JPH04224038A - ３次元先細の尖端部を有する器具の製造方法 - Google Patents
３次元先細の尖端部を有する器具の製造方法Info
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- JPH04224038A JPH04224038A JP3063765A JP6376591A JPH04224038A JP H04224038 A JPH04224038 A JP H04224038A JP 3063765 A JP3063765 A JP 3063765A JP 6376591 A JP6376591 A JP 6376591A JP H04224038 A JPH04224038 A JP H04224038A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21G—MAKING NEEDLES, PINS OR NAILS OF METAL
- B21G1/00—Making needles used for performing operations
- B21G1/08—Making needles used for performing operations of hollow needles or needles with hollow end, e.g. hypodermic needles, larding-needles
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B17/00—Surgical instruments, devices or methods, e.g. tourniquets
- A61B17/04—Surgical instruments, devices or methods, e.g. tourniquets for suturing wounds; Holders or packages for needles or suture materials
- A61B17/06—Needles ; Sutures; Needle-suture combinations; Holders or packages for needles or suture materials
- A61B17/06066—Needles, e.g. needle tip configurations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
- B23P15/28—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass cutting tools
- B23P15/40—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass cutting tools shearing tools
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【発明の背景】本発明は、針、ステープル及びその他の
先の尖った器具に適した３次元的に先細にされた尖端部
を有する器具を製造するための光化学的処理過程に関す
る。
先の尖った器具に適した３次元的に先細にされた尖端部
を有する器具を製造するための光化学的処理過程に関す
る。
【０００２】外科用の針のような多くの先の尖った器具
はステンレス鋼から多工程の労働集約的な方法で一度に
１個ずつ作るのが普通である。米国特許第４５８７２０
２号及び第４７７７０９６号（ボリスコ（Ｓｏｒｙｓｋ
ｏ）の特許）は、普通の方法と組み合わせられ高度の手
作業を必要とすることなく外科用の針を作る別の方法を
開示している。まず、外科用針に望ましい特性を示す金
属シートが少なくもその一方の面、好ましくは上下両面
を感光性フォトレジストで被覆され、次に多数の外科用
針の像の形の光で被覆面を照射する。この場合、各針は
後のエッチング段階中に生ずる横方向の腐食分を補うよ
うに正方形の鈍端に形成される。通常、針の像は被覆さ
れた金属シートをネガ又はフォトマスクで覆うことによ
