JPH04208563A - 複数の集積回路間で集積回路の電界効果トランジスタの電気特性の固有不均一を補償する方法及び装置 - Google Patents

複数の集積回路間で集積回路の電界効果トランジスタの電気特性の固有不均一を補償する方法及び装置

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JPH04208563A
JPH04208563A JP2418952A JP41895290A JPH04208563A JP H04208563 A JPH04208563 A JP H04208563A JP 2418952 A JP2418952 A JP 2418952A JP 41895290 A JP41895290 A JP 41895290A JP H04208563 A JPH04208563 A JP H04208563A
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current
transistor
compensation
integrated circuit
generating
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ジヨルジユ・ヌー
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Bull SA
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    • H03F1/30Modifications of amplifiers to reduce influence of variations of temperature or supply voltage or other physical parameters
    • H03F1/303Modifications of amplifiers to reduce influence of variations of temperature or supply voltage or other physical parameters using a switching device

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
[00,01]
【産業上の利用分野】本発明は、材料または製造の不均
一に起因するMOS(金属酸化膜半導体)デバイスの電
気特性の固有変化を補償する方法及び装置、特にMOS
デバイスの均一性能を確保する自己補償回路に係る。 [0002]
【従来の技術】トランジスタをベースとして作製された
電子回路を組み込んだ半導体チップは集積回路と呼ばれ
ている。本発明は特に、通称VLSI(超大規模集積回
路)と呼ばれる高密度集積回路に適用される。このタイ
プの集積回路で電界効果トランジスタを組み込んだもの
はMOS形と呼ばれている。全部のチャネルがチャネル
Nであるトランジスタ(N−MOSトランジスタ)が形
成されてもよく、または全部のチャネルがチャネルPで
あるトランジスタ(P−MOS トランジスタ)が形成
されてもよい。これらの相補的トランジスタを組み合わ
せたものがCMOSである。MOS形の電界効果トラン
ジスタとバイポーラトランジスタとを組み合わせたもの
がBiVO4またはBiCMO3である。 [00031MOS集積回路の現行の製造方法では、複
数の集積回路全部が所望の均一な電流1、/電圧特性を
有するようなMOSトランジスタを得ることはできない
。同じ特性値を有するように設計されたトランジスタが
種々の理由から、複数の集積回路間で電気特性の不均一
をかなり示す。例えば、物理的に等しい2つのトランジ
スタ間でも、所与の電圧に対する飽和電流が3倍以上の
違いを生じることがある。しかしながら、等しいトラン
ジスタの特性値は同一集積回路内では実質的に同じであ
る。通常は、設計された特性値を有する典型トランジス
タと、設計以上の電流が流れる強電流トランジスタと設
計以下の電流が流れる弱電流トランジスタとに分かれる
。言い替えると、トランジスタを流れる電流が設計値か
らずれた偏差を電流ドリフトと称し、これは一般に、設
計電流に対する正または負の値として示される。 [0004]
【発明が解決しようとする課題】このような電流ドリフ
トは不都合な結果を生じる。例えば、集積回路内の1つ
のMOSトランジスタが外部バスまたは内部ラインに充
電または放電するように制御される場合を想定する。バ
スはインダクタンスLを有し、このインダクタンスはバ
