JPH04203915A - 大視野画像入力方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体装置あるいは他の電子部品等の外観検
査を行うための画像入力装置および方法に関する。

［従来の技術］ この種の技術について記載されている例としては、特開
昭５５−４２０１３号公報がある。

半導体装置等の製造においては、パッケージの外観が品
質に大きく影響する場合が多い。すなわち、当該製品に
おいてリードを含むパッケージ不良が生じていると視覚
的に印象が悪いというばかりでなく、実装不良あるいは
水分の侵入等による特性劣化を来し易い場合が多い。そ
のために、製造工程の最終段階ではこれらの外観が一定
基準を満たしているかを検査する外観検査工程が行われ
ている。

かかる外観検査に於て、多品種に対応するためには大画
面の入力が必要である。このため、上記の公報にも記載
されているように、リニアセンサとＸ−Ｙステージの駆
動による画像入力方法をとっていた。

また、従来のＴＶカメラ方式の場合、高い分解能で広い
範囲の画面を得るためには、画像をいくつかに分割して
入ツノする必要があった。

ところが、上記公報のような方法では、走査のためのＸ
−Ｙステージ、Ｘ−Ｙステージを駆動させる制御部等、
装置構成がかなり大がかりなものとなっていた。また画
像を入力するのに時間がかかっていた。

１’Ｖカメラで画像を分割入力する方法では、画像処理
的にみて画面のつなき合わせが難しく、また、入力画面
の視野移動機構も複雑になり、全体として大がかりな装
置構成となる。

本発明の１−１的は、大視野の画像を簡単な方法により
、かつ高速で、−度に入力する方法を提供することにあ
る。

〔課題を解決するための手段〕

」二記［１的を達成するために、撮像素子として、２０
４８画素×１のリニアセンサを使用した。また、走査方
法としては、リニアセンサの光軸上にガルバノミラ−を
入れ、このミラーの角度を変化させることによって行う
。

ミラーの動作方法については、動作データをｌ≧ＡＭに
記憶させておき、このデータをＤ／Δ変換することによ
り、ガルバノモータに電圧を与えて行っている。

［作用］ リニアセンサでＸ軸方向の撮像を行い、プログラマブル
にミラーの角度を変化させることによってＹ軸方向の走
査を行う。それによって、視野範囲にあわせた画素サイ
ズで分解能２５μｍの画像が得られる。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例である外観検査装置の画像入
力部を示す構成図、第２図はカメラヘッドを示す説明図
、第３図はガルバノインターフェイスポードのブロック
図、第４図は画像入力のブロック図、第５図はミラー動
作角の補正を示す説明図である。

本実施例における外観検査装置の画像入力部は第１図に
示す構成となっている。被検査対象物である半導体装置
６に対して、」ニガにガルバノカメラ１、照明装置５が
、下方に検査ステージ７が設置されており、照明装置５
によって適切に照明された半導体装置６を、ガルバノカ
メラ１によって撮像する。このガルバノカメラｌをガル
バノコントローラ２、ガルバノインターフェイス基板３
によって制御する。ガルバノカメラ１より入ツノされた
画像信号は、２ｏ４８　ｘ　２０４８画像処理基板４の
画像メモリ１７に格納される。

ガルバノカメラｌは第２図に示すようになっており、視
野サイズ５１，２　Ｘ５１．２ｍ　％、分解能２５μｍ
を得るために、２０／１８Ｘ　Ｉのりニアセンサ１１を
使用している１、このセンサの光軸上に入れたガルバノ
ミラ−９の角度を、第３図に示すガルバノインターフェ
イス基板３のＲＡＭ１／Ｉに記憶されているデータを１
）／Δコンバータ１５でＬ）　／　Ａ変換し、第５図（
１））のようなこの信号をガルバノモータ８にＬｊ、え
ることによって変化させ、半導体装置６のＹ１１ｑ１１
方向の走査を行いリニアセンサ１１で撮像する。

また、ミラーの動作はプログラマブルとなっているため
、被検査対象物である半導体装置６のパッケージサイズ
に合わせて必要なたけ走査できるようになっている。し
かし、画像信号を得るには、ガルバノミラ−９とりニア
センサ１１の動作を同期させる必要がある。第３図がミ
ラーとセンサを同期させるインターフェイス基板であり
、ＰＬＬ１２を用いてこれを行っている。

