JPH04218800A - Ｘ線回折分析用スリット構造 - Google Patents
Ｘ線回折分析用スリット構造Info
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- JPH04218800A JPH04218800A JP2405346A JP40534690A JPH04218800A JP H04218800 A JPH04218800 A JP H04218800A JP 2405346 A JP2405346 A JP 2405346A JP 40534690 A JP40534690 A JP 40534690A JP H04218800 A JPH04218800 A JP H04218800A
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料からのＸ線の回折
を利用して物質の構造や、これに掛っている応力を測定
する装置に適したＸ線スリットの構造に関する。
を利用して物質の構造や、これに掛っている応力を測定
する装置に適したＸ線スリットの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子材料、高分子、金属等の定性、定量
分析や結晶構造の解析には、図２に示したようにＸ線源
２０から放射されたＸ線を、平板を一定間隔で平行に配
列してなる発散防止用スリット２１と細隙スリット２２
を通して試料Ｓに照射し、試料Ｓからの回折Ｘ線を細隙
スリット２３，受光スリット２４で前後を挟まれた平行
スリット２５を介してＸ線検出器に入射させて広い走査
範囲で分光条件を一定に維持するようにしている。
分析や結晶構造の解析には、図２に示したようにＸ線源
２０から放射されたＸ線を、平板を一定間隔で平行に配
列してなる発散防止用スリット２１と細隙スリット２２
を通して試料Ｓに照射し、試料Ｓからの回折Ｘ線を細隙
スリット２３，受光スリット２４で前後を挟まれた平行
スリット２５を介してＸ線検出器に入射させて広い走査
範囲で分光条件を一定に維持するようにしている。
【０００３】また、薄膜などの結晶解析や応力測定には
、図３に示したようにＸ線源２０からのＸ線を平行線束
スリット２６により平行束にして試料Ｓに照射し、また
試料Ｓからの回折Ｘ線を平行束スリット２７を介してＸ
線検出器により入射させることにより、Ｘ線照射面積の
拡大防止と、試料面の傾きによる誤差防止を図るように
している。
、図３に示したようにＸ線源２０からのＸ線を平行線束
スリット２６により平行束にして試料Ｓに照射し、また
試料Ｓからの回折Ｘ線を平行束スリット２７を介してＸ
線検出器により入射させることにより、Ｘ線照射面積の
拡大防止と、試料面の傾きによる誤差防止を図るように
している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように、分析対象
によってスリットの選択が行なわるのであるが、このた
めには既に装着されているスリットを取外して、目的の
スリットを固定するという作業を必要とするばかりでな
く、交換後に光軸の調整作業が必要になるという問題が
ある。
によってスリットの選択が行なわるのであるが、このた
めには既に装着されているスリットを取外して、目的の
スリットを固定するという作業を必要とするばかりでな
く、交換後に光軸の調整作業が必要になるという問題が
ある。
【０００５】本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであって、その目的とするところは、スリットの取
外しや光軸調整を不要とすることができる新規なＸ線回
折分析用のスリット構造を提供することにある。
ものであって、その目的とするところは、スリットの取
外しや光軸調整を不要とすることができる新規なＸ線回
折分析用のスリット構造を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、Ｘ線源側に配置された上下
発散防止用の第１のスリット体と、検出器側に配置され
、基台に対して少なくとも９０度回動可能な枠体に平板
を複数枚平行に配置してなるスリットを備えるとともに
、出射口側に細隙スリット板をＸ線通過路から進退可能
に設けてなる第２スリット体を備えるようにした。
るために本発明においては、Ｘ線源側に配置された上下
発散防止用の第１のスリット体と、検出器側に配置され
、基台に対して少なくとも９０度回動可能な枠体に平板
を複数枚平行に配置してなるスリットを備えるとともに
、出射口側に細隙スリット板をＸ線通過路から進退可能
