JPH1182421A - マグネット式ロッドレスシリンダ及びそのストローク位置調整体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 一対の追従体が互いに独立して追従移動可能
であるため用途の広いマグネット式ロッドレスシリンダ
を提供すること。 【解決手段】 このマグネット式ロッドレスシリンダ１
では、磁気吸引力により追従体３１，３２がピストン２
１，２２に追従して移動する。第１のシリンダチューブ
５内に収容された第１のピストン２１と第１の追従体３
１との間に磁気吸引力を作用させる。第２のシリンダチ
ューブ６内に収容された第２のピストン２２と第２の追
従体３２との間に磁気吸引力を作用させる。第１のピス
トン２１が区画する両圧力作用室ＲＵ1 ，ＲＵ2 及び第
２のピストン２２が区画する両圧力作用室ＲＬ1 ，ＲＬ
2 に対して個別に駆動流体を給排しうる流路を設け、両
ピストン２１，２２が互いに独立して駆動可能となるよ
うに構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マグネット式ロッ
ドレスシリンダ及びそのストローク位置調整体に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ロッドを備えないタイプのシリン
ダ（いわゆるロッドレスシリンダ）の一種としてマグネ
ット式ロッドレスシリンダがいくつか提案されている。
その例としては、特開平３−１５３９０５号公報に開示
されたものがある。

【０００３】前記従来例のマグネット式ロッドレスシリ
ンダでは、一対のヘッドカバー間に一対のシリンダチュ
ーブが平行に架設されている。第１のシリンダチューブ
内には第１のピストンが移動可能に収容されており、第
２のシリンダチューブ内には第２のピストンが移動可能
に収容されている。第１及び第２のピストンはその両端
側にそれぞれ圧力作用室を区画している。両シリンダチ
ューブにおいて一側の圧力作用室は加圧室となってお
り、他側の圧力作用室は作動伝達通路を介して互いに連
通されている。また、前記他側の作動伝達通路内には作
動伝達流体が充填されている。シリンダチューブの外側
には一対の追従体が移動可能に設けられている。追従体
とピストンとの間には磁気吸引力が作用し、それにより
追従体がピストンに追従して移動するようになってい
る。

【０００４】従って、このロッドレスシリンダでは、い
ずれか一方の加圧室に駆動流体を供給すれば、両ピスト
ンが同期して互いに逆方向に移動し、それに伴って追従
体も同期して追従移動するようになっている。また、従
来例の構成であると、両追従体はストロークの中間点に
到る寸前で互いに当接し合って停止するようになってい
る。このようなことから、同ロッドレスシリンダは例え
ばチャック装置用アクチュエータとして利用されてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来例のロ
ッドレスシリンダでは、２つの追従体を同期して追従移
動させることはできても、それらを独立して追従移動さ
せることは構造的にみてできなかった。従って、用途が
限定されてしまうという問題があった。

【０００６】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、一対の追従体が互いに独立して追
従移動可能であるため用途の広いマグネット式ロッドレ
スシリンダを提供することにある。

【０００７】また、本発明の別の目的は、上記の優れた
ロッドレスシリンダを実現するうえで好適なストローク
位置調整体を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明では、一対のヘッドカバー
間に平行に架設された一対のシリンダチューブと、前記
シリンダチューブ内に摺動可能に収容されかつその両端
側にそれぞれ圧力作用室を区画する一対のピストンと、
前記シリンダチューブ外に移動可能に設けられる一対の
追従体とを備え、前記ピストンと前記追従体との間に作
用する磁気吸引力により前記追従体が前記ピストンに追
従して移動するマグネット式ロッドレスシリンダにおい
て、第１のシリンダチューブ内に収容された第１のピス
トンと第１の追従体との間に磁気吸引力を作用させ、か
つ第２のシリンダチューブ内に収容された第２のピスト
ンと第２の追従体との間に磁気吸引力を作用させるとと
もに、前記第１のピストンが区画する両圧力作用室及び
前記第２のピストンが区画する両圧力作用室に対して個
別に駆動流体を給排しうる流路を設けることで、前記両
ピストンが互いに独立して駆動可能となるように構成し
たことを特徴とするマグネット式ロッドレスシリンダを
その要旨とする。

【０００９】請求項２に記載の発明では、請求項１にお
いて、前記両追従体には２つの挿通孔が形成され、それ
らの挿通孔には両方のシリンダチューブが摺動可能に嵌
挿されていることとした。

【００１０】請求項３に記載の発明では、請求項１また
は２において、ストロークの途上において前記追従体及
び前記ピストンのうちの少なくともいずれかの移動を規
制するためのストローク位置調整体を設けたこととし
た。

【００１１】請求項４に記載の発明では、請求項３にお
いて、前記ストローク位置調整体は前記両シリンダチュ
ーブにそれぞれ内蔵されていることとした。請求項５に
記載の発明では、請求項４において、前記各ストローク
位置調整体は、それ自身がチューブ長手方向に沿って位
置調整可能に設けられていることとした。

【００１２】請求項６に記載の発明では、請求項４にお
いて、前記各ストローク位置調整体は、前記両追従体を
ストロークの途上における同一位置に停止させうるよう
にそれ自身がチューブ長手方向に沿って位置調整可能に
設けられていることとした。

【００１３】請求項７に記載の発明では、請求項４乃至
６のいずれか１項において、前記ストローク位置調整体
は、前記シリンダチューブの端部を封止している封止体
に棒状部材を螺入し、その棒状部材の内端にピストン当
接部材を設け、そのピストン当接部材に自身の両端面を
連通する連通路を形成したものであることとした。

【００１４】請求項８に記載の発明では、一対のヘッド
カバー間に架設されたシリンダチューブ内に摺動可能に
収容されたピストンの移動を同シリンダチューブ内にて
規制するマグネット式ロッドレスシリンダのストローク
位置調整体であって、前記シリンダチューブの端部を封
止している封止体に螺入される棒状部材と、その棒状部
材の内端に設けられるピストン当接部材とからなり、そ
のピストン当接部材には自身の両端面を連通する連通路
が形成されていることを特徴とするマグネット式ロッド
レスシリンダのストローク位置調整体をその要旨とし
た。

【００１５】以下、本発明の「作用」について説明す
る。請求項１〜７に記載の発明によると、第１のピスト
ンが区画する両圧力作用室のうちのいずれかに駆動流体
を供給すれば、第１の追従体のみがそれに追従して移動
する。また、第２のピストンが区画する両圧力作用室の
うちのいずれかに駆動流体を供給すれば、第２の追従体
のみがそれに追従して移動する。従って、両追従体を互
いに他方と独立して追従移動させることができ、結果と
して用途が広くなる。

