JPH04196261A - Manufacture of electronic part loading board - Google Patents

Manufacture of electronic part loading board

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JPH04196261A
JPH04196261A JP32745690A JP32745690A JPH04196261A JP H04196261 A JPH04196261 A JP H04196261A JP 32745690 A JP32745690 A JP 32745690A JP 32745690 A JP32745690 A JP 32745690A JP H04196261 A JPH04196261 A JP H04196261A
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insulating base
base material
outer lead
lla
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治 渡辺
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吉一 伊藤
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Ibiden Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To enable the 42 alloy in high rigidity to be used while entirely removing the residues between respective leads by a method wherein a lead frame is formed of a Cu-plated 42 alloy material (stainless steel) to form a blackened film while the residues between outer leads are removed. CONSTITUTION:The whole surface of a lead frame 11A is plated with Cu, them the lead frame 11A is blackened insulating substrates 12 and the lead frame 11A are formed into one body so that outer leads 11a may be exposed from respective insulating substrates 12 simultaneously removing the first residual resins 61 between respective leads 11 using laser beams etc. Furthermore, the resins 61 are electrolytic-degreased in alkali solution to remove the second residual resins 62 sticking to the sides of the outer leads 11a. Finally, the whole body is electrolytic etched away also in the alkali solution to remove the exposed Cu plating 20 so as to completely expose an 42 alloy material. Through these procedures, the outer lead part can be composed of a material in high rigidity.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は電子部品搭載用基板の製造方法に関し、特に多
数のリードを一体化したリードフレームを42アロイ材
(ステンレス鋼)によって形成するようにした電子部品
搭載用基板の製造方法に関するものである。
Detailed Description of the Invention (Industrial Application Field) The present invention relates to a method for manufacturing a board for mounting electronic components, and in particular to a method for manufacturing a board for mounting electronic components, in particular a method for manufacturing a lead frame that integrates a large number of leads from a 42 alloy material (stainless steel). The present invention relates to a method of manufacturing a board for mounting electronic components.

(従来の技術) 電子部品搭載用基板としては従来より種々なものが数多
く提案されてきており、その中で出願人は、例えば第4
図に示すような電子部品搭載用基板も提案してきている
。この第4図に示した電子部品搭載用基板は、金属製の
リードフレームの両面に絶縁基材を一体化して構成した
ものであり、リードフレームを構成している各リードの
アウターリードとタイバー及びタイバーの内側のり一部
の一部はアウターリード部として、外部に露出するよう
に構成したものである。すなわち、この電子部品搭載用
基板に対しては、例えば第7図に示したように、電子部
品を搭載した後にその略全体を封止樹脂による封止を行
うことにより電子部品搭載装置(100)とされるもの
なのである。
(Prior Art) Many various substrates for mounting electronic components have been proposed in the past, and the applicant has proposed, for example, the fourth substrate.
We have also proposed a board for mounting electronic components as shown in the figure. The electronic component mounting board shown in Fig. 4 is constructed by integrating an insulating base material on both sides of a metal lead frame, and includes the outer leads and tie bars of each lead making up the lead frame. A portion of the inner glue portion of the tie bar is configured to be exposed to the outside as an outer lead portion. That is, as shown in FIG. 7, for example, as shown in FIG. 7, after mounting electronic components on this electronic component mounting board, almost the entire board is sealed with a sealing resin, thereby forming an electronic component mounting device (100). This is what is considered to be.

以上のような形式の電子部品搭載用基板は、絶縁基材と
してプリプレグ化された樹脂材を使用したり、そうでな
ければ他の材料からなる絶縁基材を接着剤を介してリー
ドフレームに一体化して形成されるものであるか、その
一体化は熱圧着によって行われるものである。一方、リ
ードフレームは、多数のリートをタイバー等によって連
結することにより一体化したものであるから、これらの
リードか集中している部分においては、例えば第5図に
示したように互いの間隔が狭くなっているものである。
The above types of substrates for mounting electronic components use prepreg resin material as the insulating base material, or otherwise integrate the insulating base material made of other materials with the lead frame via adhesive. Either it is formed by merging, or the integration is done by thermocompression bonding. On the other hand, a lead frame is made up of a large number of leads connected by tie bars, etc., so in the areas where these leads are concentrated, for example, as shown in Fig. 5, the distance between them is small. It is narrower.

このようなリードフレームに対して絶縁基材を熱圧着す
ると、絶縁基材等の材料の一部が各リード間に入ること
になり、これを除去しなければならない。特に各リード
のアウターリード部においては、第7図に示したような
電子部品搭載装置(100)となったときに外部に露出
するものであり、これに残留物かあると電子部品搭載装
置(100)を他の基板に実装する際に種々な問題を引
き起こす原因となる。それだけでなく、各リードのアウ
ターリード部の一部は、第7図に示したように、封止樹
脂によって包み込まれるのであるが、ここに残留物が存
在していると、この封止樹脂による封止が完全に行えな
いといった問題も生してくるのである。
When an insulating base material is thermocompression bonded to such a lead frame, a portion of the material such as the insulating base material will enter between the leads, and must be removed. In particular, the outer lead portion of each lead is exposed to the outside when the electronic component mounting device (100) as shown in FIG. 100) on another board, causing various problems. Not only that, but a portion of the outer lead portion of each lead is wrapped in the sealing resin as shown in Figure 7, and if there is any residue there, the sealing resin will cause damage. This also poses the problem of not being able to seal completely.