に設けてなる第２スリット体を備えるようにした。
【０００７】
【作用】基台に対して枠体を回動させることにより第２
スリットの光軸をずらせることなくスリットの方向を変
えることができ、また細隙スリット板を着脱することに
より集中法スリット系と平行線束スリット系に使い分け
ることができる。
スリットの光軸をずらせることなくスリットの方向を変
えることができ、また細隙スリット板を着脱することに
より集中法スリット系と平行線束スリット系に使い分け
ることができる。
【０００８】
【実施例】そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。図１は本発明の一実施例を示すも
のであって、図中符号１は、Ｘ線源側に配置された第１
のスリット体で、平板２，２，２，‥‥を平行に配置し
てこの実施例ではスリットが水平方向となるように構成
され、その照射口側にはスリット口３が垂直となる細隙
スリット４が設けられている。
に基づいて説明する。図１は本発明の一実施例を示すも
のであって、図中符号１は、Ｘ線源側に配置された第１
のスリット体で、平板２，２，２，‥‥を平行に配置し
てこの実施例ではスリットが水平方向となるように構成
され、その照射口側にはスリット口３が垂直となる細隙
スリット４が設けられている。
【０００９】５は、Ｘ線検出器側に配置された第２のス
リット体で、基台６に対して少なくとも９０度の回動が
可能な枠体７に平板８，８，８‥‥を平行に取り付けて
スリットが構成され、枠体７の出射口側にはスリット口
と直交するスリット口９を備えた細隙スリット板１０を
固定するガイド部材１１，１１が設けられている。
リット体で、基台６に対して少なくとも９０度の回動が
可能な枠体７に平板８，８，８‥‥を平行に取り付けて
スリットが構成され、枠体７の出射口側にはスリット口
と直交するスリット口９を備えた細隙スリット板１０を
固定するガイド部材１１，１１が設けられている。
【００１０】この実施例において、電子材料、高分子、
金属等の定性、定量分析や結晶構造の解析を行なう場合
には、第１、第２のスリット体１，５のスリットがとも
に水平となるように第２のスリット体５の枠体７を回動
させるとともに、第２のスリット体５のガイド部材１１
，１１に細隙スリット板１０を装着する。この状態で分
析を行なうと、集中法スリット系が形成されているから
、Ｘ線源から放射されたＸ線は、第１のスリット体１を
構成している平板２，２，２により上下方向への発散を
防止され、細隙スリット板４を通って試料Ｓを到達する
。試料により回折されたＸ線は、第２のスリット体５に
入射して、これを構成している平板７，７，７により上
下方向の発散を防止されながら細隙スリット板のスリッ
ト９を通過して図示しない検出器に到達する。
金属等の定性、定量分析や結晶構造の解析を行なう場合
には、第１、第２のスリット体１，５のスリットがとも
に水平となるように第２のスリット体５の枠体７を回動
させるとともに、第２のスリット体５のガイド部材１１
，１１に細隙スリット板１０を装着する。この状態で分
析を行なうと、集中法スリット系が形成されているから
、Ｘ線源から放射されたＸ線は、第１のスリット体１を
構成している平板２，２，２により上下方向への発散を
防止され、細隙スリット板４を通って試料Ｓを到達する
。試料により回折されたＸ線は、第２のスリット体５に
入射して、これを構成している平板７，７，７により上
下方向の発散を防止されながら細隙スリット板のスリッ
ト９を通過して図示しない検出器に到達する。
【００１１】一方、薄膜の結晶構造や応力を測定する場
合には、第２のスリット体５から細隙スリット板１０を
取外すとともに、これら第２のスリット体５の枠体７を
９０度回動させて、各スリットを構成している平板８，
８，８を垂直の位置まで移動させる。この状態では平行
線束法スリット系が構成されているから、Ｘ線源から放
射されたＸ線は、第１のスリット１により平行線束とな
って試料Ｓを照射し、また試料Ｓからの回折Ｘ線は第２
のスリット体５により平行線束としてＸ線検出器に入射
する。
合には、第２のスリット体５から細隙スリット板１０を
取外すとともに、これら第２のスリット体５の枠体７を
９０度回動させて、各スリットを構成している平板８，
８，８を垂直の位置まで移動させる。この状態では平行
線束法スリット系が構成されているから、Ｘ線源から放
射されたＸ線は、第１のスリット１により平行線束とな
って試料Ｓを照射し、また試料Ｓからの回折Ｘ線は第２
のスリット体５により平行線束としてＸ線検出器に入射
する。
【００１２】なお、この実施例では、スリット体５の回
