JPH04224304A - 駆動シリンダの速度制御装置 - Google Patents

駆動シリンダの速度制御装置

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JPH04224304A
JPH04224304A JP40670890A JP40670890A JPH04224304A JP H04224304 A JPH04224304 A JP H04224304A JP 40670890 A JP40670890 A JP 40670890A JP 40670890 A JP40670890 A JP 40670890A JP H04224304 A JPH04224304 A JP H04224304A
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cylinder
drive cylinder
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Kazuhisa Ito
一寿 伊藤
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、圧縮性流体によって
作動される駆動シリンダの速度制御装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の駆動シリンダの速度制御
装置としては、スピードコントローラ、電空比例制御弁
、ハイドロチェック弁、あるいはエアハイドロコンバー
タ等を用いたものが知られている。しかしながら、これ
らの従来構成においては、いずれも駆動シリンダの速度
制御を連続して正確に行うことができないという問題が
あった。
【0003】この問題点を解消するために、この発明と
同一の出願人は、先の特許出願(特願昭63−1441
50号、特開平1−312208号)において、駆動シ
リンダのピストンと制動シリンダのピストンとを互いに
連動させ、制動シリンダのピストンにより区画される両
流体室を、電場を有する制動通路を介して連通させると
共に、この両流体室及び制動通路に電気粘性流体を充填
し、制動通路の電場の大きさを調整可能にした駆動シリ
ンダの速度制御装置を提案した。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この先願構
成においては、制動シリンダがロッド式のシリンダによ
り構成されて、そのシリンダの両端にピストンロッドが
突出されているため、装置全体が大型になると共に、ピ
ストンロッドの貫通部から電気粘性流体の漏れが生じ易
いという問題があった。
【0005】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものであって、その目的
とするところは、装置全体を小型化することができると
共に、制動シリンダから非圧縮性流体が漏れるのを防止
することができ、しかも、駆動シリンダの速度制御を連
続して正確に行うことができる駆動シリンダの速度制御
装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1の発明では、圧縮性流体によって作動さ
れるピストンを有する駆動シリンダと、ロッドレスシリ
ンダよりなり、前記駆動シリンダのピストンに連動する
ピストンを有する制動シリンダと、その制動シリンダの
ピストンによって区画される両流体室内に流入出される
非圧縮性流体と、前記流体室内への非圧縮性流体の流量
を調整する流量調整手段とを備えたものである。
【0007】請求項2の発明では、請求項1の構成にお
いて、前記非圧縮性流体として電気粘性流体を使用し、
前記流量調整手段として電気粘性流体に電場を調整して
付与する電場調整付与手段を設けたものである。請求項
3の発明では、請求項1の構成において、前記非圧縮性
流体としてオイルを使用し、前記流量調整手段として流
体室内へのオイルの流路開口量を調整する流路開口調整
手段を設けたものである。
【0008】請求項4の発明では、請求項1の構成にお
いて、前記非圧縮性流体として磁性流体を使用し、前記
流量調整手段として磁性流体に磁場を調整して付与する
磁場調整付与手段を設けたものである。請求項5の発明
では、圧縮性流体によって作動される駆動シリンダと、
その駆動シリンダと平行に配設され、ロッドレスシリン
ダよりなる制動シリンダと、前記駆動シリンダのピスト
ンと制動シリンダのピストンとを連動可能に連結する連
結手段と、前記制動シリンダのピストンによって区画さ
れる両流体室内に流入出される非圧縮性流体と、前記流
体室内への非圧縮性流体の流量を調整する流量調整手段
とを備えたものである。