り作られる。フォトマスクは、外科用針の形に形成され
た遮光マスクを含み、従って金属シートが光で照射され
たとき遮光マスクの形に相当する針の像を被覆面上に作
る。露光されたフォトレジストは除去され、残っている
フォトレジストにより保護されない不用の金属はエッチ
ング液に腐食除去される。好ましい方法においては、金
属シートの上下の面の外科用針の像は、互いに正確に重
なり合った鏡像である。作られた針からフォトレジスト
を除去した後に、針は電解研摩され、縫合糸に取り付け
られ、そして外科用に滅菌される。この方法は、一度に
１個ずつの外科用針を作る遅い機械的製造に代わるもの
であり、労力、従ってかかる針の総製造費を低下させる
。
はステンレス鋼から多工程の労働集約的な方法で一度に
１個ずつ作るのが普通である。米国特許第４５８７２０
２号及び第４７７７０９６号（ボリスコ（Ｓｏｒｙｓｋ
ｏ）の特許）は、普通の方法と組み合わせられ高度の手
作業を必要とすることなく外科用の針を作る別の方法を
開示している。まず、外科用針に望ましい特性を示す金
属シートが少なくもその一方の面、好ましくは上下両面
を感光性フォトレジストで被覆され、次に多数の外科用
針の像の形の光で被覆面を照射する。この場合、各針は
後のエッチング段階中に生ずる横方向の腐食分を補うよ
うに正方形の鈍端に形成される。通常、針の像は被覆さ
れた金属シートをネガ又はフォトマスクで覆うことによ
り作られる。フォトマスクは、外科用針の形に形成され
た遮光マスクを含み、従って金属シートが光で照射され
たとき遮光マスクの形に相当する針の像を被覆面上に作
る。露光されたフォトレジストは除去され、残っている
フォトレジストにより保護されない不用の金属はエッチ
ング液に腐食除去される。好ましい方法においては、金
属シートの上下の面の外科用針の像は、互いに正確に重
なり合った鏡像である。作られた針からフォトレジスト
を除去した後に、針は電解研摩され、縫合糸に取り付け
られ、そして外科用に滅菌される。この方法は、一度に
１個ずつの外科用針を作る遅い機械的製造に代わるもの
であり、労力、従ってかかる針の総製造費を低下させる
。
【０００３】具合わるいことには、ボリスコの特許によ
り製造される針は、貫入に抵抗し外科処置中に組織を引
き裂くかもしれない鑿状の末端で終わる尖端部を持つ。 この問題のため、組織又はその他の物質内に容易に貫入
できる能力を持った対称的な３次元的に先細にされた尖
端部をフォトエッチングにより作りうるようにこの方法
を改良することが望まれる。
り製造される針は、貫入に抵抗し外科処置中に組織を引
き裂くかもしれない鑿状の末端で終わる尖端部を持つ。 この問題のため、組織又はその他の物質内に容易に貫入
できる能力を持った対称的な３次元的に先細にされた尖
端部をフォトエッチングにより作りうるようにこの方法
を改良することが望まれる。
【０００４】
【発明の概要】本発明は、１個の尖端部だけでなく、も
し希望するならば、２個又は３個の尖端部を有する多数
の器具の同時製造に応用する場合でも、先端のある尖端
部を有する器具を製造する改良された方法である。この
方法はボリスコの特許に開示された方法の改良であり、
この特許は次の方法を開示している。即ち、器具用とし
て望ましい特性を示す金属シートの上下の面を感光性フ
ォトレジストで被覆し、遮光性マスクを通してフォトレ
ジストを露光し、前記マスクはエッチング段階中での横
方向の腐食分を補うように尖端部が鈍端に形成された器
具の像の形であり、シート材の上下の面の前記像は互い
に正確に一致する鏡像であり、露光されたフォトレジス
トを除去し、更に残っているフォトレジストにより保護
されないシート材を除去するように処理されたシート材
をエッチング液と接触させる方法である。改良は次の段
階を備える。ａ）シート材の上下の面における器具の尖
端部の像が互いに食い違うようにシート材の上面におけ
る器具の尖端部の像の長さをその下面における前記尖端
部の像の長さに比較して短縮させ、ｂ）前記鈍端にごく
接近しかつ前記尖端部の長手方向軸芯と軸方向で揃えら
れた頂点を形成するように一般に前記尖端部の周囲に沿
って配されかつ前記尖端部の各側に実質的に平行に尖端