【００１６】請求項２に記載の発明によると、駆動に関
与しないピストンが収容されている側のシリンダチュー
ブがいわばガイドとして機能するため、追従体がチュー
ブ長手方向に沿ってスムーズに摺動する。ゆえに、追従
体にがたつき等が起こりにくくなり、高速での駆動等に
適したものとなる。

【００１７】請求項３に記載の発明によると、追従体及
びピストンのうちの少なくともいずれかがストローク位
置調整体に当接することよって、追従体がストロークの
途上の所定位置において停止する。

【００１８】請求項４に記載の発明によると、ストロー
ク位置調整体をシリンダチューブに内蔵した結果、装置
全体の外観がすっきりしたものとなり、かつ大型化が回
避される。また、ストローク位置調整体は両シリンダチ
ューブにそれぞれ内蔵されていることから、両追従体の
停止位置を個別に調整することができる。

【００１９】請求項５，６に記載の発明によると、スト
ローク位置調整体自身の位置調整を行うことにより、両
追従体がストロークの途上において停止する位置を任意
に変更することができる。特に請求項６に記載の発明で
は、両追従体をストロークの途上における同一位置に停
止させることができる。従って、例えば同一位置に搬送
されてくるワークを両追従体に交互に受け渡すような用
途にも確実に対応することができる。

【００２０】請求項７，８に記載の発明によると、シリ
ンダチューブ内にあるピストン当接部材にピストンの端
面が当接することでピストンの移動が規制される結果、
ストロークの途上の所定位置でピストンが停止する。こ
の場合、棒状部材の螺入量を変えてピストン当接部材の
位置をチューブ長手方向に沿って変更することにより、
追従体の停止位置を任意にかつ簡単に変更することがで
きる。なお、ピストン当接部材には駆動流体の流通が可
能な連通路が形成されているため、ピストンの両端面へ
駆動流体を確実に作用させることができる。ゆえに、ピ
ストン当接部材を設けたとしてもピストンの動作性が低
下するようなことはない。

【００２１】

【発明の実施の形態】

［第１の実施形態］以下、本発明を具体化した一実施形
態のマグネット式ロッドレスシリンダを図１〜図５に基
づき詳細に説明する。

【００２２】図１，図２等に示されるように、このマグ
ネット式ロッドレスシリンダ１は一対のヘッドカバー２
を備えている。これらのヘッドカバー２はそれぞれ２つ
の貫通孔３を備えている。両ヘッドカバー２において貫
通孔３の内端側開口には、一対のシリンダチューブ５，
６の両端がそれぞれ嵌着されている。従って、両シリン
ダチューブ５，６は一対のヘッドカバー２間に平行に架
設された状態となっている。これらのシリンダチューブ
５，６は、非磁性材料からなる円筒状かつ等断面形状の
金属部材であって、押出成形等により作製されたもので
ある。また、使用される両シリンダチューブ５，６の長
さは等しい。

【００２３】前記貫通孔３内には、封止体としてのエン
ドキャップ７，８が嵌着されている。エンドキャップ
７，８の一端側はシリンダチューブ５，６の端部開口に
対して嵌合している。その結果、シリンダチューブ５，
６が封止され、その内部にピストン収容空間が形成され
ている。両エンドキャップ７，８の外周面と貫通孔３の
内周面との間には、駆動流体としての加圧エアの漏れを
防止するために複数のガスケット９が介装されている。

【００２４】２種類あるエンドキャップ７，８のうち、
第１のエンドキャップ７の中心部には、その軸線方向に
沿って連通路１０が貫通形成されている。この連通路１
０は、さらに同エンドキャップ７の半径方向に延びる連
通路１１を介し、ヘッドカバー２の側面に設けられたポ
ート１２に連通している。なお、前記連通路１０の外端
側はボルト等によって封止されている。

【００２５】第２のエンドキャップ８の中心部には、そ
の軸線方向に沿って連通路１３が貫通形成されている。
この連通路１３は、さらに同エンドキャップ８の半径方
向に延びる連通路１４を介し、ヘッドカバー２の側面に
設けられたポート１５に連通している。第２のエンドキ
ャップ８は、第１のエンドキャップ７とは異なりその外
端側がヘッドカバー２から若干突出している。

【００２６】図２（ａ）等において、上側にあるものを
第１のシリンダチューブ５と、下側にあるものを第２の
シリンダチューブ６と、便宜上呼ぶことにする。第１の
シリンダチューブ５のピストン収容空間内には、第１の
ピストン２１が摺動可能に収容されている。第１のピス
トン２１は前記ピストン収容空間内を２つの領域に区画
して、その両端側にそれぞれ圧力作用室ＲＵ1 ，ＲＵ2
を形成する。第１の圧力作用室ＲＵ1 は第１のピストン
２１の左端側に位置し、第２の圧力作用室ＲＵ2 は同ピ
ストン２１の右端側に位置する。そして、第１の圧力作
用室ＲＵ1 は、連通路１３，１４からなる流路を介して
ポート１５に連通されている。一方、第２の圧力作用室
ＲＵ2 は、連通路１０，１１からなる流路を介してポー
ト１２に連通されている。

【００２７】第２のシリンダチューブ６のピストン収容
空間内には、第２のピストン２２が摺動可能に収容され
ている。第２のピストン２２は前記ピストン収容空間内
を２つの領域に区画して、その両端側にそれぞれ圧力作
用室ＲＬ1 ，ＲＬ2 を形成する。第１の圧力作用室ＲＬ
1 は第２のピストン２２の右端側に位置し、第２の圧力
作用室ＲＬ2 は同ピストン２２の左端側に位置する。そ
して、第１の圧力作用室ＲＬ1 は、連通路１３，１４か
らなる流路を介してポート１５に連通されている。一
方、第２の圧力作用室ＲＬ2 は、連通路１０，１１から
なる流路を介してポート１２に連通されている。

【００２８】即ち、４つの圧力作用室ＲＵ1 ，ＲＵ2 ，
ＲＬ1 ，ＲＬ2 には、個々の流路を介して個別に加圧エ
アが給排されるような構成になっている。ここで、図３
等に基づいて、両ピストン２１，２２の構成について簡
単に説明する。両ピストン２１，２２は、ともにピスト
ン本体２３、永久磁石２４、ヨーク２５、ピストンシャ
フト２６、クッションリング２７、ピストンパッキン２
８、ピストンウェアリング２９を組み付けることによっ
て構成されている。ピストン本体２３は一対存在し、環
状の部材である永久磁石２４及びヨーク２５は両ピスト
ン本体２３の間に交互に配置されている。ピストン本体
２３、永久磁石２４及びヨーク２５にはピストンシャフ
ト２６が挿通されていて、同ピストンシャフト２６によ
りこれら２３，２４，２５が互いに固定されている。ピ
ストンシャフト２６の両端部には、ウレタンゴム等から
なる環状のクッションリング２７が設けられている。同
クッションリング２７は、ピストン２１，２２がストロ
ークエンド等において受ける衝撃を緩和する役割を果た
す。ピストンパッキン２８及びピストンウェアリング２
９は、摺動部分であるピストン本体２３の外周面に介装
されている。

