JP2002310628A - 画像検査装置 - Google Patents

画像検査装置

Info

Publication number
JP2002310628A
JP2002310628A JP2001145674A JP2001145674A JP2002310628A JP 2002310628 A JP2002310628 A JP 2002310628A JP 2001145674 A JP2001145674 A JP 2001145674A JP 2001145674 A JP2001145674 A JP 2001145674A JP 2002310628 A JP2002310628 A JP 2002310628A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
axis
inspection
image inspection
moving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001145674A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Senda
隆 千田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SAN OPTRONICS KK
Original Assignee
SAN OPTRONICS KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SAN OPTRONICS KK filed Critical SAN OPTRONICS KK
Priority to JP2001145674A priority Critical patent/JP2002310628A/ja
Publication of JP2002310628A publication Critical patent/JP2002310628A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】電子部品実装基板などの実装状態を画像処理に
より検査する画像検査装置において、高精細の撮像装置
を使用せずに、簡易な構成部品により検査装置を構成す
るとともに、関連製造装置からデータ取得を行い、検査
作業の効率化、省力化を図る。 【構成】直交するY軸、Z軸を直動するよう設けられた
直動装置の可動架台上の撮像装置をX軸方向に移動する
直動装置の可動架台上に設置された対象物に対して垂直
移動する定焦点撮像装置を設置し、この撮像装置を垂直
移動させることにより、対象物の特定部位に焦点を調節
するよう構成した。垂直移動量は、関連製造装置の部品
データをオンラインで取得して移動量データとして利用
できるため、検査処理作業の効率化、省力化が図られ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【001】
【産業上の利用分野】この発明は電子部品実装基板など
の実装状態を画像識別により検査するための画像検査装
置に関するものである。
【002】
【従来の技術】従来、撮像対象物の実装状態を画像識別
により検査を行う場合、撮像装置の撮像距離を一定の位
置で固定し、実装部品に高さの相違があっても、そのま
ま撮像画像を処理する画像検査装置があった。
【003】
【発明が解決しようとする課題】従来の垂直位置が固定
された撮像装置においては、焦点深度の深い画像を得る
ために高精度な構成要素、例えば高解像度を有する撮像
装置、高解像レンズ、高輝度照明が必要なため、高価に
なるばかりでなく、また光学的な諸条件に敏感に反応す
るため、画像処理結果にばらつきが生じやすいという問
題点があった。この発明はこれらの問題点を解決するた
めになされたものであり、撮像装置や構成設備が簡素
で、低価格で構成可能となる画像検査装置を提供するこ
とを目的になされたものである。
【004】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、この発明は以下のように構成した。
【005】すなわち、請求項1の発明は、直交するX
軸、Y軸、Z軸を直動するよう設けられた直動装置の可
動架台に設けられた撮像装置により対象物を捕捉して、
該対象物の画像を識別処理するよう構成した画像検査装
置において、水平面上に配設した対象物に対して垂直方
向に移動する可動架台上に定焦点撮像装置を設け、該撮
像装置を垂直移動させることにより、対象物の特定部位
に焦点を調節するよう構成したことを特徴とする画像検
査装置である。請求項2の発明は、前記画像撮像装置の
垂直移動量は、対象物の製造関連装置から該対象物の部
品情報をオンラインで前記可動架台の制御装置に取り込
み、対象物の特定部位に焦点調節可能に移動量を制御す
るよう構成した請求項1記載の画像検査装置である。
【006】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1は本発明の一実施例を示す画像検査装置の概
略斜視図である。図において、1は撮像装置であり、2
は撮像装置1が設けられた可動架台を垂直移動させるた
めのZ軸直動装置、3はZ軸直動装置2を左右の方向へ
移動させるためのX軸直動装置、4は前後の方向へ移動
させるためのY軸直動装置であり、5はY軸直動装置4
の可動架台に設けられ、電子部品51,52,53(撮
像対象物)が実装された基板、6はX軸直動装置3及び
Y軸直動装置4を固設するための固定台である。上記の
ように構成された画像検査装置においては、撮像対象物
51,52,53を実装した基板5がY軸移動操作によ
り目的のY軸位置に移動される。つぎに撮像装置1が設
けられたZ軸直動装置2を設けたX軸直動装置3の移動
操作により目的のX軸位置に撮像装置1が移動される。
さらに撮像装置1が撮像対象物である電子部品51,5
2,53のひとつの厚みを部品データから抽出してZ軸
直動装置2の移動操作により目的の高さ位置すなわち撮
像焦点位置に移動され、対象物の撮像が可能となる。
【007】図2は本発明の構成を示すブロック図であ
る。図において、7は基板5に電子部品51,52,5
3などの実装を行う製造装置、8は製造工程全体を管理
制御するために設けられたパーソナルコンピュータ(P
C)、9はモニタ装置を設けた画像検査装置全体を示
す。以上の構成により製造装置7からPC8へ実装座標
データ、部品情報、部品寸法データなどをシリアル通信
ケーブルを用いてデータ転送する。このデータ転送によ
り、PC8へ取り込まれた各種データは、画像検査装置
制御用データに変換処理される。これにより従来個別に
作成していた画像検査装置制御用データは、既に入力処
理した製造装置7のデータをPC8で自動的に変換処理
されることにより、一連の作業が効率的に処理できる。
画像検査装置9の制御用データには撮像装置の垂直、左
右方向の制御データ、撮像対象物の前後方向移動制御デ
ータ、画像処理用データが取り込まれる。またPC8は
画像検査装置9より必要に応じて画像データの取り込み
にも使用される。なお撮像対象物の画像検査において
は、先に作成された画像検査のデータを用いてPC8は
画像検査装置9で構成される直動装置の移動位置、撮像
装置の画像取得、画像処理を制御し、撮像対象物に対す
る画像検査をおこなう。
【008】図3は本発明の実施例における検査作業手順
を示すフローチャートであり、検査用データの作成およ
び基板検査時の作業手順を示している。実装機などの製
造装置より転送されたデータがPCに取り込まれ、画像
検査装置の直動装置の移動位置、撮像装置の画像取得、
画像処理を制御するためのデータに自動変換される。撮
像対象物である各実装部品の指定位置に撮像装置が移動
制御され、良品として保証されている撮像対象物上の実
装部品の画像を良品画像としてPCに取り込む。取り込
まれた画像は撮像対象物の検査時に比較画像として利用
される。
【009】次に基板検査時には、PCによりX,Y,Z
各軸の直動装置、撮像装置の位置が制御され、撮像対象
物上にある実装部品の検査画像がPCに取り込まれ、目
視による良品画像との比較検査、または画像処理による
自動検査が一貫して行われ、作業の効率化、省力化が可
能となる。
【010】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の画像検
査装置は、定焦点撮像装置を使用して撮像装置を移動さ
せることにより対象物に焦点調節を行うよう構成したの
で、画像の倍率変動が少なく画像処理が容易となる。ま
た、関連製造装置から対象物の部品情報を取り込むこと
により、焦点の制御操作が可能となり、より効率的な検
査処理作業が可能となるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示す画像検査装置の概略
斜視図。
【図2】この発明の一実施例の構成を示すブロック図。
【図3】この発明の実施例の検査作業手順を示すフロー
チャート。
【符号の説明】
1 撮像装置 2 Z軸直動装置 3 X軸直動装置 4 Y軸直動装置 5 撮像対象物(基板) 51−53 実装部品 6 固定台 7 関連製造装置 8 制御用PC 9 画像検査装置