部末端の鈍端に走るＶ字形によりシート材の上面におけ
る器具の尖端部の像の部分を露光させる段階を含む。
し希望するならば、２個又は３個の尖端部を有する多数
の器具の同時製造に応用する場合でも、先端のある尖端
部を有する器具を製造する改良された方法である。この
方法はボリスコの特許に開示された方法の改良であり、
この特許は次の方法を開示している。即ち、器具用とし
て望ましい特性を示す金属シートの上下の面を感光性フ
ォトレジストで被覆し、遮光性マスクを通してフォトレ
ジストを露光し、前記マスクはエッチング段階中での横
方向の腐食分を補うように尖端部が鈍端に形成された器
具の像の形であり、シート材の上下の面の前記像は互い
に正確に一致する鏡像であり、露光されたフォトレジス
トを除去し、更に残っているフォトレジストにより保護
されないシート材を除去するように処理されたシート材
をエッチング液と接触させる方法である。改良は次の段
階を備える。ａ）シート材の上下の面における器具の尖
端部の像が互いに食い違うようにシート材の上面におけ
る器具の尖端部の像の長さをその下面における前記尖端
部の像の長さに比較して短縮させ、ｂ）前記鈍端にごく
接近しかつ前記尖端部の長手方向軸芯と軸方向で揃えら
れた頂点を形成するように一般に前記尖端部の周囲に沿
って配されかつ前記尖端部の各側に実質的に平行に尖端
部末端の鈍端に走るＶ字形によりシート材の上面におけ
る器具の尖端部の像の部分を露光させる段階を含む。
【０００５】本発明の改良された方法により、当業者は
長い３次元的に先細にされた尖端部を有する器具を作る
ことができる。本発明の方法により製造しうるかかる器
具の例は、縫製用の針のような繊維工業用の針、外科用
の針、ステープル及びクリップを含む。これらの先の尖
った器具は、組織又はその他の物質に容易に貫入でき、
それらの使用中における組織又はその他の物質の切り裂
きの危険を減らせる。更に、先細の形状と長さとは、Ｖ
字形の寸法及び尖端部の上下の像の食い違い量を変更す
ることにより調整できる。
長い３次元的に先細にされた尖端部を有する器具を作る
ことができる。本発明の方法により製造しうるかかる器
具の例は、縫製用の針のような繊維工業用の針、外科用
の針、ステープル及びクリップを含む。これらの先の尖
った器具は、組織又はその他の物質に容易に貫入でき、
それらの使用中における組織又はその他の物質の切り裂
きの危険を減らせる。更に、先細の形状と長さとは、Ｖ
字形の寸法及び尖端部の上下の像の食い違い量を変更す
ることにより調整できる。
【０００６】
【発明の詳細説明】ここに引用の米国特許第４５８７２
０２号及び第４７７７０９６号（ブリスコの特許）のフ
ォトエッチング方法は、本発明の外科用針を製造するた
めに必要な一般手順及び作業条件を説明している。ボリ
スコの特許は１個の金属シートからの複数の外科用針の
製造を開示し、本発明の改良された方法は、１個の針の
製造に応用できるだけでなく、好ましくは１回のフォト
エッチング処理で複数の針の製造にも明らかに応用でき
る。更に、ボリスコの特許に説明された方法は、ステー
プル及びクリップのようなその他の先の尖った器具の製
造に使用しうる。先の尖った器具は金属シートだけでな
く適当な特性を持ったポリマー、セラミックス、又はそ
の他のシート材のようなその他のフォトエッチング可能
なシート材からもフォトエッチングにより製造できる。 好ましくは、シート材は金属シートである。
０２号及び第４７７７０９６号（ブリスコの特許）のフ
ォトエッチング方法は、本発明の外科用針を製造するた
めに必要な一般手順及び作業条件を説明している。ボリ
スコの特許は１個の金属シートからの複数の外科用針の
製造を開示し、本発明の改良された方法は、１個の針の
製造に応用できるだけでなく、好ましくは１回のフォト
エッチング処理で複数の針の製造にも明らかに応用でき
る。更に、ボリスコの特許に説明された方法は、ステー
プル及びクリップのようなその他の先の尖った器具の製
造に使用しうる。先の尖った器具は金属シートだけでな
く適当な特性を持ったポリマー、セラミックス、又はそ
の他のシート材のようなその他のフォトエッチング可能
なシート材からもフォトエッチングにより製造できる。 好ましくは、シート材は金属シートである。