特に、近年の電子部品搭載用基板においては、その各リ
ートの間隔か非常に狭くなってきており、これらのリー
トの周囲に位置する残留物の除去は並大抵のことでは行
えないのである。各リードは同一平面上に並んでいるか
ら、各リートの上下両面の除去は機械的かつ一度に行え
るのであるか、間隔の狭い各リートの間に残留している
ものを除去することは、少なくとも機械的な手段によっ
ては行えないものであり、この各リード間の残留物を除
去する方法が熱望されているのである。
In particular, in recent electronic component mounting substrates, the spacing between the leats has become extremely narrow, and it is difficult to remove the residue located around these leats. Since each reed is lined up on the same plane, it is possible to mechanically remove both the top and bottom of each reat at once, or at least remove what remains between the closely spaced reeds. This cannot be done by mechanical means, and a method for removing this residue between the leads is eagerly awaited.

一方、リードフレームとしては、加工か容易であること
、熱伝導率が良いこと等の理由によって銅を材料として
形成されているものであるか、このリードフレームを構
成しているリートのアウターリードは、前述したように
、当該電子部品搭載用基板を使用して構成した電子部品
搭載装置(100)の外部接続端子となるものである。
On the other hand, the lead frame is made of copper because it is easy to process and has good thermal conductivity, or the outer lead of the lead frame that makes up the lead frame is made of copper. , as described above, serves as an external connection terminal of an electronic component mounting apparatus (100) constructed using the electronic component mounting board.

従って、このアウターリードが銅等の軟質なものによっ
て形成されていると、電子部品搭載装置(100)の他
の基板に対する実装時等においてこのアウターリードが
変形し易いものとなって、種々な不都合を生じることか
ある。そこで、これらアウターリード部を硬質なものと
するために、リードフレーム全体を42アロイ材によっ
て形成することが行われてきているのである。このよう
に、42アロイ材を使用した場合には、これに対する絶
縁基材の密着強度を高める工夫が必要になってくること
は当然である。
Therefore, if this outer lead is made of a soft material such as copper, this outer lead will be easily deformed when mounting the electronic component mounting device (100) on another board, resulting in various inconveniences. may occur. Therefore, in order to make these outer lead parts hard, the entire lead frame has been made of 42 alloy material. As described above, when using the 42 alloy material, it is natural that it becomes necessary to take measures to increase the adhesion strength of the insulating base material to the material.

要するに、この種の電子部品搭載用基板においては、ア
ウターリード部の剛性を高めるためにリードフレームを
42アロイ材によって形成する必要があり、かつ各リー
ト間には何等の残留物も存在しないように構成する必要
があるのであり、このような要望を満たすためにはどう
したらよいかと、本発明者等が種々検討してきた結果、
本発明を完成したのである。
In short, in this type of electronic component mounting board, the lead frame must be made of 42 alloy material in order to increase the rigidity of the outer lead part, and it is necessary to make sure that there is no residue between each lead. As a result of the inventors' various studies on how to meet such demands,
The present invention was completed.

(発明が解決しようとする課題) 本発明は以上の実情に鑑みてなされたもので、その解決
しようとする課題は、リードの剛性の確保及びこれらリ
ード間での残留物の存在である。
(Problems to be Solved by the Invention) The present invention has been made in view of the above circumstances, and the problems to be solved are ensuring the rigidity of the leads and the presence of residue between these leads.

そして、本発明の目的とするところは、従来−般に行わ
れているこの種電子部品搭載用基板の製造方法の一部を
少し変えるのみでリードフレームとして剛性の高い42
アロイ材を使用することができるとともに、その各リー
ド間に残留物の全くない電子部品搭載用基板を製造する
ことのできる方法を提案することにある。
It is an object of the present invention to provide a highly rigid 42 mm lead frame as a lead frame by only slightly changing a part of the conventional manufacturing method of this type of electronic component mounting board.
The object of the present invention is to propose a method for manufacturing an electronic component mounting board that can use an alloy material and has no residue between its leads.

(課題を解決するための手段及び作用)以上の課題を解
決するために、本発明の採った手段は、実施例において
使用する符号を付して説明すると、 [多数のリード(11)を一体化して42アロイ材から
なるリードフレーム(IIA)の両面に絶縁基材(工2
)を一体化して、この絶縁基材(12)からアウターリ
ード部(lla)を突出させた電子部品搭載用基板(l
O)を、次の工程を含んで製造する方法。
(Means and operations for solving the problems) In order to solve the above problems, the means taken by the present invention are described with reference numerals used in the embodiments. A lead frame (IIA) made of 42 alloy material is coated with an insulating base material (IIA) on both sides.
) is integrated, and an electronic component mounting board (l) is made with an outer lead portion (lla) protruding from this insulating base material (12).
A method for producing O) including the following steps.

