JPS60641B2 - 斜視実体顕微鏡 - Google Patents
斜視実体顕微鏡Info
- Publication number
- JPS60641B2 JPS60641B2 JP52088342A JP8834277A JPS60641B2 JP S60641 B2 JPS60641 B2 JP S60641B2 JP 52088342 A JP52088342 A JP 52088342A JP 8834277 A JP8834277 A JP 8834277A JP S60641 B2 JPS60641 B2 JP S60641B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens group
- group
- plane
- optical axis
- objective lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/18—Arrangements with more than one light path, e.g. for comparing two specimens
- G02B21/20—Binocular arrangements
- G02B21/22—Stereoscopic arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は物体を斜め方向から観察するための実体顕微鏡
に関する。
に関する。
一般に「物体を比較的低い倍率で長時間観察する場合に
は、疲労を少なくするとともに立体的な構造を把握する
ために実体顕微鏡が用いられている。
は、疲労を少なくするとともに立体的な構造を把握する
ために実体顕微鏡が用いられている。
そして、物体面に対して垂直な方向から観察するのが普
通であるが、何らかの理由或いは目的のために、物体面
に対して斜め方向から観察することが必要となる場合が
ある。例えば、１．Ｃ．の製造工程に於ける１．Ｃ．ウ
ェーフアの検査に用いる顕微鏡の場合である。この場合
には１．Ｃ．ウヱーフアに種々のパクーンが順次競付け
られ、この競付けはウヱーフアに対して垂直上方より行
なわれるため、競付けを妨げないように斜め上方よりゥ
ェーフアを観察しなければならない。このような斜め上
方からの実体観察をするための顕微鏡としては、第１図
の斜視図に示すごとくいわゆる内斜系実体顕微鏡の応用
が知られているが、以下に述べるごとく像の歪のために
満足な観察が不可能であった。
通であるが、何らかの理由或いは目的のために、物体面
に対して斜め方向から観察することが必要となる場合が
ある。例えば、１．Ｃ．の製造工程に於ける１．Ｃ．ウ
ェーフアの検査に用いる顕微鏡の場合である。この場合
には１．Ｃ．ウヱーフアに種々のパクーンが順次競付け
られ、この競付けはウヱーフアに対して垂直上方より行
なわれるため、競付けを妨げないように斜め上方よりゥ
ェーフアを観察しなければならない。このような斜め上
方からの実体観察をするための顕微鏡としては、第１図
の斜視図に示すごとくいわゆる内斜系実体顕微鏡の応用
が知られているが、以下に述べるごとく像の歪のために
満足な観察が不可能であった。
この場合には両眼それぞれの観察光軸（物体面を観察す
る方向であってこの場合には対物レンズＬｏ，Ｌ′のの
光軸に一致している。）が角度２Ｑで頚淡しており、各
々の観察光軸が斜め方向からの観察のために一体として
物体面の法線ｎに対して角度８だけ頃いている。これら
Ｑと８の懐き角は互いに直交する平面内にあるので、直
交する２方向でそれぞれ倍率の差による歪が発生し、第
２図ａに示すような方眼状の物体を観察する場合には左
右の観察像はおよそ第２図ｂに示すような形状となる。
この左右２つの像のｙ方向の歪は角度Ｂの観察光軸の額
きによる等しい方向での歪であるが、ｘ方向の歪は鰻湊
角２Ｑ‘こよる互いに逆向さの歪であるため２つの像の
中に平行な直線は全く存在しない。したがって、ｘ方向
のある直線を基準に左右像を重ねるとｙ方向の左右像の
直線が交差し、ｙ方向のある直線を一致させるならばｘ
方向の直線が交差してしまい、左右像のいかなる２直線
をも合致させることが不可能である。このため実体視し
ようとしても両眼での視野が全く合致せず眼の疲労が激
しく頭痛さえ生ずることとなり長時間の観察には著しい
不便をきたしていた。一方物体を斜め方向から観察する
ための実体顕微鏡としても比較的高い倍率が要求される
場合があり、この場合には必然的に視野が狭くなるため
広い範囲を観察することはできなかった。
る方向であってこの場合には対物レンズＬｏ，Ｌ′のの