【０００７】本発明を説明するためには、シート材の上
下の面はそのシートの面と平行な２個の面である。器具
の尖端部は、全体として先の尖った末端から器具の最大
幅に走る器具の部分であり、更に尖端部の長さは尖端部
の長手方向軸芯と平行な方向の測定寸法に関連する。先
細尖端器具、例えば先細針は、一般に、尖端部が器具の
最大直径から鋭く対称的な先端に細くなるこれらの器具
を示す。ステープルのようなある種の器具については、
器具は２個又はそれ以上の尖端部を持つことができる。
下の面はそのシートの面と平行な２個の面である。器具
の尖端部は、全体として先の尖った末端から器具の最大
幅に走る器具の部分であり、更に尖端部の長さは尖端部
の長手方向軸芯と平行な方向の測定寸法に関連する。先
細尖端器具、例えば先細針は、一般に、尖端部が器具の
最大直径から鋭く対称的な先端に細くなるこれらの器具
を示す。ステープルのようなある種の器具については、
器具は２個又はそれ以上の尖端部を持つことができる。
【０００８】ボリスコの特許に説明のように、フォトレ
ジスト処理されたシート材は、露光が望ましいシート領
域を選択的に調整するようにしてフォトマスクで覆われ
る。フォトマスクは、末端が鈍端な先の尖った器具の像
の形に作られた遮光マスクを備える。ボリスコの特許に
おいては、シート材の上面のフォトマスクは、下面のフ
ォトマスクの鏡像でありかつこれと完全に揃う。
ジスト処理されたシート材は、露光が望ましいシート領
域を選択的に調整するようにしてフォトマスクで覆われ
る。フォトマスクは、末端が鈍端な先の尖った器具の像
の形に作られた遮光マスクを備える。ボリスコの特許に
おいては、シート材の上面のフォトマスクは、下面のフ
ォトマスクの鏡像でありかつこれと完全に揃う。
【０００９】本発明の改良された方法においては、上下
のフォトマスクは鏡像ではない。シート材の上面用の器
具尖端部の像の長さは減らされ、これによりシート材の
上下の面のフォトマスクにある像は互いに食い違う。更
に、シート材の上面の先の尖った器具の像の遮光マスク
を通してＶ字形が露光される。Ｖ字形は尖端部像の外周
の内側に配される。Ｖ字形の露光は、シート材のフォト
マスクが作られたとき行なわれることが都合よい。かか
るＶ字形はシート材の下面用のフォトマスクには存在し
ない。
のフォトマスクは鏡像ではない。シート材の上面用の器
具尖端部の像の長さは減らされ、これによりシート材の
上下の面のフォトマスクにある像は互いに食い違う。更
に、シート材の上面の先の尖った器具の像の遮光マスク
を通してＶ字形が露光される。Ｖ字形は尖端部像の外周
の内側に配される。Ｖ字形の露光は、シート材のフォト
マスクが作られたとき行なわれることが都合よい。かか
るＶ字形はシート材の下面用のフォトマスクには存在し
ない。
【００１０】図面に示された特別の実施例を参照すれば
、図１はシート材の上面用のフォトマスク１０の一部を
示す。フォトマスク１０は本体１１及び末端の鈍端１３
に延びている尖端部１２を描く。
、図１はシート材の上面用のフォトマスク１０の一部を
示す。フォトマスク１０は本体１１及び末端の鈍端１３
に延びている尖端部１２を描く。
【００１１】一実施例においては、Ｖ字形は、鈍端１３
にごく近くでかつ尖端部１２の長手方向軸芯と平行に頂
部１５を形成するように、一般に尖端部１２の周囲に沿
って走りかつ尖端部１６の側辺と平行に走る複数の穴１
４により形成される。
にごく近くでかつ尖端部１２の長手方向軸芯と平行に頂
部１５を形成するように、一般に尖端部１２の周囲に沿
って走りかつ尖端部１６の側辺と平行に走る複数の穴１
４により形成される。
【００１２】図２に示された別の実施例においては、金
属シートの上面用のフォトマスク１７の部分は、針本体
１８、及び鈍端２０に延びている尖端部１９を描く。Ｖ
字形２３は、各が尖端部２１の側辺と平行に走りかつ尖
端部１９の長手方向軸芯と平行で鈍端２０のごく近くで
頂部２２を形成している２個の溝として描かれる。
属シートの上面用のフォトマスク１７の部分は、針本体
１８、及び鈍端２０に延びている尖端部１９を描く。Ｖ
字形２３は、各が尖端部２１の側辺と平行に走りかつ尖