(1)リードフレーム(IIA)の全面に銅メッキ(2
0)を施して、これを黒化処理した後に絶縁基材(12
)をリードフレーム(IIA)に一体化する工程;(2
)各リード(11)のアウターリード部(lla)を各
絶縁基材(12)から露出させるとともに、その各リー
ド(11)間の第一残留樹脂(61)をレーザー光等に
よって除去する工程; (3)上記のものをアルカリ液中で電解脱脂することに
より、アウターリード部(Ila)の側面に付着したま
まとなっている第二残留樹脂(62)を除去する工程; (4)以上のようにした全体をアルカリ液中で電解エツ
チングすることにより、アウターリード部(lla)に
露出している銅メッキ(20)を除去して、42アロイ
材を完全に露出させる工程」である。
(1) Copper plating (2
0), and after blackening treatment, an insulating base material (12
) to the lead frame (IIA); (2
) a step of exposing the outer lead portion (lla) of each lead (11) from each insulating base material (12) and removing the first residual resin (61) between each lead (11) using a laser beam or the like; (3) A step of removing the second residual resin (62) that remains attached to the side surface of the outer lead part (Ila) by electrolytically degreasing the above material in an alkaline solution; This is a process of electrolytically etching the entire structure in an alkaline solution to remove the copper plating (20) exposed on the outer lead part (lla) and completely expose the 42 alloy material.

すなわち、本発明は、最終的には第4図及び第7図に示
したような電子部品搭載用基板(10)を製造するもの
であるか、その間にアウターリード部(Ila)に付着
していた第一残留樹脂(61)及び第二残留樹脂(62
)を除去するとともに、黒化処理膜を形成するためにだ
け使用された銅メッキ(20)をアウターリード部(l
la)から完全に除去して、所望の電子部品搭載用基板
(10)を得るためのものである。
That is, the present invention is intended to ultimately manufacture the electronic component mounting board (10) as shown in FIGS. The first residual resin (61) and the second residual resin (62)
), and the copper plating (20) used only to form the blackened film is removed from the outer lead part (l).
1a) to obtain a desired electronic component mounting board (10).

そして、本発明の製造方法においては、(1)リードフ
レーム(IIA)の全面に銅メッキ(20)を施して、
これを黒化処理した後に絶縁基材(12)をリードフレ
ーム(IIA)に一体化することは当然として、次のよ
うな工程が重要なのである。なお、リードフレーム(l
 IA)を42アロイ材を使用するのは、最終的に電子
部品搭載用基板(10)とされたときに、アウターリー
ド部(lla)を剛性の高いものによって構成するとい
う目的を達成するためである。また、この工程時に、絶
縁基材等からの余剰な樹脂かアウター・リート部(ll
a)間に浸み出して、第1図の(b)にて示すような第
一残留樹脂(61)及び第二残留樹脂(62)か形成さ
れるのである。
In the manufacturing method of the present invention, (1) copper plating (20) is applied to the entire surface of the lead frame (IIA),
It goes without saying that the insulating base material (12) is integrated with the lead frame (IIA) after blackening treatment, and the following steps are important. In addition, the lead frame (l
The reason why 42 alloy material is used for IA) is to achieve the purpose of constructing the outer lead part (lla) with a highly rigid material when it is finally used as the electronic component mounting board (10). be. Also, during this process, excess resin from the insulating base material etc.
a), and a first residual resin (61) and a second residual resin (62) as shown in FIG. 1(b) are formed.

以上のようにしてから、(2)各リード(11)のアウ
ターリード部(lla)を各絶縁基材(12)から露出
させるとともに、その各リード(11)間の第一残留樹
脂(61)をレーザー光等によって除去するのであるが
、次に示す実施例においてはアウターリード部(lla
)上に離型フィルム(30)を配置しであるから、アウ
ターリード部(lla)の露出作業は容易に行えるもの
である。
After doing the above, (2) the outer lead portion (lla) of each lead (11) is exposed from each insulating base material (12), and the first residual resin (61) between each lead (11) is exposed. In the following embodiment, the outer lead portion (lla
), the release film (30) is disposed on the outer lead portion (lla), so that the work of exposing the outer lead portion (lla) can be easily performed.

そして、(3)上記のものをアルカリ液中で電解脱脂す
ることにより、アウターリード部(lla)の側面に付
着したままとなっている第二残留樹脂(62)をうかせ
除去するのである。この工程は非常に重要なものである
。その理由は、本来ならば上記(2)の工程において、
各アウターリード部(lla)に付着している第一残留
樹脂(61)及び第二残留樹脂(62)を−度に除去し
てしまえばよいのであるが、アウターリード部(lla
)の側面の第二残留樹脂(62)は容易には除去できな
いから、この(3)におけるように、第二残留樹脂(6
2)が電気化学的手段で強力に除去するのである。つま
り、各アウターリード部(lla)を電解脱脂すること
により、アウターリード部(lla)を活性化するとと
もに、アウターリード部(lla)上の銅メッキ(20
)を若干エツチングすることにより、強制的に第二残留
樹脂(62)を浮かせて除去するのである。
(3) By electrolytically degreasing the above material in an alkaline solution, the second residual resin (62) remaining attached to the side surface of the outer lead portion (lla) is removed. This step is very important. The reason is that originally in the process (2) above,
It would be better to remove the first residual resin (61) and second residual resin (62) adhering to each outer lead part (lla) at the same time.
) can not be easily removed, so as in (3), the second residual resin (62)
2) is strongly removed by electrochemical means. That is, by electrolytically degreasing each outer lead part (lla), the outer lead part (lla) is activated, and the copper plating (20
) is forcibly lifted and removed by slightly etching the second residual resin (62).

