JPH04205917A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH04205917A JPH04205917A JP33706190A JP33706190A JPH04205917A JP H04205917 A JPH04205917 A JP H04205917A JP 33706190 A JP33706190 A JP 33706190A JP 33706190 A JP33706190 A JP 33706190A JP H04205917 A JPH04205917 A JP H04205917A
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、磁気ディスク、磁気テープ等に用いられる磁
気記録媒体に係わり、特に磁性層が記録を行うためのト
ラックを形成している磁気記録媒体に関する。
気記録媒体に係わり、特に磁性層が記録を行うためのト
ラックを形成している磁気記録媒体に関する。
近年、金属磁性薄膜を磁性層とする磁気記録媒体が、従
来の磁性粉を塗布したものに比べて高密度記録が行なえ
るために注目されている。 この磁性層はスパッタリングあるいは真空蒸着により製
造される。 このような磁気記録媒体は、磁性薄膜としてＣｏ含有合
金を用いたものが良好な保磁力と角形比を示すものとし
て知られている。更に、磁性層の下地にＣｒからなる下
地層を形成することで、より高い保磁力が得られること
も知られている。 ところで、高密度記録を行なうために、上述した磁気特
性の改善に加えて、磁気ヘッドのトラック幅の微細化が
進められている。最近では、このトラック幅が数＋μｍ
以下に小さくされており。 記録密度は益々高められる傾向にある。 このため、トラック幅の微細化にともなう隣接トラック
からの漏洩信号の再生の低減が所望されている。 従来の磁気記録媒体は１例えば特開平２−１６５４１６
号公報に記載されているように、磁性層の磁化記録によ
り形成される複数の同心円状の複数のトラック間に非磁
性部か埋設され、これにより、磁化記録滲みを防止し、
その結果、隣接トラックからの漏洩信号の再生を低減し
ている。 このような磁気記録媒体は、基板上に非磁性層をスパッ
タリングによって積層し、その表面にレジスト膜を用い
てエツチング用マスクを形成し。 このエツチング用マスクを介して前記非磁性層をイオン
ミリング等によってトラックに相当する部分を除去して
複数の非磁性部を形成し、この非磁性部を含む基板上に
軟磁性層をスパッタリングによって積層し、その表面に
磁性層をスパッタリングによって積層し、更に、前記エ
ツチング用マスクを酸素プラズマ処理によってエツチン
グ除去することによってこのマスク上に積層した軟磁性
層及び磁性層も同時に除去することにより製造している
。
来の磁性粉を塗布したものに比べて高密度記録が行なえ
るために注目されている。 この磁性層はスパッタリングあるいは真空蒸着により製
造される。 このような磁気記録媒体は、磁性薄膜としてＣｏ含有合
金を用いたものが良好な保磁力と角形比を示すものとし
て知られている。更に、磁性層の下地にＣｒからなる下
地層を形成することで、より高い保磁力が得られること
も知られている。 ところで、高密度記録を行なうために、上述した磁気特
性の改善に加えて、磁気ヘッドのトラック幅の微細化が
進められている。最近では、このトラック幅が数＋μｍ
以下に小さくされており。 記録密度は益々高められる傾向にある。 このため、トラック幅の微細化にともなう隣接トラック
からの漏洩信号の再生の低減が所望されている。 従来の磁気記録媒体は１例えば特開平２−１６５４１６
号公報に記載されているように、磁性層の磁化記録によ
り形成される複数の同心円状の複数のトラック間に非磁
性部か埋設され、これにより、磁化記録滲みを防止し、
その結果、隣接トラックからの漏洩信号の再生を低減し
ている。 このような磁気記録媒体は、基板上に非磁性層をスパッ
タリングによって積層し、その表面にレジスト膜を用い
てエツチング用マスクを形成し。 このエツチング用マスクを介して前記非磁性層をイオン
ミリング等によってトラックに相当する部分を除去して
複数の非磁性部を形成し、この非磁性部を含む基板上に
軟磁性層をスパッタリングによって積層し、その表面に
磁性層をスパッタリングによって積層し、更に、前記エ
ツチング用マスクを酸素プラズマ処理によってエツチン
グ除去することによってこのマスク上に積層した軟磁性
層及び磁性層も同時に除去することにより製造している
。
しかし、このような磁気記録媒体の製造にあたっては、
上述したようにその工程数が多いため磁気記録媒体自体
が高価になってしまうという欠点がある。 更に、媒体の表面に凹凸が生じ、ヘッドクラッシュを引