【0009】請求項6の発明では、請求項5の構成にお
いて、前記非圧縮性流体として電気粘性流体を使用し、
前記流量調整手段として電気粘性流体に電場を調整して
付与する電場調整付与手段を設けたものである。請求項
7の発明では、請求項5の構成において、前記非圧縮性
流体としてオイルを使用し、前記流量調整手段として流
体室内へのオイルの流路開口量を調整する流路開口調整
手段を設けたものである。
【0010】請求項8の発明では、請求項5の構成にお
いて、前記非圧縮性流体として磁性流体を使用し、前記
流量調整手段として磁性流体に磁場を調整して付与する
磁場調整付与手段を設けたものである。請求項9の発明
では、請求項5の構成において、前記連結手段が、駆動
シリンダと制動シリンダとの間に跨がって配設された連
結体と、その連結体と両シリンダのピストンとの間にそ
れぞれ対向して設けられたマグネットとよりなるもので
ある。
【0011】請求項10の発明では、請求項5の構成に
おいて、前記制動シリンダの両流体室が連通路を介して
連通され、前記非圧縮性流体が両流体室及び連通路に充
填されているものである。
【0012】
【作  用】上記のように構成された駆動シリンダの速
度制御装置において、圧縮性流体により駆動シリンダの
ピストンが移動されると、それに連動して制動シリンダ
のピストンが移動され、その制動シリンダの両流体室内
に非圧縮性流体が流入出される。このとき、流量調整手
段により流体室内への非圧縮性流体の流量を調整すれば
、その調整された流量に応じて制動シリンダの制動力が
変化して、駆動シリンダの速度を変更することができる
。 すなわち、流量を減少させれば、制動力が大きくなって
速度が遅くなり、流量を増加させれば、制動力が小さく
なって速度が速くなる。
【0013】又、前記非圧縮流体として電気粘性流体又
は磁性流体を使用し、流量調整手段として電場調整付与
手段又は磁場調整付与手段を使用した場合には、可動部
材がないので、耐久性が向上する。
【0014】
【実施例】以下、この発明を具体化した駆動シリンダの
速度制御装置の第1実施例を、図1及び図2に基づいて
詳細に説明する。図2に示すように、駆動シリンダ1及
び制動シリンダ2はそれぞれロッドレスシリンダより構
成され、一対のエンドブロック3,4間に平行に配設さ
れている。駆動シリンダ1は、シリンダチューブ5と、
そのシリンダチューブ5内に移動可能に設けられた一対
のピストン6と、両ピストン6を連結するピストンロッ
ド7とを備え、ピストン6によってシリンダチューブ5
内に一対の流体室8,9が区画される。各ピストン6の
外周には滑動リング10及びパッキン11が嵌着され、
ピストンロッド7の両端にはクッション体12が取り付
けられている。
【0015】前記制動シリンダ2は、シリンダチューブ
13と、そのシリンダチューブ13内に移動可能に設け
られた一対のピストン14と、両ピストン14を連結す
るピストンロッド15とを備え、ピストン14によって
シリンダチューブ13内に一対の流体室16,17が区
画される。各ピストン14の外周には滑動リング18及
びパッキン19が嵌着され、ピストンロッド15の両端
にはクッション体20が取り付けられている。
【0016】一対の入力ポート21,22は前記エンド
ブロック3に設けられ、一方の入力ポート21が駆動シ
リンダ1の一方の流体室8に連通されている。連通パイ
プ23は両エンドブロック3,4間に架設され、この連
通パイプ23を介して他方の入力ポート22が他方の流
体室9に連通されている。そして、切換バルブ(図示略
)の切り換えにより、コンプレッサ(図示略)から一方
の入力ポート21を介して一方の流体室8に圧縮性流体
が供給されたときには、駆動シリンダ1のピストン6が
左方に移動される。又、切換バルブ(図示略)の切り換
えにより、コンプレッサ(図示略)から他方の入力ポー
ト22を介して他方の流体室9に圧縮性流体が供給され
たときには、ピストン6が右方に移動される。
【0017】連通パイプ26は前記両エンドブロック3
,4間に架設され、この連通パイプ26を含めて制動シ
リンダ2の両流体室16,17を連通するための閉回路
をなす連通路27が形成されている。非圧縮性流体28
は制動シリンダ2の両流体室16,17及び連通路27
に充填され、第1実施例においては、この非圧縮性流体
28として電気粘性流体28Aが使用されている。この
電気粘性流体28Aは電場の大きさに比例して粘性が変
化する性質を有している。
【0018】連結手段を構成する連結装置29は前記駆
動シリンダ1と制動シリンダ2との間に設けられ、駆動
シリンダ1のピストン6と制動シリンダ2のピストン1
4とを連動可能に連結している。この連結装置29は、
駆動シリンダ1のシリンダチューブ5に移動可能に嵌挿
