JPH04230094A - プリント基板の反り矯正方法及び装置 - Google Patents
プリント基板の反り矯正方法及び装置Info
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- JPH04230094A JPH04230094A JP41529690A JP41529690A JPH04230094A JP H04230094 A JPH04230094 A JP H04230094A JP 41529690 A JP41529690 A JP 41529690A JP 41529690 A JP41529690 A JP 41529690A JP H04230094 A JPH04230094 A JP H04230094A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リフローはんだ付けに
よりプリント基板の両面に部品を実装するための技術に
関し、特に、片面のリフロー後に生じる基板の反りを矯
正する方法及び装置に関する。
よりプリント基板の両面に部品を実装するための技術に
関し、特に、片面のリフロー後に生じる基板の反りを矯
正する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】両面リフローはんだ付け方式による両面
実装基板の製造工程では、従来、基板片面でのクリーム
はんだ印刷、チップ部品装着及びリフローの後、基板を
反転させてそのまま、反対面でのクリームはんだ印刷、
チップ部品装着及びリフローを行っている。
実装基板の製造工程では、従来、基板片面でのクリーム
はんだ印刷、チップ部品装着及びリフローの後、基板を
反転させてそのまま、反対面でのクリームはんだ印刷、
チップ部品装着及びリフローを行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、片面リフロー
後のプリント基板は、リフロー工程で部品の重量が加っ
た状態で加熱され、その後、そのまま冷されるので、反
りが生じている。そのため、下記の問題点があった。 （イ） 基板を吸着ブロックで吸着して反転し、位置決
めして、反対面にクリームはんだ印刷を行うが、基板の
反りのため、うまく基板を吸着できず、印刷ずれが生じ
ることがある。 （ロ） クリームはんだ印刷工程の次のチップ部品装着
工程でも、同じく基板の反りのため、反対面で部品の装
着ずれが生じることがある。 （ハ） その結果、はんだ付け不良が生じかねない。
後のプリント基板は、リフロー工程で部品の重量が加っ
た状態で加熱され、その後、そのまま冷されるので、反
りが生じている。そのため、下記の問題点があった。 （イ） 基板を吸着ブロックで吸着して反転し、位置決
めして、反対面にクリームはんだ印刷を行うが、基板の
反りのため、うまく基板を吸着できず、印刷ずれが生じ
ることがある。 （ロ） クリームはんだ印刷工程の次のチップ部品装着
工程でも、同じく基板の反りのため、反対面で部品の装
着ずれが生じることがある。 （ハ） その結果、はんだ付け不良が生じかねない。
【０００４】本発明は上述した従来技術の問題点を解決
することができるプリント基板の反り矯正方法及び装置
を提供することを目的とする。
することができるプリント基板の反り矯正方法及び装置
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によるプリント基
板の反り矯正方法は、最初の面のリフローの後、プリン
ト基板が熱い間に、プリント基板に対し反りを除く力を
付与することを特徴とするものである。
板の反り矯正方法は、最初の面のリフローの後、プリン
ト基板が熱い間に、プリント基板に対し反りを除く力を
付与することを特徴とするものである。
【０００６】本発明によるプリント基板の反り矯正装置
は、リフロー装置とストッカ間のプリント基板搬送用コ
ンベアの２条の循環体間に配置された、平面もしくはプ
リント基板の反りとは逆方向に湾曲した矯正面を有する
ベースと、このベースを昇降させる昇降装置と、このベ
ースの矯正面にプリント基板を当接させる基板当接装置
と、コンベア上のプリント基板をベース上方の所定位置