光軸に一致している。）が角度２Ｑで頚淡しており、各
々の観察光軸が斜め方向からの観察のために一体として
物体面の法線ｎに対して角度８だけ頃いている。これら
Ｑと８の懐き角は互いに直交する平面内にあるので、直
交する２方向でそれぞれ倍率の差による歪が発生し、第
２図ａに示すような方眼状の物体を観察する場合には左
右の観察像はおよそ第２図ｂに示すような形状となる。
この左右２つの像のｙ方向の歪は角度Ｂの観察光軸の額
きによる等しい方向での歪であるが、ｘ方向の歪は鰻湊
角２Ｑ‘こよる互いに逆向さの歪であるため２つの像の
中に平行な直線は全く存在しない。したがって、ｘ方向
のある直線を基準に左右像を重ねるとｙ方向の左右像の
直線が交差し、ｙ方向のある直線を一致させるならばｘ
方向の直線が交差してしまい、左右像のいかなる２直線
をも合致させることが不可能である。このため実体視し
ようとしても両眼での視野が全く合致せず眼の疲労が激
しく頭痛さえ生ずることとなり長時間の観察には著しい
不便をきたしていた。一方物体を斜め方向から観察する
ための実体顕微鏡としても比較的高い倍率が要求される
場合があり、この場合には必然的に視野が狭くなるため
広い範囲を観察することはできなかった。
より広い範囲を観察するために物体を移動させることが
考えられるが、例えば前述した１．Ｃ．ウェーフアの観
察では、ゥェーファへの種々のパターンの競付けが非常
に厳密な位置合せをしつつ行なわれているため、焼付け
作業中にウェーファ自体を移動させることは不可能に近
い。従って、顕微鏡で視野を連続的に変えるための工夫
が必要である。このためには対物レンズを中心として観
察光軸の傾きを変化させることが考えられるが、第１図
に示したような従来の装置では十分ではない。従来の装
置において観察光髄の傾き角が８，のときの結像の様子
の側面図を第３図に示した。点線の図は傾ぎ角８２の場
合を示している。左右２つの観察光学系は等価であるか
ら図及び以下の説明では一方のみの言及で十分である。
観察光軸の傾き角が８，から８２ に変わった時図示の
ごとく視野の中心は物点Ｐ，からＰ２へと変わるはずで
ある。しかしながら対物レンズＬｏに関して物点Ｐ，ま
での距離と物点Ｐ２までの距離が変わるため像点Ｐ，′
までの距離とＰ２′までの距離が変わるとともに、鰯面
Ｙの傾きも変化してしまう。いわゆるアオリの効果とし
て知られるシェイン・フラッグの条件により像面Ｙは物
体面×と対物レンズの主平面日との交線（図では交点Ｑ
）に交わるごとく形成されるため、像面Ｙの懐封よ観察
光藤の懐きよりも大きく変化する。このように、観察光
軸の煩きを変えて視野を移動させるときには、対物レン
ズと接眼レンズとが一体である限り、姿眼レンズに関し
て像がその煩き、位置ともに変化するため、対物レンズ
Ｌ．ｏ或は鞍眼レンズＬｏの焦点深度内での極く狭い範
囲でしか観察できなくなり、全く観察できなくなる場合
も生ずる。対物レンズの懐きを変えるとともに、これに
よる像の移動を追跡するごとく後眼レンズを移動させる
ことによって鮮明な像を得ることも不可能ではないが、
対物レンズと接眼レンズの動きが全く異なるため著しく
複雑な機構が必要となり実用にはならない。本発明の目
的は、物体面を斜め方向から実体観察するための実体顕
微鏡であって、上述したごとき実体観察の苦痛を竪減す
べく左右像の歪を改善したものを提供することにあり、
さらには「装置の一部の簡単な移動によって視野を連続
的に変えることができ、より広い範囲の観察を可能とす
るものを提供することにある。
考えられるが、例えば前述した１．Ｃ．ウェーフアの観
察では、ゥェーファへの種々のパターンの競付けが非常
に厳密な位置合せをしつつ行なわれているため、焼付け
作業中にウェーファ自体を移動させることは不可能に近
い。従って、顕微鏡で視野を連続的に変えるための工夫
が必要である。このためには対物レンズを中心として観
察光軸の傾きを変化させることが考えられるが、第１図
に示したような従来の装置では十分ではない。従来の装
置において観察光髄の傾き角が８，のときの結像の様子
の側面図を第３図に示した。点線の図は傾ぎ角８２の場
合を示している。左右２つの観察光学系は等価であるか
ら図及び以下の説明では一方のみの言及で十分である。
観察光軸の傾き角が８，から８２ に変わった時図示の
ごとく視野の中心は物点Ｐ，からＰ２へと変わるはずで
ある。しかしながら対物レンズＬｏに関して物点Ｐ，ま
での距離と物点Ｐ２までの距離が変わるため像点Ｐ，′
までの距離とＰ２′までの距離が変わるとともに、鰯面
Ｙの傾きも変化してしまう。いわゆるアオリの効果とし
て知られるシェイン・フラッグの条件により像面Ｙは物