以上のような工程を経れば、アウターリード部(lla
)の左右両面に付着している第二残留樹脂(62)は完
全に除去された状態となっているから、(4)以上のよ
うにした全体をアルカリ液中で電解エツチングすること
により、アウターリード部(lla)に露出している銅
メッキ(20)を除去して、42アロイ材を完全に露出
させることか可能となるのである。
After going through the above steps, the outer lead part (lla
The second residual resin (62) adhering to both the left and right sides of (4) has been completely removed. By removing the copper plating (20) exposed on the lead portion (lla), it is possible to completely expose the 42 alloy material.

また、電解エツチングする理由は、ここで除去する銅メ
ッキ(20)のうちとくにアウターリード部(11a)
の側面に付着している銅メッキ(20)を効率よく除去
するためである。従来のスプレーあるいは浸漬法エツチ
ングでは除去か完全に行えなかったこのアウターリード
部(lla)のとくに側面に付着している銅メッキ(2
0)が電解エツチングにより完全に効率よく行えるよう
になったのである。
Also, the reason for electrolytic etching is that the outer lead portion (11a) of the copper plating (20) to be removed is particularly
This is to efficiently remove the copper plating (20) adhering to the side surface of the plate. The copper plating (2) adhering to the outer lead part (lla), especially on the sides, could not be completely removed by conventional spray or dip etching.
0) can now be performed completely efficiently by electrolytic etching.

以上のようにすれば、アウターリード部(lla)がそ
の本来の剛性の高い42アロイ材のみによって形成され
たものとなって、各アウターリード部(lla)には同
等余分なもの(銅メッキ(20)それ自体も酸化され易
いものであるから、アウターリード部(lla)にとっ
てはこの銅メッキ(20)も余分なものである)が付着
していないものとされた電子部品搭載用基板(10)が
完成されるのである。
By doing the above, the outer lead part (lla) will be made of only the original highly rigid 42 alloy material, and each outer lead part (lla) will have an equivalent extra material (copper plating). 20) Since the copper plating (20) itself is easily oxidized, the copper plating (20) is also redundant for the outer lead portion (lla)). ) will be completed.

なお、絶縁基材(12)の内側に位置するリート(11
)上には銅メッキ(20)を黒化処理することにより形
成した黒化処理膜か存在しているか、これは絶縁基材(
12)に対する所謂アンカーとしての役割を果たしてい
るものであり、リードフレーム(IIA)または各リー
ド(11)に対する両絶縁基材(12)の密着を十分強
固なものとしているものである。勿論、この黒化処理膜
か電子部品搭載用基板(10)内に存在していたとして
も、これがマイグレーション等の問題を引き起こすこと
はないのである。
Note that the REET (11) located inside the insulating base material (12)
) is there a blackened film formed by blackening the copper plating (20)?
12), and makes the adhesion of both insulating base materials (12) to the lead frame (IIA) or each lead (11) sufficiently strong. Of course, even if this blackened film exists in the electronic component mounting substrate (10), it will not cause problems such as migration.

(実施例) 次に、本発明を、図面に示した実施例に従って詳細に説
明する。
(Example) Next, the present invention will be described in detail according to an example shown in the drawings.

第1図の(a)〜(e)のそれぞれは、本製造方法によ
る各工程中における各アウターリード部(11a)の周
囲の状況の変化を順を追って示したものであり、特に第
1図の(a)は多数のり−ト(11)からなるリードフ
レーム(IIA)の表面に銅メッキ(20)を施した状
態が示しである。つまり、この第1図の(a)の状態は
、第5図に示したようなリードフレーム(IIA)の全
体に銅メッキ(20)を施したものである。
Each of (a) to (e) in FIG. 1 sequentially shows changes in the surrounding situation of each outer lead portion (11a) during each step of the present manufacturing method, and in particular, FIG. (a) shows a state in which copper plating (20) is applied to the surface of a lead frame (IIA) consisting of a large number of boards (11). In other words, in the state shown in FIG. 1(a), the entire lead frame (IIA) as shown in FIG. 5 is plated with copper (20).

なお、本実施例では、電子部品搭載用基板(10)を所
謂多数個取りするためのものを示しており、例えば第5
図に示したようなリードフレーム(11A)は上下左右
に連続するものとして形成しである。
In addition, in this embodiment, a so-called multi-piece electronic component mounting board (10) is shown, and for example, the fifth
The lead frame (11A) as shown in the figure is formed to be continuous vertically and horizontally.