【００２９】本実施形態のロッドレスシリンダ１は、図
１〜図３に示されるように追従体としてのスライダ３
１，３２を２つ備えている。両スライダ３１，３２は、
ともにスライダ本体３３、永久磁石３４、ヨーク３５、
スペーサ３６、ストッパ取付孔３７、ストッパ３８、カ
バー３９、スライダウェアリング４０等を組み付けるこ
とによって構成されている。スライダ本体３３における
２箇所には挿通孔３０が形成されている。スライダ３
１，３２の進行方向側の端面にて開口するこれらの挿通
孔３０には、両方のシリンダチューブ５，６がそれぞれ
摺動可能に嵌挿されている。

【００３０】２つある挿通孔３０のうち一方のものの内
周面には、永久磁石３４及びヨーク３５が収容されてい
る。これらの永久磁石３４及びヨーク３５の厚さや枚数
は、ピストン２１，２２側の永久磁石２４及びヨーク２
５の厚さや枚数と同一であって、互いに対応する位置関
係にある。ただし、ピストン２１，２２側の永久磁石２
４の極性は、スライダ３１，３２側の永久磁石３４の極
性とは同一ではない。そのため、両者２４，３４は磁気
的に吸引関係にある。

【００３１】第１のスライダ３１おいては、永久磁石３
４及びヨーク３５は、第１のシリンダチューブ５が嵌挿
されているほうの挿通孔３０にのみ収容されている。従
って、磁気吸引力は第１のスライダ３１と第１のピスト
ン２１との間でのみ作用し、同スライダ３１と第２のピ
ストン２２との間では作用しない。ゆえに、第１のピス
トン２１が駆動されるときのみ、第１のスライダ３１が
両シリンダチューブ５，６の長手方向に沿って追従移動
するようになっている。

【００３２】第２のスライダ３２においては、永久磁石
３４及びヨーク３５は、第２のシリンダチューブ６が嵌
挿されているほうの挿通孔３０にのみ収容されている。
従って、磁気吸引力は第２のスライダ３２と第２のピス
トン２２との間でのみ作用し、同スライダ３２と第１の
ピストン２１との間では作用しない。ゆえに、第２のピ
ストン２２が駆動されるときのみ、第２のスライダ３２
が両シリンダチューブ５，６の長手方向に沿って追従移
動するようになっている。

【００３３】永久磁石３４及びヨーク３５は、交互に配
置された状態で一対のカバー３９により両端側から固定
されている。このようなカバー３９の内周面外側部にス
クレーパを設置してもよい。スライダ３１，３２にはス
トッパ取付孔３７が形成されている。ストッパ３８はそ
のストッパ取付孔３７の両端開口に装着されている。前
記ストッパ３８は、スライダ３１，３２がストロークの
終端に達したときにヘッドカバー２の内端面に衝突す
る。その結果、スライダ３１，３２に加わる衝撃が緩衝
されるようになっている。

【００３４】図２等に示されるように、このロッドレス
シリンダ１はストローク位置調整体４１を備えている。
本実施形態のストローク位置調整体４１は、両方のシリ
ンダチューブ５，６にそれぞれ内蔵されている。従っ
て、ここでのストローク位置調整体４１は、ストローク
の途上においてピストン２１，２２の移動を規制する役
割を果たす。ストローク位置調整体４１を構成する棒状
部材としてのロッド４２は、その両端に雄ねじ部を備え
ている。本実施形態では、同ロッド４２の長さはシリン
ダチューブ５，６の長さの約半分程度に設定されてい
る。第２のエンドキャップ８の連通路１３における小径
領域には、ロッド４２の基端側の雄ねじ部に対応する雌
ねじ部が形成されている。従って、前記ロッド４２は前
記連通路１３に対して螺入可能となっている。第２のエ
ンドキャップ８の外端面側には、ロッド４２の位置決め
を図るためのナット４５が設けられている。同ナット４
５は、ヘッドカバー２から突出しているロッド４２の基
端側周面に螺着されている。また、連通路１３の大径領
域とロッド４２の周面との間には、加圧エアの流通のた
めに若干の間隙が確保されるようになっている。

【００３５】図３，図４等に示されるように、ロッド４
２の先端（内端）側には、ピストン当接部材としてのピ
ストンストッパ４３が設けられている。ピストンストッ
パ４３は、シリンダチューブ５，６の内径にほぼ等しい
直径を有する円柱状の部材である。ピストンストッパ４
３の中心部には貫通孔４３ａが設けられている。貫通孔
４３ａの一方の側（即ちピストン２１，２２が当接しな
い側）の開口には、前記ロッド４２の内端が螺着されて
いる。ピストンストッパ４３には、自身の両端面を連通
する連通路４４が形成されている。このような連通路４
４は、貫通孔４３ａを包囲するようにピストンストッパ
４３の複数箇所に形成されている。また、ピストンスト
ッパ４３には前記各連通路４４とは別に連通路４６が形
成されている。前記連通路４６は各連通路４４と直交す
る位置関係にあり、内部で互いに連通し合っている。各
連通路４４の一端はピストンストッパ４３の外周面にお
いて開口し、その他端は貫通孔４３ａにある当接側空間
Ｓ1 において開口している。加圧エアはこれらの連通路
４４，４６を介して流通することが可能である。

【００３６】ピストンストッパ４３は、それ自身がシリ
ンダチューブ５，６の長手方向に沿って位置調整可能で
ある（図４参照）。即ち、ピストンストッパ４３の位置
は、ロッド４２の螺入量を増減することにより変更する
ことができる。図２には、両スライダ３１，３２をスト
ロークの途上における同一位置に停止させるような位置
に両ピストンストッパ４３を設置した状態が示されてい
る。

【００３７】次に、上記のように構成されたマグネット
式ロッドレスシリンダ１の動作について説明する。同ロ
ッドレスシリンダ１を使用するにあたって、まず、４つ
のポート１２，１５を図示しない流体供給源に接続す
る。流体供給源との間をつなぐ配管には電磁弁等が配置
される。なお、図２（ａ）のように、第１のスライダ３
１が右側ストロークエンドにありかつ第２のスライダ３
２が左側ストロークエンドにある状態を初期状態とす
る。

