３０号
、同第４，８２９，８２７号、同第４，８１９，４８７
号及び同第４，８５８，４７１号各明細書に開示されて
いる。
３，３４９，６２３号、同第３，６７８，７５３号、同
第４，６８０，９７２号、同第４，６７９，４３８号、
同第４，７０２，１１３号、同第４，７１２，４３０号
、同第４，８２９，８２７号、同第４，８１９，４８７
号及び同第４，８５８，４７１号各明細書に開示されて
いる。
【０００３】これらのうちの大半の圧力トランスデュー
サは液体金属を充填した毛細管装置を使用している。典
型的な充填金属は水銀である。ある応用、特に毒性が問
題となるような応用においては、水銀を充填した圧力ト
ランスデューサはその作動における安全性を考慮する必
要がある。
サは液体金属を充填した毛細管装置を使用している。典
型的な充填金属は水銀である。ある応用、特に毒性が問
題となるような応用においては、水銀を充填した圧力ト
ランスデューサはその作動における安全性を考慮する必
要がある。
【０００４】
【発明の目的】従って、本発明の目的は、液体金属を充
填した毛細管装置を使用しなくて済み、過酷で高い温度
／圧力作業環境下でも作動できる圧力センサ構造を提供
することである。
填した毛細管装置を使用しなくて済み、過酷で高い温度
／圧力作業環境下でも作動できる圧力センサ構造を提供
することである。
【０００５】本発明の別の目的は、信号の強さの損失を
伴わずに、信号コディショニング電子機器を作業環境か
ら離れた位置に配置できるようにした光学圧力トランス
デューサを提供することである。
伴わずに、信号コディショニング電子機器を作業環境か
ら離れた位置に配置できるようにした光学圧力トランス
デューサを提供することである。
【０００６】本発明の他の目的は、比較的小型に構成で
き、標準の溶融圧力トランスデューサのフレームに実質
上取り付けるのに特に適した光学圧力トランスデューサ
を提供することである。
き、標準の溶融圧力トランスデューサのフレームに実質
上取り付けるのに特に適した光学圧力トランスデューサ
を提供することである。
【０００７】
【発明の構成】上記目的を達成するため、本発明は、入
力光ファイバのみならず出力光ファイバをも支持する本
体を有する光学圧力トランスデューサを提供する。入力
光ファイバ及び出力光ファイバは、その感知端部を共通
の平面内に位置させた状態で互いに並置して配置され、
その間に光学経路を画定する。力応答性のダイアフラム
は、光ファイバの端部に実質上隣接した位置で本体に固
定されている。固定反射鏡は入力光ファイバと出力光フ
ァイバとの間に画定された光学経路内に位置している。 可動反射鏡も設けてある。この反射鏡は、ダイアフラム
の変位に応答するようにダイアフラムに固定してある。 可動反射鏡は入力光ファイバと出力光ファイバとの間の
光学経路内に位置決めされる。
力光ファイバのみならず出力光ファイバをも支持する本
体を有する光学圧力トランスデューサを提供する。入力
光ファイバ及び出力光ファイバは、その感知端部を共通
の平面内に位置させた状態で互いに並置して配置され、
その間に光学経路を画定する。力応答性のダイアフラム
は、光ファイバの端部に実質上隣接した位置で本体に固
定されている。固定反射鏡は入力光ファイバと出力光フ
ァイバとの間に画定された光学経路内に位置している。 可動反射鏡も設けてある。この反射鏡は、ダイアフラム
の変位に応答するようにダイアフラムに固定してある。 可動反射鏡は入力光ファイバと出力光ファイバとの間の
光学経路内に位置決めされる。
【０００８】本発明の別の特徴によれば、固定反射鏡は
、その反射面が出力光ファイバの軸線に実質上一致する
ように、構成されている。同様に、可動反射鏡は入力光
ファイバの軸線に実質上一致する反射面を有する。固定
反射鏡及び可動反射鏡は互いに実質上直角となるように
位置している。可動反射鏡はダイアフラムの中央軸線の
まわりにおいて支持され、調整手段により支持される。 光源は入力光ファイバ内に光学信号を発生させ、光学検
知器は出力光ファイバからの光学信号を検知する。 それぞれのファイバの所定の光学絞り開口を画定するた
めの孔付き板の形をした手段が設けてある。孔付き板は
上述の共通平面において本体の表面に固定されている。 また、孔付き板上に反射板を設け、この反射板は固定反
射鏡及び可動反射鏡を画定する金属片を有する。反射板
はまた、可動反射鏡と反射板の固定周辺部とを相互連結
するＳ字状の撓み部材を有する。
、その反射面が出力光ファイバの軸線に実質上一致する
ように、構成されている。同様に、可動反射鏡は入力光
ファイバの軸線に実質上一致する反射面を有する。固定
反射鏡及び可動反射鏡は互いに実質上直角となるように
位置している。可動反射鏡はダイアフラムの中央軸線の
まわりにおいて支持され、調整手段により支持される。 光源は入力光ファイバ内に光学信号を発生させ、光学検
知器は出力光ファイバからの光学信号を検知する。 それぞれのファイバの所定の光学絞り開口を画定するた
めの孔付き板の形をした手段が設けてある。孔付き板は
上述の共通平面において本体の表面に固定されている。 また、孔付き板上に反射板を設け、この反射板は固定反
射鏡及び可動反射鏡を画定する金属片を有する。反射板
はまた、可動反射鏡と反射板の固定周辺部とを相互連結
するＳ字状の撓み部材を有する。
【０００９】本発明の一実施例によれば、入力光ファイ
バは二股に分かれた光ファイバを形成するように分割さ
れている。この分割された光ファイバは（無修正）入力
強度パターンの一部をトランスデューサの本体の固定表
面へ運ぶ。光はこの表面から第２基準出力光ファイバ内
へ反射せしめられる。この構成により、光ファイバの微
屈曲により外的に生じる信号誤差及びトランスデューサ
の本体に関連する温度による寸法変化を最小化するよう
に、コンディショニング電子機器へのフィードバックを
提供する。
バは二股に分かれた光ファイバを形成するように分割さ