スを流れる電流Ibの変化に従ってノイズの状態を調整
する。ノイズはLxdIb/dtの積に対応する。イン
ダクタンスしは所定の値である。外部バスの場合、この
インダクタンスの値は送受信装置内のバス部のインダク
タンスと2つの装置間のリンクのインダクタンスとを含
む。従って、許容される最大ノイズの値が必然的に電流
1bの最大値を規定する。この電流の値が対応するトラ
ンジスタの寸法を規定する。このトランジスタによるバ
スの充電または放電が閾値インバータのような閾値装置
をトリガすると想定する。インバータは、典型トランジ
スタでは設計された適正時点でトリガされ、強電流トラ
ンジスタでは設計時点よりも早くトリガされ、弱電流ト
ランジスタでは設計時点よりも遅くトリガされる。しか
しながら−般に最大時間は、クロック信号によって決定
された時間内に集積回路内で動作が実行されるように決
定される必要がある。このような最大時間より後でトリ
ガされると、動作が乱れ修正プロセスの使用が必要であ
る。 [0005] トランジスタの寸法を拡大することによ
って弱電流トランジスタの電流を増加させるという解決
は不可能である。強電流トランジスタを含む集積回路で
はこのような寸法増加の結果として、電流が許容最大値
を超過し過度のノイズが生じることになろう。 [0006]また。技術の進歩によって、回路の高速性
の改良が絶えず要求されている。集積回路の機能素子を
制御するための最大時間をノイズ増加を伴うことなく有
効に且つ確実に短縮することができれば、動作速度の改
良が得られるであろう。 [0007]
【発明を解決するための手段】本発明はまず、複数の集
積回路間の電界効果トランジスタの電気特性の固有不均
一を補償する方法を提供する。本発明方法は、集積回路
の基準トランジスタの導通を示す基準信号を発生するス
テップと、導通閾値を規定するステップと、基準信号と
導通閾値とを比較するステップと、基準信号が導通閾値
に到達しないときに補償電流を発生するステップとを含
むことを特徴とする。 [0008]本発明はまた、スイッチと、電界効果トラ
ンジスタの電流通路に平行でスイッチによって選択され
る少なくとも1つの電流通路を含む償回路とを備えたこ
とを特徴とする集積回路内の電界効果トランジスタの電
気特性の固有不均一を補償する装置を提供する。 [0009]本発明によれば、例えば製造の不均一のご
とき種々の不均一に起因する集積回路内のMOSトラン
ジスタの電気特性のばらつきにかかわりなく、ノイズ増
加を伴わずに電子回路を最適条件下に動作させ得る。本
発明はまた、集積回路の動作速度を有効に且つ確実に改
良するためにイベントの待ち時間を最大限短縮する。 [00101本発明は特に、2進増幅器、バッファ増幅
器及びクロック発生器に使用される。 [0011]
【実施例】添付図面に示す非限定実施例に基づく以下の
詳細な記載より本発明が更に十分に理解されよう。 [0012]複数の図でN−MOSトランジスタを符号
Nで示し、P−MOSトランジスタを符号Pで示す。 [0013]図1は、本発明の一実施例の補償装置10
の概略図である。装置10はCMO3形集積形路積回路
12内バータ11と結合している。インバータ11は通
常、入力11aと出力11bとを有する。出力11bは
バス13に接続されている。従来型のインバータは、ア
ースと給電電圧VDDとの間に直列に装着された相補的
な2つのトランジスタN1及びPlを含む。入力11a
がアース電位に対応する論理状態「0」のとき、トラン
ジスタN1は遮断されトランジスタP1は導通する。バ
ス13は電圧VDDに充電される。入力11aが電圧V
DDに対応する状態「1」になると、トランジスタP1
が遮断されトランジスタN1が導通する。その結果とし
てバス13はトランジスタN1を介して放電する。 [0014]典型状態のトランジスタN1及びPlの寸
法は、バスに流れる電流の許容最大値に対応する。これ
らのトランジスタは、典型バスの充電時間または放電持
続時間を決定する。 [0015]例えばトランジスタN1が強電流トランジ
スタのとき、放電時間は短縮されるが、2つのトランジ
スタN1及びPlから成る従来のインバータではこの短
縮時間を利用することができない。トランジスタN1が
弱電流トランジスタのとき、放電時間が延長される。こ
の延長は恐らくは正常動作ができないほど長い。
【0016】 トランジスタP1を介して行なわれるバ
ス13の充電時間に関しても全く同様のことが考えられ
る。相補形の電界効果トランジスタは異なる特性値を有
するので、両者のドリフトが異なっている。例えば、所