端部１９の長手方向軸芯と平行で鈍端２０のごく近くで
頂部２２を形成している２個の溝として描かれる。
【００１３】図３は、シートの下面用のフォトマスクの
同様な部分上に重ねられ破線で示された図２のフォトマ
スクを２４で示す。下面用のフォトマスクの尖端部２６
の長さは、上面の尖端部２５の長さよりも長く、このた
め各面のフォトマスクの像は互いに食い違う。
同様な部分上に重ねられ破線で示された図２のフォトマ
スクを２４で示す。下面用のフォトマスクの尖端部２６
の長さは、上面の尖端部２５の長さよりも長く、このた
め各面のフォトマスクの像は互いに食い違う。
【００１４】尖端部の形状は、シート材の上面の尖端部
自体の像の長さ、幅及びその他の寸法だけでなくＶ字形
の位置と寸法も変えることにより、特別の応用に特に適
した形状を有する先の尖った器具を製造するように大き
く変更することができる。
自体の像の長さ、幅及びその他の寸法だけでなくＶ字形
の位置と寸法も変えることにより、特別の応用に特に適
した形状を有する先の尖った器具を製造するように大き
く変更することができる。
【００１５】図４及び図５は、ボリスコの特許に説明さ
れた方法により製造された針尖端部と比較した本発明の
方法により製造された針尖端部の形状の目覚ましいな改
良を示す。本発明により製造された鋭い先端に先細にさ
れた尖端部とは異なり、ボリスコの特許により製造され
た針は、手術処置中に組織を引き裂く可能性のある多数
の隆起のある粗い鑿状末端を持つ。図６に示された写真
は、本発明の改良された方法により製造されたときの針
の長く先細でかつ鋭く対称的な末端を示す。
れた方法により製造された針尖端部と比較した本発明の
方法により製造された針尖端部の形状の目覚ましいな改
良を示す。本発明により製造された鋭い先端に先細にさ
れた尖端部とは異なり、ボリスコの特許により製造され
た針は、手術処置中に組織を引き裂く可能性のある多数
の隆起のある粗い鑿状末端を持つ。図６に示された写真
は、本発明の改良された方法により製造されたときの針
の長く先細でかつ鋭く対称的な末端を示す。
【００１６】処理された金属シートが外科用針の製造の
ためにエッチングされた後に、フォトレジストは通常の
技法を使用して針から除去される。次いで、針は電解研
摩され、希望するならば１個又はそれ以上の縫合糸にす
え込みされ又は固定され、次いで種々の外科的応用に適
応した針を作るために滅菌される。同様に、光化学処理
が完了したとき、その他の先の尖った器具を製造するた
めに希望の処理段階を行うことができる。
ためにエッチングされた後に、フォトレジストは通常の
技法を使用して針から除去される。次いで、針は電解研
摩され、希望するならば１個又はそれ以上の縫合糸にす
え込みされ又は固定され、次いで種々の外科的応用に適
応した針を作るために滅菌される。同様に、光化学処理
が完了したとき、その他の先の尖った器具を製造するた
めに希望の処理段階を行うことができる。
【００１７】ボリスコの特許に説明されたように、本発
明は乾燥ポジフォトレジスト技術に関して説明されたが
、その他の形式のフォトレジストを使用して本発明の方
法を行うことが可能である。
明は乾燥ポジフォトレジスト技術に関して説明されたが
、その他の形式のフォトレジストを使用して本発明の方
法を行うことが可能である。
【００１８】本発明の実施態様につき説明すれば次の通
りである。
りである。
【００１９】１．器具用として望ましい特性を示すシー
ト材がその上下の面を感光性フォトレジストで被覆され
、フォトレジストは遮光マスクを通して露光され、前記
マスクはエッチング段階中での横方向の腐食分を補うよ
うに尖端部末端が鈍端を有するように形作られた器具の
像の形であり、シート材の上下の面用の前記像は互いに
鏡像であり、露光されたフォトレジストは除去され更に
処理されたシート材は残っているフォトレジストにより
保護されない材料を除去するようにエッチング液と接触
する方式の末端のある尖端部を有する器具の製造方法に
おいて、 ａ）シート材の上下の面における器具の尖端部の像が互
いに食い違うようにシート材の上面における器具の尖端
部の像の長さをその下面における前記尖端部の像の長さ
に比較して短縮し、 ｂ）前記鈍端にごく接近しかつ前記尖端部の長手方向軸