で停止させ、且つこの停止の解除が可能なストッパと、
プリント基板の前記所定位置への到達から該所定位置の
通過までを検知するセンサと、このセンサの検知開始後
の所定期間、前記昇降装置を上昇させ、該所定期間の経
過後、昇降装置を降下させ、その後、前記ストッパをセ
ンサの検知終了まで解除させる制御装置とを具備するも
のである。この場合、基板当接装置としては、プリント
基板を矯正面にベース側から吸着するタイプのもの、あ
るいはベースとは反対側からプリント基板を矯正面に押
圧するタイプのものいずれでも良く、更には両タイプの
併用でも良い。前者の基板吸着装置として、矯正面に孔
が形成されたベースと、この孔からベース内に空気を吸
引する吸引装置とを有するものがある。また、後者の基
板押圧装置として、ベース上方に位置した押え部材と、
この押え部材を昇降させる第２の昇降装置とを有するも
のがある。押え部材は必ずしも昇降する必要がなく、一
定位置にあっても良いが、昇降させる場合は、制御装置
はベース用昇降装置と同期して逆方向に第２の昇降装置
を昇降させる構成とする。更に、必要に応じて、矯正面
上のプリント基板に風を吹き付ける冷却ファンを設け、
制御装置はプリント基板がベースの矯正面に基板当接装
置により当接している期間内に、冷却ファンを作動させ
る構成とする。
は、リフロー装置とストッカ間のプリント基板搬送用コ
ンベアの２条の循環体間に配置された、平面もしくはプ
リント基板の反りとは逆方向に湾曲した矯正面を有する
ベースと、このベースを昇降させる昇降装置と、このベ
ースの矯正面にプリント基板を当接させる基板当接装置
と、コンベア上のプリント基板をベース上方の所定位置
で停止させ、且つこの停止の解除が可能なストッパと、
プリント基板の前記所定位置への到達から該所定位置の
通過までを検知するセンサと、このセンサの検知開始後
の所定期間、前記昇降装置を上昇させ、該所定期間の経
過後、昇降装置を降下させ、その後、前記ストッパをセ
ンサの検知終了まで解除させる制御装置とを具備するも
のである。この場合、基板当接装置としては、プリント
基板を矯正面にベース側から吸着するタイプのもの、あ
るいはベースとは反対側からプリント基板を矯正面に押
圧するタイプのものいずれでも良く、更には両タイプの
併用でも良い。前者の基板吸着装置として、矯正面に孔
が形成されたベースと、この孔からベース内に空気を吸
引する吸引装置とを有するものがある。また、後者の基
板押圧装置として、ベース上方に位置した押え部材と、
この押え部材を昇降させる第２の昇降装置とを有するも
のがある。押え部材は必ずしも昇降する必要がなく、一
定位置にあっても良いが、昇降させる場合は、制御装置
はベース用昇降装置と同期して逆方向に第２の昇降装置
を昇降させる構成とする。更に、必要に応じて、矯正面
上のプリント基板に風を吹き付ける冷却ファンを設け、
制御装置はプリント基板がベースの矯正面に基板当接装
置により当接している期間内に、冷却ファンを作動させ
る構成とする。
【０００７】
【作用】本発明の方法では、片面リフロー後の熱いプリ
ント基板に力が加わり、反りを除去する。
ント基板に力が加わり、反りを除去する。
【０００８】本発明の装置では、ストッカに入る前の片
面リフロー後の熱い基板をストッパがコンベア上に止め
る。このプリント基板をセンサが検知して制御装置が昇
降装置を上昇させ、コンベアからベースの矯正面上に載
せ換える。この時、基板当接装置がプリント基板を矯正
面に吸着または押圧、または両方により当接させ、この
時の力が反りを除く。次いで、昇降装置が降下すると、
プリント基板がコンベア上に戻る。ストッパの解除によ
りプリント基板がコンベアで搬送され、センサが基板の
検知を終了したら、ストッパが戻り次のプリント基板の
到着を待つ。冷却ファンがある場合は、反りの矯正中に
プリント基板が冷却され、反り矯正が短時間で達成され
る。
面リフロー後の熱い基板をストッパがコンベア上に止め
る。このプリント基板をセンサが検知して制御装置が昇
降装置を上昇させ、コンベアからベースの矯正面上に載
せ換える。この時、基板当接装置がプリント基板を矯正
面に吸着または押圧、または両方により当接させ、この
時の力が反りを除く。次いで、昇降装置が降下すると、