与の集積回路内で、チャネルNのトランジスタが強電流
トランジスタであり、チャネルPのトランジスタが弱電
力トランジスタである場合も想定される。従って、すべ
ての集積回路でインバータの所望の動作速度を得ること
が難しい不利な情況になる。 [00171本発明は、例えばインバータ11と共に使
用するように設計され得る。本発明の補償装置10は、
インバータ11のトランジスタP1及びN1に夫々接続
された2つのセクション10a、 10bから成る。こ
れらの2つのセクションにおいて、共通素子は共通の参
照符号で示される。各セクションは、基準信号R(Ra
、Rb)を発生する基準発生器14と、閾値Tt及びT
fを夫々有する2つの閾値増幅器15を及び15fから
成る閾値発生器15と、2つのスイッチ16を及び16
fから成るスイッチ16と、2つの電流通路から成る補
償回路17とを含む。2つの電流通路は、セクション1
0aの2つのトランジスタpt及びPfのドレインソー
スリードと、セクション10bの2つのトランジスタN
t及びMのドレイシーソースリードとから成る。 [00181セクシヨン10aの基準発生器14は、ア
ースと電位VDDとの間の2つの抵抗R2及びR3に直
列のトレイン−ソースリードを夫々有する2つのトラン
ジスタP2及びR3を含む。トランジスタP2のドレイ
ン及びゲートはアースされている。該トランジスタのソ
ースは抵抗R2を介して電位VDDに接続されており、
またトランジスタP3のゲートに接続されている。トラ
ンジスタP3のソースは電位VDDに接続されており、
そのドレインは抵抗R3を介してアースされている。基
準発生器14の出力はトランジスタP3のドレインであ
り、このドレインが基準信号Raを送出する。この信号
は閾値増幅器151及び15fの入力に夫々与えられる
。閾値増幅器の出力の補償信号St及びS[はスイッチ
161及び16fを夫々制御する。 [00191図を分かり易くするために、図1で各スイ
ッチは機械的接点として概略的に示されている。スイッ
チ16を及び16fの1つの端子はインバータ11の入
力11aに接続されており、別の端子はトランジスタP
t及びPfのゲートに夫々接続されている。これらのト
ランジスタのドレイン−ソースリードはトランジスタP
1のドレイシーソースリードに並列に接続されている。 [00201図2はセクション10aのスイッチ161
及び16fを形成するために使用し得る従来型のCMO
Sスイッチの実施例を示す。図2では、増幅器15tに
結合されたスイッチ161を例として示している。 [0021]増幅器151は従来同様に、相補的補償信
号St*を送出する閾値インバータと信号Stを送出す
るインバータとが順次接続されることによって形成され
ている。 スイッチ161は3つのトランジスタP4. N4. 
N5から成る。 トランジスタP4及びN4のトレイン−ソースリードは
、入力11aとトランジスタptのゲートとの間に並列
に接続されており、夫々信号St及びSt*によって制
御される。トランジスタN5のソースはアースされてお
り、そのトレインはトランジスタptのゲートに接続さ
れ、ゲートは信号Stを受信する。 [0022]次に、補償装置10のセクション10aの
動作を説明する。基準発生器14において、複数のトラ
ンジスタ間の電流の分散と抵抗の分散との間の相関関係
を設定するのが有利である。抵抗の分散がトランジスタ
の分散に比較して無視できる値になるように、抵抗R2
及仰3を多結晶シリコンから製造するのが好ましい。そ
のゲートがトレイン接続されたトランジスタP2はダイ
オードを形成している。ダイオードの動作点は抵抗R2
の値によって決定される。P2とR2とのアセンブリが
トランジスタP3のバイアス回路を形成する。このトラ
ンジスタはトランジスタP2内の電流の変化を増幅する
。トランジスタP2の電流が弱いときは、そのソース電
圧が高い。従ってトランジスタP3はほとんど導通せず
、ドレインの基準信号Raか弱い。逆に、トランジスタ
P2に強電流が流れるとき、基準信号Raが強い。 [00231次に基準信号Raが増幅器15を及び15
fの閾値Tt及びTfに比較される。Raの値が閾値T
f以下のときは、集積回路12内のP−MOS)−ラン
ジスタは弱電流トランジスタであると特性付けされる。 Raの値が閾値Tfを上回るが閾値Tt以下の値である
ときは、トランジスタが典型トランジスタであると特性
付けされる。Raの値が閾値Ttを上回る値であるとき
は、トランジスタが強電流トランジスタであると考えら
れる。 [0024]最後の場合、2つの増幅器151及び15