体面×と対物レンズの主平面日との交線（図では交点Ｑ
）に交わるごとく形成されるため、像面Ｙの懐封よ観察
光藤の懐きよりも大きく変化する。このように、観察光
軸の煩きを変えて視野を移動させるときには、対物レン
ズと接眼レンズとが一体である限り、姿眼レンズに関し
て像がその煩き、位置ともに変化するため、対物レンズ
Ｌ．ｏ或は鞍眼レンズＬｏの焦点深度内での極く狭い範
囲でしか観察できなくなり、全く観察できなくなる場合
も生ずる。対物レンズの懐きを変えるとともに、これに
よる像の移動を追跡するごとく後眼レンズを移動させる
ことによって鮮明な像を得ることも不可能ではないが、
対物レンズと接眼レンズの動きが全く異なるため著しく
複雑な機構が必要となり実用にはならない。本発明の目
的は、物体面を斜め方向から実体観察するための実体顕
微鏡であって、上述したごとき実体観察の苦痛を竪減す
べく左右像の歪を改善したものを提供することにあり、
さらには「装置の一部の簡単な移動によって視野を連続
的に変えることができ、より広い範囲の観察を可能とす
るものを提供することにある。
本発明による実体顕微鏡の構成では、対物レンズが第１
群と第２群との２種の収鍬レンズ群から成っている。
群と第２群との２種の収鍬レンズ群から成っている。
本発明の構成の正面図を第４図ａに、側面図を第４図ｂ
に示す。第１群Ｌはその径が比較的大きく左右２つの観
察光学系に共用されるとともに、左右の観察光学系それ
ぞれに第２群ら，Ｌ′２が設けられて、両者は第１群の
後方においてそれぞれの主平面が一致するごとく並列に
配置されている。そして第１群Ｌ，はその光軸が物体面
Ｘに垂直にしかもその焦平面が物体面×と一致するごと
く配置され、並列する２つの第２群Ｌ２，Ｌ′２はこれ
らの光鞠が第１群の光軸と角度８をなして一体となって
懐いて設けられている。２つの綾眼レンズＬ３，Ｌ′３
はそれぞれの光軸が２つの第２群Ｌ２，Ｌ′２の光軸と
一致して配置されている。
に示す。第１群Ｌはその径が比較的大きく左右２つの観
察光学系に共用されるとともに、左右の観察光学系それ
ぞれに第２群ら，Ｌ′２が設けられて、両者は第１群の
後方においてそれぞれの主平面が一致するごとく並列に
配置されている。そして第１群Ｌ，はその光軸が物体面
Ｘに垂直にしかもその焦平面が物体面×と一致するごと
く配置され、並列する２つの第２群Ｌ２，Ｌ′２はこれ
らの光鞠が第１群の光軸と角度８をなして一体となって
懐いて設けられている。２つの綾眼レンズＬ３，Ｌ′３
はそれぞれの光軸が２つの第２群Ｌ２，Ｌ′２の光軸と
一致して配置されている。
上述のような対物レンズの構成により、物体面×上の物
点から発し、第１群Ｌ，を通過する光東は全て平行とな
り、さらに第２群−，し２に入射する光東は第２群Ｌ２
，Ｌ′２の後側篤平面Ｙ上に収束される。
点から発し、第１群Ｌ，を通過する光東は全て平行とな
り、さらに第２群−，し２に入射する光東は第２群Ｌ２
，Ｌ′２の後側篤平面Ｙ上に収束される。
即ち、第２群Ｌ２，Ｌ′２の後側焦平面上に物体の空間
像がそれぞれ形成され、鞍眼レンズＬ３，Ｌ′３によっ
て実体視される。ここで第２図ａに示すような方眼状の
物体を観察した場合の像は第５図のごとく歪を生じてい
るものの、歪の方向はｙ方向の一方のみで左右の像の歪
みはほぼ等しくなっている。このｙ方向の歪みは観察光
軸が角度８だけ傾いているために避けることのできない
ものである。しかしながら、ｘ方向については何ら歪が
発生せず、この方向の直線は全て平行を保っており、ｙ
方向の歪の形状も左右でほぼ等しいため、２つの像をほ
ぼ完全に合致させることができる。従つて従来のような
左右像の不一致による苦痛を除くことができ良好な実体
観察が可能となる。尚、観察光軸は、従来の装置では対
物レンズの光軸に一致していたが、本発明のものにおい
ては対物レンズ第２群の光軸に一致している。以上のよ
うな構成において、さらに対物レンズ第２群Ｌ２，Ｌ′
と薮眼レンズＬ３，Ｌ′とを一体として対物レンズ第１
群のＬのまわりに回転させることによって、連続的に視
野を移動することが可能である。
像がそれぞれ形成され、鞍眼レンズＬ３，Ｌ′３によっ
て実体視される。ここで第２図ａに示すような方眼状の
物体を観察した場合の像は第５図のごとく歪を生じてい
るものの、歪の方向はｙ方向の一方のみで左右の像の歪
みはほぼ等しくなっている。このｙ方向の歪みは観察光
軸が角度８だけ傾いているために避けることのできない
ものである。しかしながら、ｘ方向については何ら歪が
発生せず、この方向の直線は全て平行を保っており、ｙ
方向の歪の形状も左右でほぼ等しいため、２つの像をほ
ぼ完全に合致させることができる。従つて従来のような