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】直交するX軸、Y軸、Z軸を直動するよう
    設けられた直動装置の可動架台に設けられた撮像装置に
    より対象物を捕捉して、該対象物の画像を識別処理する
    よう構成した画像検査装置において、水平面上に配設し
    た対象物に対して垂直方向に移動する可動架台上に定焦
    点撮像装置を設け、該撮像装置を垂直移動させることに
    より、対象物の特定部位に焦点を調節するよう構成した
    ことを特徴とする画像検査装置。
  2. 【請求項2】前記画像撮像装置の垂直移動量は、対象物
    の製造関連装置から該対象物の部品情報をオンラインで
    前記可動架台の制御装置に取り込み、対象物の特定部位
    に焦点調節可能に移動量を制御するよう構成した請求項
    1記載の画像検査装置。
JP2001145674A 2001-04-06 2001-04-06 画像検査装置 Pending JP2002310628A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001145674A JP2002310628A (ja) 2001-04-06 2001-04-06 画像検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001145674A JP2002310628A (ja) 2001-04-06 2001-04-06 画像検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002310628A true JP2002310628A (ja) 2002-10-23

Family

ID=18991445

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001145674A Pending JP2002310628A (ja) 2001-04-06 2001-04-06 画像検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002310628A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2021009884A1 (ja) * 2019-07-17 2021-01-21

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2021009884A1 (ja) * 2019-07-17 2021-01-21
WO2021009884A1 (ja) 2019-07-17 2021-01-21 株式会社Fuji 検査装置および検査用画像の撮像方法
JP7194831B2 (ja) 2019-07-17 2022-12-22 株式会社Fuji 検査装置および検査用画像の撮像方法
US11877063B2 (en) 2019-07-17 2024-01-16 Fuji Corporation Inspection device and method for capturing inspection image

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR930008664B1 (ko) 레이저 가공 장치
JP5589823B2 (ja) ステレオカメラの校正装置および校正方法
WO2016176833A1 (zh) 一种提高xy运动平台系统精度的方法、装置及系统
CN102761708A (zh) 一种线阵ccd图像扫描方法
CN102780860A (zh) 一种线阵ccd图像扫描方法
JP4041042B2 (ja) 欠陥確認装置および欠陥確認方法
CN210720188U (zh) 一种快速自动化光学检测系统
JP2009014696A (ja) 照度可変照明部及び撮像部の独立可動における外観検査装置
JP2003294419A (ja) 微小寸法測定装置
JP2002168800A (ja) 外観検査装置
JP2001124700A (ja) ラインセンサーカメラを備えた検査機のキャリブレーション方法
JP2002310628A (ja) 画像検査装置
JPH03184742A (ja) Nc加工装置における原点補正方法
CN211047019U (zh) 一种多角度图像采集系统
CN209877890U (zh) 一种半自动线宽检测装置
CN210604425U (zh) 银线检测系统
JP4901451B2 (ja) 部品実装装置
JP2003004666A (ja) X線透視撮影装置
JPS62180252A (ja) プリント基板検査装置
JPH11295045A (ja) 検査装置
JPH04250700A (ja) 電子部品認識方法
CN213239415U (zh) 一种光学镜头调制传递函数检测设备快速光轴对正系统
CN216966666U (zh) 加工设备
WO2022062057A1 (zh) 自动调节景深的运动控制装置及自动光学检测机
JPH10300441A (ja) 半導体検査装置