き起こし易いという欠点がある。 本発明の課題は、少ない工程数で製造できる漏洩信号の
再生を低減した磁気記録媒体を提供することである。
上述したようにその工程数が多いため磁気記録媒体自体
が高価になってしまうという欠点がある。 更に、媒体の表面に凹凸が生じ、ヘッドクラッシュを引
き起こし易いという欠点がある。 本発明の課題は、少ない工程数で製造できる漏洩信号の
再生を低減した磁気記録媒体を提供することである。
本発明による磁気記録媒体は以下に述べる方法により製
造することができる。 まず、第１の工程で基板上にＣｒを含む非磁性層（第１
の層）を積層し、つづいて第２の工程で第１の層上にＣ
ｏを含む磁性層（第２の層）を積層して、第３の工程で
第２の層を局部的に熱処理して前記第１の層のＣｒを前
記第２の層に拡散させて前記第２の層に非磁性部を形成
する。尚、第２及び第３の工程は同時に行なってもよい
。 また、第１の工程で基板上にＣｒを含む非磁性層（第１
の層）を積層し１次に第２の工程で第１の層上にＣｏを
含む磁性層（第２の層）を積層し。 更に第３の工程で第２の層上にＣｒを含む保護層（第３
の層）を積層して、第４の工程で第３の層を局部的に熱
処理して前記第３の層のＣｒを、または、前記第３の層
のＣｒと前記第１の層のＣｒとを前記第２の層に拡散さ
せて前記第２の層に非磁性部を形成する。尚、第３及び
第４の工程は同時に行なってもよい。
造することができる。 まず、第１の工程で基板上にＣｒを含む非磁性層（第１
の層）を積層し、つづいて第２の工程で第１の層上にＣ
ｏを含む磁性層（第２の層）を積層して、第３の工程で
第２の層を局部的に熱処理して前記第１の層のＣｒを前
記第２の層に拡散させて前記第２の層に非磁性部を形成
する。尚、第２及び第３の工程は同時に行なってもよい
。 また、第１の工程で基板上にＣｒを含む非磁性層（第１
の層）を積層し１次に第２の工程で第１の層上にＣｏを
含む磁性層（第２の層）を積層し。 更に第３の工程で第２の層上にＣｒを含む保護層（第３
の層）を積層して、第４の工程で第３の層を局部的に熱
処理して前記第３の層のＣｒを、または、前記第３の層
のＣｒと前記第１の層のＣｒとを前記第２の層に拡散さ
せて前記第２の層に非磁性部を形成する。尚、第３及び
第４の工程は同時に行なってもよい。
本発明では、基板上にＣｒを含む非磁性層を積層し、こ
の非磁性層上にＣｏを含む磁性層を積層しく更にこの磁
性層上にＣｒを含む保護層を積層し）、その後、または
磁性層（保護層）の積層の際、磁性層（保護層）を局部
的に熱処理しているから、磁性層中にＣｒが拡散される
。 尚、磁性層中に拡散するＣｒの濃度が上昇すると、これ
にともなって磁気モーメントが減少し。 Ｃｒの濃度が一定値以上になると非磁性になる。 例えば、Ｃｏを含む磁性層中に拡散するＣｒの濃度が、
好ましくは２５％以上、更に好ましくは３０％４以上で
非磁性になる。
の非磁性層上にＣｏを含む磁性層を積層しく更にこの磁
性層上にＣｒを含む保護層を積層し）、その後、または
磁性層（保護層）の積層の際、磁性層（保護層）を局部
的に熱処理しているから、磁性層中にＣｒが拡散される
。 尚、磁性層中に拡散するＣｒの濃度が上昇すると、これ
にともなって磁気モーメントが減少し。 Ｃｒの濃度が一定値以上になると非磁性になる。 例えば、Ｃｏを含む磁性層中に拡散するＣｒの濃度が、
好ましくは２５％以上、更に好ましくは３０％４以上で
非磁性になる。
以下１本発明の実施例について図面を参照して説明する
。 第１図は本発明の第１の実施例の磁気記録媒体の斜視断
面図である。以下、第１図を参照して。 本実施例の磁気記録媒体の製造方法について説明する。 円盤状のガラス基板１０上にスパッタリングによってＣ
ｒを含む非磁性層２を５００人から５０００人積層する
。 次に、非磁性層２０を含むガラス基板１０をモータ（図
示せず）に装着して、ガラス基板１０を回転させる。こ
れと−緒にビーム径８３０ｎｍ。 −出力８ｍＷに設定したＧａＡｌＡｓ系レーザ（図示せ
ず）によってビームを照射しつつ、非磁性層２０上にス
パッタリングによってＣｏＮｉＣｒなる構成の磁性層３
０を１００人から２０００人積層する。この際、磁性層
３０のビームが照射された部分には非磁性層２０内のＣ
ｒが拡散して非磁性部５０が形成される。このようにし
て得られた磁気記録媒体を以後第１の試料と呼ぶ。 第２図は本発明の第２の実施例の磁気記録媒体の斜視断
面図である。以下、第２図を参照してこの実施例の磁気
記録媒体の製造方法について説明する。ディスク状のガ
ラス基板１０上にスパッタリングによってＣｒを含む非
磁性層２０を５００人から５０００人積層する。つづい
て、この非磁性層２０上にスパッタリングによってＣｏ