左右像の不一致による苦痛を除くことができ良好な実体
観察が可能となる。尚、観察光軸は、従来の装置では対
物レンズの光軸に一致していたが、本発明のものにおい
ては対物レンズ第２群の光軸に一致している。以上のよ
うな構成において、さらに対物レンズ第２群Ｌ２，Ｌ′
と薮眼レンズＬ３，Ｌ′とを一体として対物レンズ第１
群のＬのまわりに回転させることによって、連続的に視
野を移動することが可能である。
第６図の側面図には本発明の実体顕微鏡において観察光
軸の傾き角がａ，の場合を実線で、８２の場合を点線で
それぞれ示した。本発明の構成においても２つの観察光
学系は等価であるから図及び以下の説明では一方につい
てのみ述べる。物体面×上の物点Ａからの光東は対物レ
ンズ第１群Ｌを射出後、角度８，の平行光東となるため
、対物レンズ第２群Ｌ２に入射して第２群Ｌ２の後側焦
点上に磯点Ａ′として収束される。すなわち観察光軸の
傾き角が８，のときには物点Ａが接眼レンズＬ３による
観察視野の中心になる。そして観察光軸の額き角を８，
から０２へ変えるにつれて、観察視野の中心はＡ点から
Ｂ点へと連続的に移動することになり、０２のときには
物点Ｂの像点Ｂ′が第２群Ｌ２の後側焦点上に結像され
、観察視野の中心となる。また、像面Ｙは常に対物レン
ズ第２群Ｌの後側焦平面に一致しているから、観察光軸
の傾きの変化と像面Ｙの懐きの変化とは常に等しく、対
物レンズ第２群Ｌ２及び薮眼レンズ−に対する像面Ｙの
相対的位置は全く変化しない。従って、対物レンズ第２
群−と綾眼レンズ−とを一体としてこの額き角を変える
ことによって視野を選択することができるとともに、全
視野にわたって常に鮮明な像を得ることができ、比較的
高倍率においてもより広い範囲の物体を実体的に観察す
ることができる。このような構成は、対物レンズ第２群
と薮眼レンズとを一つの鏡筒に一体に設け「 このよう
な鏡筒２つを対物レンズ第１群のまわり１こ回転可能に
設けるだけのきわめて簡単なものである。以上のような
本発明の実体顕微鏡においては、対物レンズの第１群Ｌ
と第２群Ｌ２とのなす角度が大きくなればなる程第１群
Ｌ，の光軸から離れた物体を観察することが可能となる
が、第１群Ｌ，の包括画角によって観察できる範囲は制
限される。
軸の傾き角がａ，の場合を実線で、８２の場合を点線で
それぞれ示した。本発明の構成においても２つの観察光
学系は等価であるから図及び以下の説明では一方につい
てのみ述べる。物体面×上の物点Ａからの光東は対物レ
ンズ第１群Ｌを射出後、角度８，の平行光東となるため
、対物レンズ第２群Ｌ２に入射して第２群Ｌ２の後側焦
点上に磯点Ａ′として収束される。すなわち観察光軸の
傾き角が８，のときには物点Ａが接眼レンズＬ３による
観察視野の中心になる。そして観察光軸の額き角を８，
から０２へ変えるにつれて、観察視野の中心はＡ点から
Ｂ点へと連続的に移動することになり、０２のときには
物点Ｂの像点Ｂ′が第２群Ｌ２の後側焦点上に結像され
、観察視野の中心となる。また、像面Ｙは常に対物レン
ズ第２群Ｌの後側焦平面に一致しているから、観察光軸
の傾きの変化と像面Ｙの懐きの変化とは常に等しく、対
物レンズ第２群Ｌ２及び薮眼レンズ−に対する像面Ｙの
相対的位置は全く変化しない。従って、対物レンズ第２
群−と綾眼レンズ−とを一体としてこの額き角を変える
ことによって視野を選択することができるとともに、全
視野にわたって常に鮮明な像を得ることができ、比較的
高倍率においてもより広い範囲の物体を実体的に観察す
ることができる。このような構成は、対物レンズ第２群
と薮眼レンズとを一つの鏡筒に一体に設け「 このよう
な鏡筒２つを対物レンズ第１群のまわり１こ回転可能に
設けるだけのきわめて簡単なものである。以上のような
本発明の実体顕微鏡においては、対物レンズの第１群Ｌ
と第２群Ｌ２とのなす角度が大きくなればなる程第１群
Ｌ，の光軸から離れた物体を観察することが可能となる
が、第１群Ｌ，の包括画角によって観察できる範囲は制
限される。
従って、対物レンズの第１群としては広函角を包括し、
なおかつ周辺部において十分な光量を通過させても良好
な収差バランスを保つものであることが望ましい。また
、第２群の第１群に対する額きを変える際には、第２群
の回転移動中心が第１レンズの射出瞳の中心付近である
ことが望ましく周辺部での口径食や光量の減少を４・さ
くすることができる。尚、対物レンズの第１群は、色収
差を充分に補正するために貼合せレンズを用いるととも
に数個のレンズを縄合せて諸収差を充分補正することは
言うまでもなく、対物レンズ第２群にズームレンズのご
とき変倍機能を持たせることによって連続的な倍率変換
を行なうことも容易に可能である。