されたスライダ30と、制動シリンダ2のシリンダチュ
ーブ13に移動可能に嵌挿されたスライダ31と、両ス
ライダ30,31を連結するために駆動シリンダ1と制
動シリンダ2との間に跨がって配設された連結体として
の移動部材32とから構成されている。各一対の筒状体
33,34は両スライダ30,31内に嵌着され、その
内周面には滑動リング35,36及びスクレーパ37,
38がそれぞれ設けられている。
【0019】複数のピストン側マグネット39は前記駆
動シリンダ1のピストン6間に複数のヨーク40を介し
て配設され、このピストン側マグネット39と対向する
ように、スライダ30の内面には複数のスライダ側マグ
ネット41が複数のヨーク42を介して配設されている
。複数のピストン側マグネット43は前記制動シリンダ
2のピストン14間に複数のヨーク44を介して配設さ
れ、このピストン側マグネット43と対向するように、
スライダ31の内面には複数のスライダ側マグネット4
5が複数のヨーク46を介して配設されている。そして
、ピストン側マグネット39,43とスライダ側マグネ
ット41,45との吸着により、両シリンダ1,2のピ
ストン6,14がスライダ30,31及び移動部材32
を介して連動可能に連結されている。
【0020】流量調整手段としての流量調整装置47は
前記一方のエンドブロック3に設けられ、連通路27か
ら制動シリンダ2の流体室16,17内へ流入出する電
気粘性流体28Aの流量を調整する。そして、第1実施
例においては、この流量調整装置47として、電気粘性
流体28Aに電場を調整して付与する電場調整付与手段
としての電場調整付与装置47Aが設けられている。こ
の電場調整付与装置47Aは、絶縁体48を介して連通
路27内に配設された円筒状電極49と、その円筒状電
極49内に所定の間隙50をおいて位置するように、絶
縁体51を介して連通路27内に配設された棒状電極5
2とより構成されている。そして、リード線53を介し
て両電極49,52に印加される電圧が増減されること
によって、電場の大きさが変更され、両電極49,52
間の間隙50を通る電気粘性流体28Aの粘性が、電場
の大きさに比例して増減される。
【0021】次に、前記のように構成された駆動シリン
ダの速度制御装置について動作を説明する。さて、切換
バルブ(図示略)の切り換えにより、コンプレッサ(図
示略)からいずれか一方の入力ポート21,22を介し
て駆動シリンダ1の流体室8又は流体室9に圧縮性流体
が供給されると、駆動シリンダ1のピストン6が左方又
は右方に移動される。この駆動シリンダ1のピストン6
の移動に伴い、連動装置29のスライダ30,31及び
移動部材32を介して制動シリンダ2のピストン14が
同方向へ一体的に移動され、このピストン14の移動に
伴って、制動ピストン2の両流体室16,17間に電気
粘性流体28Aの流れが生じる。
【0022】このとき、電場調整付与装置47Aの両電
極49,51に印加される電圧が増減されると、電場の
大きさが変更されて、両電極49,52間の間隙50を
流れる電気粘性流体28Aの粘性が、電場の大きさに比
例して増減され、制動シリンダ2の制動力が増減される
。すなわち、両電極49,52の印加電圧が上がると、
電気粘性流体28Aの粘性が大きくなって、間隙50を
通る電気粘性流体28Aの流量が減少し、制動シリンダ
2の制動力が大きくなって駆動シリンダ1の速度が遅く
なる。これとは逆に、印加電圧が下がると、電気粘性流
体28Aの粘性が小さくなって間隙50を通る流量が増
大し、制動シリンダ2の制動力が小さくなって駆動シリ
ンダ1の速度が速くなる。従って、圧縮性流体によって
作動される駆動シリンダ1の速度制御を、電気信号によ
り連続して正確に行うことができる。前記間隙50を小
さくすることにより電気粘性流体28Aの流量を殆どな
くしてロック状態に近い状態にすることもできる。
【0023】又、この実施例においては、前記のように
駆動シリンダ1及び制動シリンダ2がロッドレスシリン
ダにより構成されているため、ロッド式のシリンダによ
り構成した従来装置のように、両シリンダ1,2の両端
にピストンロッドが突出することはなく、装置全体を小
型にすることができる。さらに、この実施例では、駆動
シリンダ1及び制動シリンダ2のシリンダチューブ5,
13にピストンロッド等が貫通していないため、駆動シ
リンダ1から圧縮性流体が漏れたり、制動シリンダ2か
ら非圧縮性流体としての電気粘性流体28Aが漏れたり
するのを防止することができる。
【0024】さらに、前記制動シリンダ2の両流体室1
6,17は連通路27を介して連通されて全体として閉
回路が構成され、前記非圧縮性流体28は両流体室16
,27及び連通路27に充填されているので、非圧縮性