【００３８】左側ヘッドカバー２のポート１２のみに加
圧エアを供給した場合、その加圧エアは、連通路１１，
１０からなる流路を通り抜け、第２のピストン２２が区
画する第２の圧力作用室ＲＬ2 内に到る。その結果、第
２の圧力作用室ＲＬ2 内のエア圧が高くなり、第２のピ
ストン２２が右側方向に押圧される。一方、第２のピス
トン２２が区画する第１の圧力作用室ＲＬ1 内のエア
は、連通路１３，１４からなる流路を通り抜け、右側ヘ
ッドカバー２のポート１５から外部に排出される。第１
の圧力作用室ＲＬ1 内にはピストンストッパ４３が存在
するものの、エアは連通路４４，４６を介してピストン
ストッパ４３の反対側端面に通り抜けることができる。
従って、上記の場合には第２のピストン２２のみが右側
方向に摺動するとともに、第２のスライダ３２のみがそ
れと同じ方向に追従移動を行う。その結果、図５（ａ）
のような状態となる。

【００３９】図５（ａ）においては、第２のピストン２
２がピストンストッパ４３の端面に当接することでその
移動が規制され、同ピストン２２及び第２のスライダ３
２がストロークの途上において停止する。なお、この停
止位置は両ヘッドカバー２からの距離が等しい点（中間
点）である。かかる中間点に対応する位置にはベルトコ
ンベア等の図示しない搬送手段が設けられている。そし
て、このような搬送手段は図示しないワークを第２のス
ライダ３２上に受け渡す。

【００４０】次に、右側ヘッドカバー２のポート１５の
みに加圧エアを供給した場合、その加圧エアは、連通路
１４，１３からなる流路を通り抜け、第２のピストン２
２が区画する第１の圧力作用室ＲＬ1 内に到る。その結
果、第１の圧力作用室ＲＬ1内のエア圧が高くなり、第
２のピストン２２が左側方向に押圧される。なお、同圧
力作用室ＲＬ1 内において第２のピストン２２の手前に
は、ピストンストッパ４３が存在している。しかし、ピ
ストンストッパ４３には連通路４４，４６が形成されて
いるので、加圧エアはそこを通り抜けて第２のピストン
２２がある側に到ることができる。一方、第２のピスト
ン２２が区画する第２の圧力作用室ＲＬ2 内のエアは、
連通路１０，１１からなる流路を通り抜け、左側ヘッド
カバー２のポート１２から外部に排出される。従って、
上記の場合には第２のピストン２２のみが左側方向に摺
動するとともに、第２のスライダ３２のみがそれと同じ
方向に追従移動を行う。その結果、図２（ａ）のような
初期状態に復帰する。例えば、ワークは左側ストローク
エンドの位置で別の搬送手段等に受け渡される。

【００４１】右側ヘッドカバー２のポート１２のみに加
圧エアを供給した場合、その加圧エアは、連通路１１，
１０からなる流路を通り抜け、第１のピストン２１が区
画する第２の圧力作用室ＲＵ2 内に到る。その結果、第
２の圧力作用室ＲＵ2 内のエア圧が高くなり、第１のピ
ストン２１が左側方向に押圧される。一方、第１のピス
トン２１が区画する第１の圧力作用室ＲＵ1 内のエア
は、連通路１３，１４からなる流路を通り抜け、左側ヘ
ッドカバー２のポート１５から外部に排出される。第１
の圧力作用室ＲＵ1 内にはピストンストッパ４３が存在
するものの、エアは連通路４４，４６を介してピストン
ストッパ４３の反対側端面に通り抜けることができる。
従って、上記の場合には第１のピストン２１のみが左側
方向に摺動するとともに、第１のスライダ３１のみがそ
れと同じ方向に追従移動を行う。その結果、図５（ｂ）
のような状態となる。

【００４２】図５（ｂ）においては、第１のピストン２
１がピストンストッパ４３の端面に当接することでその
移動が規制され、同ピストン２１及び第１のスライダ３
１がストロークの途上において停止する。上述のとおり
この停止位置は両ヘッドカバー２の中間点であって、同
位置に設けられた搬送手段は図示しないワークを第１の
スライダ３１上に受け渡す。

【００４３】次に、左側ヘッドカバー２のポート１５の
みに加圧エアを供給した場合、その加圧エアは、連通路
１４，１３からなる流路を通り抜け、第１のピストン２
１が区画する第１の圧力作用室ＲＵ1 内に到る。その結
果、第１の圧力作用室ＲＵ1内のエア圧が高くなり、第
１のピストン２１が右側方向に押圧される。なお、同圧
力作用室ＲＵ1 内において第１のピストン２１の手前に
は、ピストンストッパ４３が存在している。しかし、ピ
ストンストッパ４３には連通路４４，４６が形成されて
いるので、加圧エアはそこを通り抜けて第１のピストン
２１がある側に到ることができる。一方、第１のピスト
ン２１が区画する第２の圧力作用室ＲＵ2 内のエアは、
連通路１０，１１からなる流路を通り抜け、右側ヘッド
カバー２のポート１２から外部に排出される。従って、
上記の場合には第１のピストン２１のみが右側方向に摺
動するとともに、第１のスライダ３１のみがそれと同じ
方向に追従移動を行う。その結果、図２（ａ）のような
初期状態に復帰する。例えば、ワークは右側ストローク
エンドの位置で別の搬送手段等に受け渡される。

【００４４】さらに、右側ヘッドカバー２のポート１２
及び左側ヘッドカバー２のポート１２に同時に加圧エア
を供給した場合、両ピストン２１，２２は互いに近づき
合う方向に摺動する。従って、両スライダ３１，３２
は、対応するピストン２１，２２と同じ方向に追従移動
を行い、ストロークの中間点に到る寸前で互いに当接し
合って停止する（図５(c) 参照）。逆に右側ヘッドカバ
ー２のポート１５及び左側ヘッドカバー２のポート１５
に同時に加圧エアを供給した場合、両ピストン２１，２
２は互いに遠ざかる方向に摺動する。従って、両スライ
ダ３１，３２は、対応するピストン２１，２２と同じ方
向に追従移動を行い、図２（ａ）の初期状態に復帰す
る。つまり、２つのスライダ３１，３２を独立して追従
移動させることができることに加え、従来のようにそれ
らを同期して追従移動させることもできる。従って、上
記の場合には両スライダ３１，３２にそれぞれ把持片を
取り付けておくことにより、流体圧を利用したチャック
装置として機能させることができる。