fは基準信号Raに反応しない。これらの増幅器の出力
信号は論理状態「0」であり、スイッチ16を及び16
fは開いた状態に維持される。その結果としてて入力1
1aの信号が状態rQJになると、インバータ11の強
電流トランジスタP1だけが導通する。基準信号Raが
典型P−MOSトランジスタの存在を示すときは、増幅
器15tだけが起動する。 図2に示す増幅器15tの出力信号St及び81本はス
イッチ16tを閉じる。次いでトランジスタptはイン
バータ11の入力11aから信号を受信する。この信号
が状態「0」のとき、トランジスタP1及びptが導通
する。基準信号Raが弱電流トランジスタに対応すると
きは、2つの増幅器15を及び15fが起動し、入力1
1aが状態「0」のときはトランジスタP1に加えてト
ランジスタルt及ff1fが導通する。 [0025]従って、本発明の方法は、集積回路12の
基準+ヘラレジスタP2の導通を示す基準信号Raを発
生し、導通閾値Ttを規定し、基準信号を導通閾値に比
較し、基準信号が導通閾値に到達しないときに補償電流
を発生するステップから成る。前記実施例においては、
第2の導通閾値Tfが方法の性能を改良する。更に、補
償電流を発生するステップは、電界効果トランジスタP
1の電流に追加の電流を付加するステップから成る。 [00261本発明の別の特徴は、補償電流の値を決定
することに関する。例えば、強電流トランジスタ、典型
トランジスタ及び弱電流トランジスタの夫々の電流の平
均値をIp、It及びIfで示す。統計に従ってIp=
31b’2及びIf=2It、/3であると仮定する。 言い替えると、It=1.5If及びIp=2.251
 fである。トランジスタPt及びPfにトランジスタ
P1のほぼ1./2の値の同じ電流が流れるようにトラ
ンジスタpt及びPfの寸法を決定すると、バス13の
電流の値1bはセクション10aの強電流トランジスタ
ではIpに等しく、典型トランジスタではIb= It
 +−’I t/2=311/2に等しく、弱電流トラ
ンジスタではIb= If+ If/2 + If/2
=21 fに等しい。上記の仮定に基づき、これらの等
式から、強電流トランジスタではIb=2.25If、
典型トランジスタではIb=2.25If及び弱電流ト
ランジスタではIb=21fとなる。即ち、トランジス
タpt及びPfに流れる電流を制御することによって、
集積回路12のP−MOSトランジスタの電気特性の不
均一にかかわりなくバス13に流れる電流が実質的に補
償される。 [0027]補償装置10のセクション10bは集積回
路12のN−MOSトランジスタに同じ原理を応用した
ものである。簡単に説明すると、基準発生器14が2つ
のトランジスタN2. N3と2つの抵抗R1,R4と
を含む。トランジスタN2のドレイン及びゲートは電位
VDDに接続されている。 そのソースは抵抗R1を介してアースされており、また
、トランジスタN3のゲートに接続されている。トラン
ジスタN3のソースはアースされており、そのドレイン
は抵抗R4を介して電位VDDに接続されている。トラ
ンジスタN3のトレインの基準信号Rhは2つの閾値増
幅器15を及び15fの入力に与えられる。出力信号s
t、 st*及びSf、 Sf*が補償トランジスタN
i及びNfに対する2つのスイッチ161及び16fの
起動を制御する。 [0028]上記実施例に対する多くの変形が可能であ
る。特に、いくつかの場合には唯1つの閾値で十分であ
る。逆に、より多くの閾値を追加してもよい。また、記
載の実施例では、補償電流が追加電流であり、Plまた
はN1内の主電流に累算される。しかしながら、累算的
でないスイッチングを行なってもよい。例えば、スイッ
チ16がトランジスタP1を切断し、Ib=2.251
fの電流を導通させる寸法のトランジスタptを接続し
てもよい。 [0029]本発明方法の別の実施態様では、基準発生
器14を削除してもよい。この方法では、集積回路12
を使用する前に集積回路のP−MOSトランジスタ及び
N−MOSトランジスタに流れる電流を測定し、この電
流を少なくとも1つの閾値に比較する。比較の結果を集
積回路のレジスタに導入する。このレジスタの内容が補
償信号を示すことになる。集積回路の処理システムを初
期化する際に上記補償信号を導入する。また比較の結果
を例えば消去可能ROMに導入してもよい。より簡単に
は、補償装置が補償回路17と例えばレーザによって選
択的に閉じられるスイッチ16とだけを含んでいてもよ
い。 [00301本発明はバス13に流ねる電流を最適値に
等化し得るという利点を有する。従ってインバータ11
