JP2000074007A - 流体圧シリンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 流体圧シリンダのピストンの往復動における
ストローク端での衝撃を小さくする。 【解決手段】 チューブ壁に複数の連通孔２３を設けた
連通チューブ１７を、シリンダ室１２ａ内のピストン１
５に、ピストンロッド１６と平行に貫通させる。シリン
ダ室１２ａの両端に設けたロッドカバー１３、ヘッドカ
バー１４の第１給排ポート２１、第２給排ポート２２に
連通チューブ１７の両端側を連通させる。連通チューブ
１７内には、ピストン１５に磁力で追従移動可能に摺動
シール部材１８を設ける。両給排ポートを介しての流体
の供給、排出を連通孔２３を介して行わせ、ピストン１
５の両側に形成される圧力室Ａ、Ｂでの圧力変化を徐々
に行わせて、ストローク端でのピストンの始動、停止に
伴う衝撃を抑える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被駆動部材を直線
方向に往復動する流体圧シリンダに関し、特に被駆動部
材がストローク端にまで駆動されたときに、被駆動部材
に衝撃が加わらないようにした流体圧シリンダに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】被加工物つまりワークを被搬送物として
これを水平方向あるいは垂直方向に移動させるために、
直線方向に往復動する被駆動部材を空気圧シリンダなど
の流体圧シリンダで駆動する場合には、被駆動部材をピ
ストンロッドの先端に連結して、ピストンに流体圧を加
えることで被駆動部材を往復動している。

【０００３】ピストンロッドを前進方向あるいは後退方
向に往復動させるためにピストンに流体圧を加えると、
ピストンは徐々に速度を増し、前進端あるいは後退端つ
まりストローク端にまで移動し、ストローク端にまで達
したピストンは、シリンダ本体に衝突して停止する。

【０００４】このためストローク端では、ピストンロッ
ドに衝突停止時の衝撃が加わり、このピストンロッド先
端に取り付けられた被駆動部材にも衝撃が加わる。した
がって、被駆動部材によってワークを水平方向あるいは
垂直方向に移動する場合には、ピストンロッドのストロ
ーク端でワークに衝撃が加わることとなる。

【０００５】かかる衝撃は、例えば、半導体製造工程な
どでシリコンウェハやガラス基盤などの壊れやすい物が
搬送対象のワークとなる場合には、ストローク端でのワ
ークの割れや欠けを発生させる原因となる。また、搬送
位置のズレも発生し易い。

【０００６】従来、かかる衝撃を緩和するために、シリ
ンダの中にエアクッションを組み入れたり、モータ駆動
にしたり、あるいはシリンダ速度を遅くしたりなどの手
段がとられていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、シリンダ内に
エアクッションを組み入れて衝撃を緩和する方法では、
クッションストロークが短い場合には、高速作動させる
シリンダでは十分な衝撃緩和は行えない。

【０００８】衝撃を緩和する方法としては、その他にも
モータ駆動や、シリンダ速度を遅くするなどの方法が提
案されている。しかし、モータ駆動では駆動自体が特殊
なためシリンダの製造コストが上昇し、シリンダ速度を
遅くして衝撃を抑える方法ではタクトタイムが上昇し、
それぞれの方法には問題点がある。

【０００９】本発明の目的は、流体圧シリンダのピスト
ンの往復動におけるストローク端での衝撃を抑えること
にある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の流体圧シリンダ
では、ピストンロッドが設けられたピストンを直線方向
に往復動自在に収容するシリンダ室を有し、両端にカバ
ーが設けられたシリンダ本体と、前記ピストンを貫通し
て前記ピストンロッドに平行に前記シリンダ室内に配置
され、前記シリンダ室と連通する複数の連通孔が設けら
れた連通チューブと、前記連通チューブの一端部に開口
し、一方の前記カバーと前記ピストンとの間に形成され
る一方の圧力室に前記連通孔を介して連通する第１給排
ポートと、前記連通チューブの他端部に開口し、他方の
前記カバーと前記ピストンとの間に形成される他方の圧
力室に前記連通孔を介して連通する第２給排ポートと、
前記ピストンに対して磁力により追従移動自在に前記連
通チューブ内に設けられ、前記第１給排ポートと前記第
２給排ポートとの連通を阻止する摺動シール部材とを有
し、前記第１給排ポートと第２給排ポートとの一方から
流体を供給し他方から排出して前記ピストンを駆動する
際に、前記ピストンの移動に伴って一方の前記圧力室と
一方の給排ポートとの連通面積を増加させ、他方の前記
圧力室と他方の給排ポートとの連通面積を減少させるよ
うにしたことを特徴とする。