【００４５】さて、以下に本実施形態において特徴的な
作用効果を列挙する。 （イ）本実施形態のロッドレスシリンダ１では、両ピス
トン２１，２２が互いに独立して駆動可能となるように
構成されているので、両スライダ３１，３２を互いに他
方と独立して追従移動させることができる。その結果、
動作のバリエーションが確実に増え、用途の広いマグネ
ット式ロッドレスシリンダ１を実現することができる。
勿論、図５（ｄ），図５（ｅ）のように、両スライダ３
１，３２の停止位置（ワーク受け渡し位置）が中間点か
らずれた位置に設定することも可能である。

【００４６】（ロ）本実施形態のロッドレスシリンダ１
では、スライダ本体３３に形成された２つの挿通孔３０
に両方のシリンダチューブ５，６が摺動可能に嵌挿され
ている。従って、駆動に関与しないピストン２１，２２
が収容されている側のシリンダチューブ５，６がいわば
ガイドとして機能する。そのため、スライダ３１，３２
がチューブ長手方向に沿ってスムーズに摺動する。ゆえ
に、動作時にスライダ３１，３２にがたつき等が起こり
にくくなり、高速での駆動等に適したものとすることが
できる。

【００４７】（ハ）本実施形態のロッドレスシリンダ１
では、ロッド４２の一部が突出しているとはいえども、
ストローク位置調整体４１がシリンダチューブ５，６に
ほぼ全体的に内蔵されている。その結果、外付けタイプ
のストローク位置調整体を用いた場合と比べて、装置全
体の外観がすっきりしたものとなり、意匠性を向上させ
ることができる。しかも、この構成であると装置全体の
大型化を回避することができる。また、ストローク位置
調整体４１は両シリンダチューブ５，６にそれぞれ内蔵
されていることから、両スライダ３１，３２の停止位置
を個別に調整をすることができる。このことは動作のバ
リエーションの増加に貢献している。

【００４８】（ニ）本実施形態のロッドレスシリンダ１
では、ストローク位置調整体４１のピストンストッパ４
３の位置調整を行うことにより、両スライダ３１，３２
がストロークの途上において停止する位置を任意に変更
することができる。このことも動作のバリエーションの
増加に貢献している。

【００４９】（ホ）本実施形態のロッドレスシリンダ１
では、ロッド４２とピストンストッパ４３という比較的
簡単な構造からなるストローク位置調整体４１を採用し
ている。従って、ロッド４２の螺入量を変えてピストン
ストッパ４３の位置をチューブ長手方向に沿って変更す
ることにより、スライダ３１，３２の停止位置を任意に
かつ簡単に変更することができる。なお、ピストンスト
ッパ４３には加圧エアの流通が可能な連通路４４，４６
が形成されている。そのため、ピストン２１，２２の両
端面へ加圧エアを確実に作用させることができる。ゆえ
に、ピストンストッパ４３を設けたとしても、それに伴
ってピストン２１，２２の動作性が低下するようなこと
はない。

【００５０】（ヘ）本実施形態のロッドレスシリンダ１
では、ピストン２１，２２の両端面にクッションリング
２７が設けられている。ゆえに、ピストン２１，２２が
ストロークエンドにおいて受ける衝撃が緩和されるとと
もに、ピストン２１，２２がピストンストッパ４３に当
接する際の衝撃も緩和される。従って、ピストン２１，
２２のバウンド防止、騒音の低減及びピストンストッパ
４３等の破損防止が図られる。

【００５１】（ト）本実施形態では、ピストンストッパ
４３の両端面を連通する連通路４４に加え、それに直交
する連通路４６が形成されている。また、その連通路４
６は当接側空間Ｓ1 に連通している。従って、このよう
な構成であると以下の点で有利である。即ち、クッショ
ンリング２７がピストンストッパ４３の一端面に当接し
た場合、両者２７，４３の界面に空間が全く形成されな
いとすると、当該界面が負圧となり両者２７，４３が密
着してしまうおそれがある。その点、本実施形態では連
通路４４，４６を介して当接側空間Ｓ1 にエアが流入し
うるため、前記界面が負圧になることもなく、クッショ
ンリング２７とピストンストッパ４３との密着が確実に
防止される。従って、ロッドレスシリンダ１が動作性の
低下を来すことがない。

【００５２】（チ）本実施形態のスライダ３１，３２で
は、一方のシリンダチューブ５，６が嵌挿されているほ
うの挿通孔３０にのみ、永久磁石３４及びヨーク３５等
が収容されている。従って、スライダ３１，３２が一方
側のピストン２１，２２に追従して移動を行う際でも、
他方側のピストン２１，２２の磁気の影響を受けること
がない。また、このような構成であると、スライダ３
１，３２の軽量化にもつながる。以上２つのことから、
ロッドレスシリンダ１の動作性を向上させることができ
る。 ［第２の実施形態］次に、本発明を具体化した実施形態
２のマグネット式ロッドレスシリンダ５１を図６〜図８
に基づいて説明する。ここでは、主として実施形態１と
相違する構成について言及し、共通する構成については
同じ部材番号を付すのみとしてその説明を省略する。な
お、特に言及しない構成については実施形態１のそれと
等しいものとする。

【００５３】本実施形態のロッドレスシリンダ５１で
は、実施形態１のようなチューブ内蔵タイプのストロー
ク位置調整体４１に代えて、外付けタイプのストローク
位置調整体を採用している。即ち、ここではストローク
位置調整体として一対の流体圧シリンダ５２，５３を用
いている。各流体圧シリンダ５２，５３のシリンダチュ
ーブＴ1 内には、ピストンＰ1 が摺動可能に収容されて
いる。ピストンＰ1 の一端面にはロッドＲ1 の一端が固
定されており、その他端はシリンダチューブＴ1の外部
に突出している。これらの流体圧シリンダ５２，５３に
は、加圧エア等の駆動流体が図示しないポートを介して
給排される。その結果、ロッドＲ1 がシリンダチューブ
Ｔ1 から出没するようになっている。一対の流体圧シリ
ンダ５２，５３は例えばロッドレスシリンダ５１の外部
に設置される。勿論、両ヘッドカバー２などにブラケッ
トを延設し、そこに両流体圧シリンダ５２，５３を固定
しても差し支えない。