はトランジスタの電流ドリフ1〜にかかわりなく可能な
最高性能を発揮し得る。その結果、伝播時間がかなり改
良される。伝播時間は事実上一定であるから、集積回路
12がより高速で動作し得る。この利点が、バスの自己
誘導成分を示すノイズの上昇を伴わずに得られる。この
ようなノイズは「スルーレート」なる用語で一般に知ら
れている。更に、伝送される信号の立ち上がり及び立ち
下がりの時間が調節される結果としてバスの伝送通過帯
域がかなり改良される。注目すべきは、本発明装置の追
加の素子の大部分が集積回路のその他のインバータ及び
その他の構成素子によって共有され得ることである。 [00311本発明がインバータ以外の素子にも適用で
きることは理解されよう。例えば、これらの特徴をクロ
ック発生器に利用できる。本発明によれば、立ち上がり
及び立ち下がりの時間は、ドリフトにかかわりなく短縮
され一定の値に維持される。クロックがより高速化しイ
ベントの待ち時間(スキュー)がより短縮される。また
、本発明が単純MO3,CMO3及びBiCMO3に使
用できることも明らかである。BiCMO3の場合1本
発明の効果は、バイポーラトランジスタの作用によって
増幅される。その理由は、各補償回路17によって供給
される電流がバイポーラトランジスタのベースに供給さ
れるからである。 [0032]当業者は本発明の要旨及び範囲内で種々の
変更を行なうことが可能である。本発明の範囲は以上の
詳細な記載に限定されるものでなく、特許請求の範囲に
よって限定される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の補償装置に結合したCJi
O8形インバータの概略説明図である。
【図2】図1に示す補償装置用増幅器に結合したCMO
Sスイッチの概略説明図である。
【符号の説明】
10  補償装置 11  インバータ 12  集積回路 13  バス 14  基準発生器 15  閾値増幅器 16  スイッチ 17  補償回路

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】集積回路の基準トランジスタの導通を示す
    基準信号を発生するステップと、導通閾値を規定するス
    テップと、基準信号と導通閾値とを比較するステップと
    、基準信号が導通閾値に到達しないときに補償電流を発
    生するステップとを含むことを特徴とする一定の出力電
    流を与えるために複数の集積回路間で集積回路の電界効
    果トランジスタの電気特性の固有不均一を補償する方法
    。 【請求項2】補償電流を発生するステップが、電界効果
    トランジスタの電流に電流を付加するステップを含むこ
    とを特徴とする請求項1に記載の方法。 【請求項3】補償電流を発生するステップが、前記電流
    発生リードを選択するステップを含むことを特徴とする
    請求項1に記載の方法。 【請求項4】スイッチと、電界効果トランジスタの電流
    通路に平行で該スイッチによって選択される少なくとも
    1つの電流通路を含む補償回路とを備えたことを特徴と
    する請求項1に記載の方法を用いて一定の出力電流を与
    えるために複数の集積回路間で集積回路の電界効果トラ
    ンジスタの電気特性の固有不均一を補償する装置。【請
    求項5】スイッチが、レーザから放出される光に露光す
    ることによって閉成され得るように構成された少なくと
    も1つの物理的リンクを含むことを特徴とする請求項4
    に記載の装置。 【請求項6】スイッチが少なくとも1つの電子スイッチ
    を含むことを特徴とする請求項4に記載の装置。【請求
    項7】スイッチが補償信号発生器によって制御されるこ
    とを特徴とする請求項6に記載の装置。【請求項8】補
    償信号発生器が集積回路のメモリまたはレジスタである
    ことを特徴とする請求項7に記載の装置。 【請求項9】補償信号発生器が、集積回路の基準トラン
    ジスタの導通を示す基準信号を受信する閾値増幅器であ
    ることを特徴とする請求項7に記載の装置。【請求項1
    0】請求項4に記載の補償装置を含むことを特徴とする
    集積回路。
JP2418952A 1989-12-15 1990-12-14 複数の集積回路間で集積回路の電界効果トランジスタの電気特性の固有不均一を補償する方法及び装置 Pending JPH04208563A (ja)

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