【００１１】前記ピストンに前記連通チューブに摺動自
在に嵌合する筒形の永久磁石を設け、前記摺動シール部
材を前記永久磁石と磁力により吸引し合う永久磁石に形
成したことを特徴とする。

【００１２】本発明の流体圧シリンダでは、両端にカバ
ーが設けられたシリンダ室内のピストンに、ピストンロ
ッドに平行して、シリンダ室と連通する複数の連通孔を
設けた連通チューブが貫通させられている。この連通チ
ューブの両端側はそれぞれ給排ポートに連通させられ、
この連通チューブ内には両端に設けた給排ポートの連通
を阻止する摺動シール部材が、ピストンに対して追従移
動自在に設けられている。

【００１３】そのため、連通チューブの両端に連通させ
た給排ポートの一方から流体を連通チューブ内に供給す
ると、流体は連通チューブの連通孔から、ピストンとカ
バーとの間に形成される一方の圧力室に供給され、この
流体圧によりピストンが押される。

【００１４】ピストンとカバーとの間に形成される他方
の圧力室では、この圧力室内の流体はピストンにより押
され、複数の連通孔を介して連通チューブ内を通り、給
排ポートから排出されることとなる。

【００１５】このように圧力室への流体の供給、圧力室
からの流体の排出は、連通チューブに設けた連通孔を介
して行われるため、供給、排出に伴う圧力室の圧力変化
は圧力室に連通する連通孔の数、すなわち連通面積に対
応することとなる。

【００１６】ピストンの移動に伴い、ピストンの一方の
側に形成される圧力室では開口する連通孔の数は徐々に
増え（連通面積が徐々に増え）、他方の圧力室では連通
孔の数が徐々に減少（連通面積が徐々に減少し）する。
そのため、圧力室が直接給排ポートに連通させられてい
る構成に比べて、本発明の流体圧シリンダでは、圧力室
の圧力変化が急激に起きず、ピストンのストローク端で
の始動、停止時の衝撃を小さく抑えることができる。

【００１７】連通チューブに設ける連通孔は、各々の開
口面積を小さくし、且つ多数設けるようにすればよく、
ピストンの移動に伴う連通面積の変化率を小さく抑え、
圧力室の圧力変化を徐々に起こさせることができる。

【００１８】連通チューブには、その両端に設けた給排
ポートが連通しないように摺動シール部材が設けられて
いるが、この摺動シール部材を永久磁石とし、連通チュ
ーブの外側を筒形の永久磁石として、両者が互いに吸引
し合うように構成しておけばよい。

【００１９】あるいは、摺動シール部材と、連通チュー
ブの外側との一方を永久磁石に構成し、他方を永久磁石
に磁力により吸引される金属を使用するようにしてもよ
い。

【００２０】また、上記構成の流体圧シリンダは、例え
ばエアシリンダに構成したり、あるいは油圧シリンダに
構成すればよい。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００２２】図１は、本発明の一実施の形態である流体
圧シリンダを示した断面図である。シリンダ本体は１１
は、アルミニウムなどの金属を素材として押し出し加工
により成形された部材を所定の長さ毎に切断し、所定の
機械加工を施すことにより形成されている。

【００２３】シリンダ本体１１には、図１に示すよう
に、貫通孔１２が形成されている。貫通孔１２の一端側
にはロッドカバー１３が、他端側にヘッドカバー１４が
それぞれ設けられ、両カバーは連結ロッド１１ａにより
互いに連結され、ロッドカバー１３とヘッドカバー１４
との間がシリンダ室１２ａとなっている。

【００２４】シリンダ室１２ａには、軸方向に摺動自在
にピストン１５が装着され、ピストン１５に取り付けら
れたピストンロッド１６が、ロッドカバー１３を貫通し
てシリンダ本体１１の前方に向けて突出している。