なおかつ周辺部において十分な光量を通過させても良好
な収差バランスを保つものであることが望ましい。また
、第２群の第１群に対する額きを変える際には、第２群
の回転移動中心が第１レンズの射出瞳の中心付近である
ことが望ましく周辺部での口径食や光量の減少を４・さ
くすることができる。尚、対物レンズの第１群は、色収
差を充分に補正するために貼合せレンズを用いるととも
に数個のレンズを縄合せて諸収差を充分補正することは
言うまでもなく、対物レンズ第２群にズームレンズのご
とき変倍機能を持たせることによって連続的な倍率変換
を行なうことも容易に可能である。
第１図は従来装置の斜視図、第２図ａは方眼状の物体、
第２図ｂは左右の観察像、第３図は従来装置において観
察光軸の懐きによる結像の様子の側面図、第４図ａは本
発明装置の正面図、第４図ｂは側面図、第５図は本発明
装置の観察像、第６図は本発明装置の観察光軸の額き角
を説明するための側面図である。 主要部分の符号の説明、Ｌ……第１レンズ群、Ｌ２，Ｌ
２・・・…第２レンズ群、Ｌ３，し３・・・…後眼レン
ズ、Ｘ・・・・・・物体面、Ｙ・・・・・・第２レンズ
群の後側焦平面。 フャ ー 図 汁２図 汁３図 氷６図 フャ４図 汁５図
第２図ｂは左右の観察像、第３図は従来装置において観
察光軸の懐きによる結像の様子の側面図、第４図ａは本
発明装置の正面図、第４図ｂは側面図、第５図は本発明
装置の観察像、第６図は本発明装置の観察光軸の額き角
を説明するための側面図である。 主要部分の符号の説明、Ｌ……第１レンズ群、Ｌ２，Ｌ
２・・・…第２レンズ群、Ｌ３，し３・・・…後眼レン
ズ、Ｘ・・・・・・物体面、Ｙ・・・・・・第２レンズ
群の後側焦平面。 フャ ー 図 汁２図 汁３図 氷６図 フャ４図 汁５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 第１収斂レンズ群と、該第１収斂レンズ群の後方に
おいて並列に設けられた２つの第２収斂レンズ群とを、
該第１収斂レンズ群の主平面と該第２収斂レンズ群の主
平面とが所望の角度をなして非平行になるように配置す
るとともに、２つの接眼レンズを、前記第２収斂レンズ
群の後方に、それぞれの光軸が該第２収斂レンズ群の光
軸と一致するごとく配置し、前記第１収斂レンズ群の前
側焦平面を物体面に一致させることによって、前記第２
収斂レンズ群の後側焦平面に像面を形成することを特徴
とする斜視実体顕微鏡。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の斜視実体顕微鏡におい
て、２つの第２収斂レンズ群と２つの接眼レンズとが、
第１収斂レンズ群に対する角度位置を変えるために、一
体となって移動可能であることを特徴とする実体顕微鏡
。 ３ 特許請求の範囲第２項記載の斜視実体顕微鏡におい
て、２つの第２収斂レンズ群と２つの接眼レンズとが、
第１収斂レンズ群の射出瞳の近辺を中心として、一体と
なって回転移動できることを特徴とする実体顕微鏡。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52088342A JPS60641B2 (ja) | 1977-07-25 | 1977-07-25 | 斜視実体顕微鏡 |
| US05/920,794 US4217025A (en) | 1977-07-25 | 1978-06-30 | Stereoscopic microscope |
| DE19782832173 DE2832173A1 (de) | 1977-07-25 | 1978-07-21 | Stereoskopisches mikroskop |
| CH802178A CH631816A5 (de) | 1977-07-25 | 1978-07-25 | Stereomikroskop. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52088342A JPS60641B2 (ja) | 1977-07-25 | 1977-07-25 | 斜視実体顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5423559A JPS5423559A (en) | 1979-02-22 |
| JPS60641B2 true JPS60641B2 (ja) | 1985-01-09 |
Family