【００５４】図６に示されるように、第１の流体圧シリ
ンダ５２はストロークの中間点よりも左寄りに配置さ
れ、第２の流体圧シリンダ５３はストロークの中間点よ
りも右寄りに配置されている。また、両流体圧シリンダ
５２，５３のロッドＲ1 の先端は、ともにシリンダチュ
ーブ６の方向を向いている。流体圧シリンダ５２，５３
の伸長時には、ロッドＲ1 の先端はスライダ３１，３２
の移動経路上に突出して、スライダ３１，３２の移動を
規制する。流体圧シリンダ５２，５３の収縮時には、ロ
ッドＲ1 の先端はスライダ３１，３２の移動経路上に突
出することはなく、待避した状態となる。この場合に
は、スライダ３１，３２の移動は規制されない。

【００５５】その他、このロッドレスシリンダ５１では
第２のエンドキャップ８を用いる必要がないので、全て
のものについて第１のエンドキャップ７を使用してい
る。以上のように構成されたロッドレスシリンダ５１の
動作について説明する。図６のように、第１のスライダ
３１が右側ストロークエンドにありかつ第２のスライダ
３２が左側ストロークエンドにある状態を初期状態とす
る。このとき、両流体圧シリンダ５２，５３はともに収
縮状態にある。

【００５６】ここで、第２の流体圧シリンダ５３のみを
伸長状態に切り換えて、左側ヘッドカバー２のポート１
２のみに加圧エアを供給する。この場合、第２のピスト
ン２２のみが右側方向に摺動するとともに、第２のスラ
イダ３２のみがそれと同じ方向に追従移動を行う。その
結果、図７（ａ）のような状態となる。このとき、第２
のスライダ３２の端面が突出したロッドＲ1 の周面に当
接することで、第２のスライダ３２の移動が規制され、
第２のスライダ３２がストロークの中間点において停止
する。そして、右側ヘッドカバー２のポート１５のみに
加圧エアを供給すれば、第２のスライダ３２が図６のよ
うな初期状態に復帰する。

【００５７】次に、第１の流体圧シリンダ５２のみを伸
長状態に切り換えて、右側ヘッドカバー２のポート１２
のみに加圧エアを供給する。この場合、第１のピストン
２１のみが左側方向に摺動するとともに、第１のスライ
ダ３１のみがそれと同じ方向に追従移動を行う。その結
果、図７（ｂ）のような状態となる。このとき、第１の
スライダ３１の端面が突出したロッドＲ1 の周面に当接
することで、第１のスライダ３１の移動が規制され、第
１のスライダ３１がストロークの中間点において停止す
る。そして、左側ヘッドカバー２のポート１５のみに加
圧エアを供給すれば、第１のスライダ３１が図６のよう
な初期状態に復帰する。

【００５８】さらに、右側ヘッドカバー２のポート１２
及び左側ヘッドカバー２のポート１２に同時に加圧エア
を供給した場合、両スライダ３１，３２はストロークの
中間点に到る寸前で互いに当接し合って停止する。逆に
右側ヘッドカバー２のポート１５及び左側ヘッドカバー
２のポート１５に同時に加圧エアを供給した場合、両ス
ライダ３１，３２は遠ざかる方向に移動し、図６の初期
状態に復帰する。以上のような動作を行わせる場合に
は、流体圧シリンダ５２，５３を両方とも常時収縮状態
に保持しておく。

【００５９】さて、以下に本実施形態において特徴的な
作用効果を述べる。 （イ）本実施形態のロッドレスシリンダ５１は、いくつ
かの点で実施形態１のロッドレスシリンダ１と構成が共
通している。従って、実施形態１において列挙した作用
効果（イ、ロ、チ）と同様の作用効果を奏することがで
きる。 ［第３の実施形態］次に、本発明を具体化した実施形態
３のマグネット式ロッドレスシリンダ６１を図９〜図１
１に基づいて説明する。ここでは、主として実施形態１
と相違する構成について言及し、共通する構成について
は同じ部材番号を付すのみとしてその説明を省略する。

【００６０】本実施形態のロッドレスシリンダ６１で
は、実施形態１のようなチューブ内蔵タイプのストロー
ク位置調整体４１に代えて、外付けタイプのストローク
位置調整体６５を採用している。図９に示されるよう
に、ここで使用されるストローク位置調整体６５は、一
本のロッド６８と複数個のナット６６，６７とにより構
成されている。ロッド６８の外周面全体には雄ねじが形
成されている。ロッド６８の長さはロッドレスシリンダ
６１の全長にほぼ等しい。前記複数のナット６６，６７
は２個で一つの組みを成している。ストロークの中間点
のやや左寄りにある２個のナット６６は、第２のスライ
ダ３２の移動を規制するための第２のナット６６であ
る。ストロークの中間点のやや右寄りにある２個のナッ
ト６７は、第１のスライダ３１の移動を規制するための
第１のナット６７である。図１０（ｂ）等に示されるよ
うに、両スライダ３１，３２のスライダ本体３３の上側
中央部には、溝状のざぐり部６２が各々形成されてい
る。ざぐり部６２はスライダ３１，３２の進行方向に沿
って延びている。ざぐり部６２の長さは、スライダ３
１，３２の長さの約２／３程度に設定されている。同じ
くスライダ本体３３の上側中央部には、スライダ３１，
３２の進行方向に沿って延びるロッド挿通孔６３が透設
されている。ロッド挿通孔６３の一端はざぐり部６２に
おいて開口し、その他端はスライダ本体３３の外端面に
おいて開口している。ロッド挿通孔６３は、スライダ３
１，３２の移動を許容するためにロッド６８よりも大径
に形成されている。また、両ヘッドカバー２の上側中央
部には、ロッド螺着孔６４が透設されている。各ロッド
螺着孔６４及び各ロッド挿通孔６３は同一直線上に存在
する。各ロッド螺着孔６４内には雌ねじ部が形成されて
いる。従って、ロッド６８の両端を両方のロッド螺着孔
６４に螺着することにより、同ロッド６８が両ヘッドカ
バー２に対して相対移動不能に固定されている。なお、
このような固定状態において、ロッド６８の両端は両ヘ
ッドカバー２の外端面から突出しないようになってい
る。

【００６１】ロッド６８上に設けられている第２のナッ
ト６６及び第１のナット６７は、いずれもシリンダチュ
ーブ５，６の長手方向に沿って位置調整可能である。図
９には、両スライダ３１，３２をストロークの途上にお
ける同一位置に停止させるような位置に両ナット６６，
６７を設置した状態が示されている。

【００６２】その他、このロッドレスシリンダ６１では
第２のエンドキャップ８を用いる必要がないので、全て
のものについて第１のエンドキャップ７を使用してい
る。以上のように構成されたロッドレスシリンダ６１の
動作について説明する。図９のように、第１のスライダ
３１が右側ストロークエンドにありかつ第２のスライダ
３２が左側ストロークエンドにある状態を初期状態とす
る。