れている。この分割された光ファイバは（無修正）入力
強度パターンの一部をトランスデューサの本体の固定表
面へ運ぶ。光はこの表面から第２基準出力光ファイバ内
へ反射せしめられる。この構成により、光ファイバの微
屈曲により外的に生じる信号誤差及びトランスデューサ
の本体に関連する温度による寸法変化を最小化するよう
に、コンディショニング電子機器へのフィードバックを
提供する。
【００１０】本発明の別の実施例においては、入力光フ
ァイバは二股の入力／出力光ファイバを形成するように
分割されている。このファイバは光源からの無修光正強
度パターンの一部を第２感光性装置へ直接運ぶ。この構
成により、時間／温度に伴う光源のドリフトによる信号
誤差及び感光性装置の熱効果を最小化するように、コン
ディショニング電子機器へのフィードバックを提供する
。
ァイバは二股の入力／出力光ファイバを形成するように
分割されている。このファイバは光源からの無修光正強
度パターンの一部を第２感光性装置へ直接運ぶ。この構
成により、時間／温度に伴う光源のドリフトによる信号
誤差及び感光性装置の熱効果を最小化するように、コン
ディショニング電子機器へのフィードバックを提供する
。
【００１１】
【実施例】まず、上記米国特許に開示されたトランスデ
ューサについて述べる。これらの溶融圧力トランスデュ
ーサは一般に細長いフレームを使用し、従来においては
、充填式の毛細管装置を使用した場合には、ダイアフラ
ム（又はカップラ）をフレームの一端に使用し、感知ヘ
ッドをフレームの他端に設けてある。感知ヘッドは、感
知した圧力を電気信号に実質上変換するためのストレイ
ンゲージ等を使用している。
ューサについて述べる。これらの溶融圧力トランスデュ
ーサは一般に細長いフレームを使用し、従来においては
、充填式の毛細管装置を使用した場合には、ダイアフラ
ム（又はカップラ）をフレームの一端に使用し、感知ヘ
ッドをフレームの他端に設けてある。感知ヘッドは、感
知した圧力を電気信号に実質上変換するためのストレイ
ンゲージ等を使用している。
【００１２】ここで、本発明によれば、ダイアフラムで
の偏向は光学的に感知され、これにより、作業環境、換
言すれば、ダイアフラム（又はカップラ）を配置した場
所から遠い位置に感知電子機器を配置できる。
の偏向は光学的に感知され、これにより、作業環境、換
言すれば、ダイアフラム（又はカップラ）を配置した場
所から遠い位置に感知電子機器を配置できる。
【００１３】図１ー３に示す実施例によれば、光学圧力
トランスデューサは、剛直金属でできた本体１と、受圧
ダイアフラム２とを有する。図１に示すように、矢印２
１はダイアフラム２に作用する圧力の方向を示す。この
圧力は本発明の光学圧力トランスデューサにより感知さ
れる。
トランスデューサは、剛直金属でできた本体１と、受圧
ダイアフラム２とを有する。図１に示すように、矢印２
１はダイアフラム２に作用する圧力の方向を示す。この
圧力は本発明の光学圧力トランスデューサにより感知さ
れる。
【００１４】ダイアフラム２は金属材料でできている。
この材料は、例えば、ステンレス鋼又はニッケル／クロ
ム／鉄合金でよい。ダイアフラム２は、例えば電子ビー
ム溶接により、トランスデューサの本体１に溶着すると
よい。この溶接部を図１に２２にて示す。
ム／鉄合金でよい。ダイアフラム２は、例えば電子ビー
ム溶接により、トランスデューサの本体１に溶着すると
よい。この溶接部を図１に２２にて示す。
【００１５】本体１内には光ファイバ３、４が位置する
。図１には、本体１を貫通する光ファイバを示す。光フ
ァイバは発光ダイオード３Ａの如き光源からの光を上端
で受ける入力光ファイバ３を有する。光ファイバ３の下
端は本体１の下端面と同じ平面の位置で固定されている
。この平面は図１に２ー２線で示す断面に一致している
。
。図１には、本体１を貫通する光ファイバを示す。光フ
ァイバは発光ダイオード３Ａの如き光源からの光を上端
で受ける入力光ファイバ３を有する。光ファイバ３の下
端は本体１の下端面と同じ平面の位置で固定されている
。この平面は図１に２ー２線で示す断面に一致している
。
【００１６】出力光ファイバ４の下端も同じ平面で固定
されている。ファイバ４の上端は、出力光をフォトダイ
オード４Ａの如き感光性素子へ導くように位置決めされ
ている。
されている。ファイバ４の上端は、出力光をフォトダイ
オード４Ａの如き感光性素子へ導くように位置決めされ
ている。
【００１７】トランスデューサの本体１は中央に位置し
た通路２３をも具備する。この通路は調整ネジ１２を回
転させるネジ回しの如き素子を受け入れるのに適してい
る。この調整作業については後述する。
た通路２３をも具備する。この通路は調整ネジ１２を回
転させるネジ回しの如き素子を受け入れるのに適してい
る。この調整作業については後述する。
【００１８】図１において、一点鎖線２５はファイバ３
、４間の光学経路を示す。この光学経路は後述する反射
鏡１０、１１により折り返されている。この光学経路は
、例えば図１、２に示す孔付き板５の如きあるマスク板
により制御される。この孔付き板５はスロット状の開口
８、９を有する。入力光ファイバ３の感知端部から発出
する光は入力開口８によりマスキングされ、光ファイバ
３から来る光強度パターンを修正する。この光強度パタ
ーンは下方の可動反射鏡１０へ入射する。この可動反射
鏡は調整ネジ１２により受圧ダイアフラム２に連結され
ている。
、４間の光学経路を示す。この光学経路は後述する反射
鏡１０、１１により折り返されている。この光学経路は
、例えば図１、２に示す孔付き板５の如きあるマスク板
により制御される。この孔付き板５はスロット状の開口
８、９を有する。入力光ファイバ３の感知端部から発出
する光は入力開口８によりマスキングされ、光ファイバ
３から来る光強度パターンを修正する。この光強度パタ
ーンは下方の可動反射鏡１０へ入射する。この可動反射