ID=13940170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52088342A Expired JPS60641B2 (ja) | 1977-07-25 | 1977-07-25 | 斜視実体顕微鏡 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4217025A (ja) |
| JP (1) | JPS60641B2 (ja) |
| CH (1) | CH631816A5 (ja) |
| DE (1) | DE2832173A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5986020A (ja) * | 1982-11-09 | 1984-05-18 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 視野可変顕微鏡装置 |
| DE3565322D1 (en) * | 1984-06-29 | 1988-11-03 | Wild Heerbrugg Ag | Microscope with a binocular tube |
| US5002376A (en) * | 1989-05-15 | 1991-03-26 | Edward Weck Incorporated | Dual stereomicroscope |
| US5191203A (en) * | 1991-04-18 | 1993-03-02 | Mckinley Optics, Inc. | Stereo video endoscope objective lens system |
| US5966239A (en) * | 1993-12-28 | 1999-10-12 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Binocular magnifying glasses |
| JP3661276B2 (ja) * | 1996-06-04 | 2005-06-15 | 株式会社ニコン | 望遠機能付顕微鏡 |
| US6608720B1 (en) | 1997-06-02 | 2003-08-19 | Robin John Freeman | Optical instrument and optical element thereof |
| DE19837135C5 (de) * | 1997-09-29 | 2016-09-22 | Carl Zeiss Meditec Ag | Afokales Zoomsystem |
| JP4785179B2 (ja) * | 2005-07-20 | 2011-10-05 | 株式会社 ニコンビジョン | 光学装置 |
| DE102007051405B4 (de) * | 2007-10-25 | 2014-03-20 | Leica Instruments (Singapore) Pte. Ltd. | Lichtmikroskop |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1455171A (en) * | 1973-01-16 | 1976-11-10 | Olympus Optical Co | Microscope systems and objectives therefor |
| JPS5317410B2 (ja) * | 1973-07-23 | 1978-06-08 | ||
| CH565379A5 (ja) * | 1974-07-04 | 1975-08-15 | Wild Heerbrugg Ag | |
| JPS5536806Y2 (ja) * | 1975-04-24 | 1980-08-29 |
-
1977
- 1977-07-25 JP JP52088342A patent/JPS60641B2/ja not_active Expired
-
1978
- 1978-06-30 US US05/920,794 patent/US4217025A/en not_active Expired - Lifetime
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- 1978-07-25 CH CH802178A patent/CH631816A5/de not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| CH631816A5 (de) | 1982-08-31 |
| DE2832173A1 (de) | 1979-02-08 |
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