JPH04208918A - ビームエキスパンダーとその微動装置及び微動装置つきビームエキスパンダー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、例えば−Ｆ渉露光装置等（、−おいて、１
ノーザーｉのビームの径を拡大するし一一ムエキスパン
ダーと、そのヒ〜ム、、Ｊ、、キスパニノダー、１ノー
ザー装置及び望遠鏡等を＾む鏡筒型光学機器を支持調整
する微動装置、並びに、そのような微動上５つきのビー
ムエキスパンダーに関する。

（従来の技術） 従来のビームコニヤスバンダーは、ピンポールを中間に
介在し２？Ｔ対設されたイソプツト１ノンズ及びアウト
プット１ノンズと、そのビンポールを支持し。

て左右（Ｘ軸）方向と上下（Ｙ軸）方向の微ＦＪｊＪ凋
整が可能なピンホールホルダ・−と、前記インプットｌ
ノノズを支持１，５て前後（Ｚ輔ｊ）方向６．−微動調
整が可能なイソプツト１ノンズホルダ・−と、それら双
方のボルダ−を台座上の一側で支持するスベイ、／ヤル
ホルダーと、その台座上の他側で前記アウトプットｌノ
ノズを支持するアウトプットレンズホルダ・−ノニから
成る。

従来の鏡筒型光７機器支持用の微動装置は、鏡筒周面の
ｎＱ及び後にそれぞ第１遊合されノー一対のリングと、
そ相らの各リングの円周方向１２０°の間隔位置に半径
方向に変位可能に配設置、たそれぞれ３本のビスとから
成り、前記合計６本のビスの進退関連操作により鏡筒を
微ｆｌｉｔ、＋調整−４るもの、あるいは、更に、上記
に加えて、前記−７対のリングを支持する共通の台座イ
、二傾斜調整機構を付設置、たもの、または、天体望遠
鏡の経緯台のように、垂直な回転軸を自する回転部と水
平な回転軸を有する回転部とを幾つか介して鏡筒の中間
部を支持するもの、等が周知である。

（発明が解決（−１よう２・する課題）前記従来のビー
ムエキスパンダーは、ビンホ・−ル２ニインプット１ノ
こ／ズ及びＹウトブットレ゛ノズの３名がそれぞれ独立
して支持されでいるため、例えば振動等シ、−よって光
軸がづ゛わ易く、光軸の再調整を度々行うことを要１２
、多くの時間と労力がかかった。

次ζこ、前記従来の久動得引、−おいて、鏡筒の前後双
方の周面上の対称な３点に接する調整用ビスを備えたも
のは、前後に備えた合計６点のビス各々の緩めと締めに
よって、鏡筒に対して垂直及び水平方向への位置の変位
ならびに上下及び側方への角度の変位を与えることがで
きるが、鏡筒を所望の姿勢に変位させて支持する場合に
、６点のビスのうち、どのビスをどれだけ緩め、どのビ
スをどれだけ締めれば所望の姿勢に微動調整できるのか
を把握することが難しく、所望の姿勢を得るまでに労力
と時間を要した。

また、前後６点のビス調整と、そのビスを備えた部材の
ポールの回動とで鏡筒の上下あおり角あるいは側方への
振れ角を調整する場合に、角度変位の運動の中心が鏡筒
の光軸と一致せず、すなわち、鏡筒のすべての角度変位
の運動の中心となる不動の一点がその鏡筒の光軸上に存
在しないので、ビス調整による角度変位の運動で変位す
るそれぞれの光軸は一点で交わらず、仮に光軸の角度を
読み取ることができても、光軸がビームの入射方向と出
射方向のどの位置に向かっているのかを把握することは
困難であった。

更に、鏡筒は、その中間部を１本のポールのみで支持さ
れるため、鏡筒の安定が悪く、鏡筒前後端のぶれが生じ
る欠点があった。

一方、前記従来の微動装置において、鏡筒の上下あおり
角を調整する傾斜調整機構は、前記調整用ビスを備えた
部材に設けた微動装置と同様に、角度変位の運動の中心
と鏡筒の光軸とが一致せず、鏡筒の支持が不安定な欠点
があった。