【００２５】シリンダ室１２ａには、図１に示すよう
に、ピストン１５を貫通してピストンロッド１６に平行
に連通チューブ１７が設けられている。連通チューブ１
７のチューブ内には、永久磁石でできた摺動シール部材
１８が嵌められ、摺動シール部材１８の外周に設けたＯ
リング状のシール部材１８ａがチューブ内面に接触して
チューブ内の連通状態が阻止されている。

【００２６】連通チューブ１７を通すピストン１５の貫
通部内周面には、摺動シール部材１８を磁力で誘導する
誘導部材１９が設けられている。誘導部材１９は、摺動
シール部材１８と磁力で引き合う円筒状の永久磁石に形
成され、この誘導部材１９の円筒内を連通チューブ１７
が通されている。

【００２７】そのため、摺動シール部材１８は、ピスト
ン１５が軸方向に往復動するときには、ピストン１５と
一緒に往復動する誘導部材１９の磁力により引かれて往
復動し、ピストン１５に追従移動することとなる。

【００２８】なお、連通チューブ１７が通されている誘
導部材１９の円筒内にもＯリング状のシール部材１９ａ
が設けられ、このシール部材１９ａが連通チューブ１７
の外周部をシールしてピストン１５が往復動してもピス
トン１５の前後における連通状態が阻止されるようにな
っている。

【００２９】上記連通チューブ１７の両端部は、ロッド
カバー１３に設けた第１給排ポート２１と、ヘッドカバ
ー１４に設けた第２給排ポート２２とにそれぞれ連通さ
れ、連通チューブ１７のシリンダ室１２ａ内を通過する
部分のチューブ壁には、複数の連通孔２３が設けられて
いる。

【００３０】したがって、外部の流体流路にそれぞれ接
続させられる第１給排ポート２１、第２給排ポート２２
は、連通チューブ１７の連通孔２３を介してシリンダ室
１２ａに連通させられることとなる。また、第１給排ポ
ート２１、第２給排ポート２２は、オリフィス２４、２
５でシリンダ室１２ａ内と連通させられている。

【００３１】以上のように構成された流体圧シリンダ
は、第１給排ポート２１、第２給排ポート２２に接続し
たそれぞれの流体流路を、流体圧供給手段と流体圧排出
手段とに交互に切り換えることにより、ピストン１５と
ロッドカバー１３との間、ピストン１５とヘッドカバー
１４との間に形成される両圧力室Ａ、Ｂの一方に流体が
供給され、他方から流体が排出されて、ピストン１５が
往復動することとなる。

【００３２】上記構成の流体圧シリンダでは、ピストン
１５の往復動は以下のようになる。例えば、第１給排ポ
ート２１に接続した流体流路を流体圧供給手段とし、第
２給排ポート２２に接続した流体流路を流体圧排出手段
として、ロッドカバー１３側にピストン１５が到達して
停止している状態から、ヘッドカバー１４側に作動開始
する場合について説明する。

【００３３】ヘッドカバー１４側から移動してきてロッ
ドカバー１３側にピストン１５が到達して停止している
状態では、ピストン１５はロッドカバー１３に密着した
状態で、シリンダ室１２ａ内では圧力室Ｂのみが形成さ
れ、連通チューブ１７の連通孔２３は圧力室Ｂ内にのみ
開口されていることとなる。

【００３４】かかる状態では、第１給排ポート２１から
供給される流体は、オリフィス２４からピストン１５面
に向けて吹き付けられる。併せて、第１給排ポート１７
に連通させられた連通チューブ１７内の摺動シール部材
１８端面にも流体は吹き付けられる。

【００３５】ピストン１５面および摺動シール部材１８
端面への流体の吹き付けにより、ロッドカバー１３面に
密着した状態のピストン１５は徐々にロッドカバー１３
から離れヘッドカバー１４側へ移動し始める。ピストン
１５の移動に伴い、ロッドカバー１３とピストン１５と
の間に圧力室Ａの空間が形成され、併せて連通チューブ
１７の連通孔２３を介して圧力室Ａ内に流体が供給され
始める。

【００３６】ピストン１５がこのように移動し始めるこ
とにより連通チューブ１７の圧力室Ａ側に連通する連通
孔２３の数が徐々に増し、すなわち圧力室Ａ側に通じる
連通面積が徐々に増大して、第１給排ポート２１側から
の流体の圧力室Ａ内への供給が徐々に増大する。