流体28の漏洩を防止することができる。又、前記非圧
縮流体28として電気粘性流体28Aを使用し、流量調
整手段として電場調整付与手段47Aを使用した場合に
は、可動部材がないので、耐久性を向上することができ
る。
【0025】
【別の実施例】次に、この発明の第2実施例を図3に基
づいて説明する。さて、この実施例においては、制動シ
リンダ2の流体室16,17及び連通路27内に充填さ
れる非圧縮性流体28としてオイル28Bが使用され、
流体の流量を調整するための流量調整装置47として、
制動シリンダ2の流体室16,17内へのオイル28B
の流路開口量を調整する流路開口調整手段としての流路
開口調整装置47Bが設けられている。この流路開口調
整装置47Bは、一方のエンドブロック3に螺合された
フレーム56と、そのフレーム56に螺合された支持体
57と、その支持体57に回転可能に螺合されたステム
58と、制動シリンダ2の流体室16へのオイル28B
の流路59に対応するように、ステム58の内端に設け
られたニードルバルブ60と、ステム58の外端に取り
付けられた調整つまみ61とから構成されている。又、
フレーム56の内周にはステムガイド62が設けられ、
フレーム56の内周及び外周にはパッキン63,64が
設けられている。
【0026】従って、この第2実施例においては、前記
流路開口調整装置47Bの調整つまみ61によりステム
58を回動操作すれば、ニードルバルブ60が軸線方向
に移動されて流路59の開口量が調整され、圧縮性流体
による駆動シリンダ1の作動時に、流路59を流れるオ
イル28Bの流量が増減される。そして、このオイル2
8Bの流量に応じて制動シリンダ2の制動力が変化して
、駆動シリンダ1の速度が変更される。又、前記ステム
58により流路59を閉鎖すれば、制動シリンダ2がロ
ック状態となる。
【0027】次に、この発明の第3実施例を図4に基づ
いて説明する。さて、この第3実施例においては前記第
2実施例と同様に、非圧縮性流体28としてオイル28
Bが使用され、流量調整装置47として制動シリンダ2
の流体室16,17内へのオイル28Bの流路開口量を
調整する流路開口調整装置47Bが設けられている。こ
の流路開口調整装置47Bは、連通路27に連通する開
口68を有するスリーブ67と、そのスリーブ67内に
移動可能に嵌挿されたスプール69と、そのスプール6
9を一方向に付勢するバネ70とから構成されている。 電磁比例ソレノイド71はエンドブロック3の側面に装
着され、スプール69の外端を貫通固定したプランジャ
72と、そのプランジャ72の周囲に巻回配置されたコ
イル73とを備えている。
【0028】従って、この実施例においては、電磁比例
ソレノイド71のコイル73に印加される電流に応じた
大きさの磁力が発生して、プランジャ72の位置が無段
階に調整される。このプランジャ72を介してスプール
69が移動され、スリーブ67の開口68を流れるオイ
ル28Bの流量が増減される。そして、このオイル28
Bの流量に応じて制動シリンダ2の制動力が変化して、
駆動シリンダ1の速度が変更される。又、前記スプール
69により開口68が完全に閉鎖されると、制動シリン
ダ2がロック状態となる。
【0029】次に、この発明の第4実施例を図5に基づ
いて説明する。さて、この実施例においては、制動シリ
ンダ2の流体室16,17及び連通路27内に充填され
る非圧縮性流体28として磁性流体28Cが使用され、
流体の流量を調整するための流量調整装置47として、
磁性流体28Cに磁場を調整して付与する磁場調整付与
手段としての磁場調整付与装置47Cが設けられている
。この磁場調整付与装置47Cは、連通路27を取り巻
くように設けられたコア76と、そのコア76を励磁す
るコイル77とを備えている。
【0030】従って、この実施例においては、磁場調整
付与装置47Cのコイル77に印加される電流の大きさ
を調整することにより、発生する磁場の大きさが変化し
、連通路27を流れる磁性流体28Cの粘性が磁場の大
きさに比例して増減される。それにより、制動シリンダ
2の制動力が変化して、駆動シリンダ1の速度が変更さ
れる。この実施例において前記磁場調整付与装置47C
と対応する連通路27の通路面積を小さくすることによ
り、コイル77への通電時に磁性流体28Cの流れを殆
どなくして、制動シリンダ2をロック状態に近い状態に
することができる。
【0031】なお、この発明は前記各実施例の構成に限
定されるものではなく、例えば、図6に示すように制動
シリンダ2の両側方に駆動シリンダ1を配置したりして
駆動シリンダ1を複数にしたり、駆動シリンダ1をロッ
ド式シリンダにしたり、さらに非圧縮性流体28や流量