更に、前記従来の微動装置において、垂直な回動軸を有
する回動部と水平な回動輪を有する回動部を幾つか介し
て鏡筒の長手方向中間部を支持するものは、鏡筒の前後
端が、支持された中間部を支点にしてぶれ易く、振動に
弱い憂いがあった。

（課題を解決するための手段） この発明は、前記の課題を解決するために次の手段を創
作した。

この発明によるビームエキスパンダーは、インプットレ
ンズとピンホールとを配設したモジュールを、鏡筒の一
方の開口部に装填し、その鏡筒の他方の開口部にアウト
プットレンズを設けたものから成る。

前記モジュールを前記鏡筒内の所定の位置に装填するに
は、その鏡筒内の所定の位置に凸材を突設して、その凸
材で前記モジュールの前端面を位置決めすると共に、そ
の鏡筒の一方の開口部に蓋材を結合させて、その蓋材で
前記モジュールの後端面を固定する。

次に、この発明による鏡筒の微動装置は、鏡筒の長手方
向の２点すなわちＡ点及びＢ点を支持台で支持し、その
支持台とＡ点の軸心との間に全方向角変位機構を介装す
る一方、前記支持台とＢ点との間に左右方向直線変位ス
テージと上下方向直線変位ステージとを介装し、更に、
前記Ｂ点と当該ステージとの間に前記ステージによる変
位を可能にする補助変位機構を介装したものから成る。

なお、前記鏡筒の微動装置は、更に、Ａ点の支持台にも
左右方向直線変位ステージと上下方向直線変位ステージ
を付設する場合もある。

前記ステージには直進マニピュレーターを使用し、それ
を数値制御により自動化することも可能である。

前記全方向角変位機構には、例えば自在継手が使われる
。

前記補助変位機構は、第２の全方向角変位機構と前後方
向直線変位機構との組み合わせから成り、前者には、例
えば球継手が使われ、後者には、例えば鏡筒の長手方向
に刻設した長溝と球継手または突起と組み合わせたもの
が使われる。

更に、この発明は、前記各要件の一つまたは総てを備え
た微動装置つきのビームエキスパンダー、及び、前記微
動装置を備えた冒頭記載のビームエキスパンダーに及ぶ
。

（作　　用） この発明によるビームエキスパンダーは、単一の鏡筒の
軸心に合わせてインプットレンズ、ピンホール及びアウ
トプットレンズを配置しているために、振動等によって
も光軸がずれるおそれがない。

この発明による鏡筒の微動装置は、鏡筒のＡ点に例スば
自在継手を介装し、Ｂ点に左右方向直進変位ステージと
上下方向Ｉｇ＋進変位スｒ−ノとそ才１らのステ・−、
ノによる変位を可能にする補助変位心構とを介装して、
支持台に支持さｌる構成であ４、ので、停４筒のＡ点を
通る光軸をあらゆる方向に設定するこ＾が許さ石る。

前記微動装置？、二おいγ、更ｊ、ニア、Ａ点の支持台
にも左右方向直線変位スチーー′ジと十Ｆ方向直線／Ｓ
位スチーノとをイー１設置た場合には、Ａ点を任章の位
置に移動させた一Ｌで、（のＡ点を通る光軸をあらゆる
方向ζ、”、設定−４ることか許される。