鏡は調整ネジ１２により受圧ダイアフラム２に連結され
ている。
【００１９】修正された光強度パターン（光学経路２５
）は可動反射鏡１０で反射されて固定反射鏡１１へ至り
、ここで更に反射されて出力開口９を通り、出力光ファ
イバ４内へ進入する。出力開口９は比例した量の修正さ
れた光強度パターンをブロック（遮断）して出力光ファ
イバ４へ進入するのを阻止する。出力光ファイバ４の端
部からのブロックされた光の初期量は可動反射鏡１０の
初期垂直位置により決定される。ダイアフラム２の面に
圧力が作用すると、可動反射鏡１０が垂直方向へ変位し
、出力光ファイバ４の受光端部へ進入する修正された光
強度パターンの比例量を変化させる。この変化は、フォ
トダイオード４Ａの如き感光性装置により、出力光ファ
イバ４の出力端部で検知される。
）は可動反射鏡１０で反射されて固定反射鏡１１へ至り
、ここで更に反射されて出力開口９を通り、出力光ファ
イバ４内へ進入する。出力開口９は比例した量の修正さ
れた光強度パターンをブロック（遮断）して出力光ファ
イバ４へ進入するのを阻止する。出力光ファイバ４の端
部からのブロックされた光の初期量は可動反射鏡１０の
初期垂直位置により決定される。ダイアフラム２の面に
圧力が作用すると、可動反射鏡１０が垂直方向へ変位し
、出力光ファイバ４の受光端部へ進入する修正された光
強度パターンの比例量を変化させる。この変化は、フォ
トダイオード４Ａの如き感光性装置により、出力光ファ
イバ４の出力端部で検知される。
【００２０】前述のように、ダイアフラム２に圧力が作
用したとき、可動反射鏡１０が変位する。この状態を例
えば図５に示す。可動反射鏡１０の初期位置を一点鎖線
で示し、可動反射鏡１０の変位位置を実線で示す。図４
と図５との比較から明らかなように、比例量の光強度パ
ターンを出力光ファイバ４に対して遮断、通過許容する
態様を示す。
用したとき、可動反射鏡１０が変位する。この状態を例
えば図５に示す。可動反射鏡１０の初期位置を一点鎖線
で示し、可動反射鏡１０の変位位置を実線で示す。図４
と図５との比較から明らかなように、比例量の光強度パ
ターンを出力光ファイバ４に対して遮断、通過許容する
態様を示す。
【００２１】例えば、図４では、一層少量の反射信号が
光ファイバ４へ進入する。図５では、実質的に一層多量
の反射信号が出力光ファイバ４へ進入する。
光ファイバ４へ進入する。図５では、実質的に一層多量
の反射信号が出力光ファイバ４へ進入する。
【００２２】各光ファイバ３、４は金属被覆シリカクラ
ッド、シリカコア、マルチモード、段インデックス光フ
ァイバでよい。これらの光ファイバはトランスデューサ
の本体に設けた穴内に挿入され、高温（６００℃）エポ
キシ樹脂を用いて穴内で固定するとよい。光ファイバ３
、４の（下）端部及び本体１の前面は、図１の２ー２線
における断面に沿って、研磨して鏡面仕上げとする。 これにより、平滑な装着表面が得られ、平坦で光学的に
純粋なファイバ端部が得られる。平滑な装着表面は一連
の板を受け入れ、例えば開口や反射鏡を画定するために
役立つ。これら種々の板は図２、３、９に示す。
ッド、シリカコア、マルチモード、段インデックス光フ
ァイバでよい。これらの光ファイバはトランスデューサ
の本体に設けた穴内に挿入され、高温（６００℃）エポ
キシ樹脂を用いて穴内で固定するとよい。光ファイバ３
、４の（下）端部及び本体１の前面は、図１の２ー２線
における断面に沿って、研磨して鏡面仕上げとする。 これにより、平滑な装着表面が得られ、平坦で光学的に
純粋なファイバ端部が得られる。平滑な装着表面は一連
の板を受け入れ、例えば開口や反射鏡を画定するために
役立つ。これら種々の板は図２、３、９に示す。
【００２３】図２は孔付き板５を示す。この板は、光化
学的にエッチングされた金属製の孔付き板でよく、光フ
ァイバ３、４に対する２つの開口８、９の整合を保証す
るような様式で本体の鏡面仕上げ表面上に配置される。 このような位置関係を図２に示す。孔付き板５を適所に
位置決めした後、この板をトランスデューサ本体１に抵
抗溶接する。
学的にエッチングされた金属製の孔付き板でよく、光フ
ァイバ３、４に対する２つの開口８、９の整合を保証す
るような様式で本体の鏡面仕上げ表面上に配置される。 このような位置関係を図２に示す。孔付き板５を適所に
位置決めした後、この板をトランスデューサ本体１に抵
抗溶接する。
【００２４】次に、光化学的にエッチングした金属製の
スペーサ板６を準備する。この板は図３に示す。この板
は孔付き板５に整合させて同板５に抵抗溶接する。これ
らの板を適正に整合させるために、整合突起、整合穴等
を設ける。
スペーサ板６を準備する。この板は図３に示す。この板
は孔付き板５に整合させて同板５に抵抗溶接する。これ
らの板を適正に整合させるために、整合突起、整合穴等
を設ける。
【００２５】次に、図９を参照して金属製撓み板７につ
き説明する。この板は光化学的にエッチングした板で、
その表面に反射性被覆層を有する。この板は、可動反射
鏡１０及び固定反射鏡１１が孔付き板５の開口８、９に
平行に整合するような状態で、配置されている。次いで
、この撓み板７をスペーサ板６に抵抗溶接する。この撓
み板７については、特に調整ネジ１２の作動に関連して
後に詳述する。
き説明する。この板は光化学的にエッチングした板で、
その表面に反射性被覆層を有する。この板は、可動反射
鏡１０及び固定反射鏡１１が孔付き板５の開口８、９に
平行に整合するような状態で、配置されている。次いで
、この撓み板７をスペーサ板６に抵抗溶接する。この撓
み板７については、特に調整ネジ１２の作動に関連して
後に詳述する。
【００２６】図１に示すトランスデューサにおいては、
ファイバ３、４の頂部において、これらファイバの端部
は適当な長さに裂け目を付けられ、必要なら研磨され、
機能上のチェックを行うために標準の光源及び標準の検
知器内へ挿入される。標準の光源及び検知器の助けで、