調整装置47を適宜に変更して構成したりする等、この
発明の趣旨から逸脱しない範囲で、各部の構成を任意に
変更して具体化することも可能である。
【0032】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているため、装置全体を小型化することができると共
に、制動シリンダから非圧縮性流体が漏れるのを防止す
ることができ、しかも、駆動シリンダの速度制御を連続
して正確に行うことができるという優れた効果を奏する
【0033】又、前記非圧縮流体として電気粘性流体又
は磁性流体を使用し、流量調整手段として電場調整付与
手段又は磁場調整付与手段を使用した場合には、可動部
材がないので、耐久性を向上することができる効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明を具体化した駆動シリンダの速度制御
装置の第1実施例を示す略体断面図である。
【図2】この発明を具体化した駆動シリンダの速度制御
装置の第1実施例を示す断面図である。
【図3】この発明を具体化した駆動シリンダの速度制御
装置の第2実施例を示す断面図である。
【図4】この発明を具体化した駆動シリンダの速度制御
装置の第3実施例を示す断面図である。
【図5】この発明を具体化した駆動シリンダの速度制御
装置の第4実施例を示す断面図である。
【図6】この発明を具体化した駆動シリンダの速度制御
装置の別例を示す略体断面図である。
【符号の説明】
1    駆動シリンダ 2    制動シリンダ 6    駆動シリンダのピストン 14    制動シリンダのピストン 16    制動シリンダの流体室 17    制動シリンダの流体室 27    連通路 28    非圧縮性流体 28A  電気粘性流体 28B  オイル 28C  磁性流体 29    連結手段としての連結装置32    連
結体としての移動部材 39    ピストン側マグネット 41    スライダ側マグネット 43    ピストン側マグネット 45    スライダ側マグネット

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  圧縮性流体によって作動されるピスト
    ン(6)を有する駆動シリンダ(1)と、ロッドレスシ
    リンダよりなり、前記駆動シリンダ(1)のピストン(
    6)に連動するピストン(14)を有する制動シリンダ
    (2)と、その制動シリンダ(2)のピストン(14)
    によって区画される両流体室(16,17)内に流入さ
    れるとともに、流出される非圧縮性流体(28)と、前
    記流体室(16,17)内への非圧縮性流体(28)の
    流量を調整する流量調整手段(47)とを備えたことを
    特徴とする駆動シリンダの速度制御装置。
  2. 【請求項2】  前記非圧縮性流体(28)として電気
    粘性流体(28A)を使用し、前記流量調整手段(47
    )として電気粘性流体(28A)に電場を調整して付与
    する電場調整付与手段(47A)を設けたことを特徴と
    する請求項1の駆動シリンダの速度制御装置。
  3. 【請求項3】  前記非圧縮性流体(28)としてオイ
    ル(28B)を使用し、前記流量調整手段(47)とし
    て流体室(16,17)内へのオイル(28B)の流路
    開口量を調整する流路開口調整手段(47B)を設けた
    ことを特徴とする請求項1の駆動シリンダの速度制御装
    置。
  4. 【請求項4】  前記非圧縮性流体(28)として磁性
    流体(28C)を使用し、前記流量調整手段(47)と
    して磁性流体(28C)に磁場を調整して付与する磁場
    調整付与手段(47C)を設けたことを特徴とする請求
    項1の駆動シリンダの速度制御装置。
  5. 【請求項5】  圧縮性流体によって作動される駆動シ
    リンダ(1)と、その駆動シリンダ(1)と平行に配設
    され、ロッドレスシリンダよりなる制動シリンダ(2)
    と、前記駆動シリンダ(1)のピストン(6)と制動シ
    リンダ(2)のピストン(14)とを連動可能に連結す
    る連結手段(29)と、前記制動シリンダ(2)のピス
    トン(14)によって区画される両流体室(16,17
    )内に流入されるとともに、流出される非圧縮性流体(
    28)と、前記流体室(16,17)内への非圧縮性流
    体(28)の流量を調整する流量調整手段(47)とを
    備えたことを特徴とする駆動シリンダの速度制御装置。
  6. 【請求項6】  前記非圧縮性流体(28)として電気
    粘性流体(28A)を使用し、前記流量調整手段(47