更に、前記微＃Ｊ装置のステーブに直進ンニビ。

１ノーターを使用１〜で、そイ１を散イ＾制の１すれば
速熱自動ｔｉ％作をする４′：、１：が可ｆ走である。

前記＠動装置を備え１．−前記１−′−ムエキスバング
ーは、前記１、たそれぞイ１の作用を併有−ｄる。

（実　施　例） この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。

第１図乃至第１２しくは、この発明（、＝、　、）：、
る微動装置つきビームエキスバノダ−の第１実施例を示
１１、そのビ・−ムエキスバングー１は、第２図１及び
第３図で示すように、鏡筒２と、その鏡筒２の一方の開
口部２１からその氾筒内に着脱自在に装填さ第２るモジ
コール３と、鏡筒２の他方の開口部２２に設けたアウト
ブノトレニ／ズ２３とを備え、Ｆに、前二［１モジユー
ル３は、その内部にインプットし・ンズ３］を設けると
ル召５−１ぞのイニ／プツト１ノンズ３１の焦点の位置
にピンホール３２を固定し、そのモ′）コール３を鏡筒
２内の所定の位置（、＝装填するカーめに鏡筒２内の所
定の位置にモ′）ｊ−ル３の面喘面３３位置決め用の凸
材２４を突詮１〜、更に、その（）ニール３の後端面３
４固定用の蔚材２５を鏡筒２の一方の開口部２１に結合
させる。

本実施例によるし・−ノ、エキスパンダー１は、インブ
ッ）ｌ／ノノズ１とビンホ・−ル３２とを偏えｊ二モ：
）ｊ−ル３を鏡筒２内に装填−４−る、二とに９１０、
単一の鏡筒２の軸心に合わ１１てイ゛ノブットシ・ンズ
３Ｌ　ビン：１、−ル：３２及びアウトプットＬ、・ノ
ズ２３を配置する、二とかご、きるのマー、振動等１．
二よ−、ても光軸が一１ｈるおそれかない。

なお、本実施例に、Ｙるｌご−ムエギスバング−１のア
ウトグツ１司ノンズ２３は１枚のＬベノズで構成されて
いるが、例えば、数枚の１７ンズを組み合わ刊た群１．
／ンズをアウトプットし・ンズ２３として使用Ｉ２ても
差し支えない。

次に、本実施例による微ＩＪＩ装置４は、第１図及び第
４図で示すよう１、二、鏡筒２を長子方向の２点１″な
わちＡ点及び１３点で支持する支持台５を備え、Ａ点の
軸心と支持台５との間に例えば自在村−「のような全方
向角変位機構６を弁装置７．１．かｔ９、そのＡ点の支
持台５に左右方向直線変位ス５−゛−シフＦ及び上下方
向直線変位スデーージ８Ｆを付設する一方、Ｂ点と支持
台５との門に左右方向直線変位ステージ７Ｒ及び１−、
下方向直線変位ステー１８Ｒとを介装し、更１゜二、そ
のステ・−：）７Ｉ吏、８Ｆ丈（、＝ｊ、るｅ位をｉ’
ｉＪ能（、−するｊ二めζ、−１そのステーノアＦ？。

Ｓ　Ｒとｌ（点との間に補助変位機構９を介装４゛る補
助変位機構−）は、第１，４．５綺び６Ｍ−ご示すよう
に、第２の全方向角変位機構１０　ｊ＝　＋ｉｉｊ後方
向直線変位ｍＨｚとの組み合わＨから成り、その第２の
全方向角変位ｔＭ（？ＹＩＯとして例えば球継手＋０１
を備えろ一力、前後り向直線変位橙構ｌＩ点１−て、鏡
筒２の長１力向）、二刻説した長溝１１１と市記球継手
１０１とを組み合わせ−こ゛備λる３゜萌記第２の全方
向角変位機構ｌＯは、大径リング形部′ＩＦＡＩ０２の
内周面の下部に球蓉１．＋０１を設ける＾共に、更に、
その球継手１０１から円周方向１２０”の間隔位置にあ
たる２箇所の内周面に平径方向に抑圧可能な抑圧ビン１
０３．１０３をそれぞれ配設し５．１−５かもモのり４
／ダグ形祠１０２は、球継手１０１１７）軸心を中心に
回動口■能な回転台１０４を介ｊ７て、左右方向直線変
位ステー′）７Ｆ（及び上下方向直梓変位ステ゛−ジ８
Ｒに支持されている。