ネジ部に少量の高温エポキシ樹脂を塗った状態の方向片
寄り調整ネジ１２を調整して、関連する電子機器を伴っ
た標準の光源及び検知器で設定された適当な出力を達成
するために可動反射鏡１０の初期垂直位置を設定する。 方向片寄り調整ネジ１２に塗ったエポキシ樹脂は硬化し
てネジ１２を適所に固定する。
ファイバ３、４の頂部において、これらファイバの端部
は適当な長さに裂け目を付けられ、必要なら研磨され、
機能上のチェックを行うために標準の光源及び標準の検
知器内へ挿入される。標準の光源及び検知器の助けで、
ネジ部に少量の高温エポキシ樹脂を塗った状態の方向片
寄り調整ネジ１２を調整して、関連する電子機器を伴っ
た標準の光源及び検知器で設定された適当な出力を達成
するために可動反射鏡１０の初期垂直位置を設定する。 方向片寄り調整ネジ１２に塗ったエポキシ樹脂は硬化し
てネジ１２を適所に固定する。
【００２７】ここで、図６を参照すると、入力開口８を
通って入力光ファイバから出る入力光強度パターンＰ１
が示してある。また図４にも示すように、入力光強度パ
ターンＰ１は開口８の出口でのパターンであり、可動反
射鏡１０へ導かれるパターンである。
通って入力光ファイバから出る入力光強度パターンＰ１
が示してある。また図４にも示すように、入力光強度パ
ターンＰ１は開口８の出口でのパターンであり、可動反
射鏡１０へ導かれるパターンである。
【００２８】図７は、方向片寄り調整ネジを適当に設定
した後に出力開口９を通って出力光ファイバ４へ進入す
る比例量の修正した光強度パターンを示す。図４におい
て、ダイアフラムの通常の休止位置に対しては、このパ
ターンは強度パターンＰ２として示す。このパターンＰ
２は図７にも示す。
した後に出力開口９を通って出力光ファイバ４へ進入す
る比例量の修正した光強度パターンを示す。図４におい
て、ダイアフラムの通常の休止位置に対しては、このパ
ターンは強度パターンＰ２として示す。このパターンＰ
２は図７にも示す。
【００２９】作動において、光源から発された無修正光
強度パターンは入力光ファイバ３中を通り、図４、６に
示す修正された光強度パターンとして入力開口８から出
る。この光強度パターンは可動反射鏡１０で反射せしめ
られて固定反射鏡１１に至り、そこで反射せしめられて
上方に向き、出力開口９に至る。出力開口９は、図４、
７に示すように、例えば適当な量の修正光強度パターン
をマスキング（遮断）し、それ故、出力光ファイバ４へ
進入する光の量が制限される。
強度パターンは入力光ファイバ３中を通り、図４、６に
示す修正された光強度パターンとして入力開口８から出
る。この光強度パターンは可動反射鏡１０で反射せしめ
られて固定反射鏡１１に至り、そこで反射せしめられて
上方に向き、出力開口９に至る。出力開口９は、図４、
７に示すように、例えば適当な量の修正光強度パターン
をマスキング（遮断）し、それ故、出力光ファイバ４へ
進入する光の量が制限される。
【００３０】図５に示すように可動反射鏡１０が垂直に
変位すると、出力光ファイバ４へ進入する光強度パター
ンの量もそれに伴い増大し、従って、フォトダイオード
４Ａに達する光量も増大する。可動反射鏡１０の初期垂
直位置及び垂直変位の範囲は、修正した光強度パターン
の量の変化についてその一次元性が最大となるように選
定する。これにより、修正した光強度パターンの中央ピ
ークに対する対称性が得られる。この点に関し、図５に
は、出力光ファイバ４へ進入するパターンＰ３として、
光強度パターンの比例増大量を示す。
変位すると、出力光ファイバ４へ進入する光強度パター
ンの量もそれに伴い増大し、従って、フォトダイオード
４Ａに達する光量も増大する。可動反射鏡１０の初期垂
直位置及び垂直変位の範囲は、修正した光強度パターン
の量の変化についてその一次元性が最大となるように選
定する。これにより、修正した光強度パターンの中央ピ
ークに対する対称性が得られる。この点に関し、図５に
は、出力光ファイバ４へ進入するパターンＰ３として、
光強度パターンの比例増大量を示す。
【００３１】図３、９に示すように、反射板７は、可動
反射鏡１０が一体のＳ字状撓み部材２６により板７の固
定周辺部に取り付けられるように、構成されている。図
９には４つのＳ字状撓み部材を示す。これらの撓み部材
は可動反射鏡１０のための支持体を提供し、板７の面に
垂直な方向への可動反射鏡の平行運動を許容する。
反射鏡１０が一体のＳ字状撓み部材２６により板７の固
定周辺部に取り付けられるように、構成されている。図
９には４つのＳ字状撓み部材を示す。これらの撓み部材
は可動反射鏡１０のための支持体を提供し、板７の面に
垂直な方向への可動反射鏡の平行運動を許容する。
【００３２】組立て工程期間中、Ｓ字状撓み部材２６は
板７の固定部分上の取り付け地点で僅かに変形しており
、可動反射版を孔付き板５の方へ偏倚している。
板７の固定部分上の取り付け地点で僅かに変形しており
、可動反射版を孔付き板５の方へ偏倚している。
【００３３】ここで、可動反射鏡の変位の関数として、
特徴的にコンディショニング（条件付け）された（感光
性装置及びこれに関連する電子機器）直流（ＤＣ）電圧
出力曲線を示す図１１を参照する。調整ネジ１２を右ま
わり（締付け方向）に調整すると、調整ネジがポスト２
８のネジ部に係合する。次いで、ネジ頭部の底部が可動
反射鏡１０の基部に（クリアランス穴２９のまわりの領
域で）係合する（図１１の曲線の地点Ａに相当）。
特徴的にコンディショニング（条件付け）された（感光
性装置及びこれに関連する電子機器）直流（ＤＣ）電圧
出力曲線を示す図１１を参照する。調整ネジ１２を右ま
わり（締付け方向）に調整すると、調整ネジがポスト２
８のネジ部に係合する。次いで、ネジ頭部の底部が可動
反射鏡１０の基部に（クリアランス穴２９のまわりの領
域で）係合する（図１１の曲線の地点Ａに相当）。
【００３４】調整ネジ１２が右まわりに調整回転し続け
ると、可動反射鏡１０をダイアフラム２の方へ徐々に動