これに応じてこのリードフレーム(IIA)に一体化す
べき各絶縁基材(12)も、このリードフレーム(II
A)の大きさに応じた非常に大きな板状のものとするの
である。この場合、本実施例においては、各絶縁基材(
12)をリードフレーム(IIA)に一体化するに際し
て、各リード(11)のアウターリード部(lla)の
上下両面を第2図に示すように、離型フィルム(30)
によって覆うようにして、後に各アウターリード1(I
IA)の露出をし易くしている。
Accordingly, each insulating base material (12) to be integrated into this lead frame (IIA) is also integrated into this lead frame (IIA).
It is made into a very large plate shape corresponding to the size of A). In this case, in this example, each insulating base material (
12) into the lead frame (IIA), the upper and lower surfaces of the outer lead portion (lla) of each lead (11) are coated with a release film (30) as shown in FIG.
Later, each outer lead 1 (I
This makes it easier to expose IA).

本実施例においては、この離形フィルム(3o)の厚み
を約10μmのものとしている。その理由は、この離形
フィルム(30)を、後述する絶縁基材(12)との密
着ノjを向上させるために黒化処理するのであるか、こ
の処理によって折角の離形フィルム(30)が除去され
てしまわない最低限の厚さを守るためである。
In this example, the thickness of the release film (3o) is approximately 10 μm. The reason for this is that the release film (30) is blackened to improve its adhesion to the insulating base material (12), which will be described later. This is to maintain the minimum thickness that will prevent the material from being removed.

以上のような電子部品搭載用基板(10)の多数個取り
を前提としなから、以下の説明は、一つの電子部品搭載
用基板(10)に着目して行っていく。
The following explanation will focus on one electronic component mounting substrate (10), without assuming that a large number of electronic component mounting substrates (10) as described above are used.

以上のように、リードフレーム(IIA)に対しては、
第2図に示すように、アウターリード部(11a)に対
応した部分に離形フィルム(30)を配置してから、各
絶縁基材(12)をリードフレーム(IIA)の両面に
熱圧着するのである。ここまでの工程が、請求項で言っ
ている(1)の工程である。そして、このようにした各
絶縁基材(12)の裏面に箔の貼付またはメッキによっ
て銅箔(13a)を形成し、この銅箔(13a)に対し
て所定のマスク・エツチング処理を施すことにより、第
3図に示すような導体回路(13)を各絶縁基材(12
)上に形成するのである。本実施例においては、この場
合に各絶縁基材(12)及びり−)”(11)を貫通す
るスルーホール(14)を形成して各り−)”(11)
と導体回路(13)との電気的導通を図るようにしてい
る。
As mentioned above, for the lead frame (IIA),
As shown in Fig. 2, a release film (30) is placed in a portion corresponding to the outer lead portion (11a), and then each insulating base material (12) is thermocompression bonded to both sides of the lead frame (IIA). It is. The steps up to this point are the steps (1) mentioned in the claims. Then, a copper foil (13a) is formed on the back surface of each of the insulating base materials (12) by pasting or plating the foil, and by subjecting the copper foil (13a) to a predetermined mask etching process. , a conductor circuit (13) as shown in FIG.
). In this embodiment, in this case, a through hole (14) is formed to penetrate through each insulating base material (12) and each hole (11).
Electrical continuity is established between the conductor circuit (13) and the conductor circuit (13).

そして、各リート(11)のアウターリード部(lla
)を露出させるべく、アウターリード部(lla)上の
絶縁基材(12)を除去するのである。この場合の除去
は、例えば絶縁基材(12)の所定部分の周囲にザグリ
加工あるいはレーサー加工によって切目を入れることに
より行われるものであり、その部分の下側には離形フィ
ルム(30)か配置しであるから、これを容易に除去で
きるものである。この余分な絶縁基材(12)の除去を
行った状態が第4図及び第6図に示しである。
Then, the outer lead part (lla
), the insulating base material (12) on the outer lead portion (lla) is removed. Removal in this case is carried out, for example, by making a cut around a predetermined portion of the insulating base material (12) by counterbore processing or racer processing, and a release film (30) is placed on the underside of the insulating base material (12). Since it is placed in place, it can be easily removed. The state in which this excess insulating base material (12) has been removed is shown in FIGS. 4 and 6.