一方、補助変位機構９における市後方向ｌＯ線変位機構
１１は、鏡筒２の所定の位置に嵌合固定する小径リング
形部材１１２の外周面下部に長溝１１１が刻設され、そ
の長溝１１１は前記球継手１０１と摺接し、更にその長
ＷＩｔ１１１から円周方向１２０°の間隔位置にあたる
小径リング形部材１１２の２箇所の外周面がそれぞれ前
記押圧ビン１０３に押圧される。

本実施例による微動装置４は、第７図で示すように、Ａ
点と支持台５との間に全方向角変位機構６を介装し、Ｂ
点と支持台５との間に左右方向直進変位ステージ７Ｒと
上下方向直進変位ステージ８Ｒとそれらのステージによ
る変位を可能にする補助変位機構９とを介装して鏡筒２
を支持する構成である。従って、鏡筒２のＡ点を通る光
軸Ｃは左右（Ｘ軸）方向変位と上下（Ｙ軸）方向変位の
組み合わせによってあらゆる方向に設定することが許さ
れる。

更に、Ａ点の支持台５にも左右方向直線変位ステージ７
Ｆと上下方向直線変位ステージ８Ｆとを付設する場合に
は、鏡筒２のＡ点を任意の位置に移動させた上で、その
Ａ点を通る光軸Ｃの方向を設定することができる。

また、鏡筒２のＢ点は小径リング形部材１１２を介して
その外周面上の対称な３点を２つの押圧ビン１０３と球
継手１０１とで安定支持されると共に、押圧ビン１０３
の押圧力が長溝１１１と球継手１０１とを常に確実に摺
接させるので、これらで構成された補助変位機構９は正
確に機能して、左右方向直線変位ステージ７Ｒ及び上下
方向直線変位ステージ８Ｒの変位並びに鏡筒２の姿勢変
化に対し正確に従動する。

更に、本実施例をはじめこの発明による微動装置は、鏡
筒２の光軸Ｃの方向を、左右（Ｘ軸）方向直進変位ステ
ージ７Ｆ及びまたは７Ｒの微動位置と上下（Ｙ軸）方向
直進変位ステージ８Ｆ及びまたは８Ｒの微動位置の２つ
の成分に分解して容易に把握できるので、前記各ステー
ジの微動調整によって光軸Ｃを所望の方向に容易かつ敏
速に設定することができる。

この時、第８図及び第９図で示すように、前記各ステー
ジの標準位置からの移動量を元に、光軸Ｃの左右（Ｘ軸
）方向の移動量と振れ角α、及び、上下（Ｙ軸）方向の
移動量とあおり角βを求めることが可能であり、例えば
、本実施例の微動装置４において、左右方向直線変位ス
テージ７Ｆ及び７Ｒの微動位置をＸＦ、ＸＲに、上下方
向直線変位ステージ８Ｆ及び８Ｒの微動位置をＹＦ、Ｙ
Ｒにそれぞれ置き換え、鏡筒２のＡ点とＢ点の間隔をし
とすれば、光軸Ｃの左右（Ｘ軸）方向の移動量と振れ角
α及び上下（Ｙ軸）方向の移動量とあおり角βを次式に
より求ぬることができる。

前記の数式において、ＸＲ＝ＸＦならば光軸Ｃは左右（
Ｘ軸）方向に平行移動し、ＹＲ＝ＹＦならば光軸Ｃは上
下（Ｙ軸）方向に平行移動する。

なお、本実施例の微動装置４における左右方向直線変位
ステージ７Ｆ、７Ｒ並びに上下方向直線変位ステージ８
Ｆ、８Ｒには、例えば直進マニピュレーターを使用し、
その直進マニピュレーターを数値制御することによって
鏡筒２の光軸Ｃの方向設定を自動的に行うことも考えら
れる。

本実施例による微動装置つきビームエキスパンダーを使
用する際の調整手順は、第１０乃至１２図で示される。

まず、鏡筒２からモジュール３を取り外し、その鏡筒２
の一方の開口部２１及び他方の開口部２２に、中央にピ
ンホールを有するスリーブＳ、Ｓを嵌め込む（第１０図
参照）。