かし、Ｓ字状撓み部材２６に張力を発生させる。これに
より、図１に示すように、調整ネジの底部に当接するま
で可動反射鏡１０の基部を押圧する。
ると、可動反射鏡１０をダイアフラム２の方へ徐々に動
かし、Ｓ字状撓み部材２６に張力を発生させる。これに
より、図１に示すように、調整ネジの底部に当接するま
で可動反射鏡１０の基部を押圧する。
【００３５】前述のように、調整ネジを可動反射鏡１０
のクリアランス穴２９に挿入しダイアフラムのポスト２
８内のネジ部に係合する前に、調整ネジのネジ部及びネ
ジ頭部の底面に、高温エポキシ樹脂を塗布する。また、
エポキシが硬化したときには、調整ネジがダイアフラム
ポストに係止されると共に、可動反射鏡１０がネジ頭部
の底面に係止される。
のクリアランス穴２９に挿入しダイアフラムのポスト２
８内のネジ部に係合する前に、調整ネジのネジ部及びネ
ジ頭部の底面に、高温エポキシ樹脂を塗布する。また、
エポキシが硬化したときには、調整ネジがダイアフラム
ポストに係止されると共に、可動反射鏡１０がネジ頭部
の底面に係止される。
【００３６】しかし、エポキシが硬化する前は、調整ネ
ジ１２を右まわりに回転調整して、図１１の曲線の地点
Ｂ（可動反射鏡１０の基部及び固定反射鏡１１の基部が
共通平面に存在して最大電圧出力を許容する位置に相当
）から地点Ｃ（ゼロ圧力設定地点）へ出力電圧を変える
ことができる。地点Ｃ即ちゼロ圧力設定地点は、光学セ
ンサの変位作動範囲における一次元的電圧出力領域の下
端に相当し、可動反射鏡１０がダイアフラムポストに最
も近付く位置である。なお、図１１の曲線において地点
Ｃ、Ｄ間は直線上若しくは線形出力領域である。
ジ１２を右まわりに回転調整して、図１１の曲線の地点
Ｂ（可動反射鏡１０の基部及び固定反射鏡１１の基部が
共通平面に存在して最大電圧出力を許容する位置に相当
）から地点Ｃ（ゼロ圧力設定地点）へ出力電圧を変える
ことができる。地点Ｃ即ちゼロ圧力設定地点は、光学セ
ンサの変位作動範囲における一次元的電圧出力領域の下
端に相当し、可動反射鏡１０がダイアフラムポストに最
も近付く位置である。なお、図１１の曲線において地点
Ｃ、Ｄ間は直線上若しくは線形出力領域である。
【００３７】調整ネジ１２によりＳ字状撓み部材２６に
発生しダイアフラムポスト及びダイアフラム２へ伝達さ
れる張力はダイアフラム自体により発生す対抗力より小
さくされる。
発生しダイアフラムポスト及びダイアフラム２へ伝達さ
れる張力はダイアフラム自体により発生す対抗力より小
さくされる。
【００３８】ネジ１２上のエポキシが硬化すると、図１
１の作動曲線上の地点Ｃにて示される位置で可動反射鏡
１０が係止される。圧力で発生する（孔付き板５の方へ
向かう）弾性度の高い金属ダイアフラム２の変位（０．
００１±０．０００２インチでのすべての圧力範囲に対
しては一定の変位）により、可動反射鏡１０は、作動曲
線上の地点Ｄ即ちスパン（全スケール）電圧出力で示す
位置まで孔付き板５の方へ動く。ダイアフラムの圧力を
解除すると、可動反射鏡１０は作動曲線上の地点Ｃにて
示す初期位置へ戻る。
１の作動曲線上の地点Ｃにて示される位置で可動反射鏡
１０が係止される。圧力で発生する（孔付き板５の方へ
向かう）弾性度の高い金属ダイアフラム２の変位（０．
００１±０．０００２インチでのすべての圧力範囲に対
しては一定の変位）により、可動反射鏡１０は、作動曲
線上の地点Ｄ即ちスパン（全スケール）電圧出力で示す
位置まで孔付き板５の方へ動く。ダイアフラムの圧力を
解除すると、可動反射鏡１０は作動曲線上の地点Ｃにて
示す初期位置へ戻る。
【００３９】従って、ネジ１２を適正に調整することに
より、可動反射板が全範囲の圧力検知を実行できるよう
に、可動反射板の位置を設定できる。更に、図１１のグ
ラフから判るように、この範囲は一次元的な比例範囲で
ある。
より、可動反射板が全範囲の圧力検知を実行できるよう
に、可動反射板の位置を設定できる。更に、図１１のグ
ラフから判るように、この範囲は一次元的な比例範囲で
ある。
【００４０】次に、本発明の別の実施例を図８に基づき
説明する。図８において、図１に示すような本発明の第
１実施例における素子と同じ素子は同じ参照番号にて示
す。図８の実施例においては、光ファイバ３、４及び反
射鏡１０、１１を主として示す。しかし、この実施例に
おいては、入力光ファイバは、実質的に分岐した入力光
ファイバ１３を有する二股のファイバを形成するように
分割されている。この二股に分かれた入力光ファイバ１
３は入力無修正光強度パターンの一部をトランスデュー
サ本体１の固定表面３０の方へ運ぶ。この光は表面３０
で反射して第２基準出力光ファイバ１４内へ至る。比例
量の反射光は、基準光ファイバ１４の出力端部で、フォ
トダイオード４Ｂの如き感光性装置により検知される。 光源と、分岐した入力光ファイバ１３と、固定反射表面
３０との組み合わせにより、トランスデューサに関連す
るある検知信号を制御するためのフィードバック機構を
提供する。コンディショニング電子機器と組み合わせた
このフィードバック機構は、光ファイバの微屈曲及びト
ランスデューサ本体１の力学における温度に起因する寸
法変化による信号誤差を最小化する。
説明する。図８において、図１に示すような本発明の第
１実施例における素子と同じ素子は同じ参照番号にて示
す。図８の実施例においては、光ファイバ３、４及び反
射鏡１０、１１を主として示す。しかし、この実施例に
おいては、入力光ファイバは、実質的に分岐した入力光
ファイバ１３を有する二股のファイバを形成するように
分割されている。この二股に分かれた入力光ファイバ１
３は入力無修正光強度パターンの一部をトランスデュー
サ本体１の固定表面３０の方へ運ぶ。この光は表面３０
で反射して第２基準出力光ファイバ１４内へ至る。比例
量の反射光は、基準光ファイバ１４の出力端部で、フォ
トダイオード４Ｂの如き感光性装置により検知される。 光源と、分岐した入力光ファイバ１３と、固定反射表面