このように、不要な絶縁基材(12)及び離型フィルム
(30)を除去した後においては、第6図及び第1図の
(b)にて示すように、各アウターリード部1:11a
)の周囲に第一残留樹脂(61)及び第二残留樹脂(6
2)か存在している。この第一残留樹脂(61)及び第
二残留樹脂(62)は、前述した通り除去しなければな
らないものであるが、そのために、まず各リー1”(1
1)の間に位置する第一残留樹脂(61)をレーザー光
等によって除去するのである。これか請求項で言ってい
る(2)の工程であり、第1図の(C)にて示した状態
である。ここでは、各アウターリード部(lla)の上
下両面の離形フィルム(30)が完全に除去されるとと
もに、その銅メッキ(20)またはその黒化物を露出さ
せるにとどめている。
In this way, after removing the unnecessary insulating base material (12) and release film (30), as shown in FIG. 6 and FIG. 1(b), each outer lead portion 1:11a
) around the first residual resin (61) and the second residual resin (6
2) Or exists. The first residual resin (61) and the second residual resin (62) must be removed as described above, but for this purpose, each resin 1"(1"
The first residual resin (61) located between 1) is removed by laser light or the like. This is the step (2) mentioned in the claims, and is the state shown in FIG. 1(C). Here, the release films (30) on both the upper and lower surfaces of each outer lead part (lla) are completely removed, and only the copper plating (20) or its blackened product is exposed.

そして、第8図に示すように、(3)上記のものをアル
カリ電解脱脂液中で電解脱脂することにより、各リード
(11)の側面に付着したままとなっている第二残留樹
脂(62)をつかせるのである。これにより、各り−)
”(11)の側面が完全に洗浄されるとともに、各アウ
ターリード部(lla)の表面においても銅メッキ(2
0)か若干エツチングされるから、この銅メッキ(20
)上に付着している第二残留樹脂(62)は言わばうい
た状態となる。ここで、例えばジェットスクラブ等の手
段によってこの第二残留樹脂(62)に強制的な除去作
業を施せば、この第二残留樹脂(62)は容易に剥げ落
ち得るのである。
As shown in FIG. 8, (3) by electrolytically degreasing the above material in an alkaline electrolytic degreasing solution, the second residual resin (62) remains attached to the side surface of each lead (11). ). As a result, each -)
”(11) is completely cleaned, and the surface of each outer lead part (lla) is also coated with copper plating (2).
0) or slightly etched, so this copper plating (20
) The second residual resin (62) adhering to the surface is in a so-called state. Here, if the second residual resin (62) is forcibly removed by means such as jet scrubbing, the second residual resin (62) can easily peel off.

最後に、第1図の(d)及び(e)にて示すように、(
4)以上のようにした全体を図にて示すようにアルカリ
電解エツチング液て電解ミンチングすることにより、各
アウターリード部(lla)に露出している銅メッキ(
20)を除去して、42アロイ材を完全に露出させるの
である。つまり、この段階でアウターリード部(lla
)に露出していた銅メッキ(20)をエツチングにより
除去すれば、各アウターリード部(lla)はその材料
である42アロイ材を完全に露出させるとともに、仮に
この銅メッキ(20)上に第二残留樹脂(62)か一部
付着したままとなっていたとしても、これを支えている
銅メッキ(20)か無くなるのであるから第二残留樹脂
(62)も完全に除去されることになるのである。
Finally, as shown in (d) and (e) of Figure 1, (
4) As shown in the figure, the entire structure as described above is electrolytically minced using an alkaline electrolytic etching solution to remove the copper plating exposed on each outer lead part (lla).
20) to completely expose the 42 alloy material. In other words, at this stage, the outer lead part (lla
) If the copper plating (20) exposed on the copper plating (20) is removed by etching, the 42 alloy material that is the material of each outer lead part (lla) will be completely exposed, and if the copper plating (20) is Even if some of the second residual resin (62) remains attached, the copper plating (20) supporting it will be gone, so the second residual resin (62) will also be completely removed. It is.

ここで、電解アルカリ脱脂は、電解液として水酸化ナト
リウムと水酸化ナトリウムを主成分とする脱脂触媒(エ
バラニーシライト株式会社製IC−220の混合液であ
るか、それぞれの濃度を70〜300g/l 30〜1
40g/L。
Here, in the electrolytic alkaline degreasing, the electrolytic solution is a mixture of sodium hydroxide and a degreasing catalyst (IC-220 manufactured by Evalany Silite Co., Ltd.) containing sodium hydroxide as the main component, or the concentration of each is 70 to 300 g/ l 30~1
40g/L.

とし、これを第8図に示すように電解脱脂を行なう。電
解条件は、125A/m2として行なうが、溶液濃度条
件の全ての条件において、60℃30分で銅メッキ(2
0)上の第二残留樹脂(62)をうかせることかできる
This is then subjected to electrolytic degreasing as shown in FIG. The electrolytic conditions were 125 A/m2, but copper plating (2
0) The second residual resin (62) above can be removed.

また、アルカリ電解エツチングは、電解液として、炭酸
アンモニウムとアンモニア水の混合液を使用しているか
、それぞれの濃度を(I )50〜200g/L、2O
−100cc/J2とし、これを第8図に示すように電
解エツチングを行う。電解条件は、115A/m2とし
て行なうか、溶液濃度条件の全ての条件において(常温
 30分)銅エツチングは可能である。
In alkaline electrolytic etching, a mixture of ammonium carbonate and aqueous ammonia is used as the electrolyte, or the concentration of each is (I) 50 to 200 g/L, 2O
-100 cc/J2, and electrolytic etching is performed as shown in FIG. Copper etching is possible under the electrolytic conditions of 115 A/m2 or under all solution concentration conditions (at room temperature for 30 minutes).