【００３７】ピストン１５の移動とともに圧力室Ａの連
通面積が増大する様子を図２に示す。図２では、ピスト
ン１５の駆動時のストローク量と圧力室Ａ、Ｂ側での連
通孔２３に基づく連通面積の関係が直線で示され、ピス
トン１５の始動開始に伴い、圧力室Ａ側の連通面積Ａ_r
が増大して行くことがわかる。

【００３８】ピストン１５の移動速度は、上記のように
圧力室Ａ内の流体の供給が徐々に行われるのに合わせて
少しずつ大きくなり、そのためピストン１５の始動開始
時でも急激な速度変化による大きな衝撃は発生しない。

【００３９】すなわち、給排ポートが直接シリンダ室内
に直接大きく開口した従来構成の流体圧シリンダでは、
流体が一気にシリンダ室内に流入されるためピストンの
駆動速度が急激に変化し、それに合わせて大きな衝撃が
発生するが、上記構成の本発明の流体圧シリンダでは、
流体が圧力室Ａ内に連通孔２３を介して徐々に供給され
るため、ピストン１５の駆動速度の急激な変化は起きず
大きな衝撃が発生しない。

【００４０】一方、上記要領でピストン１５がロッドカ
バー１３側からヘッドカバー１４側まで移動する間に、
ピストン１５とヘッドカバー１４との間に形成された圧
力室Ｂ側では、圧力室Ｂ内の流体が、連通孔２３を介し
て連通チューブ１７内に入り、さらに第２給排ポート２
２から流体流路側に排出される。

【００４１】上記排出に際しては、ピストン１５の移動
に伴い、圧力室Ｂ内に開口する連通孔２３の数、すなわ
ち連通面積Ａ_h が図２に示すように徐々に減少し、それ
に合わせて圧力室Ｂ内の流体圧の急激な変化が抑えられ
ることとなる。

【００４２】そのため、給排ポートがシリンダ室内に直
接大きく開口した従来構成の流体圧シリンダとは異な
り、流体の排出が一気に行われず、前記流体が圧力室Ａ
内へ徐々に供給される構成と相まって、ピストン１５の
駆動時の急激な速度上昇を抑える働きをしている。

【００４３】このようにしてピストン１５の駆動速度は
徐々に増加し、ストローク工程の半分程で速度が最大と
なる。それ以降は、ピストン１５の駆動速度は、ヘッド
カバー１４に近づくにつれて徐々に小さくなり、ストロ
ーク端に到達すると、ヘッドカバー１４に接触して停止
する。

【００４４】図３には、上記要領でピストン１５がロッ
ドカバー１３側からヘッドカバー１４側へ移動する際の
ピストン１５のストローク量と、ピストン１５の駆動時
間との関係を示す。図３には、ピストン１５の始動開始
とともにピストン１５のストローク量が徐々に大きくな
り、ヘッドカバー１４側に近づくと時間とともにピスト
ン１５のストローク量が小さくなることが示されてい
る。なお、ピストン１５の駆動速度は、図３の曲線の接
線の傾きで表される。

【００４５】なお、上記説明では、摺動シール部材１８
と、摺動シール部材誘導部材１９とを互いに磁気的に引
き合う永久磁石に構成した場合について説明したが、例
えば一方を永久磁石に構成し、他方をその磁力に磁気的
に引かれる金属製に構成しても良い。

【００４６】また、上記説明の連通チューブ１７は、そ
のチューブ壁に複数の連通孔２３を設ける構成とした
が、例えば、連通チューブ１７自体を多孔質の焼結管に
より形成して、わざわざチューブ壁に複数の連通孔２３
をあけなくても済むようにしても良い。かかる構成で
は、焼結管の多孔質部分の間隙を流体が通過することと
なる。さらに、本発明は前記の形態に限定されるもので
はなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であ
ることはいうまでもない。

【００４７】例えば、上記説明では、図１に示すよう
に、ピストンロッド１６をピストン１５の片側に突出す
るように構成した流体圧シリンダについて説明したが、
図４に示すような両ロッド型、あるいは図５に示す単動
型に構成しても良い。

【００４８】図４に示す両ロッド型では、シリンダ本体
１１にはシリンダ室１２ａが設けられ、シリンダ室１２
ａの両端側にはロッドカバー１３が設けられている。

【００４９】シリンダ室１２ａには、軸方向に摺動自在
にピストン１５が装着され、ピストン１５の両側には同
形のピストンロッド１６が、両ロッドカバー１３を貫通
してシリンダ本体１１の両側に突出させられている。