プリント基板がコンベア上に戻る。ストッパの解除によ
りプリント基板がコンベアで搬送され、センサが基板の
検知を終了したら、ストッパが戻り次のプリント基板の
到着を待つ。冷却ファンがある場合は、反りの矯正中に
プリント基板が冷却され、反り矯正が短時間で達成され
る。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図３は本発明を適用する両面リフローはんだ付け
方式による両面実装基板の製造ラインの一部を概念的に
示す。図３において、リフロー装置０１とストッカ０２
とを結ぶコンベア０３があり、コンベア０３の途中に、
プリント基板２の反りを矯正する装置１が配設されてい
る。
する。図３は本発明を適用する両面リフローはんだ付け
方式による両面実装基板の製造ラインの一部を概念的に
示す。図３において、リフロー装置０１とストッカ０２
とを結ぶコンベア０３があり、コンベア０３の途中に、
プリント基板２の反りを矯正する装置１が配設されてい
る。
【００１０】図１は反り矯正装置１の構成を示す。片面
リフロー後のプリント基板２は熱いままコンベア０３の
２条の循環体０３Ａ，０３Ｂ上に載置され、通常下に凸
の反りを持って搬送されてくる。０３Ｃはコンベア０３
のガイド兼用フレームである。コンベア０３の循環体０
３Ａ，０３Ｂ間の床上にベース用昇降装置３を設置し、
その上端に吸着用ベース４を水平に取付けてある。ベー
ス４の上面５が矯正面であり、実線の如く平面か、ある
いは破線の如く上にわずか凸の湾曲面としてある。ベー
スの矯正面５には孔６を多数あけ、ベース４内及び昇降
装置３内を通して真空吸引装置（ポンプ）７と接続して
ある。また、ベース４の直上には水平に押え板８を配置
し、この押え板８を別の昇降装置１１のアーム１２で支
持してある。押え板８の下面にはスプリング９を介して
ピン１０を立て、弾力により伸縮可能としてある。
リフロー後のプリント基板２は熱いままコンベア０３の
２条の循環体０３Ａ，０３Ｂ上に載置され、通常下に凸
の反りを持って搬送されてくる。０３Ｃはコンベア０３
のガイド兼用フレームである。コンベア０３の循環体０
３Ａ，０３Ｂ間の床上にベース用昇降装置３を設置し、
その上端に吸着用ベース４を水平に取付けてある。ベー
ス４の上面５が矯正面であり、実線の如く平面か、ある
いは破線の如く上にわずか凸の湾曲面としてある。ベー
スの矯正面５には孔６を多数あけ、ベース４内及び昇降
装置３内を通して真空吸引装置（ポンプ）７と接続して
ある。また、ベース４の直上には水平に押え板８を配置
し、この押え板８を別の昇降装置１１のアーム１２で支
持してある。押え板８の下面にはスプリング９を介して
ピン１０を立て、弾力により伸縮可能としてある。
【００１１】コンベア０３のフレーム０３Ｃには、プリ
ント基板２がちょうどベース４の直上に来たときにこれ
を停止させるストッパ１３を設けてある。このストッパ
１３は例えば旋回式のものであり、実線で示す直立状態
でプリント基板２を停止させ、破線で示す横倒状態で停
止を解除する。ストッパ１３の駆動機構は任意であるが
、本実施例では、スプリングとソレノイドを用い、ソレ
ノイドに通電（ＯＮ）するとスプリングの力に抗して横
に倒れ、通電を止める（ＯＦＦ）とスプリングの力で直
立状態に復帰するものとしている。旋回式の他、上下や
左右に進退して停止とその解除を行うものでも良い。
ント基板２がちょうどベース４の直上に来たときにこれ
を停止させるストッパ１３を設けてある。このストッパ
１３は例えば旋回式のものであり、実線で示す直立状態
でプリント基板２を停止させ、破線で示す横倒状態で停
止を解除する。ストッパ１３の駆動機構は任意であるが
、本実施例では、スプリングとソレノイドを用い、ソレ
ノイドに通電（ＯＮ）するとスプリングの力に抗して横
に倒れ、通電を止める（ＯＦＦ）とスプリングの力で直
立状態に復帰するものとしている。旋回式の他、上下や
左右に進退して停止とその解除を行うものでも良い。
【００１２】更に、コンベアのフレーム０３Ｃにはスト
ッパ１３の近くに、基板検知用センサ１４を設けてある
。このセンサ１４はプリント基板２がストッパ１３に当
った時、またはその直前からプリント基板２を検知し始
め、その後、プリント基板２がストッパ１３を通過し終