次に、微動装置４の左右方向直線変位ステージ７Ｆ、７
Ｒ及び上下方向直線変位ステージ８Ｆ。

８Ｒを微動調整して、鏡筒２の一方の開口部２１に嵌め
込んだスリーブＳのピンホールからレーザー光りを入射
させ、その入射レーザー光りが鏡筒２の他方の開口部２
２に嵌め込んだスリーブＳのピンホールから出射するよ
うにして、鏡筒２の中心軸線と入射レーザー光線とを合
一させる（第１１図参照）。

最後に、鏡筒２からス１）−ブＳ、Ｓを外ｊ−１≧）の
鏡筒２の一方の開り目１Ｘ２１にモ′、）：、−−−ル
３を′渣填り、−こ蓋材２５−ご固定ｊ−１更Ｃ４二微
動装め：４の毫Ｓｊ整を行、−１て調整を完７”　する
（第１２図参照）１゜＞＝＋　３図乃至第１５１閑は、
５−の発明による散報ノ装置の第２実施例を略示ｊ−１
１、−の第２実施例の激動装置４は、補正ｊ変位（コ措
９におけろ前後方向直線変位機４４１ζＩＩと第２の全
方向角変位機構１０２の七１・位置関係が前記第１実施
例の逆であり、第２の全方向角変位機構ＩＯの球継手１
０）が鏡筒２のＩＩＩＩｊに設置Ｊらｔ〕、））θ後方
向直線変位機構１１の長ｊ皆１１１が左右方向ｆｔ’ｊ
線変位ステー：、５７　Ｔ−？及び−Ｌ−１方向直１を
変位ス１．「−ジ８１−この側に設けられている点が前
記第］実施例と相違（７、他は前記第１実施例と同一の
構造ごある（第１３図１参照）１３４なわち、本実１メ
ハ例ではｉｉｉ′ｉ後方向直線変位機（馨１１の−１−
に第２の・芒方向角変位機構ＩＯを載設して補助変位機
構９を構成−４るのｌ“、）ｉ゛右ｂ向直線ぎｒ位ステ
　ノアＲ及び斗ト方向直線女位入デー、：２フ８Ｒの変
位し伴−・て前後方向直線変位機構１１か［）す後に変
位オろｙ、第２の全方向角変位機構１０も前止に変位し
、例えば、第１４図において左右方向直線変位ステ・−
シフＲが７Ｒ’１．−変位する。Ｊへ第２の全方向角変
位機構ＩＯの球継手１０１は前後方向直線変位機構１１
の長訂１１１＋、−沿一）で前方にＦ′１ノ三１３変位
オる。

木実ｊか例において、左右方向直線変位ステージ７Ｆ及
び７■コの微動位置をＸＦ、ＸＲに、上下方向直線変位
ステー）８Ｆ及び８Ｒの微動位置をＹＩＪ、ＹＲｊ、二
そｔｌ（１″′れ１筑さ換え、首部２のＡ点）で８点の
間隔をＩ、とすれば、その鏡筒２の光軸Ｃの左右（Ｘ　
ｈｉｔ　’）方向の移動量と振れ角α及び−トド（Ｙφ
＃）方向の移動量Ｘ：あよ、；り角β（第１４図及び第
１！′５図参照）を次式により求める、二とができる。