【００５０】シリンダ室１２ａには、ピストン１５を貫
通してピストンロッド１６と平行に図１に示したと同様
の構成の連通チューブ１７が設けられている。連通チュ
ーブ１７内には、ピストン１５の連通チューブ１７の貫
通部内周面に設けた誘導部材１９と磁力で引き合う永久
磁石製の摺動シール部材１８が嵌められ、ピストン１５
の往復動に追従移動しながらチューブ内の連通状態を阻
止している。

【００５１】上記連通チューブ１７の両端部は、ロッド
カバー１３に設けた第１給排ポート２１と第２給排ポー
ト２２とにそれぞれ連通され、連通チューブ１７のシリ
ンダ室１２ａ内を通過する部分のチューブ壁には、複数
の連通孔２３が設けられている。

【００５２】以上のように構成された両ロッド型の流体
圧シリンダでも、第１給排ポート２１、第２給排ポート
２２に接続したそれぞれの流体流路を、流体圧供給手段
と流体圧排出手段とに交互に切り換えることにより、ピ
ストン１５の両側に形成される圧力室Ａ、Ｂの一方の側
へ流体を供給し、他方の側から流体を排出してピストン
１５を往復動させることができる。

【００５３】かかるピストン１５の往復動に際しては、
流体の供給、排出が連通チューブ１７の連通孔２３を介
して行われるため、前記説明のようにピストン１５のス
トローク端での始動、停止時の駆動速度が徐々に行われ
ストローク端での衝撃が極めて小さく抑えられる。

【００５４】図５に示す単動型流体圧シリンダでは、シ
リンダ本体１１にシリンダ室１２ａが設けられ、その両
端側にはロッドカバー１３とヘッドカバー１４とが設け
られている。圧力室Ｂの内周面にはスプリング２６が設
けられ、シリンダ室１２ａに軸方向に摺動自在に装着さ
れたピストン１５の背面側がこのスプリング２６により
ロッドカバー１３側に向けて付勢が付けられた状態で接
触させられている。

【００５５】ピストン１５の背面側には、一段高く形成
されたスプリング係止部１５ａが設けられ、このスプリ
ング係止部１５ａをスプリング２６の螺線内径内に嵌め
込むことにより、ピストン１５とスプリング２６とが外
れないようになっている。

【００５６】背面側からスプリング２６により付勢を付
けられたピストン１５にはピストンロッド１６が取り付
けられ、ロッドカバー１３を貫通してシリンダ本体１１
の前側に突出させられている。

【００５７】シリンダ室１２ａには、ピストン１５を貫
通してピストンロッド１６と平行に図１に示すと同様の
構成の連通チューブ１７が設けられている。連通チュー
ブ１７内には、ピストン１５の連通チューブ１７の貫通
部内周面に設けた誘導部材１９と磁力で引き合う永久磁
石製の摺動シール部材１８が嵌められ、ピストン１５の
往復動に追従移動しながらチューブ内の連通状態を阻止
している。

【００５８】上記連通チューブ１７の両端部は、ロッド
カバー１３に設けた第１給排ポート２１と、ヘッドカバ
ー１４に設けた第２給排ポート２２とにそれぞれ連通さ
れ、連通チューブ１７のシリンダ室１２ａ内を通過する
部分のチューブ壁には、複数の連通孔２３が設けられて
いる。

【００５９】以上のように構成された単動型の流体圧シ
リンダでは、第１給排ポート２１には流体圧供給手段と
流体圧排出手段とに交互に切り換えられる流体流路を接
続し、第２給排ポートには、例えば焼結金属２７を詰め
るなどして主に流体排出手段に構成した流体流路を接続
することにより、ピストン１５の前面側に形成される圧
力室Ａへ流体を供給し、ピストン１５の背面側に形成さ
れる圧力室Ｂから流体を排出して、ピストン１５をロッ
ドカバー１３側からヘッドカバー１４側へ移動させるこ
とができる。

【００６０】かかるピストン１５の移動に際しては、圧
力室Ａには連通チューブ１７の連通孔２３を介して流体
が徐々に供給され、徐々に速度を上昇させるように駆動
する。圧力室Ｂ側では、図５に示すように、ピストン１
５の移動に伴ってスプリング２６が縮められ、併せて圧
力室Ｂ内の空気が焼結金属２７を詰めた第２給排ポート
２２を介して排出されることとなる。