【００６３】左側ヘッドカバー２のポート１２のみに加
圧エアを供給した場合、第２のピストン２２のみが右側
方向に摺動するとともに、第２のスライダ３２のみがそ
れと同じ方向に追従移動を行う。その結果、図１１
（ａ）のような状態となる。このとき、第２のナット６
６がざぐり部６２の内壁面６２ａに当接することで、第
２のスライダ３２の移動が規制され、第２のスライダ３
２がストロークの中間点において停止する。そして、右
側ヘッドカバー２のポート１５のみに加圧エアを供給す
れば、第２のスライダ３２が図９のような初期状態に復
帰する。

【００６４】右側ヘッドカバー２のポート１２のみに加
圧エアを供給した場合、第１のピストン２１のみが左側
方向に摺動するとともに、第１のスライダ３１のみがそ
れと同じ方向に追従移動を行う。その結果、図１１
（ｂ）のような状態となる。このとき、第１のナット６
７がざぐり部６２の内壁面６２ａに当接することで、第
１のスライダ３１の移動が規制され、第１のスライダ３
１がストロークの中間点において停止する。そして、左
側ヘッドカバー２のポート１５のみに加圧エアを供給す
れば、第１のスライダ３１が図９のような初期状態に復
帰する。

【００６５】さらに、右側ヘッドカバー２のポート１２
及び左側ヘッドカバー２のポート１２に同時に加圧エア
を供給した場合、両スライダ３１，３２はストロークの
中間点に到る寸前で互いに当接し合って停止する。逆に
右側ヘッドカバー２のポート１５及び左側ヘッドカバー
２のポート１５に同時に加圧エアを供給した場合、両ス
ライダ３１，３２は遠ざかる方向に移動し、図９の初期
状態に復帰する。

【００６６】さて、以下に本実施形態において特徴的な
作用効果を列挙する。 （イ）本実施形態のロッドレスシリンダ６１は、いくつ
かの点で実施形態１のロッドレスシリンダ１と構成が共
通している。従って、実施形態１において列挙した作用
効果（イ、ロ、チ）と同様の作用効果を奏することがで
きる。

【００６７】（ロ）本実施形態のロッドレスシリンダ６
１では、ストローク位置調整体６５を構成するナット６
６，６７の位置調整を行うことにより、両スライダ３
１，３２がストロークの途上において停止する位置を任
意に変更することができる。そして、このことが動作の
バリエーションの増加に貢献している。

【００６８】（ハ）本実施形態のロッドレスシリンダ６
１では、ロッド４２と複数のナット６６，６７という比
較的簡単な構造からなるストローク位置調整体６５を採
用している。従って、ナット６６，６７の位置をチュー
ブ長手方向に沿って変更することにより、スライダ３
１，３２の停止位置を任意にかつ簡単に変更することが
できる。また、この構成であるとスライダ３１，３２の
停止位置の設定可能範囲が大きくなる。

【００６９】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ことはなく、例えば次のような別の形態に変更すること
が可能である。 ◎ 実施形態１において、ピストンストッパ４３自体を
ゴム等の弾性体により形成することで、ピストン２１，
２２の衝撃緩衝を図ってもよい。

【００７０】◎ 実施形態１において、２つあるストロ
ーク位置調整体４１のうちのいずれか一方を省略した構
成を採用してもよい。同様に、実施形態２において、２
つある流体圧シリンダ５２，５３のうちのいずれか一方
を省略した構成を採用してもよい。

【００７１】◎ 実施形態１においてロッド４２を省略
するとともに、ピストンストッパ４３のみをシリンダチ
ューブ５，６内に移動不能に固設したような構成とする
ことも可能である。この場合、ピストンストッパ４３自
体の位置調整は不能になる反面、ロッド４２がなくなる
ことによりストローク位置調整体を完全にシリンダチュ
ーブ５，６に内蔵することができる。また、ピストンス
トッパ４３の構造と異なるピストン当接部材を収容して
も勿論よい。

【００７２】◎ 実施形態３において、複数のナット６
６，６７を用いることなく１つのナットのみを用いて、
両スライダ３１，３２の移動規制を実現することも可能
である。また、ざぐり部６２を省略した構成とすること
も可能である。

【００７３】◎ 実施形態１において例示したストロー
ク位置調整体４１は、シリンダチューブ５，６を２つ備
えるロッドレスシリンダ１のみに適用されるばかりでな
く、シリンダチューブを１つしか備えないもの等につい
て適用されてもよい。

【００７４】◎ 実施形態２において、一対の流体圧シ
リンダ５２，５３をともにチューブ長手方向に沿って移
動可能に設けておいてもよい。このような構成であれ
ば、両スライダ３１，３２の停止位置を任意に設定する
ことが可能となり、図５（ａ）〜図５（ｅ）のような幅
広いストローク位置調整を行うことが可能となる。

【００７５】ここで、特許請求の範囲に記載された技術
的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される
技術的思想をその効果とともに以下に列挙する。 （１） 請求項１，２において、ストロークの途上にお
いて前記追従体の移動を規制するためのストローク位置
調整体を外付けしたことを特徴とするマグネット式ロッ
ドレスシリンダ。この構成であると、一対の追従体が互
いに独立して追従移動可能であるため用途の広いマグネ
ット式ロッドレスシリンダを提供することができる。

【００７６】（２） 技術的思想１において、前記スト
ローク位置調整体はロッドを備える一対の流体圧シリン
ダであり、前記両流体圧シリンダは伸長時に前記追従体
の一部に対して自身のロッドを当接させるような位置に
設けられることを特徴とするマグネット式ロッドレスシ
リンダ。

【００７７】（３） 技術的思想１において、前記スト
ローク位置調整体は、前記シリンダチューブ外において
前記一対のヘッドカバーに固定されるとともにその略全
体に雄ねじが形成されたロッドと、そのロッドに螺着さ
れるナットとからなることを特徴とするマグネット式ロ
ッドレスシリンダ。この構成であると、単純な構造であ
るにもかかわらず、ナットの位置調整により両追従体が
ストロークの途上において停止する位置を任意にかつ簡
単に変更することができる。

【００７８】（４） 技術的思想３において、前記追従
体には、前記ナットが当接しうる内壁面を備える溝部を
同追従体の進行方向に沿って形成したことを特徴とする
マグネット式ロッドレスシリンダ。この構成であると、
例えばストロークにおける同じ位置に両追従体を確実に
停止させることができる。

【００７９】なお、本明細書中において使用した技術用
語を次のように定義する。「駆動流体： 窒素、酸素、
二酸化炭素、アルゴン、水素、それらの混合物である空
気などといった気体を指すほか、水、油等の液体、臨界
流体、その他これらに準ずる性質を有するものを含
む。」