７α−５ｌｎ−１−−−−−−一−−−−−−−−ｊＹ
ｌｌ−ＹＦｌ β−５Ｉ　１１−　’　　　−’−−−−−−−Ｘ＋ 前記の数式に１．いτ、ＸＲ＝ＸＦならば光軸Ｃは左右
（Ｘ輔）方向に５Ｐ行移動し、ＹＲ＝ＹＦならば光軸０
は上Ｆ（Ｙ軸）方向に平行ｆ多伊ｊ才る１、第１６図乃
盾第１８図は、にの発明（：、　、１、る徽ＱＩＪ装置
の第３実施例を略示ｊ−１この第３′）：、絶倒の激動
装置４は、補助変位機構９にお１する第２の全ち向角雰
位に幾構１０として自在継手を使用する　＝リー１市後
Ｕ向直線変位將″ｌ構１１　＋！＝　ｉ−て、−へ、簡
２の投ｆｊ、ｉ向に刻設しｌ−長河Ｉｌｌと、その長溝
ＩＩ目＝嵌念し、Ｃ摺動−をる突起ｌｔ　３　′−を組
み合４つりたものを使用し１、その前後方同直線変位機
構１１と第２の全方向ｊＴＪ変位機＠　ｉ　０２：の４
−下位置関係は前記第１実施例と同様に第２の全す面角
変位１＠Ｈ３ｒＯの＋１．ｍ前枠方向ｌＦ１′線変位機
（ロ）１１を載設した構成ご、他の４１１造も前記第１
実施例２二同−１であり、微動調整に伴う各部の動きあ
るいは補助変位析ｌ１４廿９の作用もまた前２第１実施
例と同様である（第１６図参照）。

従っＣ１本実施例ｊ１−お）プる鏡筒２の光軸Ｃの左右
（Ｘ軸）方向の移動量と振れ角α及び１′、下（ＹＭ）
方向の移動量とあおり角β（第１７図及び第１８図参照
）は、１１う記第１実施例と同一の数式により求めるこ
とがで、きイ）。

第１９図乃至第２１図は５二の発明に、Ｆるυに動装置
０）第４実施例を略示１−１１、二の第４実施例の微動
装置４は、補助変位機構９におけろ第２の全方向角変位
機構１０ジ１５、て球醇手を使用−４゛る一方、前後方
向直線変位機構１１には前記第３実施例２同一の＆ＲＩ
　１１と突起１１３とを組み合わせノ９−＜、の台使用
し、その前後方向直線変位機構１１と第２の全方向角変
位機ζｆｌｌｏとのｈ−ト位置関係は前記第２′Ｊｙ施
１例と同様に前後方向ｎ線女位機構１１の上に第２の全
方向角変位機構ｌＯを載設ｊ〜た構成て、他の構造も前
記第２実施例と同一であり、微動調整に伴−）各部の動
きあるいは補助変位機構！）の作用らまた面混７第２実
施例と同様である（第１！？図参照）１゜ 従−）″Ｃ１本実施例におｌ′ｌｌろ鏡筒２の光軸Ｃの
左右（Ｘ軸）方向の移動量と振れ角Ｕ及び上下（Ｙ輛）
方向の移へＩＪ伝とあおり角β（第２０図及び第２１図
参照）ｌｅｔ、、前記第２実施例と１１ルーの数式によ
り求めイ）、−とができる。

なお、冒頭に記載したこの発明によるビームエキスパン
ダーＩは、前記第１実施例の微動装Ｗ４をはじめ、前記
第２乃至第４実施例のいずれの微動装置４にも搭載可能
である。

（発明の効果） この発明によるビームエキスパンダー１は、インプット
レンズと３１ピンホール３２とを備えたモジュール３を
鏡筒２内に装填することにより、単一の鏡筒２の細心に
合わせてインプットレンズ３１、ピンホール３２及びア
ウトプットレンズ２３を配置すること力（できるので、
各レンズ及びピンホールの相対位置関係がずれることが
なく、振動等によっても光軸がずれるおそれがない。

次に、この発明による微動装置４は、鏡筒型光学機器に
おける鏡筒２のＡ点と支持台５との間に全方向角変位機
構６を介装し、Ｂ点と支持台５との間に左右方向直進変
位ステージ７Ｒと上下方向直進変位ステージ８Ｒとそれ
らのステージによる変位を可能にする補助変位機構９と
を介装して鏡筒２を支持するので、鏡筒２のＡ点を通る
光軸Ｃは左右方向直進変位ステージ７Ｒと上下方向直進
変位ステージ８Ｒの微動調整による左右（Ｘ軸）方向変
位と上下（Ｙ軸）方向変位の組み合わせによってあらゆ
る方向に設定することが許され、しかも、更に、Ａ点の
支持台５にも左右方向直線変位ステージ７Ｆと上下方向
直線変位ステージ８Ｆとを付設すれば、鏡筒２のＡ点を
任意の位置に移動させた上で、そのＡ点を通る光軸Ｃの
方向を設定することができるので、光軸設定の自由度が
更に増大する。