以上のようにすることによって、各アウターリード部(
lla)か42アロイ材を完全に露出させ、しかも第一
残留樹脂(61)または第二残留樹脂(62)の付着か
全くないものとされ、第4図または第7図に示したよう
な完全状態の電子部品搭載用基板(10)が完成するも
のである。
By doing the above, each outer lead part (
lla) or 42 alloy material is completely exposed and there is no adhesion of the first residual resin (61) or the second residual resin (62), as shown in FIG. 4 or FIG. The electronic component mounting board (10) in this state is now completed.

なお、以上のように完成された電子部品搭載用基板(1
0)に対しては、第7図に示したように、その一方の面
の絶縁基材(12)上に電子部品(40)を搭載すると
ともに、この電子部品(40)と各導体回路(13)と
をボンディングワイヤ(41)によって接続した後、各
アウターリード部(lla)が露出するように封止樹脂
(50)による封止を行うことにより、電子部品搭載装
置(100)が完成されるのである。この電子部品搭載
装置(100)においては、各アウターリード部(ll
a)間に第一残留樹脂(61)または第二残留樹脂(6
2)が存在していないのであるから、各アウターリード
部(lla)の図示上下に位置する封止樹脂(50)は
完全に一体化されて強固に結合しているものである。
In addition, the electronic component mounting board (1
0), as shown in FIG. 13) by bonding wires (41), and then sealed with a sealing resin (50) so that each outer lead part (lla) is exposed, thereby completing the electronic component mounting device (100). It is. In this electronic component mounting device (100), each outer lead portion (ll
a) First residual resin (61) or second residual resin (6
2) is not present, the sealing resins (50) located above and below each outer lead portion (lla) in the drawing are completely integrated and firmly connected.

(発明の効果) 以上詳述した通り、本発明においては、上記実施例にて
例示したように、 「多数のリード(11)を一体化して42アロイ材から
なるリードフレーム(IIA)の両面に絶縁基材(12
)を一体化して、この絶縁基材(12)からアウターリ
ード部(lla)を突出させた電子部品搭載用基板(1
0)を、次の工程を含んで製造する方法。
(Effects of the Invention) As detailed above, in the present invention, as exemplified in the above embodiment, "a large number of leads (11) are integrated to form a lead frame (IIA) made of 42 alloy material on both sides of the lead frame (IIA)". Insulating base material (12
) are integrated, and the outer lead portion (lla) protrudes from the insulating base material (12).
0), including the following steps.

(1)リードフレーム(IIA)の全面に銅メッキ(2
0)を施して、これを黒化処理した後に絶縁基材(12
)をリードフレーム(IIA)に一体化する工程:(2
)各リード(11)のアウターリード部(lla)を各
絶縁基材(12)から露出させるとともに、その各リー
ド(11)間の第一残留樹脂(61)をレーザー光等に
よって除去する工程; (3)上記のものをアルカリ液中で電解脱脂することに
より、アウターリード部(lla)の側面に付着したま
まとなっている第二残留樹脂(62)を除去する工程; (4)以上のようにした全体をアルカリ液中で電解エツ
チングすることにより、アウターリード部(lla)に
露出している銅メッキ(20)を除去して、42アロイ
材を完全に露出させる工程」を含んで電子部品搭載用基
板(10)を製造したから、従来一般に行われているこ
の種電子部品搭載用基板の製造方法の一部を少し変える
のみてリードフレームとして剛性の高い42アロイ材を
使用することかできるとともに、その各リード間に残留
物の全くない電子部品搭載用基板を製造することができ
るのである。
(1) Copper plating (2
0), and after blackening treatment, an insulating base material (12
) to the lead frame (IIA): (2
) a step of exposing the outer lead portion (lla) of each lead (11) from each insulating base material (12) and removing the first residual resin (61) between each lead (11) using a laser beam or the like; (3) A step of removing the second residual resin (62) that remains attached to the side surface of the outer lead part (lla) by electrolytically degreasing the above material in an alkaline solution; Electrolytic etching is performed on the whole thus prepared in an alkaline solution to remove the copper plating (20) exposed on the outer lead part (lla) and completely expose the 42 alloy material. Since the component mounting board (10) has been manufactured, it is possible to use a highly rigid 42 alloy material as the lead frame by slightly changing some of the conventional manufacturing methods for this type of electronic component mounting board. At the same time, it is possible to manufacture a substrate for mounting electronic components without any residue between the leads.

すなわち、この製造方法によって形成した電子部品搭載
用基板(lO)は、その重要構成部分である絶縁基材(
12)が、リードフレーム(IIA)またはリード(1
1)上に形成した銅メッキ(20)の黒化処理膜によっ
て強固に密着されたものとなっているとともに、各絶縁
基材(12)から外方に突出している各り−)”(11
)か剛性の高い42アロイ材そのものとなっているから
、この電子部品搭載用基板(10)を使用して構成した
電子部品搭載装置(100)を耐久性に優れたものとす
ることかできるのである。
In other words, the electronic component mounting substrate (lO) formed by this manufacturing method has an insulating base material (lO) which is an important component thereof.
12) is a lead frame (IIA) or a lead (1
1) They are firmly adhered by the blackened copper plating (20) film formed on them, and each of the holes protrudes outward from each insulating base material (12).
) is made of highly rigid 42 alloy material itself, so the electronic component mounting device (100) constructed using this electronic component mounting board (10) can be made highly durable. be.