【００８０】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１〜７に記
載の発明によれば、一対の追従体が互いに独立して追従
移動可能であるため用途の広いマグネット式ロッドレス
シリンダを提供することができる。

【００８１】請求項２に記載の発明によれば、両追従体
にがたつき等が起こりにくくなり、高速での駆動等に適
したものとすることができる。請求項３に記載の発明に
よれば、ストロークにおける両追従体の停止位置を調整
することができる。

【００８２】請求項４に記載の発明によれば、両追従体
の動作のバリエーションを増加することができるととも
に、意匠性の向上及び大型化の回避を図ることができ
る。請求項５，６に記載の発明によれば、両追従体の動
作のバリエーションをよりいっそう増加することができ
る。

【００８３】請求項７に記載の発明によれば、比較的簡
単な構造で済むことに加え、ピストンの動作性低下を伴
うことなく追従体の停止位置を任意にかつ簡単に変更す
ることができる。

【００８４】請求項８に記載の発明によれば、上記の優
れたロッドレスシリンダを実現するうえで好適なストロ
ーク位置調整体を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明を具体化した実施形態１のロッ
ドレスシリンダの全体正面図、（ｂ）はその全体平面
図。

【図２】（ａ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線における断面
図、（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ線における部分断面
図。

【図３】同ロッドレスシリンダを示す要部拡大断面図。

【図４】同ロッドレスシリンダのストローク位置調整体
の要部を示す部分拡大断面図。

【図５】（ａ）〜（ｅ）は同ロッドレスシリンダの動作
のバリエーションを説明するための全体平面図。

【図６】本発明を具体化した実施形態２のロッドレスシ
リンダとシリンダ外部に設置されたストローク位置調整
体とを示す全体断面図。

【図７】同ロッドレスシリンダの動作のバリエーション
を説明するための全体平面図。

【図８】同ロッドレスシリンダの動作のバリエーション
を説明するための全体平面図。

【図９】（ａ）は本発明を具体化した実施形態３のロッ
ドレスシリンダの全体正面図、（ｂ）はその全体平面
図。

【図１０】（ａ）は図９（ａ）のＣ−Ｃ線における断面
図、（ｂ）は図１０（ａ）のＤ−Ｄ線における部分断面
図。

【図１１】（ａ），（ｂ）は同ロッドレスシリンダの動
作のバリエーションを説明するための全体平面図。

【符号の説明】

１，５１，６１…マグネット式ロッドレスシリンダ、２
…ヘッドカバー、５…第１のシリンダチューブ、６…第
２のシリンダチューブ、７，８…封止体としてのエンド
キャップ、２１…第１のピストン、２２…第２のピスト
ン、３０…挿通孔、３１…第１の追従体としての第１の
スライダ、３２…第２の追従体としての第２のスライ
ダ、１０，１１，１３，１４…流路を構成する連通路、
４１，６５…ストローク位置調整体、４２…棒状部材と
してのロッド、４３…ピストン当接部材としてのピスト
ンストッパ、４４…連通路、５２，５３…ストローク位
置調整体としての流体圧シリンダ、ＲＵ1 ，ＲＵ2 ，Ｒ
Ｌ1 ，ＲＬ2 …圧力作用室。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一対のヘッドカバー間に平行に架設された
   一対のシリンダチューブと、前記シリンダチューブ内に
   摺動可能に収容されかつその両端側にそれぞれ圧力作用
   室を区画する一対のピストンと、前記シリンダチューブ
   外に移動可能に設けられる一対の追従体とを備え、前記
   ピストンと前記追従体との間に作用する磁気吸引力によ
   り前記追従体が前記ピストンに追従して移動するマグネ
   ット式ロッドレスシリンダにおいて、 第１のシリンダチューブ内に収容された第１のピストン
   と第１の追従体との間に磁気吸引力を作用させ、かつ第
   ２のシリンダチューブ内に収容された第２のピストンと
   第２の追従体との間に磁気吸引力を作用させるととも
   に、前記第１のピストンが区画する両圧力作用室及び前
   記第２のピストンが区画する両圧力作用室に対して個別
   に駆動流体を給排しうる流路を設けることで、前記両ピ
   ストンが互いに独立して駆動可能となるように構成した
   ことを特徴とするマグネット式ロッドレスシリンダ。
2. 【請求項２】前記両追従体には２つの挿通孔が形成さ
   れ、それらの挿通孔には両方のシリンダチューブが摺動
   可能に嵌挿されていることを特徴とする請求項１に記載
   のマグネット式ロッドレスシリンダ。
3. 【請求項３】ストロークの途上において前記追従体及び
   前記ピストンのうちの少なくともいずれかの移動を規制
   するためのストローク位置調整体を設けたことを特徴と
   する請求項１または２に記載のマグネット式ロッドレス
   シリンダ。
4. 【請求項４】前記ストローク位置調整体は前記両シリン
   ダチューブにそれぞれ内蔵されていることを特徴とする
   請求項３に記載のマグネット式ロッドレスシリンダ。
5. 【請求項５】前記各ストローク位置調整体は、それ自身
   がチューブ長手方向に沿って位置調整可能に設けられて
   いることを特徴とする請求項４に記載のマグネット式ロ
   ッドレスシリンダ。
6. 【請求項６】前記各ストローク位置調整体は、前記両追
   従体をストロークの途上における同一位置に停止させう
   るようにそれ自身がチューブ長手方向に沿って位置調整
   可能に設けられていることを特徴とする請求項４に記載
   のマグネット式ロッドレスシリンダ。
7. 【請求項７】前記ストローク位置調整体は、前記シリン
   ダチューブの端部を封止している封止体に棒状部材を螺
   入し、その棒状部材の内端にピストン当接部材を設け、
   そのピストン当接部材に自身の両端面を連通する連通路
   を形成したものであることを特徴とする請求項４乃至６
   のいずれか１項に記載のマグネット式ロッドレスシリン
   ダ。
8. 【請求項８】一対のヘッドカバー間に架設されたシリン
   ダチューブ内に摺動可能に収容されたピストンの移動を
   同シリンダチューブ内にて規制するマグネット式ロッド
   レスシリンダのストローク位置調整体であって、前記シ
   リンダチューブの端部を封止している封止体に螺入され
   る棒状部材と、その棒状部材の内端に設けられるピスト
   ン当接部材とからなり、そのピストン当接部材には自身
   の両端面を連通する連通路が形成されていることを特徴
   とするマグネット式ロッドレスシリンダのストローク位
   置調整体。