動や細隙スリット板１０の取外しを手動により行なう場
合について説明したが、各枠体をモータにより駆動させ
たり、また細隙スリット板１０をソレノイドにより往復
動させることにより、操作パネルからの指令により分析
目的に対応したスリットの形態を選択することができる
。
動や細隙スリット板１０の取外しを手動により行なう場
合について説明したが、各枠体をモータにより駆動させ
たり、また細隙スリット板１０をソレノイドにより往復
動させることにより、操作パネルからの指令により分析
目的に対応したスリットの形態を選択することができる
。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明においてはＸ
線源側に配置された上下発散防止用の第１のスリット体
と、検出器側に配置され、基台に対して少なくとも９０
度回動可能な枠体に平板を複数枚平行に配置してなるス
リットを備えるとともに、出射口側に細隙スリット板を
Ｘ線通過路から進退可能に設けてなる第２スリット体を
備えるようにしたので、第２のスリット体を９０度回転
させたり、細隙スリット板を第２のスリット体に着脱す
るだけで、集中法スリット系と平行線束法スリット系を
切換えることができ、スリットの取外しや取り付け作業
、及び交換後の光軸調整が不要となるばかりでなく、自
動交換が可能となる。
線源側に配置された上下発散防止用の第１のスリット体
と、検出器側に配置され、基台に対して少なくとも９０
度回動可能な枠体に平板を複数枚平行に配置してなるス
リットを備えるとともに、出射口側に細隙スリット板を
Ｘ線通過路から進退可能に設けてなる第２スリット体を
備えるようにしたので、第２のスリット体を９０度回転
させたり、細隙スリット板を第２のスリット体に着脱す
るだけで、集中法スリット系と平行線束法スリット系を
切換えることができ、スリットの取外しや取り付け作業
、及び交換後の光軸調整が不要となるばかりでなく、自
動交換が可能となる。
【図１】本発明のスリット構造の一実施例を示す構成図
である。
である。
【図２】Ｘ線回折分析に使用されている集中法系スリッ
トを示す図である。
トを示す図である。
【図２】Ｘ線回折分析に使用されている平行線束法系ス
リットを示す図である。
リットを示す図である。
１ 第１のスリット体
２ 平板
４ 細隙スリット
５ 第２のスリット体
６ 基台
７ 枠体
８ 平板
１０ 細隙スリット板
１１ ガイド部材
【選択図】 図１＠＠＠＠
Claims (1)
- Ｘ線源側に配置された上下発散防止用の第１のスリット
体と、検出器側に配置され、基台に対して少なくとも９
０度回動可能な枠体に平板を複数枚平行に配置してなる
スリットを備えるとともに、出射口側に細隙スリット板
をＸ線通過路から進退可能に設けてなる第２スリット体
からなるＸ線回折分析用スリット構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2405346A JP2526425B2 (ja) | 1990-12-06 | 1990-12-06 | Ｘ線回折分析用スリット構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2405346A JP2526425B2 (ja) | 1990-12-06 | 1990-12-06 | Ｘ線回折分析用スリット構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04218800A true JPH04218800A (ja) | 1992-08-10 |
| JP2526425B2 JP2526425B2 (ja) | 1996-08-21 |
Family
ID=18514955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2405346A Expired - Lifetime JP2526425B2 (ja) | 1990-12-06 | 1990-12-06 | Ｘ線回折分析用スリット構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2526425B2 (ja) |
-
1990
- 1990-12-06 JP JP2405346A patent/JP2526425B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2526425B2 (ja) | 1996-08-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960409 |