また、この電子部品搭載用基板り10)においては、そ
の各アウターリード部(Ila)の間に残留物か全く存
在していないのであるから、これを使用して電子部品搭
載装置(100)としたとき、各アウターリード部(1
1,a)の上下に位置することになる封止樹脂(50)
の互いの密着を強固にすることかできるのであり、これ
によっても電子部品搭載装置(100)を耐久性の高い
ものとすることかできるのである。
In addition, since there is no residue at all between the outer leads (Ila) of this electronic component mounting board 10), it can be used to mount the electronic component mounting device (100). When each outer lead part (1
1. Sealing resin (50) to be located above and below a)
This allows the electronic component mounting device (100) to be highly durable.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図の(a)〜(e)のそれぞれは本発明の実施例に
よる各アウターリード部の周囲の変化を示す各アウター
リード部の拡大断面図、第2図はリードフレームの両面
に絶縁基材を一体化したときの拡大断面図、第3図は各
絶縁系村上に導体回路等を形成した状態を示す断面図、
第4図は各アウターリード部上の絶縁基材を除去した状
態を示す断面図、第5図は本発明の実施にあたって使用
されるリードフレームの一実施例を示す平面図、第6図
はこのリードフレームの必要部分に絶縁基材を一体化し
た状態の平面図、第7図は本発明によって製造した電子
部品搭載用基板を使用して構成した電子部品搭載装置の
断面図、第8図は電解脱脂液中で電解脱脂している状態
を示す概略断面図である。 符  号  の  説  明 10・・電子部品搭載用基板、11・・・リード、II
A・・・リードフレーム、lla・・・アウターリード
部、12・・・絶縁基材、13・・導体回路、20・・
・銅メッキ、30・・・離型フィルム、40・・・電子
部品、50・・・封止樹脂、61・・第一残留樹脂、6
2・・・第二残留樹脂。 以  上
Each of (a) to (e) in FIG. 1 is an enlarged sectional view of each outer lead portion showing changes in the periphery of each outer lead portion according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an insulating base on both sides of the lead frame. Fig. 3 is an enlarged cross-sectional view when the materials are integrated;
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which the insulating base material on each outer lead part has been removed, FIG. 5 is a plan view showing an embodiment of the lead frame used in carrying out the present invention, and FIG. FIG. 7 is a plan view of the insulating base material integrated into the necessary parts of the lead frame, FIG. 7 is a cross-sectional view of an electronic component mounting device constructed using the electronic component mounting board manufactured according to the present invention, and FIG. It is a schematic sectional view showing the state where electrolytic degreasing is carried out in electrolytic degreasing liquid. Explanation of symbols 10...Electronic component mounting board, 11...Lead, II
A...Lead frame, lla...Outer lead portion, 12...Insulating base material, 13...Conductor circuit, 20...
- Copper plating, 30... Release film, 40... Electronic components, 50... Sealing resin, 61... First residual resin, 6
2...Second residual resin. that's all

Claims (1)

【特許請求の範囲】  多数のリードを一体化して42アロイ材からなるリー
ドフレームの両面に絶縁基材を一体化して、この絶縁基
材からアウターリード部を突出させた電子部品搭載用基
板を、次の工程を含んで製造する方法。 (1)前記リードフレームの全面に銅メッキを施して、
これを黒化処理した後に前記絶縁基材をリードフレーム
に一体化する工程; (2)前記各リードのアウターリード部を前記各絶縁基
材から露出させるとともに、その各リード間の第一残留
樹脂をレーザー光等によって除去する工程; (3)上記のものをアルカリ液中で、電解脱脂すること
により、アウターリード部の側面に付着したままとなっ
ている第二残留樹脂を除去する工程; (4)以上のようにした全体をアルカリ液中で電解エッ
チングすることにより、アウターリード部に露出してい
る銅メッキを除去して、前記42アロイ材を完全に露出
させる工程。
[Claims] A board for mounting an electronic component, in which a large number of leads are integrated, an insulating base material is integrated on both sides of a lead frame made of 42 alloy material, and an outer lead portion protrudes from the insulating base material, A manufacturing method that includes the following steps: (1) Copper plating is applied to the entire surface of the lead frame,
A step of integrating the insulating base material into a lead frame after blackening the insulating base material; (2) exposing the outer lead portion of each lead from the insulating base material, and first residual resin between each lead; (3) A step of removing the second residual resin remaining attached to the side surface of the outer lead portion by electrolytically degreasing the above material in an alkaline solution; ( 4) A step of electrolytically etching the entire structure as described above in an alkaline solution to remove the copper plating exposed on the outer lead portion and completely expose the 42 alloy material.
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