また、この発明による微動装置４は、支持する鏡筒２の
光軸Ｃの方向を、左右（Ｘ軸）方向直進変位ステージ７
Ｆ及びまたは７Ｒの微動位置と上下（Ｙ軸）方向直進変
位ステージ８Ｆ及びまたは８Ｒの微動位置の２つの成分
に分解して容易に把握できるので、前記各ステージの微
動調整によって光軸Ｃを所望の方向に容易かつ敏速に設
定することができ、更には、前記各ステージとして直進
マニピュレーターを用い、これを数値制御すれば光軸Ｃ
の方向設定を自動的に行うことが可能となるので、所望
の光軸の設定に要する時間と労力を軽減することができ
る。

最後に、この発明による微動装置っきビームエキスパン
ターは、面述したビームエキスパンターｌ及び微動装置
４の機能を併有するので、鏡筒光軸を設定する諸作業に
要する時間と労力を更に軽減することができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施態様を示す。 第１図は、この発明による微動装置つきビームエキスパ
ンダーの第１実施例を示す側面図、第２図は、第１図に
おけるビームエキスパンターの軸線方向に沿った断面図
、 第３図は、第２図の分解断面図、 第４図は、第１図における微動装置の斜視図、第５図は
、第１図における微動装置の正面図、第６図は、第５図
の分解斜視図、 第７図は、第１図における微動装置の作動を示す斜視図
、 第８図は、第１図における微動装置の左右方向変位を示
す平面図、 第９図は、第１図における微動装置の上下方向変位を示
す側面図、 第】０図から第１２図は、第１図における微動装置つき
エキスパンダーの調整手順を順次示す側面図であって、 そのうち、 第１０図は、ピンホールつきモジュールを鏡筒から取り
外し、ピンホールつきスリーブを鏡筒の両端に嵌め込む
過程を示し、 第１１図は、一端のスリーブのピンホールに入射したレ
ーザー光が他端のスリーブのピンホールから出射した状
態、すなわち、鏡筒中心軸線と入射レーザー光線とが合
一し、微動調整が完了した過程を示し、 第１２図は、調整完了後、両端からスリーブを取り外し
、ピンホールつきモジュールを鏡筒に装着する過程を示
す。 第１３図は、微動装置の第２実施例を略示する斜視図、 第１４図は、第１３図における微動装置の左右方向変位
を示す平面図、 第１５図は、第１３図における微動装置の上下方向変位
を示す側面図、 第１６図は、微動装置の第３実施例を略示する斜視図、 第１７図は、第１６図における微動装置の左右方向変位
を示す平面図、 第１８図は、第１６図における微動装置の上下方向変位
を示す側面図、 第１９図は、微動装置の第４実施例を略示する斜視図、 第２０図は、第１９図における微動装置の左右方向変位
を示す平面図、 第２１図は、第１９図における微動装置の上下方向変位
を示す側面図である。 ］　、、、、、、、、、、、ビームエキスパンダー、２
　、、、、、、、、、、、鏡筒、 ２１　、、、、、、、、、鏡筒の一方の開口部、２２、
、、、、、、、、鏡筒の他方の開口部、２３　、、、、
、、、、アウトプットレンズ、２４　、、、、、、、、
、凸材、 ２５　、、、、、、、、、蓋材、 ３　、、、、、、、、、、モジュール、３１　、、、、
、、、、、インプットレンズ、３２　、、、、、、、、
、ピンホール、３３　、、、、、、。、モジュールの前
端面、３４　、、、、、、、、、モジュールの後端面、
４　、、、、、、、、、、、微動装置、５　、、、、、
、、、、、、支持台、 ６　、、、、、、、、、、、全方向角変位機構７　Ｆ　
、　７　Ｒ，、、、左右方向直線変位ステージ、８Ｆ、
８Ｒ，、、、上下方向直線変位ステージ、９、、、、、
、、、、、、補助変位機構、Ｉ　Ｏ、、、、、、、、、
第２の全方向角変位機構、］　０１　、、、、、、、球
継手、 ］　０２．、、、、、、大径リング形部材、＋　０３　
、、、、、、、押圧ビン、 １０４　、、、、、、、回転台、 ］　１　、、、、、、、、、前後方向直線変位機構、Ｉ
Ｉｌ、、　　　長溝、 １１２、、、、、、、小径リング形部材、１１３　、、
、、、、突起、 Ａ、Ｂ、、、、、、、鏡筒長手方向の２点、Ｃ，、、、
、、、、、、鏡筒光軸、 Ｄ、、、、、、、、、、、レーザー光、Ｅ、、、、、、
、、、、、第２の全方向角変位機構のｎ後変位量、 Ｌ　、、、、、、、、、、、Ａ点とＢ点の間隔、Ｓ　、
、、、、、、、、、、ピンホールつきスリーブ、α１０
０１１４８９１１．鏡筒光軸の左右振れ角、β２１３０
３．１０３．鏡筒光軸の上下あおり角。