るまで検知し続けるものとしてある。
ッパ１３の近くに、基板検知用センサ１４を設けてある
。このセンサ１４はプリント基板２がストッパ１３に当
った時、またはその直前からプリント基板２を検知し始
め、その後、プリント基板２がストッパ１３を通過し終
るまで検知し続けるものとしてある。
【００１３】また、コンベア０３の側部上方には、ベー
ス４に向けて冷却ファン１５を設けてある。
ス４に向けて冷却ファン１５を設けてある。
【００１４】制御装置１６にはタイマ１７を内蔵し、セ
ンサ１４からの信号により、図２に示すタイミングで各
装置の動作を制御するように構成してある。なお、真空
吸引装置７は常時作動するものとしているが、昇降装置
３の昇降と連動してバルブ等で吸引の作動、停止を制御
するようにしても良い。また、通常状態では、ストッパ
１３は直立し、センサ１４は非検知状態であり、一方の
昇降装置３は下降端に、他方の昇降装置１１は上昇端に
それぞれ位置し、冷却ファン１５は停止している。一方
の昇降装置３に関し、下降端に位置する状態では、ベー
ス４の矯正面５はプリント基板２よりも低い位置にあり
、上昇端ではコンベア０３からプリント基板２を持ち上
げる位置となるように構成してある。また、他方の昇降
装置１１に関しては、下降端に位置する状態で、押え板
８のピン１０の先端がプリント基板２より少し高い位置
となるように構成してある。
ンサ１４からの信号により、図２に示すタイミングで各
装置の動作を制御するように構成してある。なお、真空
吸引装置７は常時作動するものとしているが、昇降装置
３の昇降と連動してバルブ等で吸引の作動、停止を制御
するようにしても良い。また、通常状態では、ストッパ
１３は直立し、センサ１４は非検知状態であり、一方の
昇降装置３は下降端に、他方の昇降装置１１は上昇端に
それぞれ位置し、冷却ファン１５は停止している。一方
の昇降装置３に関し、下降端に位置する状態では、ベー
ス４の矯正面５はプリント基板２よりも低い位置にあり
、上昇端ではコンベア０３からプリント基板２を持ち上
げる位置となるように構成してある。また、他方の昇降
装置１１に関しては、下降端に位置する状態で、押え板
８のピン１０の先端がプリント基板２より少し高い位置
となるように構成してある。
【００１５】次に、制御装置１６の機能と各部の動作を
説明する。片面リフロー後のプリント基板２がコンベア
０３によってリフロー装置０１から搬送されてくると、
ストッパ１３に当って停止する。この時、センサ１４が
プリント基板を検知し、基板検知のＯＮ信号を制御装置
１６に与える。このＯＮ信号を受信してｔ１ 秒後に、
制御装置１６はベース用昇降装置３に上昇指令を与え、
上昇端に達した時からタイマ１７で設定した時間Ｔだけ
上昇端に保持し、この設定時間Ｔの経過後、昇降装置３
に下降指令を与える。この昇降装置３が上昇端に位置し
ている間、ベース４の矯正面５にプリント基板が真空吸
着され、反りが戻される。
説明する。片面リフロー後のプリント基板２がコンベア
０３によってリフロー装置０１から搬送されてくると、
ストッパ１３に当って停止する。この時、センサ１４が
プリント基板を検知し、基板検知のＯＮ信号を制御装置
１６に与える。このＯＮ信号を受信してｔ１ 秒後に、
制御装置１６はベース用昇降装置３に上昇指令を与え、
上昇端に達した時からタイマ１７で設定した時間Ｔだけ
上昇端に保持し、この設定時間Ｔの経過後、昇降装置３
に下降指令を与える。この昇降装置３が上昇端に位置し
ている間、ベース４の矯正面５にプリント基板が真空吸
着され、反りが戻される。
【００１６】また制御装置１６は、ベース用昇降装置３
が上昇端に達した時からｔ２ 秒後に、押え板用昇降装
置１１に下降指令を与え、ベース用昇降装置３が下降端
に戻ったのちｔ５ 秒後まで押え板用昇降装置１１を下
降端に保持する。このｔ５ 秒の経過後、上昇指令を与
える。 これにより、押え板８下面のピン１０がプリント基板を
ベース４の矯正面５に押圧し、反りを戻す。
が上昇端に達した時からｔ２ 秒後に、押え板用昇降装
置１１に下降指令を与え、ベース用昇降装置３が下降端
に戻ったのちｔ５ 秒後まで押え板用昇降装置１１を下
降端に保持する。このｔ５ 秒の経過後、上昇指令を与