３０との組み合わせにより、トランスデューサに関連す
るある検知信号を制御するためのフィードバック機構を
提供する。コンディショニング電子機器と組み合わせた
このフィードバック機構は、光ファイバの微屈曲及びト
ランスデューサ本体１の力学における温度に起因する寸
法変化による信号誤差を最小化する。
【００４１】図１０は本発明の更に別の実施例を示す。
図１０においても、図１、８に示すような本発明の先の
実施例における素子と同じ素子は同じ参照番号にて示す
。図１０の実施例においては、入力光ファイバ３は二股
に分かれた入力／出力光ファイバ３３を形成するように
分割されている。分岐した入力／出力光ファイバ３３は
光源からの無修正光強度パターンの一部をフォトダイオ
ード４Ｃの如き第２の感光性装置へ直接運ぶ。入力光フ
ァイバと分岐したファイバと付加的な感光性装置との組
み合わせにより、時間／温度に依存する光源ドリフト及
び感光性装置の熱効果に起因する信号誤差を最少化する
ためのコンディショニング電子機器に対するフィードバ
ック機構を提供する。ファイバの微屈曲はこの特定の構
成においては取り扱わない。
実施例における素子と同じ素子は同じ参照番号にて示す
。図１０の実施例においては、入力光ファイバ３は二股
に分かれた入力／出力光ファイバ３３を形成するように
分割されている。分岐した入力／出力光ファイバ３３は
光源からの無修正光強度パターンの一部をフォトダイオ
ード４Ｃの如き第２の感光性装置へ直接運ぶ。入力光フ
ァイバと分岐したファイバと付加的な感光性装置との組
み合わせにより、時間／温度に依存する光源ドリフト及
び感光性装置の熱効果に起因する信号誤差を最少化する
ためのコンディショニング電子機器に対するフィードバ
ック機構を提供する。ファイバの微屈曲はこの特定の構
成においては取り扱わない。
【００４２】以上、特定の実施例につき本発明を説明し
たが、本発明の要旨を逸脱することなく種々の変形、修
正が可能であることは言うまでもない。
たが、本発明の要旨を逸脱することなく種々の変形、修
正が可能であることは言うまでもない。
【図１】本発明の光学圧力トランスデューサの部分破断
立面図である。
立面図である。
【図２】孔付き板の詳細を示す図１の２ー２線における
断面図である。
断面図である。
【図３】金属製撓み板及びスペーサ板の詳細を示す図１
の３ー３線における断面図である。
の３ー３線における断面図である。
【図４】圧力応答性のダイアフラムの休止位置における
光学経路を示す部分断面図である。
光学経路を示す部分断面図である。
【図５】図４と同様の部分断面図であるが、ダイアフラ
ムの変位時の反射鏡の位置を誇張して示す図である。
ムの変位時の反射鏡の位置を誇張して示す図である。
【図６】入力光強度パターンを示すグラフである。
【図７】出力光強度パターンを示すグラフである。
【図８】本発明の第２実施例の光学圧力トランスデュー
サの部分断面立面図である。
サの部分断面立面図である。
【図９】第２実施例に係る反射板の構造を示す平面図で
ある。
ある。
【図１０】本発明の第３実施例の光学圧力トランスデュ
ーサの部分断面立面図である。
ーサの部分断面立面図である。
【図１１】本発明のトランスデューサについて行われる
調整を説明するための出力電圧対変位の関係を示すグラ
フである。
調整を説明するための出力電圧対変位の関係を示すグラ
フである。
１ 本体
２ ダイアフラム
３ 入力光ファイバ
４ 出力光ファイバ
３Ａ 発光ダイオード
４Ａ フォトダイオード
５ 孔付き板
７ 撓み板
８、９ 開口
１０ 可動反射鏡
１１ 固定反射鏡
１２ 調整ネジ
１３、３３ 分岐光ファイバ
１４ 基準出力光ファイバ
２６ 撓み部材
３０ 固定表面
Claims (27)
- 【請求項１】 圧力トランスデューサにおいて、入力
光ファイバと、出力光ファイバと、前記入力光ファイバ
を受け入れるための手段及び前記出力光ファイバを受け
入れるための手段を有する本体と、力応答性のダイアフ
ラムと、前記入力光ファイバの一端と出力光ファイバの
一端とに隣接した位置で前記本体に前記ダイアフラムを
固定する手段と、固定反射鏡と、前記入力光ファイバと
出力光ファイバの前記一端間に画定された光学経路内に
前記固定反射鏡を位置決めする手段と、可動反射鏡と、
この可動反射鏡を前記光学経路内に位置決めして前記ダ
イアフラムに固定する手段であって、可動反射鏡がダイ
アフラムの動きに応答して主に前記出力光ファイバ及び
入力光ファイバの少なくとも一方の軸線方向に変位され
、それによって入力光ファイバの前記一端から出力光フ
ァイバの前記一端に伝達される光の量が前記ダイアフラ
ムの動きに応答して変化するようにする手段と、を有す
ることを特徴とする圧力トランスデューサ。 - 【請求項２】 前記入力光ファイバ及び出力光ファイ
バがその上記一端を共通平面内に位置させた状態で、互
いに並置されていることを特徴とする請求項１の圧力ト
ランスデューサ。 - 【請求項３】 圧力トランスデューサにおいて、入力
光ファイバと、出力光ファイバと、前記入力光ファイバ
を受け入れるための手段及び前記出力光ファイバを受け
入れるための手段を有する本体と、力応答性のダイアフ
ラムと、前記入力光ファイバの一端と出力光ファイバの
一端とに隣接した位置で前記本体に前記ダイアフラムを
固定する手段と、固定反射鏡と、前記入力光ファイバと
出力光ファイバの前記一端間に画定された光学経路内に
前記固定反射鏡を位置決めする手段と、可動反射鏡と、
この可動反射鏡を前記光学経路内に位置決めして前記ダ
イアフラムに固定し、該可動反射鏡がダイフラムの動き
に応答して動くようにする手段とを有し、前記固定反射
鏡が前記出力光ファイバの軸線に一致する反射面を有す
ることを特徴とする圧力トランスデューサ。 - 【請求項４】 前記可動反射鏡が前記入力光ファイバ
の軸線に一致する反射面を有することを特徴とする請求