Ｎ１Ｃｒなる構成の磁性層３０を１００人から２０００
人積層する。 次に、磁性層３０を含むガラス基板１０をモータ（図示
せず）に装着して、ガラス基板１０を回転させる。これ
と−緒にビーム径１０μｍ、出力ＩＷに設定したＮｄ−
ＹＡＧレーザ（図示せず）によってビームを照射しつつ
、磁性層３０上にスパッタリングによってＣｒを含有す
る保護層４０を５０人から５００人積層する。この際、
保護層４０のビームが照射された部分のＣｒが磁性層３
０に拡散して非磁性部５０が形成される。このようにし
て得られた磁気記録媒体を以後第２の試料と呼ぶ。ここ
で保護層４０は磁気記録媒体としての耐蝕性等を向上さ
せるための層である。 尚、上述した実施例において、ビームの照射を。 第１の試料では磁性層３０を積層した後、第２の試料で
は保護層４０を積層した後に行ってもよい。 また、非磁性層２０のＣｒを保護層４０のＣｒと同時に
磁性層３０へ拡散させてもよい。 また、レーザはＧａＡｌＡｓ系レーザ、Ｎｄ−ＹＡＧレ
ーザに限らずガラスレーザ等の高出力レーザが使用でき
る。更に、熱拡散による非磁性部５０の形成をより効率
よく行うために、ビーム照射前に予め基板１０を加熱し
てもよい。この際。 上述したレーザの出力を減少させることができる。 尚、上述した基板１０の回転速度は基板１０とビームの
相対速度を例えば１ｍ／ｓｅｃ、とじた。 また１上述したビームの照射を、基板１０の直径方向に
所定間隔で移動させることで複数の非磁性部５０が形成
できる。 尚、上述した実施例では、磁性層２０に用いるＣｏ含有
合金はＣｏＮ ｉ Ｃｒ合金に限らずＣｏ含有合金２例
えば、Ｃｏ−Ｍ合金、（ただしＭは。 Ｎｉ、Ｃｒ、Ｐｔ、Ｔａ、Ｂの内から選ばれた少なくと
も１種類の元素を含む）からなるものであればよい。ま
た、非磁性層２０及び保護層４０もＣｒに限定せずＣｒ
を含む非磁性合金１例えば。 Ｎｉ−Ｃｒでもよい。更に、基板１０の材質はガラスに
限らずＡｌ、カーボン、耐熱プラスチック等でもよい。 尚、非磁性層２０．磁性層３０．及び保護層４０は、ス
パッタリングに限らず真空蒸着によって形成してもよい
。
。 第１図は本発明の第１の実施例の磁気記録媒体の斜視断
面図である。以下、第１図を参照して。 本実施例の磁気記録媒体の製造方法について説明する。 円盤状のガラス基板１０上にスパッタリングによってＣ
ｒを含む非磁性層２を５００人から５０００人積層する
。 次に、非磁性層２０を含むガラス基板１０をモータ（図
示せず）に装着して、ガラス基板１０を回転させる。こ
れと−緒にビーム径８３０ｎｍ。 −出力８ｍＷに設定したＧａＡｌＡｓ系レーザ（図示せ
ず）によってビームを照射しつつ、非磁性層２０上にス
パッタリングによってＣｏＮｉＣｒなる構成の磁性層３
０を１００人から２０００人積層する。この際、磁性層
３０のビームが照射された部分には非磁性層２０内のＣ
ｒが拡散して非磁性部５０が形成される。このようにし
て得られた磁気記録媒体を以後第１の試料と呼ぶ。 第２図は本発明の第２の実施例の磁気記録媒体の斜視断
面図である。以下、第２図を参照してこの実施例の磁気
記録媒体の製造方法について説明する。ディスク状のガ
ラス基板１０上にスパッタリングによってＣｒを含む非
磁性層２０を５００人から５０００人積層する。つづい
て、この非磁性層２０上にスパッタリングによってＣｏ
Ｎ１Ｃｒなる構成の磁性層３０を１００人から２０００
人積層する。 次に、磁性層３０を含むガラス基板１０をモータ（図示
せず）に装着して、ガラス基板１０を回転させる。これ
と−緒にビーム径１０μｍ、出力ＩＷに設定したＮｄ−
ＹＡＧレーザ（図示せず）によってビームを照射しつつ
、磁性層３０上にスパッタリングによってＣｒを含有す
る保護層４０を５０人から５００人積層する。この際、
保護層４０のビームが照射された部分のＣｒが磁性層３
０に拡散して非磁性部５０が形成される。このようにし
て得られた磁気記録媒体を以後第２の試料と呼ぶ。ここ
で保護層４０は磁気記録媒体としての耐蝕性等を向上さ
せるための層である。 尚、上述した実施例において、ビームの照射を。 第１の試料では磁性層３０を積層した後、第２の試料で
は保護層４０を積層した後に行ってもよい。 また、非磁性層２０のＣｒを保護層４０のＣｒと同時に
磁性層３０へ拡散させてもよい。 また、レーザはＧａＡｌＡｓ系レーザ、Ｎｄ−ＹＡＧレ
ーザに限らずガラスレーザ等の高出力レーザが使用でき
る。更に、熱拡散による非磁性部５０の形成をより効率
よく行うために、ビーム照射前に予め基板１０を加熱し
てもよい。この際。 上述したレーザの出力を減少させることができる。 尚、上述した基板１０の回転速度は基板１０とビームの
相対速度を例えば１ｍ／ｓｅｃ、とじた。 また１上述したビームの照射を、基板１０の直径方向に