える。 これにより、押え板８下面のピン１０がプリント基板を
ベース４の矯正面５に押圧し、反りを戻す。
【００１７】更に、制御装置１６は押え板用昇降装置１
１が下降端に達した時からｔ３ 秒後に冷却ファン１５
を作動させ、ベース用昇降装置３に下降指令を与える時
よりもｔ４ 秒前に、その作動を停止させる。これによ
り、プリント基板がベース４の矯正面５に真空吸着され
、且つ、押え板８により矯正面５に押圧されている状態
で、プリント基板に風が当り、反り矯正の促進と短時間
での冷却が達成される。
１が下降端に達した時からｔ３ 秒後に冷却ファン１５
を作動させ、ベース用昇降装置３に下降指令を与える時
よりもｔ４ 秒前に、その作動を停止させる。これによ
り、プリント基板がベース４の矯正面５に真空吸着され
、且つ、押え板８により矯正面５に押圧されている状態
で、プリント基板に風が当り、反り矯正の促進と短時間
での冷却が達成される。
【００１８】そして制御装置１６は冷却ファン１５の作
動停止、ベース用昇降装置３の下降、これに続く押え板
用昇降装置１１の上昇の後、ｔ６ 秒後にストッパ１３
に解除指令を与える（ＯＮ）。これにより、ストッパ１
３が横に倒れ、プリント基板がコンベア０３により再び
搬送され始める。この搬送によりセンサ１４が基板非検
知となると、そのＯＦＦ信号を制御装置１６が受けて、
ｔ７ 秒後に解除指令を中止する（ＯＦＦ）。つまり、
ストッパ１３が直立して、次のプリント基板の到来を待
機する。なお、コンベア０３で搬送された反り矯正後の
プリント基板は、ストッカ０２に次々に格納され、反対
面でのクリームはんだ印刷、チップ部品装着及びリフロ
ーの各工程待ちとなる。
動停止、ベース用昇降装置３の下降、これに続く押え板
用昇降装置１１の上昇の後、ｔ６ 秒後にストッパ１３
に解除指令を与える（ＯＮ）。これにより、ストッパ１
３が横に倒れ、プリント基板がコンベア０３により再び
搬送され始める。この搬送によりセンサ１４が基板非検
知となると、そのＯＦＦ信号を制御装置１６が受けて、
ｔ７ 秒後に解除指令を中止する（ＯＦＦ）。つまり、
ストッパ１３が直立して、次のプリント基板の到来を待
機する。なお、コンベア０３で搬送された反り矯正後の
プリント基板は、ストッカ０２に次々に格納され、反対
面でのクリームはんだ印刷、チップ部品装着及びリフロ
ーの各工程待ちとなる。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、片面リフロー後の熱い
間にプリント基板に反りを除く力が加わるので、確実に
反りを矯正することができる。従って、反対面でのクリ
ームはんだ印刷のずれ、部品装着のずれが生じ難くなり
、はんだ付けの不良が低下する。
間にプリント基板に反りを除く力が加わるので、確実に
反りを矯正することができる。従って、反対面でのクリ
ームはんだ印刷のずれ、部品装着のずれが生じ難くなり
、はんだ付けの不良が低下する。
【図１】本発明の実施例を示す図
【図２】動作のタイミングを示す図
【図３】両面実装基板の製造ラインの一部を示す図
０１ リフロー装置
０２ ストッカ
０３ コンベア
１ 反り矯正装置
２ プリント基板
３ ベース用昇降装置
４ ベース
５ 矯正面
６ 孔
７ 真空吸引装置
８ 押え板
９ スプリング
１０ ピン
１１ 押え板用昇降装置
１２ アーム
１３ ストッパ
１４ 基板検知用センサ
１５ 冷却ファン
１６ 制御装置
１７ タイマ
Claims (6)
- 【請求項１】 両面リフローはんだ付け方式による両
面実装基板の製造工程において、最初の面のリフローの
後、プリント基板が熱い間に、プリント基板に対し反り
を除く力を付与することを特徴とするプリント基板の反
り矯正方法。 - 【請求項２】 リフロー装置とストッカ間のプリント
基板搬送用コンベアの２条の循環体間に配置された、平
面もしくはプリント基板の反りとは逆方向に湾曲した矯
正面を有するベースと、このベースを昇降させる昇降装
置と、このベースの矯正面にプリント基板を当接させる
基板当接装置と、コンベア上のプリント基板をベース上
方の所定位置で停止させ、且つこの停止の解除が可能な
ストッパと、プリント基板の前記所定位置への到達から
該所定位置の通過までを検知するセンサと、このセンサ