項３の圧力トランスデューサ。 - 【請求項５】 前記固定反射鏡及び可動反射鏡が、互
いに９０°程度の角度をなしていることを特徴とする請
求項４の圧力トランスデューサ。 - 【請求項６】 前記可動反射鏡が前記ダイアフラムの
中央軸線のまわりにおいて調整部材により支持されてい
ることを特徴とする請求請５の圧力トランスデューサ。 - 【請求項７】 前記可動反射鏡に向かうような光学信
号を前記入力光ファイバ内に送るための光源を備えたこ
とを特徴とする請求項６の圧力トランスデューサ。 - 【請求項８】 前記固定反射鏡で反射され前記出力光
ファイバ内へ導かれた同出力光ファイバから出て来る光
学信号を検知するための光学検知器を備えたことを特徴
とする請求項７の圧力トランスデューサ。 - 【請求項９】 前記共通平面内に位置し、前記入力光
ファイバ及び出力光ファイバに対する光のための所定の
光学絞り開口を画定する手段を備えたことを特徴とする
請求項８の圧力トランスデューサ。 - 【請求項１０】 圧力トランスデューサにおいて、入
力光ファイバと、出力光ファイバと、前記入力光ファイ
バを受け入れるための手段及び前記出力光ファイバを受
け入れるための手段を有する本体と、力応答性のダイア
フラムと、前記入力光ファイバの一端と出力光ファイバ
の一端とに隣接した位置で前記本体に前記ダイアフラム
を固定する手段と、固定反射鏡と、前記入力光ファイバ
と出力光ファイバの前記一端間に画定された光学経路内
に前記固定反射鏡を位置決めする手段と、可動反射鏡と
、この可動反射鏡を前記光学経路内に位置決めして前記
ダイアフラムに固定し、該可動反射鏡がダイフラムの動
きに応答して動くようにする手段と、１つの共通平面に
おいて前記本体の面に固定された孔付き板を備え、この
孔付き板が前記入力光ファイバに整合した入力開口と前
記出力光ファイバに整合した出力開口とを画定する手段
を有することを特徴とする圧力トランスデューサ。 - 【請求項１１】 前記孔付き板上に位置し前記固定反
射鏡及び可動反射鏡を画定する金属片を有する反射板を
備えたことを特徴とする請求項１０の圧力トランスデュ
ーサ。 - 【請求項１２】 前記反射板が、前記可動反射鏡と同
反射板の固定周辺部とを相互連結するＳ字状の撓み部材
を有することを特徴とする請求項１１の圧力トランスデ
ューサ。 - 【請求項１３】 圧力トランスデューサにおいて、入
力光ファイバと、出力光ファイバと、前記入力光ファイ
バを受け入れるための手段及び前記出力光ファイバを受
け入れるための手段を有する本体と、力応答性のダイア
フラムと、前記入力光ファイバの一端と出力光ファイバ
の一端とに隣接した位置で前記本体に前記ダイアフラム
を固定する手段と、固定反射鏡と、前記入力光ファイバ
と出力光ファイバの前記一端間に画定された光学経路内
に前記固定反射鏡を位置決めする手段と、可動反射鏡と
、この可動反射鏡を前記光学経路内に位置決めして前記
ダイアフラムに固定し、該可動反射鏡がダイフラムの動
きに応答して動くようにする手段と、前記入力光ファイ
バが分割した入力光ファイバを提供するように二股に分
かれていることを特徴とする圧力トランスデューサ。 - 【請求項１４】 基準反射面と第２出力光ファイバと
を備え、この基準反射面が前記分割した入力光ファイバ
と前記第２出力光ファイバとの間の光学経路内に位置し
た前記本体の固定表面により構成されていることを特徴
とする請求項１３の圧力トランスデューサ。 - 【請求項１５】 光学トランスデューサにおいて、間
に光学感知空間を画定する本体及びこれに関連するダイ
アフラムと；該光学感知空間内を少なくとも一部が延び
る光学経路であって、複数の光学ファイバを有し、光強
度パターンを確立するための手段と光強度パターンを検
知するための手段とを備える光学経路を画定する手段と
；前記光学経路内に位置した固定反射鏡手段と；前記光
学経路内に位置した可動反射鏡手段と；この可動反射鏡
手段を前記ダイアフラムに固定する手段であって、可動
反射鏡がダイアフラムの動きに応答して主に少なくとも
１つの光学ファイバの軸線方向に変位され、それによっ
て反射光の伝達量が前記ダイアフラムの動きに応答して
変化するようにする手段と；を備えたことを特徴とする
光学トランスデューサ。 - 【請求項１６】 前記固定手段が前記ダイアフラムの
中心軸線に前記可動反射鏡手段を固定するための手段を
有することを特徴とする請求項１５の光学トランスデュ
ーサ。 - 【請求項１７】 前記可動反射鏡手段へ導かれる光強
度パターンを制御するための第１開口を画定する手段と
、前記固定反射鏡手段から反射された光を受けるための
第２開口を画定する手段とを備えたことを特徴とする請
求項１５の光学トランスデューサ。 - 【請求項１８】 光学トランスデューサにおいて、間
に光学感知空間を画定する本体及びこれに関連するダイ
アフラムと；該光学感知空間内を少なくとも一部が延び
る光学経路であって、光強度パターンを作るための手段
と光強度パターンを検知するための手段とを有する光学
経路を画定する手段と；前記光学経路内に位置した固定
反射鏡手段と；前記光学経路内に位置した可動反射鏡手
段と；この可動反射鏡手段を前記ダイアフラムに固定す
る手段と、前記ダイアフラムに関する前記可動反射鏡手
段の位置を調整する調整手段を備えたことを特徴とする
光学トランスデューサ。 - 【請求項１９】 光学トランスデューサにおいて、間
に光学感知空間を画定する本体及びこれに関連するダイ
アフラムと；該光学感知空間内を少なくとも一部が延び
る光学経路であって、複数の光学ファイバを有し、光強
度パターンを確立するための手段と光強度パターンを検
知するための手段とを備える光学経路を画定する手段と
；前記光学経路内に位置した固定反射鏡手段と；前記光
学経路内に位置した可動反射鏡手段と；この可動反射鏡
手段を前記ダイアフラムに固定する手段とを有し、前記
可動反射鏡手段が、前記固定反射鏡手段から反射される