所定間隔で移動させることで複数の非磁性部５０が形成
できる。 尚、上述した実施例では、磁性層２０に用いるＣｏ含有
合金はＣｏＮ ｉ Ｃｒ合金に限らずＣｏ含有合金２例
えば、Ｃｏ−Ｍ合金、（ただしＭは。 Ｎｉ、Ｃｒ、Ｐｔ、Ｔａ、Ｂの内から選ばれた少なくと
も１種類の元素を含む）からなるものであればよい。ま
た、非磁性層２０及び保護層４０もＣｒに限定せずＣｒ
を含む非磁性合金１例えば。 Ｎｉ−Ｃｒでもよい。更に、基板１０の材質はガラスに
限らずＡｌ、カーボン、耐熱プラスチック等でもよい。 尚、非磁性層２０．磁性層３０．及び保護層４０は、ス
パッタリングに限らず真空蒸着によって形成してもよい
。
本発明の製造方法によれば、非磁性壁を熱処理により形
成しているから、磁気記録媒体の漏洩信号の再生の低減
は勿論のこと、少ない工程数で製造でき製造コストを低
減できる。 更に、非磁性部を形成する際に媒体表面の凹凸が発生す
ることがなく、その結果としてヘッドクラッシュの発生
を防止できる。
成しているから、磁気記録媒体の漏洩信号の再生の低減
は勿論のこと、少ない工程数で製造でき製造コストを低
減できる。 更に、非磁性部を形成する際に媒体表面の凹凸が発生す
ることがなく、その結果としてヘッドクラッシュの発生
を防止できる。
第１図は本発明の第１の実施例の磁気記録媒体を示す斜
視断面図、第２図は本発明の第２の実施例を示す斜視断
面図である。 １０・・・ガラス基板、２０・・・非磁性層、３０・・
・磁性層、５０・・・非磁性部。 、、１７７−５ 、 ＼４ 熱理人（７７８３） 弁’１士池田憲保 〜 ：第
１図 第２図
視断面図、第２図は本発明の第２の実施例を示す斜視断
面図である。 １０・・・ガラス基板、２０・・・非磁性層、３０・・
・磁性層、５０・・・非磁性部。 、、１７７−５ 、 ＼４ 熱理人（７７８３） 弁’１士池田憲保 〜 ：第
１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基板上にＣｒを含む非磁性層である第１の層を積層
する第１の工程と、前記第１の層上にＣｏを含む磁性層
である第２の層を積層する第２の工程と、前記第２の層
を局部的に熱処理して前記第１の層のＣｒを前記第２の
層に拡散させて前記第２の層に非磁性部を形成する第３
の工程とを含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方
法。 ２、請求項第１項において、前記第２の工程と前記第３
の工程とが同時に行われることを特徴とする磁気記録媒
体の製造方法。 ３、基板上にＣｒを含む非磁性層である第１の層を積層
する第１の工程と、前記第１の層上にＣｏを含む磁性層
である第２の層を積層する第２の工程と、前記第２の層
上にＣｒを含む保護層である第３の層を積層する第３の
工程と、前記第３の層を局部的に熱処理して前記第３の
層のＣｒを、または、前記第３の層のＣｒと前記第１の
層のＣｒとを前記第２の層に拡散させて前記第２の層に
非磁性部を形成する第４の工程とを含むことを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法。 ４、請求項第３項において、前記第３の工程と前記第４
の工程とが同時に行われることを特徴とする磁気記録媒
体製造方法。 ５、請求項１乃至４のうちのいずれか１つに記載の磁気
記録媒体の製造方法により得られることを特徴とする磁
気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33706190A JPH04205917A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33706190A JPH04205917A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04205917A true JPH04205917A (ja) | 1992-07-28 |
Family
ID=18305064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33706190A Pending JPH04205917A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04205917A (ja) |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP33706190A patent/JPH04205917A/ja active Pending
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