【００６１】このようにしてピストン１５がヘッドカバ
ー１４側に到達すると、ピストン１５により圧縮された
スプリング２６には反発力が溜められ、この反発力でピ
ストン１５はロッドカバー１３側に押し戻されることと
なる。

【００６２】スプリング２６の付勢によりピストン１５
が戻されるときは、圧力室Ａ内の流体は連通孔２３を介
して連通チューブ１７内に入り、さらに第１給排ポート
２１から排出される。この際、流体の圧力室Ａからの排
出は連通孔２３を介して行われるので、排出は徐々に行
われる。スプリング２６の反発力が一気に開放されよう
としても、圧力室Ａの流体は連通孔２３を介して徐々に
排出されるので、ストローク端でのピストン１５の折り
返し時の駆動速度の急激な変化が起きず、衝撃を小さく
抑えることができる。

【００６３】かかる単動型の流体圧シリンダでも、上記
説明のように、流体の給気、排出を連通チューブ１７を
介して徐々に行わせることにより、ピストン１５のスト
ローク端での始動、停止時における衝撃を極めて小さく
抑えることができる。

【００６４】

【発明の効果】本発明では、流体圧シリンダのピストン
の往復動に伴うストローク端での衝撃を緩和することが
できる。

【００６５】本発明では、シリンダ室内のピストンには
連通チューブが貫通させられているため、ピストンがシ
リンダ室内周面に沿って回転しようとするのを防止する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の流体圧シリンダを示す
断面図である。

【図２】本発明の流体圧シリンダの作動時における圧力
室内の連通面積と、ピストンのストローク量との関係を
示す線図である。

【図３】本発明の流体圧シリンダの作動時におけるピス
トンのストローク量と、作動時間との関係を示す線図で
ある。

【図４】本発明の流体圧シリンダを両ロッド型に構成し
た一変形例を示す断面図である。

【図５】本発明の流体圧シリンダを単動型に構成した一
変形例を示す断面図である。

【符号の説明】

１１ シリンダ本体 １１ａ 連結ロッド １２ 貫通孔 １２ａ シリンダ室 １３ ロッドカバー １４ ヘッドカバー １５ ピストン １５ａ スプリング係止部 １６ ピストンロッド １７ 連通チューブ １８ 摺動シール部材 １８ａ シール部材 １９ 誘導部材 １９ａ シール部材 ２１ 第１給排ポート ２２ 第２給排ポート ２３ 連通孔 ２４、２５ オリフィス ２６ スプリング ２７ 焼結金属 Ａ、Ｂ 圧力室

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ピストンロッドが設けられたピストンを
   直線方向に往復動自在に収容するシリンダ室を有し、両
   端にカバーが設けられたシリンダ本体と、 前記ピストンを貫通して前記ピストンロッドに平行に前
   記シリンダ室内に配置され、前記シリンダ室と連通する
   複数の連通孔が設けられた連通チューブと、 前記連通チューブの一端部に開口し、一方の前記カバー
   と前記ピストンとの間に形成される一方の圧力室に前記
   連通孔を介して連通する第１給排ポートと、 前記連通チューブの他端部に開口し、他方の前記カバー
   と前記ピストンとの間に形成される他方の圧力室に前記
   連通孔を介して連通する第２給排ポートと、 前記ピストンに対して磁力により追従移動自在に前記連
   通チューブ内に設けられ、前記第１給排ポートと前記第
   ２給排ポートとの連通を阻止する摺動シール部材とを有
   し、 前記第１給排ポートと第２給排ポートとの一方から流体
   を供給し他方から排出して前記ピストンを駆動する際
   に、前記ピストンの移動に伴って一方の前記圧力室と一
   方の給排ポートとの連通面積を増加させ、他方の前記圧
   力室と他方の給排ポートとの連通面積を減少させるよう
   にしたことを特徴とする流体圧シリンダ。
2. 【請求項２】 請求項１記載の流体圧シリンダにおい
   て、 前記ピストンに前記連通チューブに摺動自在に嵌合する
   筒形の永久磁石を設け、前記摺動シール部材を前記永久
   磁石と磁力により吸引し合う永久磁石に形成したことを
   特徴とする流体圧シリンダ。