走査を行う際、ガルバノミラ−９を等角速度で動作させ
た場合、第５図（ａ）に示すように角度が大きくなるほ
ど移動料が大きくなるため、画像に歪が生じる。そのた
め第５図（ｂ）のような補正を加えて、移動量が等間隔
になるようにしている。

第４図は画像入力のブロック図を示しており、画像入力
を行うためのソフトウェア】９によって画像を入力して
いる。また、画像を取り込むにはガルバノミラ−９とリ
ニアセンサ１１を同期させると同時に、これらと画像メ
モリ１７との同期も必要である。そのため、タイミング
コントロール１８にＴ　ＲＳ　（Ｉｍａｇｅ　Ｒｅｓａ
ｍｐｌｉｎｇ　５ｅｑｕｅｎｃｅｒ）とよばれる専用Ｌ
ＳＩを使用している。このＩＲ３を２個、Ｘ、ｙたすき
かけて使用した場合、画像メモリ１７のアドレス発生お
よび垂直同期信号の発生が可能であり、この信号を使う
ことによりガルバノミラ−９、リニアセンサＩＩ、画像
メモリ１７の動作を同期させることができる。ＩＲ３は
２０４８　Ｘ　２０４８画像処理基板４に実装しである
。ガルバノカメラ１により入力された画像信号は、８ｂ
ｉｔ、Ａ／Ｄコンバータで量子化され、２０４８　Ｘ　
２０４８画像処理基板４の画像メモリＩ７に格納される
。

以上説明した一連の動作によって得た画像で、画像処理
を行い半導体装置６の外観検査をする。

［発明の効果１ 本発明によれば、ミラーの角度を変化させることにより
、ｌラインごとに撮像を行うので、走査ライン数をかえ
ることによって任意の大きさの画像が得られる。また、
装置の機構としても簡単であり、画像入力時間が短くな
る。また、２５μｍの分解能が得られ、検査が容易にで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である外観検査装置の画像入
力部を示す構成図、第２図はカメラヘッドを示す説明図
、第３図はガルバノインタフェイス基板のブロック図、
第４図は画像入力のブロック図、第５図はミラー動作角
の補正を示す説明図である。 １・・・ガルバノカメラ ２・ガルバノコントローラ ３・・ガルバノインターフェイスポード４・・２０４８
　Ｘ　２０４８画像処理基板５・・・照明装置 ６・・・半導体装置　　　　　７・・・検査ステージ８
・・・ガルバノモータ　　　９・・・ガルバノミラ−１
０・・・レンズ　　　　　　　１１・・リニアセンサ１
２・　Ｉ）　Ｌ　Ｉ、　　　　　　　１３・・・カウン
タ１４・・ＲＡＭ（ＤＡＴＡ） １５・＝Ｄ／Ａコンバータ　　１６−　Ａ　ｍ　ｐ１７
・・・画像メモリ １８・・・タイミングコントロール 纂　１　図 ８２図 稟　３　図 集　仝　図 稟　５Ｉ１２１ （（１）　　　　　　　　　　　（ｂ）Ｘ２＞×１　：
周迫！

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被撮像対象に対して像を結像するための光学部と、
   画像信号を入力するためのリニアセンサとリニアセンサ
   を動作させるためのリニアセンサドライバとからなるリ
   ニアセンサ部、光学系とリニアセンサとの間に入れた光
   軸の角度を変化させるためのガルバノミラーとミラーを
   振るためのガルバノモータとモータを制御するためのガ
   ルバノコントローラとからなるガルバノミラー部、およ
   びリニアセンサからの画像信号を記憶するための画像入
   力基板と、リニアセンサとガルバノミラーとを同期させ
   るガルバノミラーインターフェース基板とからなること
   を特徴とする大視野画像入力装置。 ２、請求項１記載におけるガルバノミラーの動作データ
   をＲＡＭに記憶させることにより、動作をプログラムブ
   ルにすることで、画像に歪が生じないような補正を行え
   ることを特徴とする大視野画像入力方法。 ３、請求項１記載におけるガルバノミラーの動作データ
   をＲＡＭに記憶させることにより、動作をプログラムブ
   ルにすることで、被撮像対象の大きさにあわせた画像サ
   イズで画像を得ることを特徴とする大視野画像入力方法
   。