光強度パターンの異なる量を前記出力開口へ導くため、
前記ダイアフラムの面に垂直な方向に同ダイアフラムの
運動に伴い動くように配置されていることを特徴とする
光学トランスデューサ。 - 【請求項２０】 光学トランスデューサを製造する方
法において、本体を提供する工程と；この本体内に並置
した通路を形成する工程と；入力光ファイバ及び出力光
ファイバの端部が前記本体の面と実質上同一面に位置す
るように、同入力光ファイバ及び出力光ファイバを前記
本体内に挿入する工程と；固定反射鏡及び可動反射鏡を
提供する工程と；前記入力光ファイバと出力光ファイバ
との間に光学経路を画定する工程と；前記入力光ファイ
バと出力光ファイバとの間の前記光学経路内に同入力光
ファイバ及び出力光ファイバを直列配置で位置決めする
工程と；を有することを特徴とする光学トランスデュー
サ製造方法。 - 【請求項２１】 光学トランスデューサのダイアフラ
ムに関する前記可動反射鏡の位置を調整する工程を更に
有する請求項２０の光学トランスデューサ製造方法。 - 【請求項２２】圧力トランスデューサにおいて、入力光
ファイバと、出力光ファイバと、前記入力光ファイバを
受け入れるための手段及び前記出力光ファイバを受け入
れるための手段を有する本体と、力応答性のダイアフラ
ムと、前記入力光ファイバの一端と出力光ファイバの一
端とに隣接した位置で前記本体に前記ダイアフラムを固
定する手段と、固定反射鏡と、前記入力光ファイバと出
力光ファイバの前記一端間に画定された光学経路内に前
記固定反射鏡を位置決めする手段と、可動反射鏡と、こ
の可動反射鏡を前記光学経路内に位置決めして前記ダイ
アフラムに固定する手段であって、ダイアフラムに対し
て可動反射鏡の位置を相対的に調節するための手段を有
する固定手段とを有することを特徴とする圧力トランス
デューサ。 - 【請求項２３】圧力トランスデューサにおいて、入力光
ファイバと、出力光ファイバと、前記入力光ファイバを
受け入れるための手段及び前記出力光ファイバを受け入
れるための手段を有する本体と、圧力を受ける面を備え
る力応答性のダイアフラムと、前記入力光ファイバの一
端と出力光ファイバの一端とに隣接した位置で前記本体
に前記ダイアフラムを固定する手段と、固定反射鏡と、
前記入力光ファイバと出力光ファイバの前記一端間に画
定された光学経路内に前記固定反射鏡を位置決めする手
段と、可動反射鏡と、この可動反射鏡を前記光学経路内
に位置決めして前記ダイアフラムに固定し、該可動反射
鏡がダイアフラムの動きに伴って同ダイアフラムの前記
面に直角の方向に動くようにする手段と、前記本体の面
に固定された孔付き板とを備え、この孔付き板が前記入
力光ファイバに整合した入力開口と前記出力光ファイバ
に整合した出力開口とを画定する手段を有するを有する
ことを特徴とする圧力トランスデューサ。 - 【請求項２４】圧力トランスデューサにおいて、入力光
ファイバと、出力光ファイバと、前記入力光ファイバを
受け入れるための手段及び前記出力光ファイバを受け入
れるための手段を有する本体と、圧力を受ける面を備え
る力応答性のダイアフラムと、前記入力光ファイバの一
端と出力光ファイバの一端とに隣接した位置で前記本体
に前記ダイアフラムを固定する手段と、固定反射鏡と、
前記入力光ファイバと出力光ファイバの前記一端間に画
定された光学経路内に前記固定反射鏡を位置決めする手
段と、可動反射鏡と、該可動反射鏡を前記光学経路内に
位置決めして前記ダイアフラムに取り付ける手段とを有
し、前記可動反射鏡が、前記固定反射鏡から反射される
光強度パターンの異なる量を前記出力開口へ導くため、
前記ダイアフラムの面に垂直な方向に同ダイアフラムの
運動に伴い動くように配置されていることを特徴とする
光学トランスデューサ。 - 【請求項２５】圧力トランスデューサにおいて、入力光
ファイバと、出力光ファイバと、前記入力光ファイバを
受け入れるための手段及び前記出力光ファイバを受け入
れるための手段を有する本体と、力応答性のダイアフラ
ムと、前記入力光ファイバの一端と出力光ファイバの一
端とに隣接した位置で前記本体に前記ダイアフラムを固
定する手段と、固定反射鏡と、前記入力光ファイバと出
力光ファイバの前記一端間に画定された光学経路内に前
記固定反射鏡を位置決めする手段と、可動反射鏡と、こ
の可動反射鏡を前記光学経路内に位置決めして前記ダイ
アフラムに固定し、該可動反射鏡がダイアフラムの動き
に伴って動くようにする手段と、前記本体の面に固定さ
れた孔付き板とを備え、この孔付き板が前記入力光ファ
イバに整合した入力開口と前記出力光ファイバに整合し
た出力開口とを画定する手段を有するを有することを特
徴とする圧力トランスデューサ。 - 【請求項２６】 光学トランスデューサにおいて、間
に光学感知空間を画定する本体及びこれに関連するダイ
アフラムと；該光学感知空間内を少なくとも一部が延び
る光学経路を画定する手段で複数の光学ファイバを有す
る手段と；前記光学経路内に位置した固定反射鏡手段と
；前記光学経路内に位置した可動反射鏡手段と；この可
動反射鏡手段を光学経路内に位置決めして前記ダイアフ
ラムに対して該ダイアフラムの単一の固定領域において
固定する手段とを備えたことを特徴とする光学トランス
デューサ。 - 【請求項２７】 光学トランスデューサにおいて、間
に光学感知空間を画定する本体及びこれに関連するダイ
アフラムと；該光学感知空間内を少なくとも一部が延び
る光学経路を画定する手段で複数の光学ファイバを有す
る手段と；前記光学経路内に位置した固定反射鏡手段と
；前記光学経路内に位置した可動反射鏡手段と；この可
動反射鏡手段を光学経路内に位置決めして固定する手段
であって、可動反射鏡が前記光学ファイバの１つの軸線
と整合するように配置する手段とを備えたことを特徴と
する光学トランスデューサ。
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