の検知開始後の所定期間、前記昇降装置を上昇させ、該
所定期間の経過後、昇降装置を降下させ、その後、前記
ストッパをセンサの検知終了まで解除させる制御装置と
を具備するプリント基板の反り矯正装置。 - 【請求項３】 前記基板当接装置が矯正面に孔が形成
されたベースと、この孔からベース内に空気を吸引する
吸引装置とを有する基板吸着装置である請求項２記載の
プリント基板の反り矯正装置。 - 【請求項４】 前記基板当接装置がベース上方に位置
した押え部材と、この押え部材を昇降させる第２の昇降
装置とを有する基板押圧装置であり、前記制御装置はベ
ース用昇降装置と同期して逆方向に第２の昇降装置を昇
降させる構成である請求項２記載のプリント基板の反り
矯正装置。 - 【請求項５】 前記基板当接装置として、矯正面に孔
が形成されたベースと、この孔からベース内に空気を吸
引する吸引装置とを有する基板吸着装置、並びに、ベー
ス上方に位置した押え部材と、この押え部材を昇降させ
る第２の昇降装置とを有する基板押圧装置を具備し、前
記制御装置はベース用昇降装置と同期して逆方向に第２
の昇降装置を昇降させる構成である請求項２記載のプリ
ント基板の反り矯正装置。 - 【請求項６】 ベースの矯正面上のプリント基板に風
を吹き付ける冷却ファンを具備し、前記制御装置はプリ
ント基板がベースの矯正面に基板当接装置により当接し
ている期間内に、冷却ファンを作動させる構成である請
求項２または３または４または５記載のプリント基板の
反り矯正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP41529690A JPH04230094A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | プリント基板の反り矯正方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP41529690A JPH04230094A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | プリント基板の反り矯正方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04230094A true JPH04230094A (ja) | 1992-08-19 |
Family
ID=18523670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP41529690A Withdrawn JPH04230094A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | プリント基板の反り矯正方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04230094A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008116354A (ja) * | 2006-11-06 | 2008-05-22 | Nec Electronics Corp | 反り測定システム、成膜システム、及び反り測定方法 |
| JP2014131003A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 基板処理システム及び基板処理方法 |
-
1990
- 1990-12-27 JP JP41529690A patent/JPH04230094A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008116354A (ja) * | 2006-11-06 | 2008-05-22 | Nec Electronics Corp | 反り測定システム、成膜システム、及び反り測定方法 |
| JP2014131003A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 基板処理システム及び基板処理方法 |
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