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. （１）鏡筒と、 その鏡筒の一方の開口部からその鏡筒内 の所定の位置に着脱自在に装填されるモジュールと、 そのモジュール内に設けたインプットレ ンズと、 そのモジュール内において前記インプッ トレンズの焦点の位置に固定されたピンホ ールと、 前記鏡筒の他方の開口部に設けたアウト プットレンズと、 から成るビームエキスパンダー。
2. （２）前記鏡筒内の所定の位置に前記モジュールを装填
   する手段として、 前記モジュールの前端面を位置決めする ために前記鏡筒内の所定の位置に突設した 凸材と、 前記モジュールの後端面を固定するため に前記鏡筒の一方の開口部に結合する蓋材 と、 を備えた請求項１記載のビームエキスパ ンダー。
3. （３）鏡筒を長手方向の２点（以下、Ａ点及びＢ点と言
   う）で支持する支持台と、 Ａ点の軸心とその支持台との間に介装し た全方向角変位機構と、 Ｂ点とその支持台との間に介装した左右 方向直線変位ステージ及び上下方向直線変 位ステージと、 前記ステージによる変位を可能にするた めに当該ステージとＢ点との間に介装した 補助変位機構と、 から成る鏡筒の微動装置。
4. （４）Ａ点の支持台に付設した左右方向直線変位ステー
   ジ及び上下方向直線変位ステージ から成る請求項３記載の鏡筒の微動装置。
5. （５）左右方向直線変位ステージ及びまたは上下方向直
   線変位ステージとして、直進マニ ピュレーターを使用した請求項３または４ 記載の鏡筒の微動装置。
6. （６）直進マニピュレーターを数値制御により自動化し
   た請求項５記載の鏡筒の微動装置。
7. （７）全方向角変位機構として、自在継手を使用した請
   求項３記載の鏡筒の微動装置。
8. （８）補助変位機構として、第２の全方向角変位機構と
   前後方向直線変位機構とを組み合 わせた請求項３記載の鏡筒の微動装置。
9. （９）第２の全方向角変位機構として、球継手を使用し
   た請求項８記載の鏡筒の微動装置。
10. （１０）前後方向直線変位機構として、鏡筒の長手方向
    に刻設した長溝と、その長溝に沿っ て摺動し得る球継手とを組み合わせた請求 項８記載の鏡筒の微動装置。
11. （１１）前後方向直線変位機構として、鏡筒の長して摺
    動し得る突起とを組み合わせた請求 項８記載の鏡筒の微動装置。
12. （１２）請求項３、４、５、６、７、８、９、１０また
    は１１記載の微動装置を備えたビームエキスパンダー。
13. （１３）請求項３、４、５、６、７、８、９、１０また
    は１１記載の微動装置を備えた請求項１または２記載の
    ビームエキスパンダー。