芯と軸方向で揃えられた頂点を形成するように一般に前
記尖端部の周囲に沿って配されかつ前記尖端部の各側に
実質的に平行に尖端部末端の鈍端に走るＶ字形によりシ
ート材の上面における器具の尖端部の像の部分を露光さ
せる諸段階を含んだ改良。
ト材がその上下の面を感光性フォトレジストで被覆され
、フォトレジストは遮光マスクを通して露光され、前記
マスクはエッチング段階中での横方向の腐食分を補うよ
うに尖端部末端が鈍端を有するように形作られた器具の
像の形であり、シート材の上下の面用の前記像は互いに
鏡像であり、露光されたフォトレジストは除去され更に
処理されたシート材は残っているフォトレジストにより
保護されない材料を除去するようにエッチング液と接触
する方式の末端のある尖端部を有する器具の製造方法に
おいて、 ａ）シート材の上下の面における器具の尖端部の像が互
いに食い違うようにシート材の上面における器具の尖端
部の像の長さをその下面における前記尖端部の像の長さ
に比較して短縮し、 ｂ）前記鈍端にごく接近しかつ前記尖端部の長手方向軸
芯と軸方向で揃えられた頂点を形成するように一般に前
記尖端部の周囲に沿って配されかつ前記尖端部の各側に
実質的に平行に尖端部末端の鈍端に走るＶ字形によりシ
ート材の上面における器具の尖端部の像の部分を露光さ
せる諸段階を含んだ改良。
【００２０】２．Ｖ字形が先端部の側辺と一般的に平行
に延びている多数の穴の形状である実施態様１の方法。
に延びている多数の穴の形状である実施態様１の方法。
【００２１】３．Ｖ字形が２個の狭い溝の形状であり、
各溝は先端部の側辺と一般的に平行に延びている実施態
様１の方法。
各溝は先端部の側辺と一般的に平行に延びている実施態
様１の方法。
【００２２】４．フォトレジストが複数の先端器具の像
の形の遮光マスクを通して光に露光される実施態様１の
方法。
の形の遮光マスクを通して光に露光される実施態様１の
方法。
【図１】本発明の方法の実行に使用できるシートの上面
用のフォトマスクの像の一部の拡大平面図である。
用のフォトマスクの像の一部の拡大平面図である。
【図２】本発明の方法の実行に使用できるシートの上面
用の別のフォトマスクの像の一部の拡大平面図である。
用の別のフォトマスクの像の一部の拡大平面図である。
【図３】シートの下面用のフォトマスクの像の一部と重
ね合わせられた図２に示されたフォトマスクの像の拡大
平面図である。
ね合わせられた図２に示されたフォトマスクの像の拡大
平面図である。
【図４】本発明の方法により製造しうる外科用針の一部
の拡大斜視図である。
の拡大斜視図である。
【図５】ボリスコの特許に開示された方法により製造さ
れた外科用針の一部の拡大斜視図である。
れた外科用針の一部の拡大斜視図である。
【図６】本発明の方法により製造された４個の外科用針
の１００倍に拡大された平面図である。
の１００倍に拡大された平面図である。
Claims (1)
- 【請求項】器具用として望ましい特性を示すシート材が
その上下の面を感光性フォトレジストで被覆され、フォ
トレジストは遮光マスクを通して露光され、前記マスク
はエッチング段階中での横方向の腐食分を補うように尖
端部末端が鈍端を有するように形作られた器具の像の形
であり、シート材の上下の面用の前記像は互いに鏡像で
あり、露光されたフォトレジストは除去され更に処理さ
れたシート材は残っているフォトレジストにより保護さ
れない材料を除去するようにエッチング液と接触する方
式の末端のある尖端部を有する器具の製造方法において
、 ａ）シート材の上下の面における器具の尖端部の像が互
いに食い違うようにシート材の上面における器具の尖端
部の像の長さをその下面における前記尖端部の像の長さ
に比較して短縮し、 ｂ）前記鈍端にごく接近しかつ前記尖端部の長手方向軸
芯と軸方向で揃えられた頂点を形成するように一般に前
記尖端部の周囲に沿って配されかつ前記尖端部の各側に
実質的に平行に尖端部末端の鈍端に走るＶ字形によりシ
ート材の上面における器具の尖端部の像の部分を露光さ
せる諸段階を含んだ改良。
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