    )として電気粘性流体(28A)に電場を調整して付与
    する電場調整付与手段(47A)を設けたことを特徴と
    する請求項5の駆動シリンダの速度制御装置。
  7. 【請求項7】  前記非圧縮性流体(28)としてオイ
    ル(28B)を使用し、前記流量調整手段(47)とし
    て流体室(16,17)内へのオイル(28B)の流路
    開口量を調整する流路開口調整手段(47B)を設けた
    ことを特徴とする請求項5の駆動シリンダの速度制御装
    置。
  8. 【請求項8】  前記非圧縮性流体(28)として磁性
    流体(28C)を使用し、前記流量調整手段(47)と
    して磁性流体(28C)に磁場を調整して付与する磁場
    調整付与手段(47C)を設けたことを特徴とする請求
    項5の駆動シリンダの速度制御装置。
  9. 【請求項9】  前記連結手段(29)は、駆動シリン
    ダ(1)と制動シリンダ(2)との間に跨がって配設さ
    れた連結体(32)と、その連結体(32)と両シリン
    ダ(1,2)のピストン(6,14)との間にそれぞれ
    対向して設けられたマグネット(39,41,43,4
    5)とよりなることを特徴とする請求項5の駆動シリン
    ダの速度制御装置。
  10. 【請求項10】  前記制動シリンダ(2)の両流体室
    (16,17)は連通路(27)を介して連通されて全
    体として閉回路が構成され、前記非圧縮性流体(28)
    は両流体室(16,27)及び連通路(27)に充填さ
    れていることを特徴とする請求項5の駆動シリンダの速
    度制御装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6837919B2 (en) 1994-05-04 2005-01-04 Nippon Shokubai Co., Ltd. Method for deaerating electrorheological fluid in a closed device
CN111396401A (zh) * 2020-04-17 2020-07-10 安徽捷迅光电技术有限公司 一种气缸负载脱磁检测仪及其检测方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1182421A (ja) * 1997-09-04 1999-03-26 Ckd Corp マグネット式ロッドレスシリンダ及びそのストローク位置調整体

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5876804U (ja) * 1981-11-19 1983-05-24 焼結金属工業株式会社 ロツドレスシリンダ
JPH01122504U (ja) * 1988-02-17 1989-08-21
JPH01312208A (ja) * 1988-06-10 1989-12-18 Ckd Corp 駆動シリンダの速度制御装置
JPH02132101U (ja) * 1989-04-07 1990-11-02
JPH03282004A (ja) * 1990-03-28 1991-12-12 Koganei Ltd 速度制御装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5876804U (ja) * 1981-11-19 1983-05-24 焼結金属工業株式会社 ロツドレスシリンダ
JPH01122504U (ja) * 1988-02-17 1989-08-21
JPH01312208A (ja) * 1988-06-10 1989-12-18 Ckd Corp 駆動シリンダの速度制御装置
JPH02132101U (ja) * 1989-04-07 1990-11-02
JPH03282004A (ja) * 1990-03-28 1991-12-12 Koganei Ltd 速度制御装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6837919B2 (en) 1994-05-04 2005-01-04 Nippon Shokubai Co., Ltd. Method for deaerating electrorheological fluid in a closed device
CN111396401A (zh) * 2020-04-17 2020-07-10 安徽捷迅光电技术有限公司 一种气缸负载脱磁检测仪及其检测方法

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